JPH03223677A - テスターヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、テスターヘッドに関し、特に、ＬＳＩチップ
を直接ボンディングするフェースマウント方式の基板の
パターンのような高密度実装パターンの電気的なチエツ
クに用いられるテスターヘッドに関する。

（ロ）従来の技術 近年、ＬＳＩ等のチップは高密度実装、小型化が進み、
電極部ら微細化、かつ増加する傾向にある。かかるチッ
プは、フェースボンディング方式によって基板に直接実
装されることが多い。

ＬＳＩ等のチップの高密度化、微細化に伴って、これが
フェースマウントされる基板の高密度化、微細化も進ん
でいる。このため、チップのボンディング前に基板の配
線パターンのチエツクが必要になる。

かかるチエツクは、第５図に示すようなプローブカード
４００によって、測定対象物たる基板と測定装置（テス
ター）とを接続して行われる。このプローブカードは、
開口４２０が開設された基板４１０と、前記開口４２０
に放射状に取り付けられた複数本のプローブ４３０とが
らなり、フック状に折曲形成されたプローブ４３０の先
端を測定対象物の電極部に圧接することによって、測定
対象物と測定装置とを接続するように構成されている（
例えば、特開昭６３−１１９５４４号公報参照）。

（ハ）発明が解決しようとする課題 しかしながら、配線パターンの高密度化、微細化、摸雉
化に陣って、上述したようなプローブカードによるチエ
ツクは困難になってきている。

本発明は、より高密度、かつ微細なパターンを有する測
定対象物であっても、その電気的緒特性を測定すること
ができるテスターヘッドを掛供するらのである。

（ニ）課題を解決するための手段 この発明は、フレキノプル絶練基板と、前記基板上に設
けられ試験対象物の複数の電気端子に対応する位置に配
列された複数の導電性突起部と、前記基板上に設けられ
各一端が前記突起部に電気的に接続され各ｉｔ！！端が
テスターの出力端子に接続される導電パターンとを備え
、前記突起部を絶縁性の弾性板を介して試験対象物の電
気端子に一様に圧接することによって、首記電気端子と
テスターの出力端子とが電気的に接続されるテスターヘ
ッドをｔ１！供するものである。

フレキシブル絶縁基板が試験対象物の電気端子の位置に
対応して開設された複数の開口を有し、導電パターンか
基板裏面に形成され、導電性突起部の底部が基板裏面で
導電パターンと接続されると共に、導電性突起部の先端
が前記開口を介して基板表面に突出することが好ましい
。

導電性突起部の底面は加圧用の突起部を備えてらよい。

さらに、前記貫通孔は、基板表面側開口径が基板裏面側
開口径よりも大きくなるよう形成され、断面が階段状の
孔であり、導電パターンは導電性突起部の形状に関係無
く形成される。

（ホ）作用 試験対象物の電気端子にテスターヘッドの導電性突起部
を圧接するだけで、テスターヘッドがテスターに接続さ
れて電気的緒特性の測定が行われろ。

（へ）実施例 以下、図面に示す第１〜第４の実施例を参照して本発明
を説明する。

〔第１の実施例〕 第１図は本発明の第１の実施例に係るテスターヘッドの
概略的斜視図、第２図はこのテスターヘッドを用いた電
気的緒特性の測定の様子を示す概略的説明図、第３図は
測定装置全体の概略的正面図、第４図はこの実施例の変
形のテスターヘッドの導電性突起部の斜視図である。な
お、本実施例においては液晶デイスプレィ２００を測定
（試験）対象物の例とする。

本実施例に係るテスターヘッド１００は、液晶デイスプ
レィ２００の電気的緒特性の測定に用いられるらのであ
って、前記液晶デイスプレィ２００の電極部（電気端子
）２１Ｏに圧接される導電性突起部１２１が端部に形成
された導電パターン１２０を表面Ｉｌｌに有する可とう
性フィルムｌｌＯからなる。　ポリイミドフィルム等の
可とう性を有する材質からなる可とう性フィルム１１０
の表面には、所定の導電パターン１２０が形成されてい
る。この導電パターン１２０は、液晶デイスプレィ２０
０に応じて設定される。

前記導電パターン１２０の端部には、半円球状の導電性
突起部！２１が形成されている。この導電性突起部１２
１が液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に圧接され
るのである。この導電性突起部＋２＋は、可とう性フィ
ルム＋１０の表面１１１に形成された銅箔のエツチング
、又は可とう性フィルム１１０の表面ｉｌｌへの銅メツ
キ積層によって形成される。もちろん、同時に導電バタ
−ン１２０も形成される。

