JPH03219206A

JPH03219206A - 空気軸受型光偏向器

Info

Publication number: JPH03219206A
Application number: JP16557790A
Authority: JP
Inventors: Yukio Itami; 幸男伊丹; Mitsuo Suzuki; 光夫鈴木; Yoshio Hashimoto; 橋本　芳男; Teruo One; 大根　輝雄; Kenichi Hoshi; 健一星; Hidetoshi Sakae; 英利寒河江
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1989-09-22
Filing date: 1990-06-26
Publication date: 1991-09-26
Anticipated expiration: 2014-02-17
Also published as: JP2857474B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はレーザプリンタやデジタル複写機の光書込装置
に使用され、光に変調された信号を偏向させる空気磁気
軸受型の光偏向器に関する。

〔従来の技術〕

ポリゴンミラーを用いた回転鏡式の光偏向器は、大きな
偏向角が得られるので、レーザプリンタやデジタル複写
機などの光書込装置に広く利用されている。

この種の光偏向器の偏向速度は回転数に依存するので、
高い分解能を得るためには数万回転、例えば３００００
ｒｐｍという高回転速度でポリゴンミラーを回転させる
必要がある。このような高回転速度を実現する軸受とし
ては、軸受摩擦の小さいことが要求され、一般に空気磁
気型軸受が用いられている。

特公昭５３−６８５４号公報には、上部にポリゴンミラ
ーが固定された回転軸を半径方向に動的空気圧で軸支す
る動的空気ラジアル軸受と、回転軸の下部に設けられ、
永久磁石の磁気反発力で回転軸を軸方向に浮上させて軸
支する反発磁気スラスト軸受とを備えた回転鏡光偏向器
が開示されている。

この開示に係る回転鏡光偏向器は、反発磁気スラスト軸
受が、回転軸の下部に設けられた単純反発型の軸受であ
るため剛性が弱いという問題がある。また、反発磁気ス
ラスト軸受の構成のために、ホルタやダンパ部品などの
専用部品が必要で、部品点数が多くコスト高となると共
に、反発磁気スラスト軸受の占有空間が大きくなり、装
置全体が大型化するという問題がある。

これらの問題の一部を解決するために、本出願人は、回
転体の上部、ケースの上壁内面及び固定軸の上部間に反
発磁気スラスト軸受を設けた空気磁気軸受型光偏向器を
特願昭６２−９２０４８として提案した。

第１５図は、この提案に係る従来の空気磁気軸受型光偏
向器の構成を示す断面図である。既提案に係る光偏向器
は、台座２０に固定軸１７の下端部が圧入固着され、固
定軸１７の軸方向の周面には上部へリングボーン溝１７
ａが、また、軸方向下部の周面には下部へリングボーン
溝１７ｂがそれぞれ形成されている。固定軸１７の上端
面にはホルダ１８が固定され、さらにこのホルダ１８に
第１のマグネット１９が取り付けられている。固定軸１
７の外側には、筒状の回転軸（体）１１が遊嵌され、こ
の回転軸１１の下部にはロータマグネット１６が固定さ
れている。回転軸１１の上部にはマグネットホルダ１２
が固定され、このマグネットホルダ１２に第２のマグネ
ット１３が固着されている。また、ホルダ１２の上面に
は上下振動減衰用の微細孔１２ａが形成されている。

回転軸１１のほぼ中央部にはフランジＩＩＦが一体に形
成され、このフランジＩＩＦ上にポリゴンミラーＩ５が
載置され、さらにミラー押え１４によって回転軸１１に
固定されている。

一方、台座２０にはポリゴンミラー１５を囲むようにし
て枠体２１が固定され、この枠体２１の解放面がカバー
２２で覆われている。このカバー２２の内壁の第２のマ
グネット１３と対向する位置には第３のマグネット２３
が固定されている。

