JPH03218802A - フィルム剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 フィルム剥離装置に関し、 フィルム剥離時にグリーンシートに生じる変形を小さく
するとともに、グリーンシートごとの変形状態のばらつ
きを解消することを目的とし、グリーンシートを載置す
る治具と、治具の上方でグリーンシートの上面に貼られ
たフイノレムの上面に転接される剥離ローラと、剥離ロ
ーラの両端部をその軸心回りに回転自在に支持する１対
のスライダと、治具の剥離ローラ軸心方向両側６こ設番
ナられ、各スライダを剥離ローラの軸心に直角な方向に
摺動案内するガイドバーとを備えたフイノレム剥離装置
において、上記剥離ローラを両スライタ゛に軸心位置を
固定して回転可能に支持させるとともに、両スライダに
押えローラを剥離ローラに接離可能に支持させ、治具の
剥離ローラ軸心方向の少なくとも一側に上記スライダを
剥離ローラ軸心に直角な方向に所定の速度で駆動する定
速度駆動装置と、スライダの進行速度に剥離ローラの周
面速度を同調させる同期装置とを設けた構成とした。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、セラミックプリント基板に関し、特に、セラ
ミソクプリント基板の原料となるグリーンシートからフ
ィルムを剥離するフィルム剥離装置に関する。

〔従来技術〕

セラミソクプリント基板の製法としては、いわゆる、グ
リーンシート法が主流を占めている。

このグリーンシート法では、孔明け工程、導体パターン
形成工程等の積層工程の前の工程におけるグリーンシー
トの変形を防止するため、グリーンシートの片面にフィ
ルムを貼着している．そして、積層工程の直前にフィル
ム剥離装置を使ってフィルムをグリーンシートから剥離
している。

従来のフィルム剥離装置は、例えば第５図に示すように
、フィルムが付着しているグリーンシート１０１を載置
する治具１０２と、治具１０２上でグリーンシート１０
１から剥離するフィルムを剥離する位置の近傍で押さえ
る剥離ローラ１０４と、フィルムを剥離されたグリーン
シート１０１をフィルムを剥離する位置の近傍で押さえ
るビーム１０３と、ビーム１０３及び剥離ローラ１０４
の両端部を支持する１対のスライダ１０５・１０６と、
治具１０２の剥離ローラ軸心方向の両側に設けられ、各
スライダ１０５・１０６を剥離ローラ軸心方向に直角な
方向に摺動案内する１対のガイドバー１０７・１０８と
を備えている。

上記治具１０２は、その上面に載置されるグリーンシー
｝１０１の位置及び方向を規制する基準部１１１を備え
るとともに、その上面に載置したグリーンシート１０１
を真空吸着して固定するように構成されている。

スライダ１０５・１０６は上記ビーム１０３０両端に固
定され、第６図に示すように、上記剥離ローラ１０４は
スライダ１０６　（及びスライダ１０５）にアーム１０
９を介して揺動可能に支持している。そして、このアー
ム１０９及び剥離ローラ１０４は切替付勢バネ１１０に
よって剥離ローラ１０４がビーム１０３に受け止められ
るセット位置と剥離ローラ１０４がビーム１０３から離
れた解除位置とに切替付勢するように構成されている．
剥離ローラ１０４はセット位置あるいは解除位置でグリ
ーンシート１０１の上面に付着されたフィルムに転接さ
れるようにしている。

この従来のフィルム剥離装置においては、次のような手
順でフィルムの剥離作業が行われる。

まず、剥離ローラ１０４を治具１０２のグリーンシート
１０１を載せる領域外に移動させてからフィルムを付着
させたグリーンシート１０１を治具１０２の上面に載置
し、基準部１１１にグリーンシート１０１の端縁を当接
させてグリーンシート１０１を所定の位置で、所定の方
向に向けた後、真空吸着してグリーンシート１０１を治
具１０２の上面に固定する。

この後、ガイドバ−１０７に沿ってスライダ１０５を移
動させ、剥離ローラ１０４を、治具１０２のグリーンシ
ート１０１を載せる領域外からグリーンシート１０１の
一端部の位置まで移動させるとともに、アーム１０９を
回転させてセント位置から解除位置に移動させる。

