JPH03224122A - 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH03224122A JPH03224122A JP2137959A JP13795990A JPH03224122A JP H03224122 A JPH03224122 A JP H03224122A JP 2137959 A JP2137959 A JP 2137959A JP 13795990 A JP13795990 A JP 13795990A JP H03224122 A JPH03224122 A JP H03224122A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
磁気ディスク装置や磁気テープ装置等に搭載される垂直
磁気記録媒体及びその製造方法に関し、浮遊磁界による
情報の消去を発生しにく（することを目的とし、 基板上に少なくとも軟磁性下地層を介して垂直異方性を
有する磁気記録層を形成した二層膜構造の垂直磁気記録
媒体において、軟磁性下地層を少なくとも磁気ヘッド近
傍における浮遊磁界以下の外部磁界１こ対して磁壁移動
を抑制する構成とする。
磁気記録媒体及びその製造方法に関し、浮遊磁界による
情報の消去を発生しにく（することを目的とし、 基板上に少なくとも軟磁性下地層を介して垂直異方性を
有する磁気記録層を形成した二層膜構造の垂直磁気記録
媒体において、軟磁性下地層を少なくとも磁気ヘッド近
傍における浮遊磁界以下の外部磁界１こ対して磁壁移動
を抑制する構成とする。
本発明はコンピュータの外部記憶装置として用いられる
こともある磁気ディスク装置、磁気テープ装置等に搭載
される磁気記録媒体及びその製造方法に係わり、特に浮
遊磁界による情報消去を抑制した信頼性の高い二層膜構
造の垂直磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
こともある磁気ディスク装置、磁気テープ装置等に搭載
される磁気記録媒体及びその製造方法に係わり、特に浮
遊磁界による情報消去を抑制した信頼性の高い二層膜構
造の垂直磁気記録媒体及びその製造方法に関する。
近年、磁気ディスク装置の小型化及び高密度化に伴い、
従来の水平磁気記録を上回る高密度記録方式として媒体
の膜厚方向に残留磁化を形成して信号記録を行う垂直磁
気記録が注目され、研究及び開発が活発に進められてい
る。
従来の水平磁気記録を上回る高密度記録方式として媒体
の膜厚方向に残留磁化を形成して信号記録を行う垂直磁
気記録が注目され、研究及び開発が活発に進められてい
る。
垂直記録を実現するヘッドとしては単磁極型及びリング
型、また媒体としては非磁性基板上に垂直異方性を有し
例えばＣｏＣｒからなる記録層を形成した単層膜媒体及
び垂直磁気記録層の下側に例えばＮｉＦｅからなる高透
磁率層を裏打ちした二層膜媒体が夫々開発されている。
型、また媒体としては非磁性基板上に垂直異方性を有し
例えばＣｏＣｒからなる記録層を形成した単層膜媒体及
び垂直磁気記録層の下側に例えばＮｉＦｅからなる高透
磁率層を裏打ちした二層膜媒体が夫々開発されている。
これらのヘッド及び媒体を用いて純粋な垂直記録を行う
には、単磁極型ヘッドと二層膜媒体の組合せが最適であ
ることが知られている。
には、単磁極型ヘッドと二層膜媒体の組合せが最適であ
ることが知られている。
第５３図はこのような二層膜構造の垂直磁気記録媒体１
と単磁極型ヘッド２を示す。３はアルマイト表面処理さ
れたＡＡ製基板、４はＮｉＦｅ軟磁性下地層、５は垂直
磁気異方性を有するＣｏＣｒの垂直磁気記録層である。
と単磁極型ヘッド２を示す。３はアルマイト表面処理さ
れたＡＡ製基板、４はＮｉＦｅ軟磁性下地層、５は垂直
磁気異方性を有するＣｏＣｒの垂直磁気記録層である。
また、６は主磁極、７は補助磁極、７ａはコイルである
。裏打ち層とも呼ばれる軟磁性下地層４は磁束の通路と
しての役割を有し、その存在により記録再生感度が向上
せしめられている。
。裏打ち層とも呼ばれる軟磁性下地層４は磁束の通路と
しての役割を有し、その存在により記録再生感度が向上
せしめられている。
この垂直磁気記録方式により記録再生を行う際に、浮遊
磁界源８があると、浮遊磁界源８からの磁束９が主磁極
６に集中し、更に、符号１０で示すように磁気記録層５
を通して軟磁性下地層４に流れ易い。これらが原因で媒
体１の情報か消去され易いという問題かあり、装置実用