次に、本実施例に係るテスターヘッド１００を用いた液
晶デイスプレィ２００の電気的緒特性の測定について第
２図及び第３図を参照しつつ説明する。

検査装置３００は第３図に示すように、液晶デイスプレ
ィ２００とテスターヘッド１００をアライメントし、液
晶デイスプレィ２００の電極部２１０とテスターヘッド
１００の導電性突起部１２＋との圧接を行うコンタクト
部３１０と、液晶ディスブ［ノイ２００の検査を行う検
査ユニット（テスター）３２０と、検査装置３００全体
の制御を行う制御部３３０等から構成されている。

前記コンタクト部３１０は、テスク−ヘッド１００、を
裏面側から液晶デイスプレィ２００に押圧するプレー！
・３１１と、このプレート３１１とテスターヘッド１０
０との間に介在されて押圧力を分散して導電性突起部１
２＋に伝える与圧ゴム３１２と、検査ユニット（テスタ
ー’）３２０とテスターヘッド＋００とを接続するフォ
フク゛３１４及び配線基板３１３とを有している。

すなわち、液晶デイスプレィ２００の電極部２１０にテ
スターヘッド１００の導電性突起部１２１を圧接するだ
けで、テスターヘッド１００が検査ユニット３２０に接
続されて電気的緒特性の測定が行われる。

なお、導電性突起部＋２１は第１図に示すような半円球
状に限定されるものではなく、例えば第４図に示すよう
な薄口柱状であってもよい。

この実施例に係るテスターヘッドは、測定対象物の１ｉ
ｔｉ部に圧接されろ導電性突起部を有する導電パターン
を可とう性フィルムの表面に形成したしのであるから、
より高密度で徽細な電極部を有する測定対象物を検査す
ることができる。

〔第２の実施例〕 第６図は本発明の第２の実施例に係るテスターヘッドの
概略的一部破断斜視図、第７図はこの実施例の変形のテ
スターヘッドの導電性突起部を示す断面図である。なお
、本実施例においては前述の実施例と同様にデイスプレ
ィ２００を測定対象物の例とする。

本実施例に係るテスターヘッド１００は、液晶デイスプ
レィ２００の電気的緒特性の測定に用いられるものであ
って、液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に対応し
て開口１１３が開設されるとともに、裏面ｉｌｌに所定
の導電パターン１２０が形成された可とう性フィルム１
１０からなり、前記導電パターン１２０の端部からは訂
記開口１１３を介して導電性突起部１２１が表面１１２
に突出している。

ポリイミドフィルム等の可とう性を存する材質からなる
可とう性フィルム１１０の裏面１．　ｌ　ｌには、所定
の導電パターン１２０が形成されている。

この導電パターン１．２０は、液晶デイスプレィ２００
に応じて設定される。また、当該可とう性フィルム＋１
０には、円形の開口１１３が開設されている。この開口
１１３は液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に対応
するとともに、導電パターン＋２０の端部にも対応する
。

前記導電パターン１２０の端部には、半円球状の導電性
突起部１２１が形成されている。従って、導電性突起部
＋２１は、開口１１３を介して可とう性フィルム！１０
の表面１１２側に突出している。この導電性突起部＋２
１か液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に圧接され
るのである。この導電性突起部＋２１は、開口１１３を
介して導電パターン１２０の端部にメツキ積層を行うこ
とによって形成される。

なお、本実施例に係るテスターヘッド１００を用いた液
晶デイスプレィ２００の電気的緒特性の測定は、第１の
実施例と同様に行われる。

なお、導電性突起部１２１は半円球状を呈しているとし
て説明したが、本発明がこれに限定されろわけではない
。例えば、第７図に示すような台形状に形成されていて
も、可とう性フィルム１１０の開口１１３から表面１１
２側に突出しさえしていればよい。

この実施例に係るテスターヘッドは、測定対象物の電気
的緒特性の測定に用いられるテスターヘッドにおいて、
測定対象物の電極部に対応して開口が開設されるととも
に、裏面に所定の導電パターンが形成された可とう性フ
ィルムからなり、前記導電パターンの端部からは前記開
口を介して導電性突起部が表面に突出しており、前記導
電性突起部を測定対象物の電極部に圧接して測定装置と
測定対象物との接続を行うものであるから、より高密度
で微細な電極部を宵する測定対象物を検査することがで
きる。

〔第３の実施例〕 第８図は本発明の一実施例に係るテスターヘッドの概略
的一部破断斜視図、第９図はこのテスターヘッドの側面
図である。なお、本実施例においては前述の実施例と同
様に液晶デイスプレィ２００を測定対象物の例とする。

