JPH04252964A - テスターヘッド - Google Patents
テスターヘッドInfo
- Publication number
- JPH04252964A JPH04252964A JP3009445A JP944591A JPH04252964A JP H04252964 A JPH04252964 A JP H04252964A JP 3009445 A JP3009445 A JP 3009445A JP 944591 A JP944591 A JP 944591A JP H04252964 A JPH04252964 A JP H04252964A
- Authority
- JP
- Japan
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- tester head
- conductive
- measured
- protrusion
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テスターヘッドに関し
、特に、ＬＳＩチップを直接ボンディングするフェース
マウント方式の基板のパターンのような高密度実装パタ
ーンの電気的なチェックに用いられるテスターヘッドに
関する。
、特に、ＬＳＩチップを直接ボンディングするフェース
マウント方式の基板のパターンのような高密度実装パタ
ーンの電気的なチェックに用いられるテスターヘッドに
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩ等のチップは高密度実装、
小型化が進み、電極部も微細化、かつ増加する傾向にあ
る。かかるチップは、フェースボンディング方式によっ
て基板に直接実装されることが多い。ＬＳＩ等のチップ
の高密度化、微細化に伴って、これがフェースマウント
される基板の高密度化、微細化も進んでいる。このため
、チップのボンディング前に基板の配線パターンのチェ
ックが必要になる。かかるチェックは、図８に示すよう
なプローブカード８００によって、測定対象物たる基板
と測定対象物（テスター）とを接続して行われる。この
プローブカードは、開口８２０が開設された基板８１０
と、前記開口８２０に放射状に取り付けられた複数本の
プローブ８３０とからなり、フック状に折曲形成されプ
ローブ８３０の先端を測定対象物の電極部に圧接するこ
とによって、測定対象物と測定装置とを接続するように
構成されている（例えば、特開昭６３−１１９５４４号
公報参照）。
小型化が進み、電極部も微細化、かつ増加する傾向にあ
る。かかるチップは、フェースボンディング方式によっ
て基板に直接実装されることが多い。ＬＳＩ等のチップ
の高密度化、微細化に伴って、これがフェースマウント
される基板の高密度化、微細化も進んでいる。このため
、チップのボンディング前に基板の配線パターンのチェ
ックが必要になる。かかるチェックは、図８に示すよう
なプローブカード８００によって、測定対象物たる基板
と測定対象物（テスター）とを接続して行われる。この
プローブカードは、開口８２０が開設された基板８１０
と、前記開口８２０に放射状に取り付けられた複数本の
プローブ８３０とからなり、フック状に折曲形成されプ
ローブ８３０の先端を測定対象物の電極部に圧接するこ
とによって、測定対象物と測定装置とを接続するように
構成されている（例えば、特開昭６３−１１９５４４号
公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、配線パ
ターンの高密度化、微細化、複雑化に伴って、上述した
ようなプローブカードによるチェックは困難になってき
ている。
ターンの高密度化、微細化、複雑化に伴って、上述した
ようなプローブカードによるチェックは困難になってき
ている。
【０００４】本発明は、より高密度、かつ微細なパター
ンを有する測定対象物であっても、その電気的諸特性を
測定することができるテスターヘッドを提供することを
目的とする。
ンを有する測定対象物であっても、その電気的諸特性を
測定することができるテスターヘッドを提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のテスターヘッド
は、測定対象物の電極部に圧接される導電性突起部が複
数の小突起を有していることを特徴とする。
は、測定対象物の電極部に圧接される導電性突起部が複
数の小突起を有していることを特徴とする。
【０００６】
【作用】測定対象物の電極部に導電性突起部を圧接する
と、導電性突起部の複数の小突起により多数点で該電極
部とテスターヘッドが電気的に接続される。
と、導電性突起部の複数の小突起により多数点で該電極
部とテスターヘッドが電気的に接続される。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明を実施例により説
明する。図１は本発明の一実施例に係るテスターヘッド
の概略的一部破断斜視図、図２はこのテスターヘッドの
側面図、図３はこのテスターヘッドを用いた電気的諸特
性の測定の様子を示す概略的説明図である。なお、本実