また、枠体２１のロータマグネット１６に対向する位置
には、ステータヨーク２５が固定されている。

ここで、回転軸１１に固定されているロータマグネット
１６と、枠体２１に固定されているステータヨーク（ス
ロット鉄心）２５と、コイル部２４とを主構成要素とし
て、インナーロータ型のモータが構成され、励磁切り換
えによりポリゴンミラー１５が回転軸１１と一体に回転
するようになっている。また、第３のマグネット２３、
第２のマグふット１３および第１のマグネット１９の各
対向面の磁極は、同極性となっていて、これらのマグネ
ット１３，１９．２３によってスラスト磁気軸受が形成
され、第１および第３のマグネツ目９２３から第２のマ
グネット１３が受ける反発力により、回転軸１１は軸方
向に浮遊し、軸支されている。そして、上部へリングボ
ーン溝１７ａおよび下部へリングボーン１１７ｂが形成
された固定軸１７と、これに近接対向して回転する回転
軸１１とによって、動的に空気圧を上昇させて動的空気
圧で回転軸１１をラジアル方向に軸支する動的空気ラジ
アル軸受が構成されている。

さらに、ロータマグネット１６の下部には、回転体の釣
合いをとるためのバランススリングＲが装着されている
（これと同様の機能は、ミラー押さえ１４も有している
）。なお、図中符号Ｈはロータマグネット１６の回転を
検出するためのホール素子である。

第１６図は第１５図の台座と枠体の支持構造を示す断面
図であり、枠体２１の内周縁が嵌入可能なように、台座
２０には嵌合段部２０ａが設けられており、嵌合段部２
０の外周面に枠体２１の嵌合穴２１ａの内周面が接する
ようにされている。

また、この従来の空気磁気軸受型光偏向器では、精度よ
く仕上げられた中空回転軸１１の外周面によりポリゴン
ミラー１５を位置決めし、フランジ１１Ｆで係止する方
法が取られている。

ところで、ポリゴンミラー１５を超高速回転させる中空
回転軸１１の外周面は、内周面との同軸度を高精度に仕
上げる必要があり、内径基準に合わせて研削加工をして
いる。これは、ポリゴンミラ−１５各面の半径方向のバ
ラツキを小さくするため、およびバランス修正が可能な
初期手釣り合い量とするためである。

この従来の空気磁気軸受型光偏向器によると、反発磁気
スラスト軸受は、第２のマグネット１３が、第３のマグ
ネット２３および第１のマグネット１９からそれぞれ反
発力を受ける構成なので、剛性が強くポリゴンミラー１
５を安定に、前述のように、３００００ｒｐｍという高
回転速度で回転することが出来る。

一方、このようなフランジｌｌａを中間位置に形成した
従来の中空回転軸１１においては、その研削加工は、加
工機の構造上、回転軸固定−研削一回転軸取り外し・向
き変更・回転軸固定−研削−完了のような工程を経てい
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

このように、本出願人か提案している空気磁気軸受型偏
向器によると、特公昭５３−６８５４号公報に開示され
ている回転鏡光偏向器の単純反発型の軸受の剛性が弱い
という問題は解決される。

しかし既提案に係る空気磁気軸受型偏向器では、回転軸
の上端部に配置されるスラスト軸受が軸方向に長く、部
品点数も多くなっており、小型化、低コスト化について
の配慮は特にされていなかった。

また、前述のような研削加工工程をとると中空の回転軸
１１の研削加工工程の途中で、回転軸１１を加工機に対
して脱着する必要があるため、段取りも含めて加工時間
がかかり、フランジの左右の同軸度も出し難いという問
題も指摘されていた。

さらには、フランジ部を形成するためのブランク加工に
も時間がかかり、材料も切粉となる不要部分が多かった
。

加えて、ポリゴンミラー１５の取り付は位置が中空回転
軸１１の中間部のため、無駄な上方空間が多くなり、小
型化への対応が遅れていた。

本発明は、このような光偏向器の現状に鑑みてなされた
もので、その第１の目的は軸方向の長さを短縮して全体
を小型化し、部品点数を削減することが出来る空気軸受
型光偏向器を提供することにある。

