JPH03221853A - Ｘ線光電子分析装置 - Google Patents
Ｘ線光電子分析装置Info
- Publication number
- JPH03221853A JPH03221853A JP2017466A JP1746690A JPH03221853A JP H03221853 A JPH03221853 A JP H03221853A JP 2017466 A JP2017466 A JP 2017466A JP 1746690 A JP1746690 A JP 1746690A JP H03221853 A JPH03221853 A JP H03221853A
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- Japan
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- sample stage
- peak
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- energy
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＸ線光電子分光測定装置に関する。
−スト等で接着固定してＸ＆’ｆｆ照射を行っていた。
Ｘ線は試料面上の一個所に集中させることができないの
で、試料が小さいときは、照射Ｘ線の一部は試料台をも
照射し、試料台からもＸ線光電子が放出される。従来は
上述したように試料と試料台とを導通させて同電位に保
つようにしていたので、試料から放射させるＸ線光電子
と試料台から放射されるＸｎ光電子のエネルギーが近接
しているときは、電子のエネルギースペクトル上で、試
料から放射されるＸ線光電子ビークＳと試料台から放射
されるＸ ＆’！光電子のビークＴが第３図のように重
なり、両者を識別して検出することが困難であり、試料
中の元素の定量が困難であった。
で、試料が小さいときは、照射Ｘ線の一部は試料台をも
照射し、試料台からもＸ線光電子が放出される。従来は
上述したように試料と試料台とを導通させて同電位に保
つようにしていたので、試料から放射させるＸ線光電子
と試料台から放射されるＸｎ光電子のエネルギーが近接
しているときは、電子のエネルギースペクトル上で、試
料から放射されるＸ線光電子ビークＳと試料台から放射
されるＸ ＆’！光電子のビークＴが第３図のように重
なり、両者を識別して検出することが困難であり、試料
中の元素の定量が困難であった。
（発明が解決しようとする課題〉
Ｘ線光電子分光測定で試料台がＸ線照射を受けることに
より試料台から放射されるＸ線光電子の測定上の妨害作
用を解消しようとするものである。
より試料台から放射されるＸ線光電子の測定上の妨害作
用を解消しようとするものである。
〈課題を解決するための手段）
試料と試料台との間を絶縁し、試料台に任意適当な可変
電圧を印加するようにした。
電圧を印加するようにした。
（作用）
試料と試料台との間が絶縁されていると、Ｘ線照射によ
り試料から電子が放出されても、試料台の方からの電荷
の補給が殆んどないかあってもきわめてわづかの電荷補
給しかないから、試料は試料台とは異る電位ｌこなる。
り試料から電子が放出されても、試料台の方からの電荷
の補給が殆んどないかあってもきわめてわづかの電荷補
給しかないから、試料は試料台とは異る電位ｌこなる。
そこで試料および試料台の夫々からＸ線光電子が放出さ
れるときの各Ｘ線光電子のエネルギーが仮に等しいとし
ても、電子エネルギー分析器に入射する迄の各Ｘ線光電
子の加速エネルギーの間には試料と試料台との間の電位
差だけの差が生じ、エネルギースペクトル上で両電子の
ピーク１ま明確に分離されて現われる。
れるときの各Ｘ線光電子のエネルギーが仮に等しいとし
ても、電子エネルギー分析器に入射する迄の各Ｘ線光電
子の加速エネルギーの間には試料と試料台との間の電位
差だけの差が生じ、エネルギースペクトル上で両電子の
ピーク１ま明確に分離されて現われる。
試料台には可変電圧が印加されているので、その電圧を
調節することにより、試料がエネルギー分析器に対して
最適の電位となるように試料電位を調節することが可能
である。
調節することにより、試料がエネルギー分析器に対して
最適の電位となるように試料電位を調節することが可能
である。
（実施例）
第１図に本発明の一実施例を示す。１は試料台で可変電
圧源２を介して接地されている。Ｓは試料で、試料より
も小さな寸法の両面接着テープ３で試料台１に固定され
ている。４はＸ線源で試料にＸ線を照射する。５はエネ
ルギー分析器であり、その中心電位は接地電位に設定し
てあり、６はエネルギー分析器５に印加する電圧の電圧
源で、その出力電圧を換えることによりエネルギー走査
が行われる。７は電子検出器で、８はエネルギースペク
トル表示装置である。
圧源２を介して接地されている。Ｓは試料で、試料より
も小さな寸法の両面接着テープ３で試料台１に固定され
ている。４はＸ線源で試料にＸ線を照射する。５はエネ
ルギー分析器であり、その中心電位は接地電位に設定し
