JPH03221950A - 銀拡散転写像形成を利用する電子回路 - Google Patents

銀拡散転写像形成を利用する電子回路

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JPH03221950A
JPH03221950A JP2308983A JP30898390A JPH03221950A JP H03221950 A JPH03221950 A JP H03221950A JP 2308983 A JP2308983 A JP 2308983A JP 30898390 A JP30898390 A JP 30898390A JP H03221950 A JPH03221950 A JP H03221950A
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JP
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silver
layer
insulating substrate
diffusion transfer
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JP2308983A
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Allan Cairncross
アラン・ケアンクロス
Ii Chester A Thayer
チエスター・アーサー・セイアー・ザセカンド
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EIDP Inc
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EI Du Pont de Nemours and Co
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Publication date
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03CPHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
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    • G03C8/28Image-receiving layers containing development nuclei or compounds forming such nuclei
    • GPHYSICS
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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    • G03F7/06Silver salts
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は電子工業に有用な絶縁性基体上に導電性金属パ
ターンを形成する方法およびかかる方法を用いて製造さ
れた物品に関する。さらに詳しくは、本発明は導電性金
属パターンを形成する銀拡散転写像形成法および該方法
を用いて製造された物品に関する。
発明の背景 電子工業に用いられる印刷回路は単層または多層゛構造
の誘電基体に結合された薄膜金属回路トレースからなっ
ている。回路トレースは多くの場合鋼と誘電体材料の積
層体を用いそしてホトレジストを適用して製造される。
サブトラクティブ法では銅層をホトレジストでカバーし
次に露光し現像してカバーされた銅を回路パターン部分
にだけ残存させる。次にカバーされなかった銅を化学エ
ツチングによって除去する。ホトレジストを除去すると
誘電基体上に銅回路パターンが残る。
セミアデイティブ法では厚さ0.1ミル以下の銅層を有
する積層体が用いられる。ホトレジストを適用し、露光
しそして現像される。次に、回路パターンはホトレジス
トでカバーされていない部分において所望の厚さに電気
メッキされる。ホトレジストを剥離した後、銅をドック
エツチングするとお互いに電気的に分離された回路トレ
ースが残る。これらのホトレジストをベースとした方法
は多くの処理工程を必要とする。
さらに、高い回路密度の素子が必要とされるので、大抵
の厚膜ホトレジスト系の場合に可能なものより高い解像
度を有することが必要である。
ハロゲン化銀写真系は極めて高い解像度を有しそして特
別な条件下では導電性回路パターンを形成することが知
られている。標準ノ\31 0ゲン化銀乳剤層を露光し現像すると、通常非導電性の
黒色金属銀像が得られる。米国特許第2.854,38
6号、第3,424,581号、第3.551,149
号、第3,647,456号および第4.868,08
1号に開示されたような導電性銀像となすことができる
導電性銀像は拡散転写現像技術を用いて最も簡単に得ら
れる。拡散転写現像の場合、露光されたハロゲン化銀乳
剤層は拡散転写核を含有するレセプター層と接触して現
像される。現像剤は未現像のハロゲン化銀と錯体を形成
してそれをレセプター層に拡散させてそこで拡散転写核
が金属銀の生皮に触媒作用を与える化合物を包含する。
多くの場合、レセプター層中のこの拡散転写像は乳剤と
受像体との界面近くで濃縮される銀を有しておりそして
その表面は導電性である。
普通の拡散転写フィルムでは、核の十分な分離、像被覆
力の強化および乳剤層除去中の支持′19 体への像の接着を行うために、拡散転写核はコロイドシ
リカのような他の添加剤と一緒にバインダー例えばゼラ
チンまたは合成ポリマー中の基体に適用される。しかし
ながら、これらのバインダーは得られた回路の電気特性
と高温安定性に悪影響を与える可能性がある。バインダ
ーを含まない拡散転写核を用いる銀拡散転写系が米国特
許第3.600,185号および第3.822,127
号に記載されている。
しかしながら、上記文献のものはいずれも今日の電子工
業で用いられるような商業用回路の製造に必要なきびし
い性質の釣合を遠戚することができなかった。最終回路
基体と処理工程の選択により、電気特性、機械特性、耐
薬品性、防湿性および熱安定性にすぐれ、特にはんだ付
けに適した回路を製造しなければならない。
多くの適用のために、薄膜拡散転写銀回路は極めて多く
の抵抗性を有しそして金属とメッキされてさらに導電性
になることが必要である。これは電気メッキまたは無電
解メッキ技術によって行うことができる。銀は無電解メ
ッキに対しては貧触媒であり、そして米国特許第3.6
00,185号および第3,822,127号に記載さ
れたようにメッキする前にパラジウムイオンと処理して
活性化されることが多い。しかしながら、これらの処理
を行うと地肌部分のメッキがうまくいかない。
さらに、銀金風が移行して樹枝状結晶を形威しそしてこ
れらの結晶により回路がだめになることが知られている
それ故、本発明の1つの目的は上述の商業用回路のすべ
ての基準を満足する導電性鋲回路パターンを形成する改
良法を提供することである。
さらに本発明の目的は電気メッキおよび/または無電解
メッキを行うことができかつ銀樹枝状結晶の形成に抵抗
する銀回路パターンを提供することである。
発明の要約 本発明は (a)絶縁性基体に親水処理を施して基体の表面部分に
親水性を付与し、 (b)絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡散
転写核を施し、 (c)拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層として
か、または第2の基体上に層として、ハロゲン化銀を含
有する感光性物質を施し、(d)感光性物質層の一部分
を活性線に露光し、 (e)工程(d)において露光した層に現像液を施し、 (f)銀拡散転写によって基体上にコーティングとして
銀のパターンを形成させ、この際層の表面部分は拡散転
写核と接触するものとし、そ5− して (g)絶縁性基体の表面上に工程(f)で形成された銀
のパターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含
まれていた層を除去する、以上の各工程から戊る、絶縁
性基体上に密着性導電性金属パターンを形成させる方法 に関する。
第2の態様では、本発明は (a)絶縁性基体に親水処理を施して基体の表面部分に
親水性を付与し、 (b)絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡散
転写核を施し、 (c)拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層として
か、または第2の基体上の層として、ハロゲン化顕を含
有する感光性物質を施し、(d)感光性物質層の一部分
を活性線に露光し、 (e)工程(d)において露光した層に現像液を6 施し、 (f)銀拡散転写によって基体上にコーティングとして
銀のパターンを形成させ、この際層の表面部分は拡散転
写核と接触するものとし、(g)絶縁性基体の表面上に
工程(f)で形成された銀パターンを残しながらはじめ
にハロゲン化銀物質が含まれていた層を除去し、そして
(h)この現像された銀パターンをpH約Oから5を有
する酸性溶液で処理し、この際工程(h)を工程(g)
と同時にかまたは工程(g)の直後に行い、 0)工程(h)からの銀のパターンを本質的にPd(I
I)、Pt(IV )、Rh(III)およびこれらの
混合物からなる群から選ばれた金属イオンを含有する水
溶液であって、4.0よりも大きくないpHとまた0、
03Mよりも小さい/hライドイオン濃度とを有する溶
液で処理し、そして (j)工程(1)で処理した銀のパターンを少なくとも
1つの導体金属で無電解的にメッキする、以上の各工程
からなる、絶縁性基体上に密着性導電性金属パターンを
形成させる方法 に関する。
第3の態様では、本発明は絶縁性基体とそれに結合され
た銀層からなり、該銀層のパターンは上記の拡散転写法
によって形成されたものである印刷回路板のような電子
デバイスの形成に有用な物品に関する。
発明の詳細 な説明は絶縁性基体上に密着性導電回路を形成する方法
に関する。支持体材料と処理工程は所望の特性を有する
最終回路を得るように選択しなければならない。これは
適当な基体上に銀拡散転写像形成により銀金風回路パタ
ーンを形成させることによって行われる。次に、銀像の
上に所望の他の導電性金属をメッキすることができる。
回路基板と処理工程を選択して特定の試験基準に合致す
る回路を製作しなければならない。
これらの基準、試験法および規格の例はインスティテユ
ート・フォ・インターコンネクテイング・アンド・パッ
ケージング・エレクトロニツクス・サーキッツ(lns
titute for Interconnectin
g and Packaging Electroni
cs C1rcuits)、リンカーンウッド、イリノ
イ州、アメリカによって出版されたANSI/ IPC
−FC−231BXANSI/ IPCFC−241B
およびANSI/ IPC−TM−650に記載されて
いる。一般に、電子基体は4より小さい誘電率と0.0
5より良好なl MHzにおける損失係数のようなすぐ
れた電気特性を有すべきである。また、前記基体は可撓
性基体については0.20%より良好な寸法安定性(硬
質基体については10よりすぐれたファクター)および
20000cb/ in’より大きい引張り強さのよう