また、第２の目的は中空回転軸を鍜造加工が可能な形状
として、加工コストの低減を図ることができる空気軸受
型光偏向器を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記第１および第２の目的は、固定軸と、この固定軸に
外挿する中空部が形成された回転軸と、固定軸の先端部
とこれに対向する中空部の端部側との間に設けられ、回
転軸を軸方向で支承する支承手段と、中空部の内周面と
固定軸の外周面との間に形成されたラジアル空気軸受と
、回転軸に固定されたポリゴンミラーと、回転軸を回転
駆動する駆動手段とを備え、駆動手段を介して回転軸を
回転駆動し、ポリゴンミラーに照射される光を偏向する
空気軸受型光偏向器において、回転軸にポリゴンミラー
を固定するフランジを形成し、固定軸側の支承手段の上
端部がポリゴンミラーの上端面よりも低くなるように設
定することによって達成される。

この場合、支承手段は、固定軸の先端面に直接取り付け
た第１のマグネットと、第１のマグネットに対向して回
転体の中空部に取り付けた第２のマグネットと、第２の
マグネットに対向してポリゴンミラーを覆うケーシング
側に取り付けた第３のマグネットとを互いに磁気反発力
を発生する磁極が対向するように設けることによって構
成することができる。

また、支承手段を、固定軸上端に設けられた動圧スラス
ト空気軸受によって構成することもできる。

さらには、支承手段を、回転軸の回転によって発生する
上昇動圧空気流から浮上力を得、回転軸を固定軸から離
間した状態で支承するように構成することもできる。

上記第１の目的は、第１の手段におけるフランジを回転
軸の先端部に一体的に形成することによって、また、第
１の手段におけるポリゴンミラーを回転軸の先端部に固
定することによっても達成される。

〔作　用〕

上記手段によれば、中空回転軸に固定されるポリゴンミ
ラーを係止するフランジ部は、中空回転軸の先端（上端
）に形成されるか、あるいは中空回転軸の先端部に設け
られるポリゴンミラーに続いて一体に形成される。いず
れにしても、このフランジ部は中空回転軸の先端部分に
形成されることになり、中空回転軸の加工工程において
、加工機に回転軸を一部セットすればその後取り外して
再度段取りをする必要がなくなるので、効率の良い加工
が可能になるとともに、支承手段の上端部がポリゴンミ
ラーの上端面よりも低くなるようにしであるので、上方
に無駄な空間が存在しないことになる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図ないし第３図は、それぞれ本発明の第１の実施例
ないし第３の実施例の構成を示す一部断面説明図、第４
図および第５図は、それぞれ第１図および第２図の要部
説明図である。なお、以下の説明において前述の従来例
と同等の構成には同一の参照符号を付し、説明は適宜省
略する。

第１図に示すように、第１の実施例では固定軸１７Ａに
遊嵌される回転軸１１Ａの上端部にフランジ１１Ｆが形
成され、このフランジＩＩＦの下面にポリゴンミラー１
５が、またフランジＩＩＦの上面にホルダ３１がそれぞ
れ当接した状態でボルト２６によって回転軸１１Ａに固
定されている。

ホルダ３１には第２のマグネット１３が固定され、ホル
ダ３１の中心位置に、上下振動減衰用の微細孔３２が形
成されている。また、第４図に示すように、固定軸１７
Ａの上端面に凹部４０が形成され、この凹部４０に第１
のマグネット１９が埋め込まれて固定されている。

台座２０に固定される枠体２１Ａの上部には、フランジ
４１が一体に形成され、このフランジ４１にキャップ型
のカバー２２Ａが固定され、カバー２２Ａの内壁に第３
のマグネット２３が取り付けられている。

