JPH0321870Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0321870Y2 JPH0321870Y2 JP1985085309U JP8530985U JPH0321870Y2 JP H0321870 Y2 JPH0321870 Y2 JP H0321870Y2 JP 1985085309 U JP1985085309 U JP 1985085309U JP 8530985 U JP8530985 U JP 8530985U JP H0321870 Y2 JPH0321870 Y2 JP H0321870Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- workpiece
- units
- suction cups
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
Ａ 考案の目的
(1) 産業上の利用分野
本考案は、ワークハンドリング装置、特に支持
体上に載置されたワークを、そのワークの複数の
領域においてそれぞれ吸着、保持すべく、該支持
体上で昇降可能な昇降体に複数の吸着ユニツトが
相互に間隔を存して設けられ、その各吸着ユニツ
トが、該ユニツトと対応する前記領域内で前記ワ
ークにそれぞれ吸着し得る少なくとも２個の吸盤
を備えてなる形式の装置に関する。
体上に載置されたワークを、そのワークの複数の
領域においてそれぞれ吸着、保持すべく、該支持
体上で昇降可能な昇降体に複数の吸着ユニツトが
相互に間隔を存して設けられ、その各吸着ユニツ
トが、該ユニツトと対応する前記領域内で前記ワ
ークにそれぞれ吸着し得る少なくとも２個の吸盤
を備えてなる形式の装置に関する。
(2) 従来の技術
従来、斯かるワークハンドリング装置では、各
吸着ユニツトにおける複数の吸盤全部を、配管等
の利便性を考慮して単一の減圧源に共通に接続す
るのが一般的でる。
吸着ユニツトにおける複数の吸盤全部を、配管等
の利便性を考慮して単一の減圧源に共通に接続す
るのが一般的でる。
(3) 考案が解決しようとする問題点
従来のように、各吸着ユニツトにおける複数の
吸盤全部を単一の減圧源に接続すると、万一吸盤
の１つが大気に開放してしまつた場合には、当該
吸着ユニツトの残余の吸盤全部の吸着力が減少し
て当該吸着ユニツトが実質的に無効となる。
吸盤全部を単一の減圧源に接続すると、万一吸盤
の１つが大気に開放してしまつた場合には、当該
吸着ユニツトの残余の吸盤全部の吸着力が減少し
て当該吸着ユニツトが実質的に無効となる。
ところが前記複数の吸着ユニツトは、互いに協
働してワークをバランスよく的確に支持できるよ
う、ワークの複数の領域をそれぞれ吸着、保持す
るものであるから、上記のように１つの吸着ユニ
ツトが無効となると、それに対応する領域におい
てワークを支持できなくなつて、複数の吸着ユニ
ツト相互の支持バランスを崩してしまい、ワーク
の支持が不安定になる虞れがある。
働してワークをバランスよく的確に支持できるよ
う、ワークの複数の領域をそれぞれ吸着、保持す
るものであるから、上記のように１つの吸着ユニ
ツトが無効となると、それに対応する領域におい
てワークを支持できなくなつて、複数の吸着ユニ
ツト相互の支持バランスを崩してしまい、ワーク
の支持が不安定になる虞れがある。
また斯かる不具合は、例えば実開昭57−59092
号公報に開示されるように空気漏洩量を抑制する
ための制御弁を全部の吸盤の吸込部に特設すれば
解消することは可能であるが、その場合には、吸
盤と同数の上記制御弁を用意しなければならず、
著しいコスト増を招く。
号公報に開示されるように空気漏洩量を抑制する
ための制御弁を全部の吸盤の吸込部に特設すれば
解消することは可能であるが、その場合には、吸
盤と同数の上記制御弁を用意しなければならず、
著しいコスト増を招く。
本考案は、斯かる事情に鑑みてなされたもので
あり、吸着ユニツトにおいて１個の吸盤が大気に
万一開放したとしても当該吸着ユニツトにおける
全体としての吸着力が極端に低下することを防止
した、構造簡単なワークハンドリング装置を提供