また、この後、スライダ１０５・１０６の摺動方向の一
方の端部でフィルムの一端部をグリーンシート１０１か
ら手で剥がし、その一端部をビーム１０３と剥離ローラ
１０４の間に挿入し、ｎ１離ローラ１０４をセット位置
に戻してビーム１０３と剥離ローラ１０４との間にフィ
ルムの一端部を挟む。

更にこの後、ビーム１０３と剥離ローラ１０４の間から
上方に突出したフィルムの一端部を手で引っ張り上げる
、という手順でフィルムがグリーンシート１０１から剥
がされる。

ビーム１０３と剥離ローラ１０４の間から突出したフィ
ルムの一端部を手で引っ張り上げると、剥離ローラ１０
４は引っ張り上げられるフィルムに連動して回転しなが
ら、第５図上、左方向に移動し、この剥離ローラ１０４
の移動につられてアーム１０９、スライダ１０５・１０
６及びビーム１０３が同じ方向に移動する。

〔発明が解決しようとする課題〕

この従来のフィルム剥離装置においては、剥離ローラ１
０４が切替付勢バネ１１０によってセット位置に付勢さ
れているので、フィルムを強く引っ張ると剥離ローラ１
０４が切替付勢バネ１１０に抗してセット位置から解除
位置の方向に揺動することがあり、グリーンシート１０
１がフィルムに追随して治具１０２の上面から浮き上が
り、フィルムが剥離される部分とビーム１０３に押さえ
られている部分との間で未硬化状態のグリーンシ１１０
１のが引き伸ばされて変形することがある。

しかも、フィルムを手で引っ張り上げているので、フィ
ルムを介してグリーンシート１０１に作用する力は一定
せず、グリーンシート１０１の伸びが部分的に変化し、
しかも、各グリーンシート１０ｌごとに変形状態にばら
つきが生じる。

このため、この後の積層工程でフィルムを剥離したグリ
ーンシート１０１を積層した時に、各グリーンシート１
０１に埋設したビア導体の位置が一致せず、導体接続不
良が発生するという問題が生じる。

本発明は、上記の事情を鑑みてなされたものであり、フ
ィルム剥離時にグリーンシートに生じる変形を小さくす
るとともに、グリーンシートごとの変形状態のばらつき
を解消できるようにしたフィルム剥離装置を提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、例えば第１図ないし第４図に示すように、グ
リーンシート１を載置する治具２と、治具２に載置され
るグリーンシート１の位置及び方向を規制する基準部１
１と、治具の上方でグリーンシート１の上面に貼られた
フィルムの上面に転接されるＭ離ローラ４と、剥離ロー
ラ４の両端部をその軸心回りに回転自在に支持する１対
のスライダ５・６と、治具２の剥離ローラ軸心方向両側
に設けられ、各スライダ５・６を剥離ローラの軸心に直
角な方向に摺動案内するガイドバー７・８とを備えたフ
ィルム剥離装置を前提として、上記の目的を達成するた
め、次のような手段を講じている。

即ち、上記剥離ローラ４を両スライダ５・６に軸心位置
を固定して回転可能に支持させるとともに、両スライダ
５・６に押えローラ３を剥離ローラ４に接離可能に支持
させ、治具の剥離ローラ軸心方向の少なくとも一側に上
記スライダ５・６を所定の速度で駆動する定速度駆動装
置１２と、スライダ５・６の進行速度に剥離ローラ４の
周面速度を同調させる同期装置１３とを設けている。

〔作用〕

グリンシート１を治具２上の所定位置に載置して真空吸
着して、フィルム剥離装置の押えローラ３と剥離ローラ
４との間にフィルムの一端部を挟んでから定速度駆動装
置１２を定速度駆動装置１２を順行作動させてスライダ
５・６、剥離ローラ４及び押えローラ３をグリーンシー
ト１の一端部から他端の方向（第１図及び第２図上、右
方向への進行）に移動させると、剥離ローラ４が同期装
置１３によってスライダ５・６の進行速度に剥離ローラ
４の周面速度が同調するように回転する。

従って、剥離ローラ４と押えローラ３との間に扶持され
たフィルムは剥離ローラ４の周面速度及びスライダ５・
６の進行速度と同じ速度でグリーンシート１の表面から
剥離されて行《。