第６図は第１の実施例の台座部の構造を示す断面図であ
り、第１の実施例は、第１図に示すように、固定軸１７
Ａの台座２０の上面が平面にされ、この周辺部に枠体２
１Ａの下面がｍ構造をとっているが、枠体２１Ａが台座
２０に対して正確な位置に固定できるように、第６図に
示す如く、枠体２１Ａの下面に浅い嵌合穴部２１ｂが形
成されている。嵌合穴部２１ｂの内径は、台座２０の外
径と路間−にされ、この嵌合穴部２１ｂの上面全体が台
座２０の上面に接するようにされている。また、嵌合穴
部２１ｂの側部は、台座２０の円周面である嵌合部２０
ｄの上縁に接するようにされている。

第７図及び第８図はそれぞれ台座部の他の構造例を示す
断面図であり、第１の実施例において台座部をこのよう
な構造とすることもできる。

第７図では、嵌合部２０ｄの上縁に嵌合穴部２１ｂの深
さで、かつ半径方向へＯ〜１ｆｌの範囲内の溝状の嵌合
部２０ｅを設けている。

また、第８図では、嵌合部２０ａに対し、嵌合穴部２１
ｂの内周に接する部分を除いて、これにより下部を半径
方向にＯ〜１ｆｌを切削除去し、嵌合部２０ｆとしたも
のである。

このような構成とすることにより、台座２０と枠体２１
Ａの嵌合を、さらに確実にすることが可能になる。

第１の実施例のその他の部分の構成は、すでに第１５図
及び第１６図で説明した従来の空気磁気軸受型光偏向器
と同一である。

第１の実施例では、第１のマグネット１９を、固定軸１
７Ａの凹部４０に直接埋め込んで固定した構成なので、
第１のマグネット１９用の別体のホルダが不要で、部品
点数を削減することが出来る。また、従来の空気磁気軸
受型光偏向器では、高速回転する回転軸に取り付けるた
め、このホルダに要求される部品公差は厳しく、回転軸
との締結のためにタップ加工が必要で、製造コストでも
問題があった。しかし、この第１の実施例では、部品点
数が削減され、前述のコスト高につながるホルダ加工作
業が不要となるために、全体の製造コストの低減が可能
である。

さらに、第１のマグネット１９用の別体ホルダが省略さ
れ、第２のマグネット１３のホルダ３１も薄型化されて
いるので、軸方向の長さも短縮され、全体の小型化が可
能となる。

また、第１の実施例によれば台座２０の上面を平面にで
きるため、従来のような丸棒からの挽き加工が不要にな
り、丸棒素材をスライス加工するのみで製作できる。こ
の結果、製造が容易になると共に、コストダウンを図る
ことができる。

第２の実施例は、第２図および第５図に示すように、固
定軸１７Ｂの上端面に凸部４５を一体に形成し、この凸
部４５の外周に第１のマグネット１９を固定したもので
ある。また、第２の実施例では、枠体２１Ｂのフランジ
４１Ｂにリング状の枠体４３が固定され、この枠体４３
の開放面を覆うようにカバー２２Ｂが枠体４３に固定さ
れ、このカバー２２Ｂの内壁に第３のマグネット２３が
取り付けられている。

固定軸１７Ｂに遊嵌される回転軸１１Ｂは、固定軸１７
Ｂより僅かに長く、先端に形成されたフランジＩＩＧの
上面にポリゴンミラー１５が、またホルダ３３を介しボ
ルト２６によって回転軸１１Ｂに固定されている。この
ホルダ３３に第２のマグネット１３が固定されている。

第２の実施例では、凸部４５の外径加工が第１の実施例
の凹部４０の内径加工よりも容易に行われ、製造コスト
を第１の実施例よりも低減させることが出来る。

第２の実施例のその他の部分の構成および効果はすでに
第１図を用いて説明した第１の実施例と同様である。

第３の実施例は、第３図に示すように固定軸１７Ｃの上
面に凹部４６が形成され、この凹部４６の底面に第１の
マグネット１９を固定し、第２のマグネット１３が固定
されるホルダ３４は、凹部４６に挿入される筒状部３４
ａを備えている。また、カバー２２Ｃには中心部に第３
のマグネット２３が固定される円柱部４８が形成されて
いる。