てあり、６はエネルギー分析器５に印加する電圧の電圧
源で、その出力電圧を換えることによりエネルギー走査
が行われる。７は電子検出器で、８はエネルギースペク
トル表示装置である。
試料にＸ線を照射すると試料からＸ、Ｉ光電子が放出さ
れる。試料Ｓと試料台１との間は両面接着テープ３で絶
縁されており、ごくわづかなリーク電流が流れるだけで
あるから、試料Ｓは試料台１より正電位側にＶ′だけ高
電位に充電された状態でＸ線光電子放射電流とリーク電
流とがバランスする。そこで可変電圧源２を調節して試
料台１を一■°ボルトに設定すれば、試料Ｓは接地電位
となる。しかし実際上、試料Ｓと試料台１との間の電位
差は不明であるから、エネルギ・−分析器５でエネルギ
ー走査を繰返しながら、電圧源２を調節して、分析上最
も良さそうな電圧を探して、その電圧に設定する。第２
図は本発明によって得られるエネルギースペクトルの一
例を示す。Ｔは試料台１から放射されるＸｖｐ、光電子
のピーク、Ｓが試料から放射される分析対象のＸ線光電
子のピーク、Ｋは試料に含まれる既知元素から放射され
るＸ線光電子のピークである。点線ピーク１゛′は試料
Ｓと試料台１とを導通させた従来の分析法による場合の
試料台１からのＸ線光電子のピークで試料について分析
しようとするピークＳと裾の方が重なっていて、ピーク
Ｔ′とＳとの合成ビークは鎖！＋１１Ｑのようになり、
試料台によるピークと試料のピークとを分別検出するこ
とができない。本発明の場合、′ｒ′とＴとの間には試
料台１と試料Ｓとの間の電位差Ｖ°に相当するだけのエ
ネルギー差があり、ピーク１゛とＳとは充分に分離され
ている。しかしこれだけでは試料Ｓとエネルギー分析器
間の電位差が不明であり、各ビーク間の相対的エネルギ
ー差は分ってもエネルギーの絶対値は不明である。こ＼
で試料中の既知元素のピークにのエネルギーが既知であ
るから、それを基準にして試料中の未知元素のピークＳ
のエネルギーが判明し、元素同定が可能となる。
れる。試料Ｓと試料台１との間は両面接着テープ３で絶
縁されており、ごくわづかなリーク電流が流れるだけで
あるから、試料Ｓは試料台１より正電位側にＶ′だけ高
電位に充電された状態でＸ線光電子放射電流とリーク電
流とがバランスする。そこで可変電圧源２を調節して試
料台１を一■°ボルトに設定すれば、試料Ｓは接地電位
となる。しかし実際上、試料Ｓと試料台１との間の電位
差は不明であるから、エネルギ・−分析器５でエネルギ
ー走査を繰返しながら、電圧源２を調節して、分析上最
も良さそうな電圧を探して、その電圧に設定する。第２
図は本発明によって得られるエネルギースペクトルの一
例を示す。Ｔは試料台１から放射されるＸｖｐ、光電子
のピーク、Ｓが試料から放射される分析対象のＸ線光電
子のピーク、Ｋは試料に含まれる既知元素から放射され
るＸ線光電子のピークである。点線ピーク１゛′は試料
Ｓと試料台１とを導通させた従来の分析法による場合の
試料台１からのＸ線光電子のピークで試料について分析
しようとするピークＳと裾の方が重なっていて、ピーク
Ｔ′とＳとの合成ビークは鎖！＋１１Ｑのようになり、
試料台によるピークと試料のピークとを分別検出するこ
とができない。本発明の場合、′ｒ′とＴとの間には試
料台１と試料Ｓとの間の電位差Ｖ°に相当するだけのエ
ネルギー差があり、ピーク１゛とＳとは充分に分離され
ている。しかしこれだけでは試料Ｓとエネルギー分析器
間の電位差が不明であり、各ビーク間の相対的エネルギ
ー差は分ってもエネルギーの絶対値は不明である。こ＼
で試料中の既知元素のピークにのエネルギーが既知であ
るから、それを基準にして試料中の未知元素のピークＳ
のエネルギーが判明し、元素同定が可能となる。
本発明の場合、試料はＸ線照射により帯電することにな
るが、試料に電子線を照射する電子線源を設け、試料の
帯電を中和する方法を併用してもよい。
るが、試料に電子線を照射する電子線源を設け、試料の
帯電を中和する方法を併用してもよい。
（発明の効果〉
本発明によれば寸法の小さな試料で、試料台が試料から
はみ出してＸｖＡ照射を受けるような場合であっても、
エネルギースペクトル上で試料台からのＸ線光電子のピ
ークを試料成分のピークより分離することが可能となる
ため、照射Ｘ線を試料だけを照射するよ・うに小さな試
料よりも更に細く絞るような必要がなく、試料全体をＸ
線照射して、試料全体から放射されるＸ線光電子をエネ
ルギー分析器に導入できるので信号強度を上げることが
でき、分析感度が向上できる。
はみ出してＸｖＡ照射を受けるような場合であっても、
エネルギースペクトル上で試料台からのＸ線光電子のピ
ークを試料成分のピークより分離することが可能となる
ため、照射Ｘ線を試料だけを照射するよ・うに小さな試
料よりも更に細く絞るような必要がなく、試料全体をＸ
線照射して、試料全体から放射されるＸ線光電子をエネ
ルギー分析器に導入できるので信号強度を上げることが
でき、分析感度が向上できる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成国、第２図は同実
施例によるＸ線光電子のエネルギースペクトル図、第３