なすぐれた機械特性を有すべきである。完成回路は10
8オームより良好9 な絶縁抵抗、108オームより良好な防湿、絶縁抵抗な
どを有すべきである。回路は3Qb/in−幅(このレ
ベルの接着では、金属に3Mスコッチテープを適用して
除去しても損傷を受けない)より大きな剥離強さを有す
べきである。また、回路は化学暴露に抵抗しそして種々
の化学環境に暴露した後に測定機械特性の75%を保持
すべきである。さらに、電子回路はすぐれた熱安定性を
有しそしてハンダフロート試験に合格できるものでなけ
ればならない。
絶縁性基体は拡散転写現像のための核を担持しそして最
終的には、銀像が接着している支持体である。本発明の
実施に用いることのできる基体は電気絶縁性でなければ
ならずまたすぐれた防湿性を有さなければならない。ま
た、以後の処理工程に必要な機械、熱および化学安定性
を有すべきである。基体は可撓性または剛性のいずれか
であってもよい。
0 般に、基体は重合体樹脂からなり、フィルムまたは他の
固体マトリックスの形態であってもよい。樹脂は安定な
繊維または不活性光てん剤、セルロース紙またはポリア
ラミド紙、ガラスまたはポリアラミド布で補強されてい
てもよい。適当な熱硬化性樹脂の例には架橋性重合体ア
クリル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、高性能エポキシ
樹脂、フェノール樹脂およびけい素樹脂がある。適当な
熱可塑性樹脂の例にはフルオロカーボン樹脂例えばボリ
ア]・ラフルオロエチレン、パーフルオロアルコキシパ
ーフルオロビニルエーテルの重合体およびテトラフルオ
ロエチレンとへキサフルオロプロピレンの共重合体;ポ
リアルイミドのようなポリイミド;ポリアリールエーテ
ル;ポリアリールケトンおよびボリアリールエーテルケ
トン;ポリエステル:ポリエチレンオキシド;ポリフェ
ニレンスルフィド;ポリカーボネート;ポリフェニレン
オキシド;ポリスルホン;ビスマレイミドおよびビスマ
レイミドトリアジン;およびシアネートエステルがある
また、基体は同じかまたは異なっていてもよいいくつか
の層の積層体であってもよい。例えば、ポリアラミド布
で補強されそしてフルオロ重合体フィルムに積層された
エポキシ樹脂を用いることができる。
1回のはんだ工程が必要とされる適用のために、熱安定
性の高い基体を用いることが必要である。これらの適用
にはポリイミド、フルオロ重合体およびポリエステルは
好適な可撓性基体でありそしてガラス布、FR−4で補
強されたエポキシ樹脂は好適な剛性基体である。1回よ
り多いはんだ工程を必要とする適用にはポリイミド、フ
ルオロ重合体およびFR−4が好ましい。
基体がフィルムの場合、それは−枚のシートまたは連続
したロールの形態であってもよい。
可撓性回路の適用には通常1〜5ミルの範囲の厚さを有
するフィルムが用いられる。剛性回路の適用には、厚い
材料を用いてもよい。2次元および3次元面を用いても
よい。
絶縁性基体はバインダーを追加しなくても拡散転写核を
吸収、吸着あるいは結合できるものでなければならない
。さらに、基体は核部位で拡散転写現像を行うものであ
るので、水性現像剤溶液により膨潤または湿潤できるも
のでなければならない。しかしながら、所望の電気特性
を維持するために、基体はすぐれた防湿性を有すること
が必要である。これらの−見矛盾した要件は絶縁性基体
を化学的にまたは物理的に処理して顕微鏡的に薄い表面
層をより親水性にさせる本発明の方法を用いて満たされ
る。
本発明の方法を実施するのに有用な化学処理により、通
常表面上に極性な、しばしば酸素に富んだ、しばしばイ
オンおよび金属の結合部位3 でかつ親水性の基例えばヒドロキシル、カルボニル、カ
ルボキシル、カルボキシアミド基などが生成する。化学
的に変性された表面は拡散転写核を化学的に結合するか
あるいはこの核を吸収できる。さらに、この表面は拡散
転写現像か親水性処理した表面層に深くゆきわたるよう
に塩基性水性拡散転写現像剤溶液により膨潤するか湿潤
できるものである。
親水性処理によって影響される基体の深さを最小にする
ことが重要である。これは吸収される水分量を最小にす
るために必要である。というのは水分が存在すると灰抜
のはんだおよび再はんだ処理工程でふくれが生じ、表面
抵抗か低下しそして銀と他の金属の移行が促進される可
能性があるからである。化学的に変性された親水性表面
層は厚さが約0,02〜0.2マイクロメーターである
ことが好ましい。
通常、本発明の方法に有用な表面の物理的変4 化はくずを残す処理の場合におけるように表面の物理的
強さをあまり低下させないで表面積を増大させる処理か
ら生じる。表面積が増大すると表面が親水化されて湿り
が改善される。普通、表面積が増大すると追加された層
が絶縁性基体に浸透して層の接着性が改善される。
物理的親水性処理と接着の促進は化学的親水性処理より
も水分吸収と他の臨界的性質に与える影響が少ないので
絶縁性基体の表面下5マイクロメーターおよびそれ以上
に処理を延長させて低い解像度の像を得ることができる
。高い解像度とよりきれいな背景を得るためには基体が
なめらかなほどよくそして表面粗さが1マイクロメータ
ーより小さい方が好ましい。
親水性処理からのゆるく結合したくずが表面上に残るの
を回避するかあるいは大幅に劣化した基体の厚い層が表
面に残るのを回避することが重要である。普通、これは
親水性処理を最小限にするかあるいは、ゆるくまたは弱
化した物質を溶剤作用および/または処理中の機械的ス
クラビングにより除去するかあるいは溶剤による別のク
リーニングステップやスクラビングにより除去すること
によって制御される。
親水性処理には強非水性塩基例えばメタノール性水酸化
カリウムまたは水性塩基溶液による処理;強還元剤例え
ばナトリウム金属、リチウムアマルガム、ナフテン酸ナ
トリウムなどによる処理;強酸化剤例えばクロム酸塩、
重クロム酸塩または過マンガン酸塩イオンまたは緩酸化
剤例えば過硫酸ナトリウム、強酸例えば濃硫酸による処
理:粗面化または機械研磨あるいはアルゴンイオンスパ
ッタリングにおけるような高エネルギー処理および電気
放電、コロナ放電、反応プラズマまたは火炎による処理
がある。
選択された正確な親水性処理は用いられる絶縁性基体の
性質に依存することが認められる。
ポリイミドフィルムを基体として用いる場合、一般に親
水性処理はアルコールお゛よび/またはジアミンを含め
ての水性塩基溶液によるエツチングを含む。適当なエツ
チング技術は米国特許第3,821,016号、第4,
426.253号および第4.725,504号に開示
されている。また、アルゴンイオンと他の反応プラズマ
エッチによりすぐれた接着を与える金属化法用のポリイ
ミドが親水化される。
フルオロ重合体フィルムの表面は非プロトン性強塩基ま
たは強還元剤による処理によって親水化することができ
る。火炎、プラズマおよび強還元剤を含めての種々の方
法によるポリテトラフルオロエチレンの表面変性はり、
M、 3iperko。
R,R,ThomasのJ、 Adhesion Sc
i、 Technol、、 3゜1989、157−1
73に記載されている。
ポリエステル、ポリエーテルイミド、ポリアリールケト
ンなどの表面は強酸化性エツチング7 剤、強酸例えば濃硫酸、火炎または電気放電による処理
によって親水化することができる。
エポキシまたは他の樹脂をガラス、ポリアラミド布、紙
などのような補強材に浸透させて形成された基体の表面
は粗面化および/または化学エツチングにより親水化す
ることかできる。
粗面化技術の例には研磨、ザンドブラスト、溶剤ひび割
れ、別の粗面とのエンボスおよびアルゴンイオンスパッ
タリングのような高エネルギー処理などがある。化学エ
ツチングは通常酸化剤および酸との処理により行われる
。例えば、FR−4基体を過マンガン酸塩溶液中に浸漬
させて表面を化学的にエツチングし粗面化することがで
きる。
絶縁性基体が異なった材料の積層体である場合、表面処
理は表面上に存在する物質に適合させるべきである。ま
た、複数の処理の組合せを用いてもよい。
48 また、絶縁性疎水性基体の表面を別の物質例えば表面が
容易に親水化される接着性層でコトすることもできる。
コートした物質は絶縁性基体への接着性がすぐれている
ことの他に、電気抵抗、耐薬品性にすぐれかつ温度安定
性が高いものでなければならない。後者の性質は灰抜の
はんだ工程を伴う適用のために特に重要である。接着剤
は若干の親水性を有すべきでありすなわち、水性銀現像
側溶液の浸透を与えるものでなければならないが、それ
はあまり親水性になりすぎて水分吸収が過剰になっては
いけない。
接着性組成物の例は米国特許第3,728,150号、
第3,822,175号および第3.900.662号
に記載されている。これらの交さ結合性重合体アクリル
系接着剤組成物は、ポリイミド基体に特に適しておりそ
して水性塩基による簡単な処理によって親水性化するこ
とができる。
本発明の方法における次の工程は拡散転写核を絶縁性基
体の親水性部分に適用することである。「拡散転写核」
とは触媒作用部位として働き錯体銀イオンが金属銀へ還
元されるのを助ける粒子を意味する。多くの従来法では
拡散転写核はバインダー典型的にはゼラチン、ゼラチン
誘導体、セルロース誘導体、デキストリン、可溶性でん
ぷん、ポリビニルアルコール、ポリスチレンスルホン酸
およびアクリル酸の共重合体中のコーティングとして適
用される。これらのバインダーは水分を吸収し、金属と
基体の結合に応力をかけると寸法が不安定になりやすい
のでこれらは通常電子適用には適していない。吸収され
た水分によりふくれが生じ、はんだ付けが損なわれ、金
属の移行が促進されそして長く使用するとショートする
。バインダーを電子適用に使用させるためには、バイン
ダーは最終回路の必要な基体への高い接着性を有し、回
路処理用薬品に対して不活性であり、はんだ適用に対し
て安定であり、そして電子性能を低下させないものでな
ければならない。このようなすべての要件を満足させる
バインダーを開発することは困難である。
適切なバインダーを選択するという問題は本発明の方法
を使用することによって回避される。
絶縁性基体の顕微鏡的表面層を上述のようにして親水化
しそして拡散転写核を親水化表面層にバインダーを用い
ないで直接適用する。
銀拡散転写法に適した拡散転写核はよく知られている。
それらは典型的には(1)金属例えば銀、金、パラジウ
ム、パラジウム/錫、銅、鉄、ロジウムおよびアルミニ
ウム;(2)銀、亜鉛、クロム、ガリウム、鉄、カドミ
ウム、コバルト、ニッケル、マンガン、鉛、アンチモン
、ビスマス、砒素、銅、ロジウム、パラジウム、白金、
ランタンおよびチタンを含めての金属のスルフィド、セ
レニド、チルライド、ポリスルフィド1 またはポリセレニド:(3)処理中に金属核を生成する
易還元性金属塩例えば硫酸パラジウム、硝酸銀またはく
えん酸銀および(4)入ってくる拡散銀塩と反応して核
を生成する無機塩例えは硫化ナトリウムである。好適な
触媒は銅、銀、パラジウム/錫、硫化亜鉛、硫化パラジ
ウム、硫化銅、硫化ニッケル、パラジウム塩および硫酸
パラジウムである。銀拡散転写像形成にすぐれた核であ
る硫化亜鉛のようなスルフィドは特に関心があるが無電
解ニッケルおよび銅メッキに触媒作用を与えない。
拡散転写核は慣用の適用法例えばスプレースパッタリン
グ、印刷、ブラッシング、デイツプコーティング、ロー
ルコーティングなどによって基体に適用することができ
る。処理された基体を拡散転写核の水溶液または分散液
の中に浸漬させて行うことが好ましい。基体表面上の拡
散転写核の濃度は本発明の方法にとって重要2− である。あまりにも多い拡散転写核が存在すると、以後