第３の実施例では、第３のマグネット２３、第２のマグ
ネット１３および第１のマグネット１９からなるスラス
ト軸受を、固定軸１７Ｃの凹部４６内に設け、ポリゴン
ミラー１５の上面とカバー２２０の上面間距離を短縮し
、小型化が実現される。

第３の実施例のその他の部分の構成及び効果は、第２図
を用いて説明した第２の実施例と同一である。

一般に、この種の光偏向器が適用されるレーザプリンタ
やデジタル複写機の光書込装置では、ポリゴンミラーか
ら上方はスペースが狭く、ポリゴンミラーの上面から装
置の上面までの長さが短いことが望まれている。

前述したように、第１の実施例ないし第３の実施例では
軸方向の長さが短縮されるが、ポリゴンミラー１５の上
面位置ｙ２と下部スラストマグネット１９の下面位置ｙ
１との距離は、それぞれ１１．１２．１３であり、これ
ら間にはｇｌ＜７！２＜、ｉ＋３の関係がある。

第９図は本発明の第４の実施例の構成を示す説明図であ
り、マグネットホルダ兼用のフランジ１１Ｆが回転軸１
１Ａの先端部（上端部）に形成されている。そして、ポ
リゴンミラー１５はこのフランジＩＩＦとミラー押さえ
１４により挟持されて固定されている。

第１０図は本発明の第５の実施例の構成を示す説明図で
あり、この実施例の場合、回転軸１１Ａの先端に形成し
たフランジＩＩＦの上面にポリゴンミラー１５を載置し
、さらに、その内筒部１４ａを回転軸１１Ａの内周部に
嵌合させて位置決めされるミラー押さえ１４によりポリ
ゴンミラー１５を上方から押さえ、挟持している。具体
的には、ネジ２７を、ミラー押さえ１４とポリゴンミラ
ー１５を挿通してフランジＩＩＦに螺合させることによ
り、ポリゴンミラー１５を固定している。

なお、第１０図に示す実施例では中空の回転軸１１Ａの
内径とポリゴンミラー１５の内径とが等しくなっている
が、異なる場合であっても、ミラー押さえ１４の内筒部
１４ａの形状を変えて対処できる。

さらに、このミラー押さえ１４は磁石１３を保持してお
り、マグネットホルダとしての機能も持っている。また
ミラー押さえ１４の中央には、オリフィス用微細穴２８
が形成されており、スラスト軸受にダンピング特性を持
たせるようにしている。

これら第４及び第５の実施例のその他の部分の構成は、
すでに第１図を用いて説明した第１の実施例と同一であ
る。

このように、いずれにしてもフランジＩＩＦを中空の回
転軸１１Ａの先端部に形成することで、ブランク切削加
工や同軸度を確保するための研削加工において、途中で
の加工機への着脱が不要になり、加工工程は回転軸固定
−切削・研削−完了のように短縮できるため、加工コス
トが安くなる。

また形状形成の方法も鍜造加工が可能となり、その結果
ブランク切削加工量も少なくでき、加工時間短縮、材料
の無駄を省（ことができるため、加工コストが安くなる
。

また、ポリゴンミラー１５の係止位置をより高くするこ
とができるので、より上方空間の小さいところでも使用
できる。

さらに、ミラー押さえ１４をポリゴンミラー１５と回転
軸１１Ａの内周部に圧入して固定する場合は、ポリゴン
ミラー１５の位置決めおよび係止をさらに正確に且つ簡
単に行うことができる。

また、ミラー押さえ１４にマグネットホルダの機能も持
たせ、且つオリフィス用微細穴２８を形成した場合は、
低コスト化、組立性の向上および磁石の位置決め精度の
向上を図ることができる。