施例においては液晶ディスプレイ２００を測定対象物の
例とする。
明する。図１は本発明の一実施例に係るテスターヘッド
の概略的一部破断斜視図、図２はこのテスターヘッドの
側面図、図３はこのテスターヘッドを用いた電気的諸特
性の測定の様子を示す概略的説明図である。なお、本実
施例においては液晶ディスプレイ２００を測定対象物の
例とする。
【０００８】本実施例に係るテスターヘッド１００は、
液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測定に用いら
れるものであって、液晶ディスプレイ２００の電極部２
１０に対応して開口１１３が開設されるとともに、裏面
１１１に所定の導電パターン１２０が形成された可とう
性フィルム１１０からなり、前記導電パターン１２０の
端部からは前記開口１１３を介して表面に複数の小突起
（図２（ｂ））又は表面に導電性ビーズ１２２を接着し
た（図２（ａ））導電性突起部１２１が表面１１２に突
出している。ポリイミドフィルム等の可とう性を有する
材質からなる可とう性フィルム１１０の裏面１１１には
、所定の導電パターン１２０がエッチング等にて形成さ
れる。この導電パターン１２０は、液晶ディスプレイ２
００に応じて設定される。
液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測定に用いら
れるものであって、液晶ディスプレイ２００の電極部２
１０に対応して開口１１３が開設されるとともに、裏面
１１１に所定の導電パターン１２０が形成された可とう
性フィルム１１０からなり、前記導電パターン１２０の
端部からは前記開口１１３を介して表面に複数の小突起
（図２（ｂ））又は表面に導電性ビーズ１２２を接着し
た（図２（ａ））導電性突起部１２１が表面１１２に突
出している。ポリイミドフィルム等の可とう性を有する
材質からなる可とう性フィルム１１０の裏面１１１には
、所定の導電パターン１２０がエッチング等にて形成さ
れる。この導電パターン１２０は、液晶ディスプレイ２
００に応じて設定される。
【０００９】前記導電パターン１２０の端部には、前記
開口１１３より径小の表面に複数の小突起を有する導電
性突起部１２１が形成されている。従って、導電性突起
部１２１は、開口１１３を介して可とう性フィルム１１
０の表面１１２側に突出している。この導電性突起部１
２１が液晶ディスプレイ２００の電極部２１０に圧接さ
れるのである。この導電性突起部１２１は、開口１１３
を介して導電パターン１２０の端部にメッキ積層を行う
ことによって形成される。
開口１１３より径小の表面に複数の小突起を有する導電
性突起部１２１が形成されている。従って、導電性突起
部１２１は、開口１１３を介して可とう性フィルム１１
０の表面１１２側に突出している。この導電性突起部１
２１が液晶ディスプレイ２００の電極部２１０に圧接さ
れるのである。この導電性突起部１２１は、開口１１３
を介して導電パターン１２０の端部にメッキ積層を行う
ことによって形成される。
【００１０】次に、本実施例に係るテスターヘッド１０
０を用いた液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測
定について第３図を参照しつつ説明する。検査装置は第
３図に示すように、液晶ディスプレイ２００とテスター
ヘッド１００をアライメントし、液晶ディスプレイ２０
０の電極部２１０とテスターヘッド１００の導電性突起
部１２１との圧接を行うコンタクト部３１０と、液晶デ
ィスプレイ２００の検査を行う検査ユニット（図示省略
）と、検査装置全体の制御を行う制御部（図示省略）等
から構成されている。
０を用いた液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測
定について第３図を参照しつつ説明する。検査装置は第
３図に示すように、液晶ディスプレイ２００とテスター
ヘッド１００をアライメントし、液晶ディスプレイ２０
０の電極部２１０とテスターヘッド１００の導電性突起
部１２１との圧接を行うコンタクト部３１０と、液晶デ
ィスプレイ２００の検査を行う検査ユニット（図示省略
）と、検査装置全体の制御を行う制御部（図示省略）等
から構成されている。
【００１１】前記コンタクト部３１０は、テスターヘッ
ド１００を裏面側から液晶ディスプレイ２００に押圧す
るプレート３１１と、このプレート３１１とテスターヘ
ッド１００との間に介在されて押圧力を分散して導電性
突起部１２１に伝える与圧ゴム３１２と、検査ユニット
３２０テスターヘッド１００とを接続するコネクタ３１
４及び配線基板３１３とを有している。
ド１００を裏面側から液晶ディスプレイ２００に押圧す
るプレート３１１と、このプレート３１１とテスターヘ
ッド１００との間に介在されて押圧力を分散して導電性
突起部１２１に伝える与圧ゴム３１２と、検査ユニット
３２０テスターヘッド１００とを接続するコネクタ３１
４及び配線基板３１３とを有している。
【００１２】すなわち、液晶ディスプレイ２００の電極
部２１０にテスターヘッド１００の導電性突起部１２１
を圧接するだけで、テスターヘッド１００が検査ユニッ