のメッキ工程において非回路部分にメッキが生じるとい
う問題が起こる可能性がある。
また、過剰の拡散転写核の使用は現像された銀像の接着
と電気特性に悪い影響を与える可能性がある。拡散転写
核が極端に少なすぎると、銀像は十分に現像されないで
解像力に難点が生じる可能性がある。0.01〜30マ
イクログラム/cm2のレベルが好ましく、0.5〜2
0マイクログラム/cm”が最も好ましいことがわかっ
た。
普通、直径が0.001〜0.01マイクロメーターの
現像核が親水化層に少なくとも0.02マイクロメータ
ー浸透する場合に最良の結果が得られることがわかった
。いくらかの場合、核が浸透しそして親水化層の厚さ全
体に分散される。これはこの層の電子顕微鏡で観察され
る。
絶縁性基体を親水化しそして拡散転写核を適用する工程
は順次行われるのが好ましいが、2つの工程は同時に行
うことができる。例えば、絶縁性基体の表面を強酸との
処理によって親水化すると、酸性溶液は拡散転写核を含
有する。
表面は親水化されるので拡散転写核は基体の表面に付着
する。
本発明の方法における次の工程はハロゲン化銀含有感光
層の適用である。この感光層はシングルシートまたは拡
散転写洗去系(j)TWO)については解像核の適用後
練水性基体上に直接適用することができる。あるいはま
たツウシートまたは写真製版転写系(PMT)について
は感光層を第2の支持体に適用することができる。
拡散転写現像核を含む親水性表面はハロゲン化銀感光層
と接触させる前に剥離層で保護してもよい。剥離層は移
動性拡散転写核によるハロゲン化銀層の汚染を防止しそ
してハロゲン化銀層中に像現像で形成されたコロイド銀
による絶縁性基体表面の汚染を最小限にする。剥離層は
拡散転写現像剤に透過性であって拡散転写現像直後のす
すぎ工程の間に除去できるものでなけれはならない。剥
離層は像の解像力が失われるのをさけるために薄くなけ
ればならない。0.1〜3.0マイクロメーターの厚さ
が好ましい。写真用ハロゲン化銀被膜に適した大抵の水
膨潤性、水可溶性重合体は剥離層として適している。そ
の例にはゼラチン、フタール化ゼラチン、セルロース誘
導体例えばカルボキシメチルセルロースおよびヒドロキ
シメチルセルロースおよび他の親水性高分子コロイド物
質例えはデキストリン、可溶性でんぷん、ポリビニルア
ルコールまたはポリスチレンスルホン酸がある。
ハロゲン化銀含有感光層は通常親水性バインダー中のハ
ロゲン化銀柱の分散物からなっている。バインダーは拡
散転写プロセスに普通に用いられる物質のいずれであっ
てもよく例えばゼラチン、フタール化ゼラチン、セルロ
ース誘導5 体例えばカルボキシメチルセルロースおよびヒドロキシ
メチルセルロースおよび他の親水性高分子コロイド物質
例えばデキス]・リン、可溶性でんぷん、ポリビニルア
ルコールまたはポリスチレンスルホン酸がある。バイン
ダーは最も好都合なゼラチンである。ハロゲン化銀は写
真適用に用いられるよく知られた塩のいずれであっても
よい。代表的な有用な塩には塩化銀、臭化銀、よう化銀
、塩臭化銀、よう臭化銀および塩よう臭化銀の単独また
は混合物がある。ハロゲン化物の沈殿は通常慣用の技術
を用いてゼラチン中で行われる。
ハロゲン化銀の粒サイズ分布と増感はレーザー像形成、
リングラフ、直線ポジなどを含めての所望の写真プロセ
スに適合するように制御することができる。ハロゲン化
銀層はポジまたはネガとして作用するものであってもよ
い。普通、銀塩分散物を普通の化合物例えばいおう、金
、6 0ジウム、セレンなどであるいは有機増感色素例tばシ
アニン、1.1’−ジエチル−4,4′−シアニンヨー
シト、メチンおよびポリメチンシアニン色素、クリプト
シアニン、メロシアニンなどで増感する。また、写真用
ハロゲン化銀組成物中に普通に用いられる他の添加剤は
所望により存在していてもよい。
通常、存在するハロゲン化銀の量は5〜80mg/ d
 m 2の銀であり、別のハロゲン化銀コーテッドシー
トからの写真製版転写にはlO〜15mg/dm2が好
ましくそしてシングルシート拡散転写洗去法には10−
40mg/ dm2、普通15rng/ dm2が用い
られる。最低量の銀により最高の解像力が得られそして
良好な導電性を得るためには無電解金属メッキを必要と
するからしれない。最高量の銀により像の直接電気メッ
キのための最高の導電性が得られる。
本発明の方法における次の工程はハロゲン化銀層の少な
くとも一部を活性線に露光することである。これは写真
用ハロゲン化銀材料について普通に用いられる任意の方
法例えば紫外光、可視光または赤外光、陰極線管または
レーザによる像形成によって行うことができる。通常、
ハロゲン化銀層を所望の回路トレースのパターンで像露
光させる。ネガとして働くハロゲン化銀乳剤の場合、乳
剤の非露光部分は絶縁性基体上の現像銀パターンと一致
する。
露光後、ハロゲン化銀層を現像剤溶液と接触正大して拡
散転写核で処理された基体層と緊密に接触させる。ワン
シート系の場合これはシートを現像剤溶液に通して行わ
れる。ツウシーI・系の場合2枚のシートを現像剤で湿
らし次に現像側枝を含有する基体の親水性処理を施した
側と接触させてハロゲン化銀層とロールで圧縮する。
ネガとして働くハロゲン化銀乳剤の場合、ハロゲン化銀
は活性線に露光された乳剤の部分に存在する現像剤の作
用によって金属銀に急速に還元される。同時に、現像剤
中の銀イオン錯化剤によって未露光部分に可溶性銀イオ
ン錯体が生成する。これらの錯体は絶縁性基体の表面に
拡散する。そこでの拡散転写核は物理的現像のための触
媒作用部位として働いて銀イオン錯体から金属銀を析出
させる。ワンシートシステムではもともとハロゲン化銀
を含有している上部乳剤層は普通の場合洗浄により除去
される。乳剤層は0〜5のpHを有する酸溶液、普通l
O容量%の酢酸中で洗去するのが好ましい。ツウシトシ
ステムでは2枚のシートを剥離して基体から乳剤層を除
去する。この結果ポジ銀像が絶縁性基体層上に形成され
る。ポジとして働くハロゲン化銀乳剤を用いる場合、露
光部分のハロゲン化銀は錯体を形成しそして基体層に拡
散する。
これにより絶縁性基体層上にネガ像が形成され9− る。拡散転写法用の現像浴はよく知られておりそして例
えばAndre Rott等のr Photograp
hicSilver Halide Diffusio
n ProcessesJ  (FocalPress
、  1972)およびG r a n 1.  Ha
 i s tのrModernPhotographi
c Processing、 Vol、2 J  (W
iley1979)に記載されている。
現像剤溶液による処理に続いて、系を酸停止液で処理す
ることが好ましい。酸により親水性表面層が解膨潤しそ
して基体の最終電気抵抗が改善される。予想外なことに
、現像された銀像の基体への接着も改善される。酸停止
工程を用いないと、像がすすぎ工程で損傷を受ける結果
実質的にエージングさせるかあるいはさらにメッキを施
した場合でも接着性と像成分が永久に損なわれるおそれ
がある。これに対して、酸停止液を用いると、拡散転写
像はより強靭になりそしてリンス中にスクラビングを行
うことができ、乾燥時にスフラッチングに耐えしから実
際には基体への接着性が経時的に向上する。これは特に
塩基で親水化されたポリイミド基体の場合にあてはまる
。また、酸停止液はワンシートシステムの乳剤層の除去
を助ける。酸停止はもともとハロゲン化銀(通常ゼラチ
ン)を含有している層の除去と同時に実施するのが好ま
しい。
酸停止液は約5より小さいpHを有すべきである。好適
な酸停止液は2.5のpHを有する10容量%の水性酢
酸溶液である。
核のような現像された銀が親水化表面の中に少なくとも
0.02マイクロメーター浸透する場合に最良の結果が
得られる。これはこの層の電子顕微鏡写真によって観察
される。浸透は親水化層全体におよんで、銀像を表面に
固定して良好な定着を与える。
基体上に形成された銀像は通常極めて薄い。
それは低電流が必要とされるようないくつかの電子適用
では許容できるものであるからしれない。しかしながら
、多くの適用では銀像を追加の金属で覆って回路の電気
特性と耐久性を改善するのが好ましい。銀像の覆いすな
わちメッキに用いることのできる金属の例には銅、ニッ
ケル、金、銀、パラジウム、亜鉛、クロム、錫、鉛、コ
バルトおよびそれらの合金がある。また、像を順次異な
った金属で覆うこともできる。電気特性と安定性がよく
しから経済的な面から銅を用いるのが好ましい。
般に、回路パターンに遊離した銀素子が存在しない時、
銀像は通常電気メッキでカバーされる。この目的のため
に任意の標準的電気メッキ法を使用することができる。
もし銀像の導電率が電気メッキするのにあまりにも低く
、像が像素子を遊離しないならば、銀像はまず少量の金
属を電気メッキして導電性とし、次いで通常の電気メッ
キにより最終的な塗りの厚さにメッキされる。
もし回路パターンに遊離した銀素子があるならば、一般
に銀像をカバーするために無電解メッキ法を使用するこ
とが好ましい。無電解メッキに使用しうる金属の例とし
ては銅、金、ニッケル、パラジウム、コバルトおよびそ
れらの合金がある。米国特許第3,600,185号お
よび同3 822.127号に開示されているように金
属銀はまず触媒作用の後に、無電解メッキされねばなら
ない。
3 典型的には、水溶性の塩化パラジウムまたは水溶性のカ
リウムクロロパラデー1・のいずれかが使用される。然
しなからこれらの重金属イオン溶液はまた親水性の「カ
プトン」[F]ポリイミドおよびFR−4のような非銀
部分の基体を活性化し、全表面にわたって電気メッキを
することができる。従って、選択的に銀像を活性化し無
電解メッキのバックグラウンドを失活化する必要がある
基体上の銀の選択的な活性化は、高ハロゲン化物濃度お
よび相対的に低いpH,3またはそれ以下の範囲のパラ
ジウム(■)、白金(IV)またはロジウム(III)
の溶液で現像した像および基体を処理することによって
遠戚されることが分かった。適切なハロゲン化物には塩
化物、臭化物および沃化物がある。塩化物が好ましい。
溶液のハロゲン化物濃度は非銀部分の失活化にとって決
定的なものである。好ましくは、ハロゲン化4 物の濃度は0.03モルより大きく、1.0モルより大
きいのが最も好ましい。0.03モルより大きいハロゲ
ン化物濃度では、基体の触媒的活性化は銀の活性化に影
響を及ぼさないで抑制される。
パラジウム、白金およびロジウムイオンは銀パターン上
に還元された金属として付着すると思われる。これは、
活性化後パターン上にかなりの濃度の非銀金属イオンを
示す結合プラズマ原子吸収データーによって支持される
。ハロゲン化物イオンは酸化と可溶化を促進する核の金
属と錯体化して基体の非銀像部分からの被除去に役立つ
と思われる。またハロゲン化物は、基体上のパラジウム
、白金またはロジウムイオンと錯体をつくってこれらイ
オンの付着を防止する。他の錯体配位子、例えばチオシ
アネート、シアニドおよびホスファイトは基体の好まし
くない活性化を防ぐのにも有効であると思われる。
銀金属は、原子移動して樹枝状結晶となることが知られ
ている。電子的適用には、全体的に回路線が電気的に接
続して回路が損なわれるので受は入れられないものであ
る。これは銀金属が回路パターンにほとんど使用されな
かった1つの理由である。樹枝状結晶の形成は、現像し
た銀パターンを酸で処理し、他の金属でメッキし、そし
て温和なエツチング溶液、例えば、酸性アンモニウムバ
ーサルフェードでメッキしたパターンを処理することに
よって殆ど完全に除去しうろことが分かった。酸は2.