第１１図は本発明の第６の実施例の構成を示す説明図、
第１２図は第１１図の固定軸の上端面の説明図である。

これらの図で示される第６の実施例は、アキシャル空気
軸受を形成する反発力発生手段を、マグネットでなく固
定軸の先端部の空気動圧としたもので、固定軸の先端部
に動圧スラスト空気軸受が構成されている。

この実施例では回転軸１１Ａの先端に形成したフランジ
１１Ｆの上面にポリゴンミラー１５を載置し、回転軸１
１Ａの内周部に内筒部１４ａを嵌合して位置決めされる
ミラー押さえＩ４により、ポリゴンミラー１５を回転軸
の軸心と同軸に位置決めし、上方より押さえて係止して
いる。具体的にはネジ２７をミラー押さえ１４、ポリゴ
ンミラー１５、フランジ１１Ｆにまたがって螺合するこ
とにより、ポリゴンミラー１５を係止固定している。こ
のミラー押さえ１４には、回転体不釣合修正用のバラン
ス修正溝１４ｂが形成されている。

また、回転軸１１Ａの中央にはロータマグネット１６が
嵌装され、さらにロータマグネット１６の下方に、バラ
ンス修正溝Ｒａを形成したバランスリングＲが装着され
ている。このようにして、ポリゴンミラー１５、ミラー
押さえ１４、ロータマグネット１６、バランスリングＲ
等が取り付けられた回転軸１１Ａが、動圧空気軸受型ポ
リゴンスキャナの回転体Ｍを構成している。この回転体
Ｍは不釣合による回転時の振動を小さくするために、上
下のバランス修正溝１４ｂ、Ｒａで数ｍｇ以下の不釣合
量にバランス修正されている。

モータ部はインナーロータ型といわれる方式のものであ
り、ロータマグネット１６、ステータヨーク２５、コイ
ル部２５ｃ、ホール素子Ｈ等で構成され、励磁切り換え
によりポリゴンスキャナの回転体Ｍが回転するようにな
っている。

第６の実施例では、回転軸１１Ａが嵌合されている固定
軸１７Ａの下端部は、台座２０と圧入固着あるいは焼き
ばめなどの方法で堅固に固定されている。前記固定軸１
７Ａの外周面には、ラジアル軸受を構成するためへリン
グボーン溝１７ａ。

１７ｂが、上下二対形成されている。

さらに、固定軸１７Ａの上端面には、スラスト軸受を構
成するためのスパイラル溝１７ｃが、第１２図に示すよ
うに形成されている。前記ラジアル軸受は回転体Ｍを半
径方向に支持し、このスラスト軸受は回転体Ｍを軸方向
に支持している。

そして回転体Ｍが回転を開始すると、回転軸１７Ａと固
定軸１７Ａの隙間の圧力が高まり、ラジアル動圧空気軸
受を形成すると共に、固定軸１７Ａ上端面とミラー押さ
え１４下端面の隙間の圧力が高まり、これにより動圧ス
ラスト空気軸受となって、半径方向及び軸方向に回転体
Ｍを非接触で支持する。

第１３図は本発明の第７の実施例の構成を示す説明図で
あり、回転軸１１Ａが遊嵌している固定軸１７Ａの下端
部は、台座２０と圧入固着或は焼きばめなどの方法で堅
固に固定されている。また、固定軸１７Ａの円周表面に
はラジアル軸受を構成するためのへリングボーン溝１７
ａ、１７ｂが形成されている。そして、回転体Ｍを構成
するミラー押さえ１４の下端は球面状に形成され、停止
時には固定軸１７Ａの上端面にこの球面が接触し、支持
される。