本実施例に係るテスターヘッド１００は、液晶デイスプ
レィ２００の電気的堵特性の測定に用いられるものであ
って、液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に対応し
て開口１１３が開設されるとともに、裏面２１に所定の
導電パターン１２０が形成された可とう性フィルム＋１
０からなり、前記導電パターン１２０の端部からは前記
開口ｌ１３を介して半円球状の導電性突起部＋２１が表
面ｌ１２に突出し、かつ裏面Ｉｌｌには加圧用突起部１
２２が形成されている。

ポリイミドフィルム等の可とう性を有する材質からなる
可とう性フィルム＋１０の裏面ｉｌｌには、所定の導電
パターン１２０がエツチング等によって形成されている
。この導電パターン１２０は、液晶デイスプレィ２００
に応じて設定される。

また、当該可とう性フィルム１１０には、日影の開口１
１３が開設されている。この開口１１３は液晶デイスプ
レィ２００のＸ極部２１０に対応するとと乙に、導電パ
ターン１２０の端部にも対応する。

前記導電パターン１２０の端部には、前記開口１１３よ
り径小の半円球状の導電性突起部１２１が形成されてい
る。従って、導電性突起部１２１は、開口１１３を介し
て可とう性フィルムｌｌＯの表面１１２側に突出してい
る。この導電性突起部１２１が液晶デイスプレィ２００
の電極部２１Ｏに圧接されるのである。この導電性突起
部１２１は、開口＋１３を介して導電パターン１２０の
端部にメツキ積層を行うことによって形成される。

また、フレキシブルフィルム１１０の裏面ｌｌｌ側には
、前記導電性突起部＋２１及び開口１１３より径大な略
半円球状の加圧用突起部＋２２が形成されている。この
加圧用突起部１２２は、前記開口１１３を裏面Ｉｌｌ側
から閉塞するようにして形成される。この加圧用突起部
１２２も前記導電性突起部１２１と同様にメツキ積層に
よって形成される。従って、導電性突起部＋２１と、こ
の加圧用突起部【２２とは一体に形成されているのであ
る。

なお、本実施例に係るテスターヘッド１００を用いた液
晶デイスプレィ２００の電気的諸特性の測定は前述の実
施例と同様に行われる。その時、導電性突起部１２＋を
液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に圧接すると、
加圧用突起部１２２が与圧ゴム３１２に食い込んで、プ
レート３１１による押圧力が確実に導電性突起部１２１
に伝達される。すなわち、導電性突起部１２１は確実に
所定の圧接力でもって電極部２１０に接触させられる。

なお、この実施例では、導電性突起部１２１及び加圧用
突起部１２２を略半円球状として説明したが、これに限
定されるものではない。他の形状であっても、導電性突
起部１２１が可とう性フィルム１１０の表面１１２から
突出し、かつ加圧用突起部１２２が裏面ＩＩＩから突出
していればよい。

この実施例に係るテスターヘッドは、測定対象物の電気
的諸特性の測定に用いられるテスターヘッドであって、
測定対象物の電極部に対応して開口か開設されるととも
に、裏面に所定の導電パターンが形成された可とう性フ
ィルムからなり、前記導電パターンの端部からは前記開
口を介して導電性突起部が表面に突出し、かつ裏面には
加圧用突起部が形成されているので、より高密度で微細
な電極部を有する測定対象物を検査することができろと
ともに、測定対象物のｉｌ！極部と導電性突起部とを所
定の圧接力で接触させることができる。従って、電気的
緒特性のより確実な測定を行うことができる。

〔第４の実施例〕 第１０図は本発明の第４の実施例に係るテスターヘッド
の概略的一部破断斜視図、第１１図はこのテスターヘッ
ドの側面図である。なお、本実施例においては前述の実
施例と同様に液晶デイスプレィ２００を測定対象物の例
とする。

本実施例に係るテスターヘッド＋００は、液晶デイスプ
レィ２００の電気的緒特性の測定に用いられるらのであ
って、液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に対応し
、て開口１１３が２段階に開設されるとと乙に、裏面１
１１に所定の導電パターン１２０が形成された可とう性
フィルム１１０からなり、前記導電パターン１２０の端
部からは前記開口１１３を介して半円球状の導電性突起
部１２１が表面に突出している。

ポリイミドフィルム等の可とう性を有する材質からなる
可とう性フィルム１１０の裏面Ｉｌｌには、所定の導電
パターン１２０がエツチング等にて形成される。この導
電パターン１２０は、液晶デイスプレィ２００に応じて
設定される。また、当該可とう性フィルム１１０には、
円形の２段の開口１１３が開設されている。この開口１
１．３は液晶デイスプレィ２００の電極部２１０に対応
するとともに、導電パターン＋２０の端部にも対応する
。