0より大きくないpHを有すべきである。銀のトレース
回路が無電解メッキされるべき時は、上述のメッキする
ための銀表面を活性化するパラジウムイオンおよび酸に
よる処理は、pHが2.0より大きくない限り十分であ
る。絶縁基体上における銀パタンは典型的な樹枝状結晶
形成を示している。
酸で処理した後にメッキするが最終のエッチング処理を
しない銀パターンはANSI/IPC−FC2411試
験方法2.6.3.2、に記載した温度、湿度およびバ
イアス条件下、これらはこの試験に不合格ではないけれ
ども24時間後に微視的な樹枝状結晶の形成を示す。
酸で処理し、メッキし、最終的なエツチング溶液で処理
した銀パターンは、1000倍の倍率の顕微鏡で検査し
た前述と同一条件下では銀の原子移動または樹枝状結晶
の形成を示さない。
回路パターンをメッキをした後酸性状態にしておくのが
好ましい。この酸処理は表面の電気的性質を劣化する表
面のイオンを除去する。酸溶液は5より少ないpHを有
するべきである。好ましい酸リンス剤は0.IN硫酸ま
たは塩酸である。
ある場合には、本発明の工程に焼付けまたはエージング
を包含させるのが好都合である。特にポリイミドが絶縁
基体として使用される特有7 用である。焼付けは150°Cまたはそれ以下の温度で
達成されるが300°C程度の高い温度でも使用しうる
。時間は数分から1時間までである。
エージングはさらに長い時間でも用いることができるけ
れども一般に24時間〜72時間室温で行なわれる。一
般に、焼付けまたはエージングの工程は絶縁基体上の銀
パターンの形成後または銀像が少なくとも1つの導電性
金属でカバーされた後行なわれる。また基体は拡散転写
核の適用後、特に架橋性のアクリルポリマー系接着材料
でコートした基体に対して焼付けされる。
本発明の方法により、摩擦またはScotchTMテー
プにより除去することのできない銀像の形成が得られる
。4ミクロンの線の解像、溝および10オーム/平方よ
り小さい抵抗を達成することが可能である。いくつかの
低負荷適用、例えばシールディングおよび低電圧/低電
流回路に対し銀像トレースはさらに金属化することなし
に8 使用することができる。これらの銀像トレースは抗摩耗
性コーティングで保護するのが好ましい。条件のきびし
い負荷および環境、例えば温度や湿分に対して絶縁コー
ティング、例えばエポキシまたはシリコンで保護するか
または絶縁接着材料を用いて例えばポリイミドのような
保護フィルムで積層することが好ましく、それにより大
いに銀の原子移動および樹枝状結晶の形成を低下させる
大抵の適用に対して銀のトレースは銅のような金属によ
って電気メッキまたは無電解メッキによってきれいにメ
ッキすることができる。トレース上のメッキはANSI
/IPC−FC−241法2.4.9による3〜8プリ
(pli)の範囲で良好な接着性を示し、ANSI/I
PC−FC−241B試験方法2.6.3.2によす少
すくとも108オームの水分および抵抗を有し、良好な
化学抵抗性および寸法安定法を有し、そして銀樹枝状結
晶の形成を示さない。基体フィルム、例えばポリイミド
、ポリエーテルイミド、ポリアリールケトンまたはフル
オロポリマーのフィルムおよびガラスまたはポリアラミ
ド繊維で強化した樹脂を用いて調製した回路は、熱的に
十分安定ではんだ付けおよび再はんだ付け操作を可能に
する。最も好ましいのはポリイミドフィルムからつくら
れた回路である。
本発明の方法によりなされる工程および製品は基本的に
は平らな表面で用いられ、平らな基体の1側面または両
側面に使用される。然しなから、製法および製品は平ら
な表面に限定されない。例えば、もし親水性で触媒的な
被処理か基体中の孔に拡大されるならば、孔は銀拡散転
写により像をつくり、導電性となる。薄い基体には、シ
ングルまたはツーシートバージョン(sheet ve
rsion)の何れもが導電性孔を生皮する。厚い基体
には、工程のシングルシートバージョンが選ばれる。
実施例 次の実施例は本発明を説明するものであるが本発明を限
定するものではない。他に示さない限り全てのパーセン
トは重量パーセントである。
試験操作のコピーは、1nst目ute for In
terc。
nnecting and Packaging El
ectronic C4rcuits。
Lincolnwood  1llinois(イリノ
イ州)から入手したものである。
実施例 l この実施例は本発明によるシングルシート拡散転写プロ
セスを用いる銅メッキ銀回路の製造を説明する。
A、親水性処理 VN20Orカプトン」■ポリイミドフィルム(デュポ
ン社製)の2ミル厚さのサンプルをlNKO323重量
%およびエタノール77容量%の混合物からなるエツチ
ング溶液に2分間浸漬した。このエツチングに続いてサ
ンプルをすすいで65°Cの=71 タップ水で洗浄し風乾した。
B、拡散転写核の適用 上述の乾燥サンプルを次のように処理した:1、 0.
IN水酸化ナトリウムに室温で1分浸し、次いで水です
すいだ。
2.23%5hipley Cataprep 404
(Shipley社製)である水溶性酸浴に室温で1分
間浸漬した。
3、水溶性のコロイド状パラジウム/錫11X(Shi
pley Cataposit 44. Shiple
y社製)中に45°Cで2分間浸漬した。
4、水中で1分間すすいだ。
フルオロ硼酸促進剤(Shipley Acceler
ator19、 Shipley社製)の10%水溶液
に25°Cで3分間浸漬した。
6、水中で1分間すすいだ。
7、風乾。
C,ハロゲン化銀の適用 上述のカプトン「カプトン」[F]基体を乳剤の表5゜ =72 面にフィルムの右側のループを保持し、フィルムを1側
面から溶液の表面をすくうように動かしてハロゲン化銀
写真用乳剤でコートする。ハロゲン化銀乳剤は80重量
%のAgC4,19,5重量%のAgBrおよび0.5
重量%のAglであった。乳剤を標準の金塩化物/チオ
サルフェートで増感させ、またブルーアルゴン/イオン
レーザ−光線にスペクトル増感させた。最終的なコーテ
ィングは、モデル4000Panalyzer(Pan
ametrics、 Waltham社製)で測定し基
体上でハロゲン化銀として銀14.9mg/dm2を得
た。コーティングを風乾させIこ。
D2  露光と現像 上述のサンプルをANSI/IPC−FC−241B試
験方法2.6.3.2で所望のコーム(comb)試験
パターンのポジティブ7オトツールでマスクし、そして
タングステン光源からの強度22ル・ンクスの光で9.
5秒間露光した。露光したサンプルをUniver−s
al Developer CP297B(Agfa 
Gevaert社製)中の4%硫酸ナトリウム溶液に4
5秒間浸した。次いでサンプルを直ちに10重量%酢酸
水溶液の酸停止浴に浸した。サンプルを45秒間酸停止
浴に保持し、次いで乳剤コーティングを綿でこすりとっ
た。次にサンプルをDLF定着液(デュポン社製)に5
分間つけ、0.5N硫酸に5分浸した。次いでサンプル
を蒸留水で15分すすぎ、風乾させに。
得られた銀のくし型(comb)パターンは、電気的に
導電性であった。ポルト/オーム計は、探針が付着銀上
でほぼ1cm離れて保持された時18〜100オームの
読みであった。TR527濃度計(MacbeLh社製
)で測定した付着銀の透過光学濃度は3.0−3.7で
あった。像は3M ScotchTMテープを適用して
もまたはがしても損傷はなかっIこ。
E、銅による電気メッキ 上述の銀回路サンプルを酸性硫酸銅メッキ浴(copp
er Gleam 125. LeaRona1社製)
で電気メッキした。浴は次の組成を有していた: 或   分       %(重量または容量)Cop
per Gleam 125キヤリア    l、0(
容量)Copper Gleam 125添加剤   
  0.5(容量)硫酸             ]
、O,O(容量)濃塩酸             0
.016 (容量)硫酸銅、5水塩         
7.5(重量)カーボン粉末(無硫黄)      0
.6 (重量)粒状カーボン(無硫黄)       
0.9 (重量)サンプルを1.5アンペア/平方フイ
ート(ASF)で30分、30ASFで45分メッキし
て銅の総厚さ1.4ミルを得た。ANSI/IPC−F
C−241B試験法2.6.3.2を使用して、少なく
とも2X109オームの水分および絶縁抵抗が測定され
た。
実施例 2 この実施例は、本発明による写真製版転写ツーシート法
を用いて銅−メッキ銀回路の製造を75 示す。
A、親水性処理 VN2000 rカプトン」■ポリイミドフィルムの2
ミルの厚さのサンプルを実施例1に記載したように表面
の親水性処理を行なった。
B、拡散転写核の適用 上述の乾燥したサンプルを次のように処理しに 。
1、室温で1分間0.IN水酸化すi・リウムに浸し、
続いて水ですすいだ。
2、室温で2分間0.02%の硫酸パラジウム水溶液に
浸し、続いて水ですすいだ。
3、室温で2分硫化ナトリウム・9水塩の10%水溶液
に浸した。
4、水ですすぎ、風乾した。
C,ハロゲン化銀の適用 商業的に入手しうる写真製版転写写真印画紙をハロゲン
化銀シー1−−コダックPMT I[ネカ印6 両紙、KNp(E2s(、man Kodak社製)と
して使用した。
D、露光と現像 サンプルを像を必要としない剥離試験を用いて評価した
。従って乳剤シートを活性線照射にさらさないで銀を「
カプトン」■基体の全域にわたって均一に現像した。
未露光のPMT紙を、上述のB工程からの「カプトン」
■基体とともにUniversal  Develop
erCP297Bを入れたモデル1400 P 1.t
 Tプロセッサー(NuArc社製)中に送り込んで、
PIJT紙の乳剤面が、現像液で湿潤化した直後の「カ
プトン」■基体の親水性表面に接して積層を形成させる
。60秒後、PMT紙をサンプルから剥離するとサンプ
ル全体の表面を被う光沢のある暗い銀が現れる。サンプ
ルを直ちに22℃で60秒間lO%の酢酸水溶液の停止
浴に浸した。次いでサンプルを35°Cの水で2分間す
すぎ、風乾した。銀回路は電気的に導電性であった。ポ
ル1−/オーム計は探針が付着した銀上でほぼl cm
離れて保った時30オームの読みを示した。Paval
yzerモデル4000で測定すると、コダックPMT
紙はハロゲン化銀として銀をlo、3mg/dm”含有
しそして6.0mg/drn2の銀すなわち58%は基
体に転写された。
像は3M ScotchTMテープを適用しても剥離し
ても損なわれなかった。透過光学濃度は2.4であった
E、銅による電気メッキ D工程からのサンプルを実施例1に記載のように銅で電
気メッキした。サンプルはANSI/l PC−FC−
241B法2.4.9による4、5ポンド/インチ巾の
平均178インチ剥離強度を有していた。24時間コン
ディショニングの後、金属/基体接着性は著しい改善性
を示し、剥離強度は5.9ポンド/インチ巾に増加した
実施例 3 この実施例は、銅による本発明の銀回路の無電解メッキ
を説明するものである。実施例1Gの銀回路ザンプルを
IN塩酸中の0.1%硫酸パラジウム溶液で1分間活性
化させた。次いでサンプルをFirst  Choic
eTM無電解銅メッキ浴(callery Chemi
ca1社製)中、65°Cで5分間メッキした。最終的
な金属の厚さは0.3〜0.5マイクロメーターであっ
た。
実施例 4 この実施例は、本発明の銀回路パターンのニッケルによ
る無電解メッキを説明するものである。
実施例ICの銀回路ザンプルを実施例3に記載したよう
に活性化した。次にサンプルをN1klad752無電
解ニツケルメッキ浴(Whitco Chemica1
社製)中で65°Cで5分間メッキした。最終の金属厚
さは0.5〜0.7ミクロメーターであまた。
ANSI/IPC−FC−241試験方法2.6.3.