化への大きな課題となっている。
磁界源８があると、浮遊磁界源８からの磁束９が主磁極
６に集中し、更に、符号１０で示すように磁気記録層５
を通して軟磁性下地層４に流れ易い。これらが原因で媒
体１の情報か消去され易いという問題かあり、装置実用
化への大きな課題となっている。
従って、垂直磁気記録再生装置を実用化する上で、浮遊
磁界による情報の消去か発生しにくい媒体の開発が強く
要望されている。
磁界による情報の消去か発生しにくい媒体の開発が強く
要望されている。
第５４図は従来の垂直磁気記録媒体ＩＡをボす。
同図中、第５３図と同一構成部分には同一符号を付す。
軟磁性下地層４Ａは、第５４図及び第５５図に拡大して
示すように、磁区１１−１． １１−２゜１１−３等よ
りなる。矢印１２は磁化スピンの方向を示す。磁区１１
−１． １ ｌ−２等においては磁化スピンは膜面に平
行であり、且つ、磁壁１３が明瞭に存在し、磁区の大き
さは数μｍから数■である。
示すように、磁区１１−１． １１−２゜１１−３等よ
りなる。矢印１２は磁化スピンの方向を示す。磁区１１
−１． １ ｌ−２等においては磁化スピンは膜面に平
行であり、且つ、磁壁１３が明瞭に存在し、磁区の大き
さは数μｍから数■である。
また、軟磁性下地層４は通常膜厚として０．５μｍ程度
、磁気特性は記録再生感度を高めるために透磁率を１５
００以上で保磁力を１０ｅ以下に設定されているのか一
般的である。一方、記録層５となるＣｏＣｒ層は、通常
膜厚が０．２μｍ程度で垂直保磁力は１００００ ｅ程
度に設定されている。
、磁気特性は記録再生感度を高めるために透磁率を１５
００以上で保磁力を１０ｅ以下に設定されているのか一
般的である。一方、記録層５となるＣｏＣｒ層は、通常
膜厚が０．２μｍ程度で垂直保磁力は１００００ ｅ程
度に設定されている。
前記の記録媒体ＩＡにレベルが一定の信号を記録して再
生した場合の１周に亘るｌトラックター２分の再生信号
の波形を第５６図に示す。
生した場合の１周に亘るｌトラックター２分の再生信号
の波形を第５６図に示す。
第５７図はヘッド２の真上から記録媒体ＩＡに３０ｅの
磁界を作用させた時の上記トラックターンの再生信号波
形を示す。ここで、記録時の単磁極型ヘッド２の記録磁
界は垂直磁気記録層５の垂直保磁力より大きく設定され
、通常は２００００ ｅ以上である。従って、３０ｅの
外部磁界はヘッド記録磁界に比べて格段に小さい値であ
る。
磁界を作用させた時の上記トラックターンの再生信号波
形を示す。ここで、記録時の単磁極型ヘッド２の記録磁
界は垂直磁気記録層５の垂直保磁力より大きく設定され
、通常は２００００ ｅ以上である。従って、３０ｅの
外部磁界はヘッド記録磁界に比べて格段に小さい値であ
る。
しかし、このような小さい外部磁界に対しても、再生信
号には符号１４．１’、５で示すように部分的にレベル
ダウンが発生する。これは、上記外部磁界によって垂直
磁気記録層５に記録されていた情報が部分的に消去され
たことによるものである。
号には符号１４．１’、５で示すように部分的にレベル
ダウンが発生する。これは、上記外部磁界によって垂直
磁気記録層５に記録されていた情報が部分的に消去され
たことによるものである。
通常、磁気記録装置内には３〜５Ｏｅ程度の浮遊磁界が
存在するため、従来の媒体ＩＡては浮遊磁界による情報
消去が起こり易（、記録情報の信頼性が十分ではない。
存在するため、従来の媒体ＩＡては浮遊磁界による情報
消去が起こり易（、記録情報の信頼性が十分ではない。
この浮遊磁界による情報の消去は、下地層４Ａの不規則
な磁壁移動と深く関連すると考えられている。即ち、浮
遊磁界の作用によって下地層４Ａの磁壁がある部分で不
規則に移動すると、その部分の透磁率が一時的に高（な
り、浮遊磁界の磁束がヘッド２の主磁極６を通して上記
部分に多く流れ込むために、この部分の記録層５に記録
されている情報を消去してしまうと考えられる。
な磁壁移動と深く関連すると考えられている。即ち、浮
遊磁界の作用によって下地層４Ａの磁壁がある部分で不
規則に移動すると、その部分の透磁率が一時的に高（な
り、浮遊磁界の磁束がヘッド２の主磁極６を通して上記
部分に多く流れ込むために、この部分の記録層５に記録
されている情報を消去してしまうと考えられる。
本発明は、上記実情に鑑み、浮遊磁界による情報の消去
が発生しにくい高性能な垂直磁気記録媒体及びその製造
方法を提供することを目的とする。