前記導電パターン１２０の端部には、前記開口＋１３よ
り径小の半円球状の導電性突起部１２１が形成されてい
る。従って、導電性突起部＋２１は、開口＋１３を介し
て可とう性フィルム！１０の表面［１２側に突出してい
る。この導電性突起部＋２１が液晶デイスプレィ２００
の電極部２１０に圧接されるのである。この導電性突起
部１２１は、開口１１３を介して導電パターン１２０の
端部にメツキ積層を行うことによって形成される。

本実施例に係るテスターヘッド！００を用いた液晶デイ
スプレィ２００の電気的緒特性の測定は前述の実施例と
同様に行われる。

すなわち、液晶デイスプレィ２００の電極部２１０にテ
スターヘッドｌＯＯの導電性突起部１２１を圧接するだ
けで、テスターヘッド！００が検査ユニットに接続され
て電気的緒特性の測定がおこなわれる。

なお、上述した実施例では、導電性突起部１２【を略半
円球状として説明したが、本発明がこれに限定されるも
のではない。他の形状であっても、導電性突起部１２」
が可とう性フィルム１１０の表面１１２から突出しさえ
していればよい。

また、上述した実施例では、開口１１．３を２段に開設
して説明したが、本発明がこれに限定されるものではな
い。他の形状であっても、導電性突起部１２１の底部が
頭部に対し径小であればよい。

この実施例に係るテスターヘッドは、測定対象物の電気
的緒特性の測定に用いられるテスターヘッドであって、
裏面に所定の導電パターンが形成された可とう性フィル
ムからなり、前記導電パターンの端部からは測定対象物
の電極部に対応して開設された開口を介して導電性突起
部が表面に突出してなるテスターヘッドにおいて、開口
が２段に開設されているため導電性突起部の底部が導電
パターンを除き絶線された状態となる。従って、導電性
突起部の形状に関係無く導電パターンを形成出来、高密
度で微細な電極部を持つ測定対象物を検査することがで
きるととらに、測定対象物の電極部と導電性突起部とを
所定の圧接力で接触させることができる。従って、電気
的緒特性のより確実な測定を行うことができる。

（ト）発明の効果 この発明によれば、高密度で微細な電気端子を有する試
験対象物に対して、きわめて容易に、かつ、確実に接続
し得るテスターヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例に係るテスターヘッドの
概略的斜視図、第２図はこのテスターヘッドを用いた電
気的緒特性の測定の様子を示す概略的説明図、第３図は
測定装置全体の概略的正面図、第４図は第１の実施例の
変形例を示すテスターヘヅドの導電性突起部の斜視図、
第５図は従来の測定に用いられたプローブの斜視図であ
る。 第６図は本発明の第２の実施例に係るテスターヘッドの
概略的一部破断斜視図、第７図は第２の実施例の変影例
を示すテスターヘッドの導電性突起部を示す断面図、第
８図は本発明の第３の実施例に係るテスターヘッドの概
略的一部破断斜視図、第９図は第８図のテスターヘッド
の側面図、第１Ｏ図は本発明の第４の実施例に係るテス
ターヘッドの概略的一部破断斜視図、第１１図は第１０
図のテスターヘッドの側面図である。 １００・・・・・・テスターヘッド、 １１０・・・・・・可とう性フィルム、Ｉｌｌ・・・・
・・表面、１２０・・・・・・導電パターン、１２１・
・・・・・導電性突起部、 ２００・・・・・・液晶デイスプレィ、２１０・・・・
・・電極部、 １ｚ 第 Ｐｌ 第　２ 第 図 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、フレキシブル絶縁基板と、前記基板上に設けられ試
   験対象物の複数の電気端子に対応する位置に配列された
   複数の導電性突起部と、前記基板上に設けられ各一端が
   前記突起部に電気的に接続され各他端がテスターの出力
   端子に接続される導電パターンとを備え、前記突起部を
   絶縁性の弾性板を介して試験対象物の電気端子に一様に
   圧接することによって、前記電気端子とテスターの出力
   端子とが電気的に接続されるテスターヘッド。 ２、フレキシブル絶縁基板が試験対象物の電気端子の位
   置に対応して開設された複数の貫通孔を有し、導電パタ
   ーンが基板裏面に形成され、導電性突起部の底部が基板
   裏面で導電パターンと接続されると共に、導電性突起部
   の先端が前記貫通孔を介して基板表面に突出してなる請
   求項１記載のテスターヘッド。 ３、導電性突起部の底面が加圧用の突起部を有する請求
   項２記載のテスターヘッド。 ４、貫通孔は、基板表面側開口径が基板裏面側開口径よ
   りも大きくなるよう形成され、断面が階段状をなす孔で
   ある請求項２記載のテスターヘッド。