2によって測定9 した湿分および絶縁抵抗は、高温、高湿度での24時間
後109オームより良好であった。
実施例 5 この実施例はエポキシ/ガラス剛性基体を用いた本発明
による銅−メッキ銀回路の製造を説明している。
A、親水性化処理 FR−4ガラス/エポキシ銅ラミネート(Norpla
x10ak社製)のサンプルをアンモニア性塩化第二銅
でエツチングして全ての銅を除去した。
銅を含まないサンプルを次のように処理した。
1、  Versa C1ean 47酸性洗浄剤(デ
ュポン社製)中に54°Cで1分間浸漬した。
2、水ですすいだ。
3、 13.4%の過硫酸すトリウム水溶液と12.8
%の硫酸水溶液に25°Cで1分間浸し、続いて水です
すいだ。
4.10%硫酸水溶液に1分間浸し、次いで水で0 すすいだ。
5、 9267状態調節装置(MacDerm id社
製)中に46°Cで2分浸し、続いて水ですすいだ。
B、拡散転写核の適用 上述のエツチングしたサンプルをMACuPrep93
Predip(予備浸漬剤) (MacDermid社
製)中に3800で3分間浸漬した。次いでMACuP
rep95活性剤(MacDermid社製)中に43
°Cで3分浸し、統いて水ですすいだ。次にサンプルを
MACuPrep97促進剤(MacDerm id社
製)中に周囲温度で3分間浸漬した。続いてこれを水で
すすぎ、サンプルを風乾した。
C,ハロゲン化銀の適用 実施例2に記載したPMT紙を用いた。
D、露光と現像 PMT紙の1枚を所望の回路のポジティブ7オトツール
でマスクし、タングステン光源からの強度1,4ルツク
スの光で6秒間露光した。
B工程からのFR−4基体をCP297B Unive
rsalDeveloperで予め濡らし、5秒間水切
りをした。
露光PMT紙をリーダーフィルムにテープ付けし、リー
ダーを現像剤中に1〜2インチ浸したシリンダーの周り
のCP297B現像剤のトレイを通って「リストン」[
F]2400ラミネーター(デュポン社製)のニップに
紐で吊した。ラミネーターを毎分2.5mの速度で始動
し、リーダーにより現像剤を通して露光PMT フィル
ムを引き寄せた。PMTフィルムがニップに到達した時
、現像剤で予め濡らしたFR−4基体をPMTフィルム
と一緒にニップ中に挿入し、フィルムの露光した乳剤面
を拡散転写核を有するFR−4の親水性化表面と接触す
るようにした。60秒後、PMT紙をサンプルから剥離
すると、PMT紙の未露光領域に相当するFR−4表面
上に銀トレースが露出した。サンプルを直ちに22°C
で60秒間lO%酢酸停止浴に浸漬した。次に水ですす
ぎ、風乾させた。
銀回路は電気的に導電性であった。ポルト/オーム計は
探針が付着銀上でほぼ1cm離して保持した時、100
オームの読みを示した。転写した銀の量は、Panal
yzerモデル4000で測定した時7.8mg/dm
”であった。像は、ScotchTMテープの適用また
は剥離によっても損傷を受けなかった。
E、銅による電気メッキ サンプルを実施例IEの方法を用いて銅で電気メッキし
た。平均1八インチの剥離強度はANSI/IPC−F
C−241B法2.4.9による線インチ当り6.5ポ
ンドであった。
水分および絶縁抵抗はANSI/IPC−FC−241
B試験方法2.6.3.2で測定して少なくとも108
オームであった。
3 実施例 に の実施例は単一シート拡散転写洗去法を使用するポリイ
ミド膜の連続ロールの基体としての使用を例証するもの
である。
A、親水処理 厚さ5ミル、巾14インチのKapton■ポリイミド
膜のロールを米国特許筒4,725,504号、実施例
5の方法により連続的にエツチングした。
B、拡散転写核の適用 Aからの親水化した試料を実施例IBの方法により処理
した。
C,ハロゲン化銀の適用 Bからの試料を11インチの巾に切断し、ハロゲン化銀
は、80重量%のAgC12,19,5重量%のAgB
r及び0.5重量%のAglであるハロゲン化銀乳剤を
含む写真用乳剤のコーティングに通常使用するバーコー
ター上で連続的にコーティングした。乳剤は標準の塩化
金/チオ硫酸塩で増感し、84 HeNeレーザーイメージセッター露光に対してもスペ
クトル的に増感した。基体は同時にゼラチン/マット耐
摩耗オーバーコートをコーティングした。どの層にも硬
化剤を添加しなかった。
乳剤層はmodel 4000 Panalyzerで
測定した結果14.4mg/d++12の銀(ハロゲン
化銀トシテ)ヲ含んでいた。耐摩耗オーバーコートは約
2ミクロメーターの厚さであった。
D、露光と現像 Cからのコーティングした試料を多目的フォトツールと
接触させ、タングステンランプを使用して1.4ルツク
スで35秒間露光した。
露光した試料をUniversal Develope
r CP297B中硫酸ナトリウム4%溶液で、26°
Cで1分間現像した。試料を直ちに10%酢酸溶液に2
6°Cで1分間浸漬し、次いで乳剤を綿でこすり落とす
と元のフォトツールの倍増した光輝な銀様像が現れた。
次いで、現像した試料を水道水で35°0で1分間洗浄
した。
model 4000 Panalyzerで測定した
結果、像は6.7mg/ dm”の現像された銀を含ん
でいた。ポルト/オーム計はプローブを現像された銀か
ら約1cm離して接触させた場合7オームを示した。
透過光学密度は3.0であり、一方KaptOn■ポリ
イミド単独の場合0.59を示した。
実施例 7 耐摩耗オーバーコートを使用せず、30秒接触露光を使
用したことを除いて実施例6のように銀回路を調製した
。乳剤層はコーティング後で露光前16.3mg/ d
m2の銀(ハロゲン化銀として)含んでいた。
像は現像後5.9mg/dm2の光輝な銀を含んでいた
。ポルト/オーム計はプローブを現像した銀から約1 
cm離して接触させた場合7オームを示した。透過光学
密度は2.7であった。フォトツールの4ミクロンのラ
インとみぞは再現され、解像は優れていた。
実施例 8 A、親水処理 厚さ5ミル、幅14インチのKapton[F]ポリイ
ミド膜のロールを米国特許第4.725.504号、実
施例5の方法により連続的にエツチングした。
B、拡散転写核の適用 Aからの親水化試料を実施例1Bの方法により処理した
C,ハロゲン化銀の適用 Bからの試料を11インチの幅に切断し、ハロゲン化銀
は、100重量%のAgC12である黄色光に安全なハ
ロゲン化銀乳剤を含む写真用乳剤のコーティングに通常
使用するバーコーター上で連続的にコーティングし、前
記写真用乳剤をチオ硫酸塩で化学的に増感した。乳剤は
硬化剤を含まなかった。model 4000 Pan
alyzerにより測定した結果、コーティングは14
.2〜17.4mg/7 dm2の銀(ハロゲン化銀として)を含んでいた。
D、露光と現像 Cからのコーティングした膜を多目的フォトツールと接
触させ、100ワツトのタングステンランプを使用して
122cmインチで30秒間露光した。露光した試料を
実施例6Dのように現像しブこ。
像はmodel 4000 Panalyzerで測定
した結果、9.4mg/dm2の現像した銀を含んでい
た。ポルト/オーム計はプローブを現像した銀から1c
m離して接触させた場合5オームを示した。フォトツー
ルの4ミクロンのラインとみぞは再現され、解像は優れ
ていた。
実施例 9 この実施例はKapton[F]ポリイミドを自動的に
エツチングし、触媒作用を与え、乳剤でコーティングし
現像する半連続的方法を例証する。試料は手動で現像し
たが、この工程は同様に自動8 化することができる。
実施例6Cからの乳剤コーティング試料をディジタル駆
動He / N eレーザー光源を持つHighLig
ht System (デュポン社)を使用して連続的
に像形成した。7.0のフィルター取付けと7.5〜1
5cm/分のフィード速度を使用した。レーザーヒーム
の大きさにより、この像形成装置の解像はlミルに制限
される。
露光した試料はUniversal Develope
r CP297B中硫酸ナトリウム4%溶液で、26°
Cで1分間現像した。試料を直ちに10%酢酸溶液に2
6°Cで1分間浸漬し、次いで乳剤を綿でこすり落とす
と元のディジタル像の倍増した光輝な銀様像が現れた。
現像した試料を水道水で35°Cで1分間洗浄した。
model 4000 Panalyzerで測定した
結果、像は8.4mgldm2の現像された銀を含んで
いた。ポルト/オーム計はプローブを現像した銀から約
1c+++離して接触させた場合9オームを示した。
透過光学密度は3.0であり、一方Kapton[F]
ポリイミド単独の場合0.6を示した。
実施例 10 この実施例は金属と基体の間の良好な接着を確実にする
ため銀拡散転写前に基体上にきわめて薄い親水層を作る
必要性を例証する。
実施例2に記述した方法を工程2Aを除いてVN200
0  Kapton■ポリイミド膜の試料を使用して実
行した。得られた光輝な銀回路は導電性であった。ボル
ト/オーム計はプローブを付着した銀から約1cm離し
て保った場合30オームの読みを示した。この場合、像
は3M ScotchTMTapeを張り、そして取り
除くことにより完全に除去された。試料は工程2Eにお
けるように無電解めっきした。しかしながら、めっきし
た金属はどうしても基体に接着しなかった。