することを目的とする。
あり、吸着ユニツトにおいて１個の吸盤が大気に
万一開放したとしても当該吸着ユニツトにおける
全体としての吸着力が極端に低下することを防止
した、構造簡単なワークハンドリング装置を提供
することを目的とする。
Ｂ 考案の構成
(1) 問題点を解決するための手段
そして上記目的を達成するために本考案は、支
持体上に載置されたワークを、そのワークの複数
の領域においてそれぞれ吸着、保持すべく、該支
持体上で昇降可能な昇降体に複数の吸着ユニツト
が相互に間隔を存して設けられ、その各吸着ユニ
ツトは、該ユニツトと対応する前記領域内で前記
ワークにそれぞれ吸着し得る少なくとも２個の吸
盤を備えてなる、ワークハンドリング装置におい
て、前記各吸着ユニツトの複数の吸盤のうちの一
部のものは第１の減圧源に接続され、またその残
余のものの少なくとも一部は、前記第１の減圧源
から独立した第２の減圧源に接続されたことを特
徴とする。
持体上に載置されたワークを、そのワークの複数
の領域においてそれぞれ吸着、保持すべく、該支
持体上で昇降可能な昇降体に複数の吸着ユニツト
が相互に間隔を存して設けられ、その各吸着ユニ
ツトは、該ユニツトと対応する前記領域内で前記
ワークにそれぞれ吸着し得る少なくとも２個の吸
盤を備えてなる、ワークハンドリング装置におい
て、前記各吸着ユニツトの複数の吸盤のうちの一
部のものは第１の減圧源に接続され、またその残
余のものの少なくとも一部は、前記第１の減圧源
から独立した第２の減圧源に接続されたことを特
徴とする。
(2) 作用
１つの吸着ユニツトにおいて一部の吸盤が大気
に万一開放したとしても、その吸盤と減圧源を同
じくする、他の吸着ユニツトの一部の吸盤の吸着
力が単に減少するだけであつて、各吸着ユニツに
おいて複数の吸盤全部の吸着力が同時に失われる
ことはないから、複数の吸着ユニツト全部によ
り、それらユニツトにそれぞれ対応した全領域に
おいてワークをバランスよく的確に支持すること
ができる。
に万一開放したとしても、その吸盤と減圧源を同
じくする、他の吸着ユニツトの一部の吸盤の吸着
力が単に減少するだけであつて、各吸着ユニツに
おいて複数の吸盤全部の吸着力が同時に失われる
ことはないから、複数の吸着ユニツト全部によ
り、それらユニツトにそれぞれ対応した全領域に
おいてワークをバランスよく的確に支持すること
ができる。
(3) 実施例
以下、図面により本考案の一実施例について説
明すると、先ず第１図において支持体としての固
定の下型１と、図示しない上型とで、例えば四輪
自動車の外板を形成すべく板状ワークＷがプレス
加工され、そのプレス加工後に下型１上にあるワ
ークＷが搬送装置２によつて搬出される。
明すると、先ず第１図において支持体としての固
定の下型１と、図示しない上型とで、例えば四輪
自動車の外板を形成すべく板状ワークＷがプレス
加工され、そのプレス加工後に下型１上にあるワ
ークＷが搬送装置２によつて搬出される。
搬送装置２は、昇降体としての搬送体Ｔを有し
ており、この搬送体Ｔは、下型１の両側に配置さ
れると共に鉛直面内でその長手方向及び上下方向
に作動する一対のトランスフアーバー３と、その
両トランスフアーバー３間に間隔をおいて一体的
に架設された一対の支持アーム４とより構成され
ており、その支持アーム４に本考案装置が装備さ
れる。
ており、この搬送体Ｔは、下型１の両側に配置さ
れると共に鉛直面内でその長手方向及び上下方向
に作動する一対のトランスフアーバー３と、その
両トランスフアーバー３間に間隔をおいて一体的
に架設された一対の支持アーム４とより構成され
ており、その支持アーム４に本考案装置が装備さ
れる。
第２図を併せて参照して、各支持アーム４，４
には、ワークＷの複数の領域A1，A2をそれぞれ
吸着、保持するための複数の吸着ユニツトU1，
U2が該複数の領域A1，A2にそれぞれ対応して設
けられている。各吸着ユニツトU1；U2は、Ｌ字
状に屈曲して上端が各支持アーム４に固着された
吊り軸６1；６2の下端に回転自在に支承された水
平な揺動軸５1；５2を有しており、その各揺動軸
５1；５2は、ワークＷの前記各領域A1；A2にお