ここで、前記回転体Ｍが回転を開始すると、回転軸１１
Ａと固定軸１７Ａの隙間の圧力が高まり、ラジアル動圧
空気軸受が形成され、半径方向に回転体Ｍを非接触で支
持する。同時に、上側へリングボーン溝１７ａ、１７ｂ
により、上昇動圧空気流が発生し、回転体Ｍを軸方向に
も浮上させ、非接触で支持する。この第７の実施例のそ
の他の部分の構成及び動作は、すでに第１１図で説明し
た第６の実施例と同一である。

第１４図は本発明の第８の実施例の構成を示す説明図で
あり、回転軸１１Ａが遊嵌している固定軸１７Ａの下端
部は、台座２０と圧入固着或は焼きばめなどの方法で堅
固に固定されている。また、固定軸１７Ａの円周表面に
はラジアル軸受を構成するためのへリングボーン溝１７
ａ、１７ｂが形成されている。そして、固定軸１７Ａの
上端にはボールＢが配置され、停止時に回転体Ｍと接触
し、支持する。

そこで、回転体Ｍが回転を開始すると、回転軸１１Ａと
固定軸１７Ａの隙間の圧力が高まり、ラジアル動圧空気
軸受となって、半径方向に回転体Ｍを非接触で支持する
と共に、上側へリングボーン溝１７ａ、１７ｂにより発
生する上昇圧空気流により回転体Ｍを軸方向にも浮上さ
せ非接触で支持する。

前述の第６の実施例ないし第８の実施例では、回転軸１
１Ａの先端にフランジＩＩＦを形成しているので、途中
で加工機へ着脱する必要がなくなり、加工コストを低減
することができる。また、ミラー押さえ１４によりポリ
ゴンミラー１５を回転軸心と同軸に位置決めできるため
、ポリゴンミラー１５の反射面のバラツキを極めて小さ
く押さえることができる。

〔発明の効果〕

これまでの説明で明らかなように、上記のように構成さ
れた本発明によれば以下のような効果がある。

すなわち、回転軸にポリゴンミラーを固定するフランジ
を一体に形成するとともに、固定軸側の支承手段の上端
部がポリゴンミラーの上端面よりも低（なるように設定
した請求項１記載の発明によれば、回転軸の加工に際し
、付は換えなどの手間が省けるので加工が簡単になる。

また、固定軸側の支承手段の上端部がポリゴンミラーの
上端面よりも低くなるようにしであるので、ポリゴンミ
ラーの上部側の無駄な空間を最小限に抑えることが可能
になり、小型化を図ることができる。

支承手段を第１ないし第３のマグネットで構成し、第１
のマグネットを固定軸の先端面に直接、第２のマグネッ
トを回転体の中空部に、第３のマグネットをケーシング
側にそれぞれ取りつけた請求項２記載の発明によれば、
第１のマグネットが固定軸の先端面に直接取り付けられ
ているので、精密加工が要求される下部スラストマグネ
ット用ホルダが不要になり、部品点数の削減によって製
造コストの低減を図ることができる。

支承手段を固定軸上端に設けた動圧スラスト軸受によっ
て構成した請求項３記載、および支承手段を回転軸の回
転によって発生する上昇動圧空気流から得るように構成
した請求項４記載の発明によれば、固定軸の上端面に高
さのある部品を取り付ける必要がないので、その分、ポ
リゴンミラーの上部側の無駄な空間を最小限に抑えるこ
とが可能になり、小型化を図ることができる。

フランジを回転軸の先端部に一体的に形成した請求項５
記載の発明によれば、フランジを先端部に一体に形成す
るので、報道加工が可能になり、ブランク加工も簡単に
済み、加工に際してもワークを一旦段取りした後は付は
換える必要もなくなるので、加工効率が向上し。、コス
トの低減を図ることができる。