〔実施例〕

本発明の一実施例に係るフィルム剥離装置を第１図ない
し第４図に基づき説明すれば、以下の通りである。

このフィルム剥離装置は、グリーンシート１を載置する
治具２と、治具２に載置されるグリーンシート１の位置
及び方向を規制する基準部１１と、治具２の上方でグリ
ーンシートｌの上面に貼られたフィルムの上面に転接さ
れる剥離ローラ４と、剥離ローラ４の両端部をその軸心
回りに回転自在に支持する１対のスライダ５・６と、治
具２の剥離ローラ軸心方向両側に設けられ、各スライダ
５・６を剥離ローラの軸心に直角な方向に摺動案内する
ガイドバー７・８とを備えている。

上記治具２はその上面に載置したグリーンシートを真空
吸着して固定するように構成されている。

また、上記基準部１１は、治具２の上面にグリーンシー
トの外形に合わせて貼られたテープからなっている。

上記１対のスライダ５・６ば連結枠ｌ４を介して互いに
固定され、剥離ローラ４を連結枠１４に固定した１対の
軸受１５・１６に回転可能に支持させることにより、両
スライダ５・６に軸心位置を固定して回転可能に支持さ
せている。なお、連結枠１４の上面には、剥離ローラ４
の順行方向に伸びるフィルム受板１７が固定され、剥離
ローラ４よりグリーンシート１から剥離されたフィルム
をこのフィルム受板ｌ７の上面に載せるようにしている
。

両スライダ５・６には、剥離ローラ４に接離される押え
ローラ３がアーム９を介して揺動可能に支持され、この
押えローラ３は、剥離ローラ４に転接するセント位置と
、剥離ローラ４から離れた解除位置とに切替付勢バネ１
０に切替付勢されるようにしている。

上記治具２の剥離ローラ軸心方向の一側に両スライダ５
・６を所定の速度で駆動する定速度駆動装置１２が設け
られる。

この定速度駆動装置１２は、両スライダ５・６を所定の
速度で駆動するように構成してあればよく、例えば、定
速度回転するモータ１２ａと、これに連結された駆動ス
クリュー軸１２ｂと、駆動スクリュー軸１２ｂに螺進退
可能に螺合するとともに両スライダ５・６のうちの一方
のスライダ５に固定されたナント１２Ｃとで構成される
。

なお・、この定速度駆動装置１２には、スライダ５が順
行方向の終点に達したことを検出するマイクロスイッチ
１２ｄと、スライダ５が逆行方向の終点に達したことを
検出するマイクロスイッチ１２ｅとを備えている。

また、このスライダ５の摺動案内をするガイドバー７と
平行に所定のストローク範囲にわたってラソク１３ａが
設けてあり、上記剥離ローラ４の軸４ａの先端に固定し
たビニオン１３ｂをこのラソクに噛み合わせることによ
り、スライダ５・６の進行速度に剥離ローラ４の周面速
度を同調させる同期装置ｌ３を構成されている。

更に、上記剥離ローラ４の周面と押えローラ３の周面と
はゴムで覆ってある。

このフィルム剥離装置を使用してフィルムを剥離する手
順は、以下の通りである。

まず、定速度駆動装置ｌ２を逆行作動させ、剥離ローラ
４を治具２のグリーンシート１を載せる領域外に移動さ
せてからフィルムを付着させたグリーンシー｝１を治具
ｌの上面に載置し、基準部１１にグリーンシートｌの端
縁を当接させてグリーンシート１を所定の位置で、所定
の方向に向けた後、真空吸着してグリーンシート１を治
具２の上面に固定する。

この後、定速度駆動装置１２を順行作動させて剥離ロー
ラ４をガイドバ−７．８に沿って治具２のグリーンシー
ト１を載せる領域外からグリーンシート１の一端部の位
置まで移動させ、押えローラ３を剥離ローラ４に接触す
るセント位置から剥離ローラ４から離れた解除位置に移
動させる。

また、この後、スライダ５・６の摺動方向の一方の端部
でフィルムの一端部をグリーンシート１から手で剥がし
、その一端部を押えローラ３と剥離ローラ４の間に挿入
し、押−えローラ３をセント位置に戻して押えローラ３
と剥離ローラ４との間にフィルムの一端部を挟む。