いてワークＷの傾斜縁部に対応して、しかもその
傾斜縁部の傾斜面に対して直交する鉛直面に直交
するように配設される。
には、ワークＷの複数の領域A1，A2をそれぞれ
吸着、保持するための複数の吸着ユニツトU1，
U2が該複数の領域A1，A2にそれぞれ対応して設
けられている。各吸着ユニツトU1；U2は、Ｌ字
状に屈曲して上端が各支持アーム４に固着された
吊り軸６1；６2の下端に回転自在に支承された水
平な揺動軸５1；５2を有しており、その各揺動軸
５1；５2は、ワークＷの前記各領域A1；A2にお
いてワークＷの傾斜縁部に対応して、しかもその
傾斜縁部の傾斜面に対して直交する鉛直面に直交
するように配設される。
各揺動軸５1；５2には、その長手方向に間隔を
あけた位置に複数の吸盤支持アーム７1，７1，７
１；７2，７2が直角に固設され、これらの吸盤支
持アーム７1，７1，７1；７2，７2の先端にカツプ
状吸盤８1，８1，８1；８2，８2の基部８a1，８
a1、８a1；８a2，８a2が装着される。さらに、各
揺動軸５1，５2には、１あるいは複数のアーム９
１，９2が直角に固設されており、このアーム９1，
９2の先端には、前記各領域A1，A2においてワー
クＷの外縁に当接可能な位置決め部材１０1，１
０2が固着される。
あけた位置に複数の吸盤支持アーム７1，７1，７
１；７2，７2が直角に固設され、これらの吸盤支
持アーム７1，７1，７1；７2，７2の先端にカツプ
状吸盤８1，８1，８1；８2，８2の基部８a1，８
a1、８a1；８a2，８a2が装着される。さらに、各
揺動軸５1，５2には、１あるいは複数のアーム９
１，９2が直角に固設されており、このアーム９1，
９2の先端には、前記各領域A1，A2においてワー
クＷの外縁に当接可能な位置決め部材１０1，１
０2が固着される。
各吸盤８1，８1，８1；８2，８2および位置決め
部材１０1，１０2の取付位置は、該各吸盤とワー
クＷの前記傾斜面との圧接により揺動軸５1；５2
が揺動変位して位置決め部材１０1，１０2をワー
クＷの外縁に当接させるように定められている。
部材１０1，１０2の取付位置は、該各吸盤とワー
クＷの前記傾斜面との圧接により揺動軸５1；５2
が揺動変位して位置決め部材１０1，１０2をワー
クＷの外縁に当接させるように定められている。
しかも、搬送装置２は、トランスフアーバー３
の長手方向に沿つてワークＷを搬送するものであ
り、前記吸着ユニツトU1，U2の位置決め部材１
０1，１０2は、少なくともその搬送方向に沿う前
後でワークＷの外縁に当接し得るように配設され
る。
の長手方向に沿つてワークＷを搬送するものであ
り、前記吸着ユニツトU1，U2の位置決め部材１
０1，１０2は、少なくともその搬送方向に沿う前
後でワークＷの外縁に当接し得るように配設され
る。
各吸着ユニツトU1；U2の複数の吸盤８1，８1，
８1；８2，８2のうちの一部のものは、真空ポン
プ等よりなる第１の減圧源１１ｂに接続されてお
り、またその残余のものは、前記第１の減圧源１
１ｂから独立した第２の減圧源１１ａに接続され
ている。
８1；８2，８2のうちの一部のものは、真空ポン
プ等よりなる第１の減圧源１１ｂに接続されてお
り、またその残余のものは、前記第１の減圧源１
１ｂから独立した第２の減圧源１１ａに接続され
ている。
次にこの実施例の作用について説明すると、プ
レス加工後に下型１上にあるワークＷを搬送する
にあたつて、支持アーム４，４が降下すると、各
吸着ユニツトU1；U2における複数の吸盤８1，８
１，８1；８2，８2がワークＷの、該各吸着ユニツ
トU1；U2に対応した領域A1；A2にそれぞれ圧接
されるが、その圧接により揺動軸５1；５2が揺動
するのに伴つて、各吸着ユニツトU1；U2の位置
決め部材１０1，１０2がワークＷの、前記各領域
A1，A2における外縁にそれぞれ当接する。した
がつてワークＷの上面に潤滑油が付着していて
も、各吸着ユニツトU1；U2における複数の吸盤
８1，８1，８1；８2，８2は定位置、即ち前記各領
域A1，A2においてワークＷ上面に圧接され、各
吸盤８1，８2がワークＷ上を滑ることはない。こ
の状態で、減圧源１１ａ，１１ｂを作動して、各