工程2Aの親水処理を除いて上述のように調製したKa
pton■ポリイミド膜上の銀像を247日後に再試験
し、テープ試験は再び完全に失敗した。
このことはエージングにより非親水化Kapton■へ
の接着は解決されないことを示している。
実施例 11 この実施例は無電解めっきのための銀の選択的活性化に
おいて高い塩化物濃度と低いpHを持つことの必要性を
例証する。
実施例2Dの試料銀回路をテトラクロロパラジウム酸カ
リウムの0.1%水溶液中で1分間活性化した。洗浄後
、試料を無電解ニッケルでめっきした。めっきは選択的
でなく、全試料がニッケルで覆われた。活性化溶液のp
Hを塩酸で段階的に下げた。0.03モルの塩化物濃度
に相当する1、5のpHで活性化作用が選択的となり、
銀のみがニッケルでめっきされた。同様に、0.1M基
塩化カリウム中酸パラジウムの0.1%水溶液は選択的
活性化を与えた。結果を次の表に要約して1 示す。
活性化選択性のpHと塩化物濃度との相関塩化物濃度 ニッケルめっき ジウム酸カリウム ポリイミド 0.1%テトラクロロパラ ジウム酸カリウム+塩酸 2.5 0.003 銀とKapton■ ポリイミド 0.1%テトラクロロパラ ジウム酸カリウム+塩酸 2.0 0、Ol 銀とKapton■ ポリイミド 0.1%テトラクロロパラ ジウム酸カリウム→−塩酸 1.5 0.03 銀 0.1%テトラクロロパラ ジウム酸カリウム+塩酸 ■、0 0.1 銀 0.1M基塩化カリウム中、1% 硫酸パラジウム 3.0 0.1 銀 実施例 12 この実施例は水洗中の銀像の湿潤強さを増すため後現像
酸処理の使用を例証する。
2 A、親水処理 2ミルのKapton■ポリイミド膜のロールを実施例
6Aにおけるように連続的にエツチングしIこ。
B、拡散転写核の適用 12Aからの親水化した試料を実施例IBの方法により
処理した。
C,ハロゲン化銀の適用 実施例2Cに記述したPMT紙を使用した。
D、N光と現像 PMT紙のシートをフォトツールでマスクし、タングス
テン光源からの強さ1.4ルツクスの光で6秒間露光し
た。
露光したPMT紙を上の工程Bからの1(apton■
ポリイミド基体のシートと共にUniversalDe
veloper CP297B (Agfa Geva
ert、 Teterboro。
NJ)中硫酸ナトリウムの4%溶液を充填したmode
l 1400 PMT processor (NuA
rc、 Chicago。
111inois)にPMT紙の乳剤側が現像液で濡ら
した短時間後にKapton■基体の親水化した表面と
合致してラミネートを形成するように供給した。
60秒後PMT紙を試料からはがすと基体の表面上に光
輝な銀像が現れた。次いで試料を35°Cの水で2分間
洗浄した。水中にある間、端をこすると重大な損傷が起
こった。像を風乾した。
上の工程Bからの触媒作用を与えた基体の第2シートを
工程CとDにおけると同様の方法で結像し、現像したが
、但し工程りにおいてPMT紙を現像した像からはがし
た後、像形成した基体は直ちに10容量%の酢酸水溶液
中で22°Cで60秒間浸漬した後、35°Cの水で2
分間洗浄した。
水中にある間この酸処理した試料は上の酸処理しない試
料が重大な損傷を受けた条件下でこすっても重大な損傷
を起こさなかった。このことは後現像酸処理は湿潤工程
で取り扱う間の損傷を予防することを示している。
実施例 13 この実施例は強固な基体の機械処理、粗面FR−4ファ
イバーグラス補強エポキシ板の高解像像形成、及び現像
液の組成を例証する。FR−4基体を上の実施例5Aと
Bに記述したように親水化し、拡散転写核で処理した。
実施例2に記述したようなPN2紙を銀増感物質として
使用しIこ。
D、露光と現像 1、装置 R4chmond Micro m■18°strai
ght through”processor(Ric
hmond/ Graphic Products、 
Inc、。
Providence、 R1)を種々な厚さの試料を
受は入れるため出口ローラーに120オンスの圧力をバ
ネによりかけるように変更した。このプロセッサーは触
媒作用を与えた表面を現像液で予め湿らせた強固な基体
をローラーにより水平に運搬する。出口ローラーで基体
は露光し現像液で湿5 らせた像形成したハロゲン化銀PMT膜ど合致して拡散
転写用ラミネートを形成する。
2、現像液 戊       分           %無水Na
2SO3 4,8 エチレンジアミン四酢酸・ニナトリ ウム塩・二水和物 0.08 Na、52035H20 Br ヒドロキノン フェニドン 2.0 0.08 0.96 0.16 水を加えて100%にする KOHOHチル13.0に調節 3、露光と現像 実施例2Cに記述したようなPN2紙のシートを実施例
5Dに記述のように露光し、上の工程D2の現像液を充
填した改変したMicro  m @  proce6 ssor (上の工程Di)の底部通路に乳剤側を上に
して供給した。同時に、上で記述したFR−4板をMi
cro m■の頂部通路に活性側を下に向けて供給した
。PN2紙と板のラミネートを60秒間保ち、はがし、
次いで板をlO容量%酢酸水に60秒間浸漬し、45°
Cの水で60秒間洗浄し、次いで風乾した。
板は透明な背景と鮮明な像を持っていた。ボルト/オー
ム計はプローブを黒色の銀像から約1cm離して保った
場合40〜60オームの読みを示した。像は3M 5c
otchRtapeを張り、次いで除去することにより
損傷を受けなかった。4ミクロンのラインとみぞという
微細部は部分的に解像された。
実施例 14 この実施例は拡散転写核として種々な金属硫化物の使用
を例証する。試料は実施例2に記述のように調製し、但
し実施例6の親水処理を使用し、種々な金属硫化物を調
製した。幾つかの処理した試料シートをポリイミドとの
結合を改善するため下表に示すように130°Cで5分
間焼き付けた。これらの試料を実施例1Eに記述した方
法を用いて銅で無電解めっきし、少なくとも7日間コン
ディショニングした後実施例2に記述のようにはがしを
試験した。その結果を下表に示す。
硫化パラジウム      なし 硫化銅          あり 硫化亜鉛         あり 硫化ニッケル       あり 実施例 15 この実施例においては、 無電解めっきのため の銀パターンの活性化に使用する溶液の化学作用を試験
する。
実施例6により調製したKapton@ポリイミド上の
裸の銀の試料を誘電性結合7°ラズマ(ICP)原子吸
光により分析し、表面上に65ミクログラム/平方セン
ナメートルを持つことが認められた。この試料を実施例
3に記述の方法により活性化し、水洗で完了した。生成
する活性化された銀像を無電解めっきの間に起こる還元
をシミュレートするため1%ナトリウムボロヒドリドと
反応させた。この膜をIcP原子吸光により分析し、付
着した金属は銀61ミクログラム/平方センチメートル
及びパラジウム19ミクログラム/平方センチメートル
であることが認められた。
これは銀が活性化工程の間にパラジウムにより置換され
ることが銀の痕跡量が無電解めっきのための活性を付与
することを示している。
Kapton■膜の試料を実施例6のように親水化9 し、パラジウム/スズで処理した。ICP原子吸光を使
用してPdを分析し、パラジウム4.6ミクログラム/
平方センチメートルであることか認められた。次いで膜
をINの)Illて1分間処理した。その後の分析はl
ミクログラム/平方センチメートル以下の濃度であるこ
とを示した。更に倍率300,000の透過型電顕写真
(TEM)は触媒粒子が塩化物処理前は存在するか処理
後は存在しないことを示した。このことは低いr)Hに
おける塩化物の作用は基体への触媒作用付与を防き、存
在し得る露光した触媒を除くことを示している。
実施例 lに の実施例は2ミルのKapton@ポリイミド膜の両側
における、及び膜に予め開けた3/8インチの穴を経る
導電銀コーティングの同時拡散転写の発現を例証する。
A、親水処理 100 VN200 Xapton■の2ミルのシートに幾ツカ
ノ378インチの穴を開け、次いで実施例IAの処理を
行った。
B、拡散転写核の適用 実施例1Bの方法に従った。
C,ハロゲン化銀の適用 実施例1cのハロゲン化銀乳剤を基体に同一量適用した
が、但し浸漬コーティングにより両側と穴の内側に同時
にコーティングした。
D、露光と現像 未露光試料をAgfa Universal Deve
loper CP297B中に45秒間浸漬し、次いで
10容量%酢酸水に直ちに浸漬した。乳剤コーティング
を綿ではがした。次いで基体を水で洗浄し、風乾した。
シートは両側に光輝な導電性銀コーティングを持ってい
た。ポルト/オーム計はプローブを一つの側の付着した
銀から約1c+++離して保った場合−つの側では5〜
10オーム、他の側では100オームの読みを示した。
穴を通じる導電性を測るため個々の穴をそれらの回りで
切って分離し、それらをシートから除いた。次いでボル
ト/オーム計のプローブを穴の回りの膜の反対側に接触
させた場合単一の穴を経る抵抗を測定することができた
。穴を経る抵抗は740〜500,000オームの間で
変動し、これは恐らくコーティングの変動によるもので
あろう。両側銀コーティング膜の全透過光学密度は5.