ト３２０に接続されて電気的諸特性の測定がおこなわれ
る。
部２１０にテスターヘッド１００の導電性突起部１２１
を圧接するだけで、テスターヘッド１００が検査ユニッ
ト３２０に接続されて電気的諸特性の測定がおこなわれ
る。
【００１３】本発明は以上示したようなテスターヘッド
に用いられて、より高密度で微細なパターンを有する測
定対象物の測定を可能とする。さらに例を上げると、以
下に示すようなテスターヘッドの導電性突起部に複数の
小突起を形成することにより、テスターヘッドの性能を
より良くする。
に用いられて、より高密度で微細なパターンを有する測
定対象物の測定を可能とする。さらに例を上げると、以
下に示すようなテスターヘッドの導電性突起部に複数の
小突起を形成することにより、テスターヘッドの性能を
より良くする。
【００１４】図４は開口を有さないテスターヘッドの概
略斜視図である。本実施例に係るテスターヘッド４００
も、液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測定に用
いられるものであって、前記液晶ディスプレイ２００の
電極部（電気端子）２１０に圧接される導電性突起部４
２１が端部に形成された導電パターン４２０を表面４１
１に有する可とう性フィルム４１０からなる。ポリイミ
ドフィルム等の可とう性を有する材質からなる可とう性
フィルム４１０の表面には、所定の導電パターン４２０
が形成されている。この導電パターン４２０は、液晶デ
ィスプレイ２００に応じて設定される。前記導電パター
ン４２０の端部には、半円球状の導電性突起部４２１が
形成されている。なお、導電性突起部４２１は図４に示
すような半円球状に限定されるものではなく、例えば薄
円柱状であってもよい。
略斜視図である。本実施例に係るテスターヘッド４００
も、液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測定に用
いられるものであって、前記液晶ディスプレイ２００の
電極部（電気端子）２１０に圧接される導電性突起部４
２１が端部に形成された導電パターン４２０を表面４１
１に有する可とう性フィルム４１０からなる。ポリイミ
ドフィルム等の可とう性を有する材質からなる可とう性
フィルム４１０の表面には、所定の導電パターン４２０
が形成されている。この導電パターン４２０は、液晶デ
ィスプレイ２００に応じて設定される。前記導電パター
ン４２０の端部には、半円球状の導電性突起部４２１が
形成されている。なお、導電性突起部４２１は図４に示
すような半円球状に限定されるものではなく、例えば薄
円柱状であってもよい。
【００１５】この実施例に係るテスターヘッドは、測定
対象物の電極部に圧接される導電性突起部を有する導電
パターンを可とう性フィルムの表面に形成したものであ
るから、作製が容易である。
対象物の電極部に圧接される導電性突起部を有する導電
パターンを可とう性フィルムの表面に形成したものであ
るから、作製が容易である。
【００１６】図５は、裏面１１１側で導電性突起部１２
１に加圧用突起部１２２が形成されたテスターヘッドの
概略的一部破断斜視図である。フレキシブルフィルム１
１０の裏面１１１側には、前記導電性突起部１２１及び
開口１１３より径大な略半円球状の加圧用突起部１２２
が形成されている。この加圧用突起部１２２は、前記開
口１１３を裏面１１１側から閉塞するようにして形成さ
れる。この加圧用突起部１２２も前記導電性突起部１２
１と同様にメッキ積層によって形成される。従って、導
電性突起部１２１と、この加圧用突起部１２２とは一体
に形成される。なお、本実施例に係るテスターヘッド５
００を用いた液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の
測定は前述の実施例と同様に行われる。その時、導電性
突起部１２１を液晶ディスプレイ２００の電極部２１０
に圧接すると、加圧用突起部１２２が与圧ゴム３１２に
食い込んで、プレート３１１による押圧力が確実に導電
性突起部１２１に伝達される。すなわち、導電性突起部
１２１は確実に所定の圧接力でもって電極部２１０に接
触させられる。
１に加圧用突起部１２２が形成されたテスターヘッドの
概略的一部破断斜視図である。フレキシブルフィルム１
１０の裏面１１１側には、前記導電性突起部１２１及び
開口１１３より径大な略半円球状の加圧用突起部１２２
が形成されている。この加圧用突起部１２２は、前記開
口１１３を裏面１１１側から閉塞するようにして形成さ
れる。この加圧用突起部１２２も前記導電性突起部１２
１と同様にメッキ積層によって形成される。従って、導
電性突起部１２１と、この加圧用突起部１２２とは一体
に形成される。なお、本実施例に係るテスターヘッド５
００を用いた液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の
測定は前述の実施例と同様に行われる。その時、導電性
突起部１２１を液晶ディスプレイ２００の電極部２１０
に圧接すると、加圧用突起部１２２が与圧ゴム３１２に
食い込んで、プレート３１１による押圧力が確実に導電
性突起部１２１に伝達される。すなわち、導電性突起部