吸盤８1，８2内を減圧することにより、ワークＷ
が吸盤８1，８2に吸着、保持される。
レス加工後に下型１上にあるワークＷを搬送する
にあたつて、支持アーム４，４が降下すると、各
吸着ユニツトU1；U2における複数の吸盤８1，８
１，８1；８2，８2がワークＷの、該各吸着ユニツ
トU1；U2に対応した領域A1；A2にそれぞれ圧接
されるが、その圧接により揺動軸５1；５2が揺動
するのに伴つて、各吸着ユニツトU1；U2の位置
決め部材１０1，１０2がワークＷの、前記各領域
A1，A2における外縁にそれぞれ当接する。した
がつてワークＷの上面に潤滑油が付着していて
も、各吸着ユニツトU1；U2における複数の吸盤
８1，８1，８1；８2，８2は定位置、即ち前記各領
域A1，A2においてワークＷ上面に圧接され、各
吸盤８1，８2がワークＷ上を滑ることはない。こ
の状態で、減圧源１１ａ，１１ｂを作動して、各
吸盤８1，８2内を減圧することにより、ワークＷ
が吸盤８1，８2に吸着、保持される。
そこで、トランスフアーバー３すなわち支持ア
ーム４，４の上昇および水平移動に応じて、ワー
クＷが搬送されるが、この搬送時にワークＷに慣
性力が作用しても、位置決め部材１０1，１０2が
ワークＷの外縁に当接しているので、ワークＷが
吸盤８1，８2に対して水平移動することはなく、
ワークＷが吸盤８1，８2によつて確実に吸着、保
持された状態で搬送される。
ーム４，４の上昇および水平移動に応じて、ワー
クＷが搬送されるが、この搬送時にワークＷに慣
性力が作用しても、位置決め部材１０1，１０2が
ワークＷの外縁に当接しているので、ワークＷが
吸盤８1，８2に対して水平移動することはなく、
ワークＷが吸盤８1，８2によつて確実に吸着、保
持された状態で搬送される。
ところで、斯かる搬送時に、何れかの吸着ユニ
ツトU1，U2の複数の吸盤８1，８1，８1，８2，８
２の１つが何らかの原因により大気に開放したと
しても、その大気開放の吸盤８1，８2と減圧源１
１ｂ，１１ａを同じくする、他の吸着ユニツト
U2，U1の一部の吸盤８2，８1の吸着力が単に減
少するだけであつて、各吸着ユニツトU1；U2に
おいて複数の吸盤８1，８1，８1；８2，８2全部の
吸着力が同時に失われる虞れはなくなり、従つて
複数の吸着ユニツトU1，U2全部により、それら
ユニツトU1，U2にそれぞれ対応した全領域A1，
A2においてワークＷをバランスよく的確に支持
することができるから、ワークＷの支持が常に安
定し、ワークＷの落下を回避することができる。
ツトU1，U2の複数の吸盤８1，８1，８1，８2，８
２の１つが何らかの原因により大気に開放したと
しても、その大気開放の吸盤８1，８2と減圧源１
１ｂ，１１ａを同じくする、他の吸着ユニツト
U2，U1の一部の吸盤８2，８1の吸着力が単に減
少するだけであつて、各吸着ユニツトU1；U2に
おいて複数の吸盤８1，８1，８1；８2，８2全部の
吸着力が同時に失われる虞れはなくなり、従つて
複数の吸着ユニツトU1，U2全部により、それら
ユニツトU1，U2にそれぞれ対応した全領域A1，
A2においてワークＷをバランスよく的確に支持
することができるから、ワークＷの支持が常に安
定し、ワークＷの落下を回避することができる。
以上の実施例では、プレス機に付設された搬送
装置２に本考案を適用した場合について説明した
が、本考案は、ワークＷを吸着、保持するための
ワークハンドリング装置として広く実施すること
が可能である。
装置２に本考案を適用した場合について説明した
が、本考案は、ワークＷを吸着、保持するための
ワークハンドリング装置として広く実施すること
が可能である。
Ｃ 考案の効果
以上のように本考案によれば、支持体上に載置
されたワークを、そのワークの複数の領域におい
てそれぞれ吸着、保持すべく、該支持体上で昇降
可能な昇降体に複数の吸着ユニツトが相互に間隔
を存して設けられ、その各吸着ユニツトは、該ユ
ニツトと対応する前記領域内で前記ワークにそれ
ぞれ吸着し得る少なくとも２個の吸盤を備えて
る、ワークハンドリング装置において、前記各吸
着ユニツトの複数の吸盤のうちの一部のものは第
１の減圧源に接続され、またその残余のものの少