8であつIこ。
同様な両側ハロゲン化銀コーティング膜で穴のないもの
は実施例IDに記述のように両側に別別に最小の露光を
与え、現像して膜の両側に別別の導電性像を形成させ゛
た。
実施例 17 この実施例は硬化したWA Adhesive(デュポ
ン社)、すなわち米国特許第3,728,150号、第
3.822,175号及び第3,900,662号に記
述された架橋可能ポリマー性アクリル接着剤の表面の銀
拡散転写像形成を例証する。
A、  WA Adhesiveの適用lミルのKap
ton■ポリイミド膜(デュポン社)の試料をWA  
Adhesive溶液で1ミルにコーティングし、オー
ブン中で120 ’Oで10分間乾燥した。
#35の針金を巻いた棒を使用するドローダウンコーテ
ィング法を接着溶液を膜の表面に広げる場合に使用した
。乾燥後、接着剤をオープン中で150℃で20分間か
けて硬化した。
A−B  親水化と拡散転写核の適用 1、  Kapton■/WA基体を実施例11セクシ
ヨンB1工程1〜7に記述のように処理した。
2、接着剤に溶媒を結合させるため試料を125℃で1
0分間焼き付けた。
C1メタライゼーション 銀像をXapton[F]WA表面に形成し、実施例2
、工程C−Hに記述のように銅で無電解めっきした。試
料はANSI/ IPC−FC−241Bのmetho
d 2.4.9゜で測定した場合、7.0ffb/イン
チ幅の平均1/8インチの剥離強度を持っていた。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1) (a) 基体の表面部分に親水性を付与するため
    に絶縁性基体に親水処理を施し、 (b) 絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡
    散転写核を施し、 (c) 拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層とし
    てか、または第2の基体上に層として、ハロゲン化銀を
    含有する感光性物質を施し、 (d) 感光性物質層の一部分を活性線に露光し、 (e) 工程(d)において露光した層に現像液を施し
    、 (f) 銀拡散転写によって基体上に、コーティングと
    して銀のパターンを形成させ、この際層の表面部分は拡
    散転写核と接触するものとし、そして (g) 絶縁性基体の表面上に工程(f)で形成された
    銀パターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含
    まれていた層を除去する、以上の各工程から成る、絶縁
    性基体上に密着性導電性金属、パターンを形成させる方
    法。 2) 工程(a)および工程(b)が同時に行なわれる
    請求項1)の方法。 3) 銀コーティングが50オーム/平方よりも大きく
    ない抵抗を有するものである請求項1)の方法。 4) 少なくとも1回のハンダ付け操作ができるように
    基体が熱的に安定なものである請求項1)の方法。 5) 複数回のハンダ付け操作ができるように基体が熱
    的に安定なものである請求項4)の方法。 6) 基体がポリイミド、ポリエステルおよびガラス布
    で強化されたエポキシ樹脂からなる群から選ばれるもの
    である請求項4)の方法。 7) 基体が架橋可能な重合アクリル系接着剤でコート
    されたポリイミドフィルムである請求項6)の方法。 8) 基体が三次元表面を有するものである請求項1)
    の方法。 9) 基体が少なくとも1つの孔を有するものである請
    求項1)の方法。 10) 絶縁性基体が2つまたはそれ以上の層の複合体
    である請求項1)の方法。 11) ハロゲン化銀を含有する感光性物質が絶縁性基
    体上に拡散転写核に重ねられた層として施されるもので
    あり、さらに工程(b)に引き続き拡散転写核とハロゲ
    ン化銀を含有する感光性物質との間に剥離層が絶縁基体
    に施されるものである請求項1)の方法。 12) 剥離層がゼラチン、フタル酸化されたゼラチン
    、セルロース誘導体およびポリビニルアルコールからな
    る群から選ばれた物質で構成される請求項11)の方法
    。 13) 工程(a)において親水性が付与される基体の
    表面部分が0.2マイクロメートルよりも厚くないもの
    である請求項1)の方法。 14) 工程(b)において施された拡散転写核が絶縁
    性基体の親水性部分に少なくとも0.02マイクロメー
    トル透入するものである請求項1)の方法。 15) 工程(b)において施された拡散転写核が絶縁
    性基体の親水性部分を通して完全に透入するものである
    請求項14)の方法。 16) 電気的導体のさらに少なくとももう1つのコー
    ティングが銀コーティングに加えられるものである請求
    項1)の方法。 17) 銀コーティングが厚さ0.2マイクロメートル
    よりも厚くないものである請求項16)の方法。 18) さらに施される電気導体コーティングのすべて
    の施用のあとで、この電気導体コーティングおよび絶縁
    性基体に酸性媒体が施されるものである請求項16)の
    方法。 19) さらに施される電気導体が銅、ニッケル、金、
    銀、パラジウム、鉛、亜鉛、クロム、すず、鉄およびコ
    バルトからなる群から選ばれる金属である請求項16)
    の方法。 20) 銀コーティングがニッケルの最初のコーティン
    グおよび銅の第2番目のコーティングと共にコートされ
    ているものである請求項19)の方法。 21) 少なくとも1つの電気導体と共にコートされた
    銀コーティングの絶縁性基体への接着は、ANSI−I
    PC−FC−241B方法2.4.9のテストで測定し
    て少なくとも3.0ポンド/インチ巾である請求項16
    )の方法。 22) 絶縁性基体および少なくとも1つの電気導体で
    コートされた銀コーティングがANSI/IPC−FC
    −241Bテスト方法2.6.3.2のテストで測定し
    て少なくとも10^8オームの湿分および絶縁抵抗値を
    有する請求項16)の方法。 23) 工程(g)からの銀パターンを絶縁コーティン
    グでカバーすることからさらに成る請求項1)の方法。 24) 絶縁性基体および絶縁コーティングでコートさ
    れた銀コーティングはANSI/IPC−FC−241
    Bテスト方法2.6.3.2のテストで測定して少なく
    とも10^8オームの湿分および絶縁抵抗値を有する請
    求項23)の方法。 25) (a) 基体の表面部分に親水性を付与するた
    めに絶縁性基体に親水処理を施し、 (b) 絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡
    散転写核を施し、 (c) 拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層とし
    てか、または第2の基体上の層として、ハロゲン化銀を
    含有する感光性物質を施し、 (d) 感光性物質層の一部分を活性線に露光し、 (e) 工程(d)において露光した層に現像液を施し
    、 (f) 銀拡散転写によって基体上にコーティングとし
    て銀パターンを形成させ、この際層の表面部分は拡散転
    写核と接触するものと し、 (g) 絶縁性基体の表面上に工程(f)で形成された
    銀パターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含
    まれていた層を除去し、そして (h) この現像された銀パターンをpH約0から5を
    有する酸性溶液で処理し、この際工程(h)を工程(g
    )と同時にかまたは工程(g)の直後に行なう、以上の
    各工程から成る、絶縁性基体上に密着性導電性金属パタ
    ーンを形成させる方法。 26) 工程(a)および工程(b)が同時に行なわれ
    る請求項25)の方法。 27) 少なくとも1回のハンダ付け操作ができるよう
    に基体が熱的に安定なものである請求項25)の方法。 28) 複数回のハンダ付け操作ができるように基体が
    熱的に安定なものである請求項27)の方法。 29) 基体がポリイミド、ポリエステルおよびガラス
    布で強化されたエポキシ樹脂からなる群から選ばれるも
    のである請求項27)の方法。 30) 基体が架橋可能な重合アクリル系接着剤でコー
    トされたポリイミドフィルムである請求項29)の方法
    。 31) 基体が三次元表面を有するものである請求項2
    5)の方法。 32) 基体が少なくとも1つの孔を有するものである
    請求項25)の方法。 33) 絶縁性基体が2つまたはそれ以上の層の複合体
    である請求項25)の方法。 34) ハロゲン化銀を含有する感光性物質が絶縁性基
    体上に拡散転写核に重ねられた層として施されるもので
    あり、さらに工程(b)に引き続き拡散転写核とハロゲ
    ン化銀を含有する感光性物質との間に剥離層が絶縁性基
    体に施されるものである請求項25)の方法。 35) 剥離層がゼラチン、フタル酸化されたゼラチン
    、セルロース誘導体およびポリビニルアルコールからな
    る群から選ばれた物質で構成される請求項34)の方法
    。 36) 工程(a)において親水性が付与される基体の
    表面部分が0.2マイクロメートルよりも厚くないもの
    である請求項25)の方法。 37) 工程(b)において施された拡散転写核が絶縁
    性基体の親水性部分に少なくとも0.02マイクロメー
    トル透入するものである請求項25)の方法。 38) 工程(b)において施された拡散転写核が絶縁
    性基体の親水性部分を通して完全に透入するものである
    請求項37)の方法。 39) 電気的導体のさらに少なくとももう1つのコー
    ティングが銀コーティングに加えられるものである請求
    項25)の方法。 40) 銀コーティングが厚さ0.2マイクロメートル
    よりも厚くないものである請求項39)の方法。 41) さらに施される電気導体コーティングのすべて
    の施用のあとで、この電気導体コーティングおよび絶縁
    性基体に酸性媒体が施されるものである請求項39)の
    方法。 42) さらに施される電気導体が銅、ニッケル、金、
    銀、パラジウム、鉛、亜鉛、クロム、すず、鉄またはコ
    バルトからなる群から選ばれる金属である請求項39)
    の方法。 43) 少なくとも1つの電気導体と共にコートされた
    銀コーティングの絶縁性基体への接着は、ANSI−I
    PC−FC−241B方法2.4.9のテストで測定し
    て少なくとも3.0ポンド/インチ巾である請求項39
    )の方法。 44) 絶縁性基体および少なくとも1つの電気導体で
    コートされた銀コーティングがANSI/IPC−FC
    −241Bテスト方法2.6.3.2のテストで測定し
    て少なくとも10^8オームの湿分および絶縁抵抗値を
    有するものである請求項39)の方法。 45) (a) 銀パターンを本質的にPd(II)、P
    t(IV)、Rh(III)およびこれらの混合物からなる
    群から選ばれた金属イオンを含有する水溶液であって、
    4.0よりも大きくないpHと、また0.03Mよりも
    小さいハライドイオン濃度とを有する溶液で処理し、そ
    して (b) 工程(a)で処理した銀パターンを少なくとも
    1つの金属で無電解的にメッキする、以上の工程からな
    る表面部分が親水性である基体上の銀パターンの上に無
    電解的にメッキをする方法。 46) ハライドイオンがクロライドである請求項45
    )の方法。 47) 工程(b)における金属が銅、ニッケル、パラ
    ジウム、金およびコバルトからなる群から選ばれるもの
    である請求項45)の方法。 48) 工程(a)における金属イオンがPd(II)で
    ある請求項45)の方法。 49) pHが1.5よりも大きくない請求項45)の
    方法。 50) (a) 基体の表面部分に親水性を付与するた
    めに絶縁性基体に親水処理を施し、 (b) 絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡
    散転写核を施し、 (c) 拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層とし
    てか、または第2の基体上に層として、ハロゲン化銀を
    含有する感光性物質を施し、 (d) 感光性物質層の一部分を活性線に露光し、 (e) 工程(d)において露光した層に現像液を施し
    、 (f) 銀拡散転写によって基体上にコーティングとし
    て銀パターンを形成させ、この際層の表面部分は拡散転
    写核と接触するものと し、 (g) 絶縁性基体の表面上に工程(f)で形成された
    銀パターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含
    まれていた層を除去し、 (h) この現像された銀パターンをpH約0から5を
    有する酸性溶液で処理し、この際工程(h)を工程(g
    )と同時にかまたは工程(g)の直後に行ない、 (i) 工程(h)からの銀パターンを本質的にPd(
    II)、Pt(IV)、Rh(III)およびこれらの混合物
    からなる群から選ばれた金属イオンを含有する水溶液で
    あって、4.0よりも大きくないpHとまた0.03M
    よりも小さいハライドイオン濃度とを有する溶液で処理
    し、そして (j) 工程(i)で処理した銀パターンを少なくとも