１２１は確実に所定の圧接力でもって電極部２１０に接
触させられる。
【００１７】なお、この実施例では、導電性突起部１２
１及び加圧用突起部１２２を略半円球状として説明した
が、これに限定されるものではない。他の形状であって
も、導電性突起部１２１が可とう性フィルム１１０の表
面１１２から突出し、かつ加圧用突起部１２２が裏面１
１１から突出していればよい。
１及び加圧用突起部１２２を略半円球状として説明した
が、これに限定されるものではない。他の形状であって
も、導電性突起部１２１が可とう性フィルム１１０の表
面１１２から突出し、かつ加圧用突起部１２２が裏面１
１１から突出していればよい。
【００１８】この実施例に係るテスターヘッドは、測定
対象物の電気的諸特性の測定に用いられるテスターヘッ
ドであって、測定対象物の電極部に対応して開口が開設
されるとともに、裏面に所定の導電パターンが形成され
た可とう性フイルムからなり、前記導電パターンの端部
から前記開口を介して導電性突起部が表面に突出し、か
つ裏面には加圧用突起部が形成されているので、より高
密度で微細な電極部を有する測定対象物を検査すること
ができるとともに、測定対象物の電極部と導電性突起部
とを所定の圧接力で接触させることができる。従って、
電気的諸特性のより確実な測定を行うことができる。
対象物の電気的諸特性の測定に用いられるテスターヘッ
ドであって、測定対象物の電極部に対応して開口が開設
されるとともに、裏面に所定の導電パターンが形成され
た可とう性フイルムからなり、前記導電パターンの端部
から前記開口を介して導電性突起部が表面に突出し、か
つ裏面には加圧用突起部が形成されているので、より高
密度で微細な電極部を有する測定対象物を検査すること
ができるとともに、測定対象物の電極部と導電性突起部
とを所定の圧接力で接触させることができる。従って、
電気的諸特性のより確実な測定を行うことができる。
【００１９】図６は、貫通孔が基板表面側開口径が基板
裏面側開口径よりも大くなるように形成され、断面が階
段状をなす孔であるテスターヘッドの概略的一部破断斜
視図、図７はこのテスターヘッドの側面図である。
裏面側開口径よりも大くなるように形成され、断面が階
段状をなす孔であるテスターヘッドの概略的一部破断斜
視図、図７はこのテスターヘッドの側面図である。
【００２０】本実施例に係るテスターヘッド６００は、
液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測定に用いら
れるものであって、液晶ディスプレイ２００の電極部２
１０に対応して開口１１３が２段階に開設されるととも
に、裏面１１１に所定の導電パターン１２０が形成され
た可とう性フィルム１１０からなり、前記導電パターン
１２０の端部からは前記開口１１３を介して半円球状の
導電性突起部１２１が表面に突出している。尚、開口１
１３を２段に開設して説明したが、これに限定されるも
のではない。他の形状であっても、導電性突起部１２１
のて底部が頭部に対し径小であればよい。
液晶ディスプレイ２００の電気的諸特性の測定に用いら
れるものであって、液晶ディスプレイ２００の電極部２
１０に対応して開口１１３が２段階に開設されるととも
に、裏面１１１に所定の導電パターン１２０が形成され
た可とう性フィルム１１０からなり、前記導電パターン
１２０の端部からは前記開口１１３を介して半円球状の
導電性突起部１２１が表面に突出している。尚、開口１
１３を２段に開設して説明したが、これに限定されるも
のではない。他の形状であっても、導電性突起部１２１
のて底部が頭部に対し径小であればよい。
【００２１】この実施例に係るテスターヘッドは、測定
対象物の電気的諸特性の測定に用いられるテスターヘッ
ドであって、裏面に所定の導電パターンが形成された可
とう性フィルムからなり、前記導電パターンの端部から
測定対象物の電極部に対応して開設された開口を介して
導電性突起部が表面に突出してなるテスターヘッドにお
いて、開口が２段に開設されているため導電性突起部の
底部が導電パターンを除き絶縁された状態となる。従っ
て、導電性突起部の形状に関係無く導電パターンを形成
出来、高密度で微細な電極部を持つ測定対象物を検査す
ることができるとともに、測定対象物の電極部と導電性
突起部とを所定の圧接力で接触させることができる。従
って、電気的諸特性のより確実な測定を行うことができ
る。
対象物の電気的諸特性の測定に用いられるテスターヘッ
ドであって、裏面に所定の導電パターンが形成された可
とう性フィルムからなり、前記導電パターンの端部から
測定対象物の電極部に対応して開設された開口を介して
導電性突起部が表面に突出してなるテスターヘッドにお
いて、開口が２段に開設されているため導電性突起部の
底部が導電パターンを除き絶縁された状態となる。従っ
て、導電性突起部の形状に関係無く導電パターンを形成
出来、高密度で微細な電極部を持つ測定対象物を検査す
ることができるとともに、測定対象物の電極部と導電性
突起部とを所定の圧接力で接触させることができる。従
って、電気的諸特性のより確実な測定を行うことができ