なくとも一部は、前記第１の減圧源から独立した
第２の減圧源に接続されるので、何れかの吸着ユ
ニツトにおいて一部の吸盤が大気に万一開放した
としても、その吸盤と減圧源を同じくする、他の
吸着ユニツトの一部の吸盤の吸着力が単に減少す
るだけであつて、各吸着ユニツトにおいて複数の
吸盤全部の吸着力が同時に失われる虞れはなくな
り、従つて複数の吸着ユニツト全部を常に有効に
作動させることができて、それらユニツトにそれ
ぞれ対応した全領域においてワークをバランスよ
く的確に支持することができるから、ワークの支
持が常に安定し、その落下防止に極めて効果的で
ある。また斯かる効果は、各吸盤に空気漏洩を抑
制するための制御弁を特設せずとも達成すること
ができ、その上、複数の吸着ユニツトの各一部の
吸盤に対し前記第１または第２の減圧源を共通に
使用することができるから、全体として装置の構
成が簡単でコストダウンに大いに寄与し得るもの
である。
されたワークを、そのワークの複数の領域におい
てそれぞれ吸着、保持すべく、該支持体上で昇降
可能な昇降体に複数の吸着ユニツトが相互に間隔
を存して設けられ、その各吸着ユニツトは、該ユ
ニツトと対応する前記領域内で前記ワークにそれ
ぞれ吸着し得る少なくとも２個の吸盤を備えて
る、ワークハンドリング装置において、前記各吸
着ユニツトの複数の吸盤のうちの一部のものは第
１の減圧源に接続され、またその残余のものの少
なくとも一部は、前記第１の減圧源から独立した
第２の減圧源に接続されるので、何れかの吸着ユ
ニツトにおいて一部の吸盤が大気に万一開放した
としても、その吸盤と減圧源を同じくする、他の
吸着ユニツトの一部の吸盤の吸着力が単に減少す
るだけであつて、各吸着ユニツトにおいて複数の
吸盤全部の吸着力が同時に失われる虞れはなくな
り、従つて複数の吸着ユニツト全部を常に有効に
作動させることができて、それらユニツトにそれ
ぞれ対応した全領域においてワークをバランスよ
く的確に支持することができるから、ワークの支
持が常に安定し、その落下防止に極めて効果的で
ある。また斯かる効果は、各吸盤に空気漏洩を抑
制するための制御弁を特設せずとも達成すること
ができ、その上、複数の吸着ユニツトの各一部の
吸盤に対し前記第１または第２の減圧源を共通に
使用することができるから、全体として装置の構
成が簡単でコストダウンに大いに寄与し得るもの
である。
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
は縦断側面図であつて第２図の−線断面図、
第２図は第１図の−線から見て一部を省略し
た平面図である。 １……支持体としての下型、８1，８2……吸
盤、１１ａ……第１の減圧源、１１ｂ……第２の
減圧源、A1，A2……領域、Ｔ……昇降体として
の搬送体、U1，U2……吸着ユニツト、Ｗ……ワ
ーク。
は縦断側面図であつて第２図の−線断面図、
第２図は第１図の−線から見て一部を省略し
た平面図である。 １……支持体としての下型、８1，８2……吸
盤、１１ａ……第１の減圧源、１１ｂ……第２の
減圧源、A1，A2……領域、Ｔ……昇降体として
の搬送体、U1，U2……吸着ユニツト、Ｗ……ワ
ーク。
Claims (1)
- 支持体１上に載置されたワークＷを、そのワー
クＷの複数の領域A1；A2においてそれぞれ吸着、
保持すべく、該支持体１上で昇降可能な昇降体Ｔ
に複数の吸着ユニツトU1，U2が相互に間隔を存
して設けられ、その各吸着ユニツトU1；U2は、
該ユニツトU1；U2と対応する前記領域A1；A2内
で前記ワークにそれぞれ吸着し得る少なくとも２
個の吸盤８1，８1，８1；８2，８2を備えてなる、
ワークハンドリング装置において、前記各吸着ユ
ニツトU1；U2の複数の吸盤８1，８1，８1；８2，
８2のうちの一部のものは第１の減圧源１１ｂに
接続され、またその残余のものの少なくとも一部
は、前記第１の減圧源１１ｂから独立した第２の
減圧源１１ａに接続されることを特徴とするワー
クハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985085309U JPH0321870Y2 (ja) | 1985-06-06 | 1985-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985085309U JPH0321870Y2 (ja) | 1985-06-06 | 1985-06-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201751U JPS61201751U (ja) | 1986-12-18 |
| JPH0321870Y2 true JPH0321870Y2 (ja) | 1991-05-13 |
Family
ID=30635589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985085309U Expired JPH0321870Y2 (ja) | 1985-06-06 | 1985-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321870Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2551926B2 (ja) * | 1989-07-11 | 1996-11-06 | 本田技研工業株式会社 | ワークハンドリング装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5759092U (ja) * | 1980-09-26 | 1982-04-07 |
-
1985
- 1985-06-06 JP JP1985085309U patent/JPH0321870Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61201751U (ja) | 1986-12-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007008700A (ja) | 平板状搬送物の搬送方法及びその装置 | |
| JPH0321870Y2 (ja) | ||
| JPH0672974U (ja) | 搬送装置 | |
| JP4889122B2 (ja) | 基板吸着搬送装置 | |
| JP2002001686A (ja) | 半導体収納容器搬送装置及び搬送方法及びそれに用いる吸着パッド | |
| CN217881451U (zh) | 基板载具 | |
| JPH0321869Y2 (ja) | ||
| JPH0855896A (ja) | ウェーハ搬送手段 | |
| JP7456399B2 (ja) | シート搬送装置 | |
| JP2002144270A (ja) | 吸着ジグ及び被搬送物の搬送方法 | |
| JPH11217179A (ja) | 板材搬送装置 | |
| JPH0572845U (ja) | 薄物ワーク搬送用の吸着ハンド | |
| JP2023034473A (ja) | ワーク吸着ユニット並びにワーク搬送装置 | |
| JPH0739292B2 (ja) | 産業用ロボットのハンド装置 | |
| JP4733973B2 (ja) | リードフレームの受け渡し装置 | |
| JPH0372535B2 (ja) | ||
| JP2535628Y2 (ja) | ウエハー吸着装置 | |
| JPH0516176U (ja) | 吸着用パツド | |
| JP2025154641A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH01104533A (ja) | 産業用ロボットのハンド装置 | |
| CN223836686U (zh) | 柔性膜转运装置及柔性器件制造装置 | |
| JP7521802B2 (ja) | 吸着保持ユニット及び搬送システム | |
| CN214988444U (zh) | 基板制程输送系统 | |
| JP3232972B2 (ja) | 半導体収納容器搬送装置及び半導体収納容器の搬送方法 | |
| JPH05337780A (ja) | ワークの保持方法およびその装置 |