    1つの導体金属で無電解的にメッキする、以上の各工程
    からなる、絶縁性基体上に密着性導電性金属パターンを
    形成させる方 法。 51) 工程(a)および工程(b)が同時に行なわれ
    る請求項50)の方法。 52) さらに施される電気導体コーティングのすべて
    の施用のあとで、この電気導体コーティングおよび絶縁
    性基体に酸性媒体が施されるものである請求項50)の
    方法。 53) 工程(1)におけるハライドがクロライドであ
    る請求項50)の方法。 54) 工程(j)における導体金属が、銅、金、ニッ
    ケル、パラジウムおよびコバルトからなる群から選ばれ
    るものである請求項50)の方法。 55) 工程(g)における金属イオンがPd(II)で
    ある請求項50)の方法。 56) pHが1.5よりも大きくないものである請求
    項50)の方法。 57) 少なくとも1つの電気導体と共にコートされた
    銀コーティングの絶縁性基体への接着は、ANSI−I
    PC−FC−241B方法2.4.9のテストで測定し
    て少なくとも3.0ポンド/インチ巾である請求項50
    )の方法。 58) 絶縁性基体および少なくとも1つの金属と共に
    無電解的にメッキされた銀のパターンが、ANSI/I
    PC−FC−241Bテスト方法2.6.3.2のテス
    トで測定して少なくとも10^8オームの湿分および絶
    縁抵抗値を有する請求項50)の方法。 59) 少なくとも1回のハンダ付け操作ができるよう
    に基体が熱的に安定なものである請求項50)の方法。 60) 複数回のハンダ付け操作ができるように基体が
    熱的に安定なものである請求項50)の方法。 61) 基体がポリイミド、ポリエステルおよびガラス
    布で強化されたエポキシ樹脂からなる群から選ばれるも
    のである請求項59)の方法。 62) 基体が架橋可能な重合アクリル系接着剤でコー
    トされたポリイミドフィルムである請求項59)の方法
    。 63) 基体が三次元表面を有するものである請求項5
    0)の方法。 64) 基体が少なくとも1つの孔を有するものである
    請求項50)の方法。 65) 絶縁基体が2つまたはそれ以上の層の複合体で
    ある請求項50)の方法。 66) ハロゲン化銀を含有する感光性物質が絶縁性基
    体上に拡散転写核に重ねられた層として施されるもので
    あり、さらに工程(b)に引き続き拡散転写核とハロゲ
    ン化銀を含有する感光性物質との間に剥離層が絶縁基体
    に施されるものである請求項50)の方法。 67) 剥離層がゼラチン、フタル酸化されたゼラチン
    、セルロース誘導体およびポリビニルアルコールからな
    る群から選ばれた物質で構成されるものである請求項6
    6)の方法。 68) 工程(a)において親水性が付与された基体の
    表面部分が0.2マイクロメートルよりも厚くないもの
    である請求項50)の方法。 69) 工程(b)において施された拡散転写核が絶縁
    性基体の親水性部分に少なくとも0.02マイクロメー
    トル透入するものである請求項50)の方法。 70) 工程(b)において施された拡散転写核が絶縁
    基体の親水性部分を通して完全に透入するものである請
    求項69)の方法。 71) 絶縁性基体上の密着性導電性金属パターンをそ
    なえた電子装置の製造に有用な物品であって、この密着
    性導電性金属パターンは、 (a) 基体の表面部分に親水性を付与するために絶縁
    性基体に親水処理を施し、 (b) 絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡
    散転写核を施し、 (c) 拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層とし
    てか、または第2の基体上に層としてハロゲン化銀を含
    有する感光性物質を施 し、 (d) 感光性物質層の一部分を活性線に露光し、 (e) 工程(d)において露光した層に現像液を施し
    、 (f) 銀拡散転写によって基体上にコーティングとし
    て銀パターンを形成させ、この際層の表面部分は拡散転
    写核と接触するものとし、そして (g) 絶縁基体の表面上に工程(f)で形成された銀
    パターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含ま
    れていた層を除去することの各工程によって形成された
    ものである上記の物品。 72) 工程(a)および工程(b)が同時に行なわれ
    るものである請求項71)の物品。 73) 少なくとも1回のハンダ付け操作ができるよう
    に基体が熱的に安定なものである請求項71)の物品。 74) 複数回のハンダ付け操作ができるように基体が
    熱的に安定なものである請求項73)の物品。 75) 基体がポリイミド、ポリエステルおよびガラス
    布で強化されたエポキシ樹脂からなる群から選ばれるも
    のである請求項73)の物品。 76) 基体が架橋可能な重合アクリル系接着剤でコー
    トされたポリイミドフィルムである請求項75)の物品
    。 77) 基体が三次元表面を有するものである請求項7
    1)の物品。 78) 基体が少なくとも1つの孔を有するものである
    請求項71)の物品。 79) 絶縁性基体が2つまたはそれ以上の層の複合体
    である請求項71)の物品。 80) 銀コーティングが50オーム/平方よりも大き
    くない抵抗を有するものである請求項71)の物品。 81) 電気的導体のさらにもう一つのコーティングが
    銀コーティングに加えられるものである請求項71)の
    物品。 82) 少なくとも1つの電気導体と共にコートされた
    銀コーティングの絶縁性基体への接着は、ANSI−I
    PC−FC−241B方法2.4.9のテストで測定し
    て少なくとも3.0ポンド/インチ巾である請求項81
    )の物品。 83) 絶縁性基体および少なくとも1つの電気導体で
    コートされた銀コーティングがANSI/IPC−FC
    −241Bテスト方法2.6.3.2のテストで測定し
    て少なくとも10^8オームの湿度および絶縁抵抗値を
    有するものである請求項81)の物品。 84) 工程(g)からの銀パターンを絶縁コーティン
    グでさらにカバーすることからなる請求項71)の物品
    。 85) 絶縁性基体および絶縁コーティングでコートさ
    れた銀コーティングは、ANSI/IPC−FC−24
    1Bテスト方法2.6.3.2のテストで測定して少な
    くとも10^8オームの湿度および絶縁抵抗値を有する
    ものである請求項84)の物品。 86) 絶縁性基体上の密着性導電性金属パターンをそ
    なえた電子装置の製造に有用な物品であって、この密着
    性導電性金属パターンは、 (a) 基体の表面部分に親水性を付与するために絶縁
    性基体に親水処理を施し、 (b) 絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡
    散転写核を施し、 (c) 拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層とし
    てか、または第2の基体上に層としてハロゲン化銀を含
    有する感光性物質を施 し、 (d) 感光性物質層の一部分を活性線に露光し、 (e) 工程(d)において露光した層に現像液を施し
    、 (f) 銀拡散転写によって基体上にコーティングとし
    て銀パターンを形成させ、この際 層の表面部分は拡散転写核と接触するものとし、 (g) 絶縁基体の表面上に工程(f)で形成された銀
    パターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含ま
    れていた層を除去しそし て、 (h) この現像された銀のパターンをpH約0から5
    を有する酸性溶液で処理し、この際工程(h)を工程(
    g)と同時にかまたは工程(g)の直後に行なう、以上
    の各工程によって形成されたものである、上記の物品。 87) 工程(a)および工程(b)が同時に行なわれ
    るものである請求項86)の物品。 88) 少なくとも1回のハンダ付け操作ができるよう
    に基体が熱的に安定なものである請求項86)の物品。 89) 複数回のハンダ付け操作ができるように基体が
    熱的に安定なものである請求項88)の物品。 90) 基体がポリイミド、ポリエステルおよびガラス
    布で強化されたエポキシ樹脂からなる群から選ばれるも
    のである請求項88)の物品。 91) 基体が架橋可能な重合アクリル系接着剤でコー
    トされたポリイミドフィルムである請求項90)の物品
    。 92) 基体が三次元表面を有するものである請求項8
    6)の物品。 93) 基体が少なくとも1つの孔を有するものである
    請求項86)の物品。 94) 絶縁性基体が2つまたはそれ以上の層の複合体
    である請求項86)の物品。 95) 電気的導体のさらにもう1つのコーティングが
    銀コーティングに加えられるものである請求項86)の
    物品。 96) 少なくとも1つの電気導体と共にコートされた
    銀コーティングの絶縁性基体への接着は、ANSI−I
    PC−FC−241B方法2.4.9のテストで測定し
    て少なくとも3.0ポンド/インチ巾である請求項95
    )の物品。 97) 絶縁性基体および少なくとも1つの電気導体で
    コートされた銀コーティングがANSI/IPC−FC
    −241Bテスト方法2.6.3.2のテストで測定し
    て少なくとも10^8オームの湿度および絶縁抵抗値を
    有するものである請求項95)の物品。 98) 絶縁性基体上の密着性導電性金属パターンをそ
    なえた電子装置の製造に有用な物品であって、この密着
    性導電性金属パターンは、 (a) 基体の表面部分に親水性を付与するために絶縁
    性基体に親水処理を施し、 (b) 絶縁性基体の親水性部分にバインダーなしで拡
    散転写核を施し、 (c) 拡散転写核に重ねられた絶縁性基体上に層とし
    てか、または第2の基体上に層としてハロゲン化銀を含
    有する感光性物質を施 し、 (d) 感光性物質層の一部分を活性線に露光し、 (e) 工程(d)において露光した層に現像液を施し
    、 (f) 銀拡散転写によって基体上にコーティングとし
    て銀のパターンを形成させ、この際層の表面部分は拡散
    転写核と接触するものとし、 (g) 絶縁基体の表面上に工程(f)で形成された銀
    のパターンを残しながらはじめにハロゲン化銀物質が含
    まれていた層を除去し、 (h) この現像された銀のパターンをpH約0から5
    を有する酸性溶液で処理し、この際工程(h)を工程(
    g)と同時にかまたは工程(g)の直後に行ない、 (i) 工程(h)からの銀パターンを本質的にPd(
    II)、Pt(IV)、Rh(III)およびこれらの混合物
    からなる群から選ばれた金属イオンを含有する水溶液で
    あって、4.0よりも大きくないpHとまた0.03M
    よりも小さいハライドイオン濃度とを有する溶液で処理
    し、そして (j) 工程(i)で処理した銀のパターンを少なくと
    も1つの導体金属で無電解的にメッキする、以上の各工
    程によって形成されたものである、上記の物品。 99) 工程(a)および工程(b)が同時に行なわれ
    るものである請求項98)の物品。 100) 工程(i)におけるハライドがクロライドで
    ある請求項98)の物品。 101) 工程(j)における導体金属が、銅、金、ニ
    ッケル、パラジウムおよびコバルトからなる群から選ば
    れるものである請求項98)の物品。 102) 工程(g)における金属イオンがPd(II)
    である請求項98)の物品。 103) pHが1.5よりも大きくないものである請
    求項98)の物品。 104) 少なくとも1回のハンダ付け操作ができるよ
    うに基体が熱的に安定なものである請求項98)の物品
    。 105) 複数回のハンダ付け操作ができるように基体
    が熱的に安定なものである請求項104)の物品。 106) 基体がポリイミド、ポリエステルおよびガラ
    ス布で強化されたエポキシ樹脂からな る群から選ばれるものである請求項104)の物品。 107) 基体が架橋可能な重合アクリル系接着剤でコ
    ートされたポリイミドフィルムである請求項106)の
    物品。 108) 基体が三次元表面を有するものである請求項
    98)の物品。 109) 基体が少なくとも1つの孔を有するものであ
    る請求項98)の物品。 110) 絶縁性基体が2つまたはそれ以上の層の複合
    体である請求項98)の物品。 111) 少なくとも1つの導体金属で無電解的にメッ
    キされた銀パターンの絶縁性基体への接着は、ANSI
    −IPC−FC−241B方法2.4.9のテストで測
    定して少なくとも3.0ポンド/インチ巾である請求項
    98)の物品。 112) 絶縁性基体および少なくとも1つの導体金属
    で無電解的にメッキされた銀パターンは、ANSI/I
    PC−FC−241Bテスト方法2.6.3.2のテス
    トで測定して少なくとも10^8オームの湿度および絶
    縁抵抗値を有するものである請求項 98)の物品。
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