図は従来例の問題点を説明するグラフである。 １・・・試料台、２・・・電圧源、３・・・両面接着テ
ープ、４・・・Ｘ線源、５・・・電子エネルギー分析器
、６・・・電子検出器、７・・・表示装置。
施例によるＸ線光電子のエネルギースペクトル図、第３
図は従来例の問題点を説明するグラフである。 １・・・試料台、２・・・電圧源、３・・・両面接着テ
ープ、４・・・Ｘ線源、５・・・電子エネルギー分析器
、６・・・電子検出器、７・・・表示装置。
Claims (1)
- 試料台を電圧源を介して接地し、試料を絶縁層を介して
試料台上に設置するようにしたことを特徴とするＸ線光
電子分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017466A JPH07104301B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017466A JPH07104301B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03221853A true JPH03221853A (ja) | 1991-09-30 |
| JPH07104301B2 JPH07104301B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=11944796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017466A Expired - Lifetime JPH07104301B2 (ja) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Ｘ線光電子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104301B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07159367A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Nikkiso Co Ltd | 参照電極 |
| JP2010112873A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Jeol Ltd | 分光分析装置 |
| US8254737B2 (en) | 2004-08-23 | 2012-08-28 | Molex Incorporated | System and tapered waveguide for improving light coupling efficiency between optical fibers and integrated planar waveguides and method of manufacturing same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60113137A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Shimadzu Corp | Ｘ線光電子分光分析方法ならびにその装置 |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP2017466A patent/JPH07104301B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60113137A (ja) * | 1983-11-24 | 1985-06-19 | Shimadzu Corp | Ｘ線光電子分光分析方法ならびにその装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07159367A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Nikkiso Co Ltd | 参照電極 |
| US8254737B2 (en) | 2004-08-23 | 2012-08-28 | Molex Incorporated | System and tapered waveguide for improving light coupling efficiency between optical fibers and integrated planar waveguides and method of manufacturing same |
| JP2010112873A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Jeol Ltd | 分光分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07104301B2 (ja) | 1995-11-13 |
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