ポリゴンミラーを回転軸の先端部に固定した請求項６記
載の発明によれば、ポリゴンミラーの上方に無駄な空間
を最小限に抑えることが可能になり、小型化を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第１４図は本発明の詳細な説明する図で、
第１図、第２図および第３図はそれぞれ本発明の第１の
実施例ないし第３の実施例の構成を示す説明図、第４図
および第５図はそれぞれ第１図および第２図の要部説明
図、第６図は第１図ないし第３図の台座部の構造を示す
断面図、第７図および第８図は台座部の他の構造例を示
す断面図、第９図および第１０図はそれぞれ本発明の第
４の実施例および第５の実施例の構成を示す説明図、第
１１図は本発明の第６の実施例の構成を示す説明図、第
１２図は第１１図の固定軸の上端面の説明図、第１３図
および第１４図はそれぞれ本発明の第７の実施例および
第８の実施例の構成を示す説明図、第１５図は従来の空
気磁気軸受型光偏向器の構成を示す断面図、第１６図は
第１５図の台座と枠体の支持構造を示す断面図である。１１Ａ、ＩＩＢ・・・・・・回転軸、ＩＩＦ、ＩＩＧ・
・・・・・フランジ、１３・・・・・・第２のマグネッ
ト、１５・・・・・・ポリゴンミラー　１６・・・・・
・ロータマグネット、１７Ａ、１７Ｂ、１７Ｃ・・・・
・・固定軸、１７ａ・・・・・・上部へリングボーン溝
、１７ｂ・・・・・・下部へリングボーン溝、１９・・
・・・・第１のマグネット、２０・・・・・・台座、２
１Ａ、２１Ｂ・・・・・・枠体、２２Ａ、２２Ｂ。２２Ｃ・・・・・・カバー、２３・・・・・・第３のマ
グネット、２５・・・・・・ステータヨーク、３１・・
・・・・ホルダ、３２・・・・・・微細孔、３３．３４
・・・・・・ホルダ、３４ａ・・・・・・筒状部、４０
・・・・・・凹部、４１Ｂ・・・−・・フランジ、４３
・・・・・・枠体。覧〜＼到シ図９第５図Ｌ−−１−ｍ＝に＼第図第図第図第１０図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）固定軸と、この固定軸に外挿する中空部が形成さ
れた回転軸と、固定軸の先端部とこれに対向する中空部
の端部側との間に設けられ、回転軸を軸方向で支承する
支承手段と、中空部の内周面と固定軸の外周面との間に
形成されたラジアル空気軸受と、回転軸に固定されたポ
リゴンミラーと、回転軸を回転駆動する駆動手段とを備
え、駆動手段を介して回転軸を回転駆動し、ポリゴンミ
ラーに照射される光を偏向する空気軸受型光偏向器にお
いて、回転軸にポリゴンミラーを固定するフランジを一
体に形成するとともに、固定軸側の支承手段の上端部が
ポリゴンミラーの上端面よりも低くなるように設定した
ことを特徴とする空気軸受型光偏向器。
（２）支承手段が、固定軸の先端面に直接取り付けられ
た第１のマグネットと、第１のマグネットに対向して回
転体の中空部に取り付けられた第２のマグネットと、第
２のマグネットに対向してポリゴンミラーを覆うケーシ
ング側に取り付けられた第３のマグネットとからなり、
これらのマグネットが互いに磁気反発力を発生する磁極
が対向するように設けられていることを特徴とする請求
項１記載の空気軸受型光偏向器。
（３）支承手段が、固定軸上端に設けられた動圧スラス
ト空気軸受であることを特徴とする請求項１記載の空気
軸受型光偏向器。
（４）支承手段が、回転軸の回転によって発生する上昇
動圧空気流から浮上力を得、回転軸を固定軸から離間し
た状態で支承する浮上支承手段からなることを特徴とす
る請求項１記載の空気軸受型光偏向器。
（５）フランジが回転軸の先端部に一体的に形成されて
いることを特徴とする請求項１記載の空気軸受型光偏向
器。
（６）ポリゴンミラーが回転軸の先端部に固定されてい
ることを特徴とする請求項１記載の空気軸受型光偏向器
。