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、導電性突起部を圧接し
た時接触する面の数が多くなり接触面積が大きくなる。 多数の突起のうち数個が接触すれば電気的諸特性を測定
できる。また各突起の高さにばらつきがあっても突起が
接触すれば良いので接触圧力の均一化が可能である。塵
や埃があったとしても多数の突起の中で数個の突起が接
触すれば電気的諸特性を測定対できるなどさまざまな利
点を有する。
た時接触する面の数が多くなり接触面積が大きくなる。 多数の突起のうち数個が接触すれば電気的諸特性を測定
できる。また各突起の高さにばらつきがあっても突起が
接触すれば良いので接触圧力の均一化が可能である。塵
や埃があったとしても多数の突起の中で数個の突起が接
触すれば電気的諸特性を測定対できるなどさまざまな利
点を有する。
【００２３】したがって、高密度で微細な電極部を有す
る測定対象物を検査するために導電性突起部を設けたテ
スターヘッドにおいて、導電性突起部の測定対電極部へ
の接触状態を改善することができ、より高密度で微細な
パターンの測定を可能にする。
る測定対象物を検査するために導電性突起部を設けたテ
スターヘッドにおいて、導電性突起部の測定対電極部へ
の接触状態を改善することができ、より高密度で微細な
パターンの測定を可能にする。
【図１】本発明一実施例に係るテスターヘッドの概略的
一部破断斜視図である。
一部破断斜視図である。
【図２】上記テスターヘッドの側面図である。
【図３】上記テスターヘッドを用いた電気的諸特性の測
定の様子を示す概略的説明図である。
定の様子を示す概略的説明図である。
【図４】開口を有さないテスターヘッドの概略斜視図で
ある。
ある。
【図５】加圧用突起部を有するテスターヘッドの概略的
一部破断斜視図である。
一部破断斜視図である。
【図６】断面が階段状の開口を有するテスターヘッドの
概略的一部破断斜視図である。
概略的一部破断斜視図である。
【図７】上記のテスターヘッドの側面図である。
【図８】従来のプローブカードの斜視図である。
１２１ 導電性突起部
１２２ 導電性ビーズ
Claims (1)
- 【請求項１】 測定対象物の電極部に圧接される導電
性突起部が複数の小突起を有していることを特徴とする
テスターヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3009445A JPH04252964A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | テスターヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3009445A JPH04252964A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | テスターヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04252964A true JPH04252964A (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=11720495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3009445A Pending JPH04252964A (ja) | 1991-01-30 | 1991-01-30 | テスターヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04252964A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH075071A (ja) * | 1993-02-25 | 1995-01-10 | Hughes Aircraft Co | 液晶ディスプレイパネル用試験プロ−ブ |
| US7159292B2 (en) | 2002-05-27 | 2007-01-09 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Recovery processing method of an electrode |
-
1991
- 1991-01-30 JP JP3009445A patent/JPH04252964A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH075071A (ja) * | 1993-02-25 | 1995-01-10 | Hughes Aircraft Co | 液晶ディスプレイパネル用試験プロ−ブ |
| US7159292B2 (en) | 2002-05-27 | 2007-01-09 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Recovery processing method of an electrode |
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