更にこの後、定速度駆動装１１２を順行作動させてスラ
イダ５・６、剥離ローラ４及び押えローラ３をグリーン
シート１の一端部から他端の方向に移動させる。

押えローラ３と剥離ローラ４との間にフィルムの一端部
を挟んでから定速度駆動装置１２を順行作動させてスラ
イダ５・６、剥離ローラ４及び押えローラ３をグリーン
シート１の一端部から他端の方向に移動させると、剥離
ローラ４は同期装置１３によってスライダ５・６の進行
速度に剥離ローラ４の周面速度が同調するように回転さ
れるので、剥離ローラ４と押えローラ３との間に扶持さ
れたフィルムは剥離ローラ４の周面速度及びスライダ５
・６の進行速度と同じ速度でグリーンシート１の表面か
ら剥離されて行く。

ここで、フィルムは定速度駆動装置１２により駆動され
る剥離ローラ４の周面との摩擦力によりグリーンシート
１から剥離され、しかも、剥離ローラ４が両スライダ５
・６に軸心位置を固定して回転可能に支持されているの
で、剥離ローラ４がを剥離する力によって上方に移動す
る恐れはなく、グリーンシート１を十分強力に治具２に
吸着させることができる。そして、この治具２の真空吸
着力によってグリーンシート１がフィルムにつられて治
具２の上面から浮上することが防止され、グリーンシー
ト１の変形が著しく小さくなる。

また、定速度駆動装置１２がスライダ５・６を所定の速
度で駆動するように構成されているので、各グリーンシ
ート１に剥離ローラ４から作用する力の分布が一定にな
り、各グリーンシートｌに生じる変形の分布が一定にな
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、定速度駆動装置
により駆動される剥離ローラの回転力でフィルムをグリ
ーンシートから剥離させるとともに、剥離ローラを両ス
ライダに軸心位置を固定して支持させているので、剥離
ローラがフィルムを剥がす力によって上方に移動する恐
れがなく、グリーンシートを治具に十分に吸着させるこ
とができる。これにより、グリーンシートがフィルムに
つられて治具から浮き上がることが防止され、グリーン
シートの変形が小さく抑えられる。

また、定速度駆動装置がスライダを所定の速度で駆動す
るように構成してあるので、各グリーンシートに剥離ロ
ーラから作用する力の分布が一定になり、各グリーンシ
ートに生じる変形の分布が一定になる。

そして、これらの効果が相乗的に作用することにより、
後の積層工程でフィルムを剥離した多数のグリーンシー
トを積層した時に各グリーンシートのビア導体の位置が
ずれることが防止され、ビア導体の位置ずれによる導体
接続不良の発生を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るフィルム剥離装置の平
面図、第２図は第１図のＡ−Ａ線縦断側面図、第３図は
第１図のＢ−Ｂ線縦断正面図、第４図は第１図のＣ　−
　Ｃ線縦断面図、第５図は従来のフィルム剥離装置の平
面図、第６図はその要部の側面図である。 図中、 １ １ １ ■・・・グリーンシート、 ２・・・治具、 ３・・・押えローラ、 ４・・・剥離ローラ、 ５・・・スライダ、 ６・・・スライダ、 ７・・・ガイドパー ８・・・ガイドパー １・・・基準部、 ２・・・定速度駆動装置、 ３・・・同期装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１〕　グリーンシート（１）を載置する治具（２）と
   、治具（２）に載置されるグーンシート（１）の位置及
   び方向を規制する基準部（１１）と、治具（２）の上方
   でグリーンシート（１）の上面に貼られたフィルムの上
   面に転接される剥離ローラ（４）と、剥離ローラ（４）
   の両端部をその軸心回りに回転自在に支持する１対のス
   ライダ（５）・（６）と、治具（２）の剥離ローラ軸心
   方向両側に設けられ、各スライダ（５）・（６）を剥離
   ローラ（４）の軸心に直角な方向に摺動案内するガイド
   バー（７）・（８）とを備えたフィルム剥離装置におい
   て、 上記剥離ローラ（４）を両スライダ（５）・（６）に軸
   心位置を固定して回転可能に支持させるとともに、両ス
   ライダ（５）・（６）に押えローラ（３）を剥離ローラ
   （４）に接離可能に支持させ、治具（２）の剥離ローラ
   軸心方向の少なくとも一側にスライダ（５）・（６）を
   剥離ローラ軸心に直角な方向に所定の速度で駆動する定
   速度駆動装置（１２）と、スライダ（５）・（６）の進
   行速度に剥離ローラ（４）の周面速度を同調させる同期
   装置（１３）とを設けたことを特徴とするフィルム剥離
   装置。