が発生しにくい高性能な垂直磁気記録媒体及びその製造
方法を提供することを目的とする。
本発明は、基板上に少なくとも軟磁性下地層を介して垂
直異方性を有する磁気記録層を形成した二層膜構造の垂
直磁気記録媒体において、前記下地層を少なくとも磁気
ヘッド近傍における浮遊磁界以下の外部磁界に対して磁
壁移動を抑制する構成とする。
直異方性を有する磁気記録層を形成した二層膜構造の垂
直磁気記録媒体において、前記下地層を少なくとも磁気
ヘッド近傍における浮遊磁界以下の外部磁界に対して磁
壁移動を抑制する構成とする。
少なくとも磁気ヘッド近傍における浮遊磁界以下の外部
磁界に対して下地層の磁壁移動を抑制しているため、不
規則な磁壁移動は発生しない。
磁界に対して下地層の磁壁移動を抑制しているため、不
規則な磁壁移動は発生しない。
従って、浮遊磁界による情報の消去か発生しにくく、高
性能な垂直磁気記録媒体を実現し得る。
性能な垂直磁気記録媒体を実現し得る。
第１図は本発明になる垂直磁気記録媒体の第１実施例で
ある二層膜構造の垂直磁気記録媒体ｌＢを示す。同図中
、第５４図と同一部分には同一符号を付し、その説明は
省略する。
ある二層膜構造の垂直磁気記録媒体ｌＢを示す。同図中
、第５４図と同一部分には同一符号を付し、その説明は
省略する。
軟磁性下地層４Ｂは、第１図に拡大して示すように帯状
の磁区２０−１．２０−２．２０−３．２０−４・・・
よりなる縞状磁区構造を有する。
の磁区２０−１．２０−２．２０−３．２０−４・・・
よりなる縞状磁区構造を有する。
ここで、縞状磁区構造について説明する。
第２図は縞状磁区構造のモデルを示す。磁化スピンの角
度が第１図中白抜で示すようにＸ方向上連続して変化し
ている。また、磁化スピンがＸ方向上連続して変化して
いるため、浮遊磁界が作用しても不規則な磁壁移動は起
きず、磁化スピンの角度か変化する回転型磁化過程とな
る。
度が第１図中白抜で示すようにＸ方向上連続して変化し
ている。また、磁化スピンがＸ方向上連続して変化して
いるため、浮遊磁界が作用しても不規則な磁壁移動は起
きず、磁化スピンの角度か変化する回転型磁化過程とな
る。
磁化スピンの膜面（ｘ−ｙ平面）に対する傾斜の方向が
「十」か［−Ｊかて区別して各々を磁区と過程すると、
２０−１． ２０−２． ２０−３． ２０−４か磁区
となる。磁化スピンの傾斜が「＋」の磁区２０−１．２
０−３を第１図中黒色で示し、磁化スピンの傾斜が「−
」の磁区２０−２．２０−４を第１図中白抜きで示す。
「十」か［−Ｊかて区別して各々を磁区と過程すると、
２０−１． ２０−２． ２０−３． ２０−４か磁区
となる。磁化スピンの傾斜が「＋」の磁区２０−１．２
０−３を第１図中黒色で示し、磁化スピンの傾斜が「−
」の磁区２０−２．２０−４を第１図中白抜きで示す。
また、各磁区２０−１〜２０−４は帯状を成しており、
その幅Ｗは下地層４Ｂの厚さ、組成及び成膜法により異
なるが、通常はミクロンオーダである。なお、磁区２０
−１〜２０−４の幅Ｗは多少ばらつきがあるが、磁区２
０−１〜２０−４のピッチは略規則的である。
その幅Ｗは下地層４Ｂの厚さ、組成及び成膜法により異
なるが、通常はミクロンオーダである。なお、磁区２０
−１〜２０−４の幅Ｗは多少ばらつきがあるが、磁区２
０−１〜２０−４のピッチは略規則的である。
また、縞状磁区構造を有する下地層４Ｂは第４図に示す
ような磁化特性を示す。
ような磁化特性を示す。
十分大きな磁界を膜面内のある方向（これを第２図中ｙ
方向とする）に加えると、磁化はこれと平行になって飽
和する。次に磁化を減少させると、膜面に垂直方向にあ
る一軸異方性の異方性磁界Ｈｋ土に等しくなったときに
縞状磁区に分裂し、磁界の減少と共に磁化と膜面のなす
角度θが増加して減磁する。これにより、上辺に見られ
る傾いた直線状の磁化特性か得られる。磁界の向きを−
ｙ方向に変えてもしばらくはθの値か増すのみであるか
、ある保磁力−Ｈｃに達すると磁化が膜面内で回転し初
め、これに伴って縞の向きも回転してやかて磁化は−ｙ
力方向向かう。これは、Ｈ−Ｈｃにおける垂直の磁化曲
線に対応する。さらに磁界の大きさを増すと、今度はθ
か小さくなり、Ｈ＝Ｈｋ土にて０となって、飽和状態に
達する。
方向とする）に加えると、磁化はこれと平行になって飽
和する。次に磁化を減少させると、膜面に垂直方向にあ
る一軸異方性の異方性磁界Ｈｋ土に等しくなったときに
縞状磁区に分裂し、磁界の減少と共に磁化と膜面のなす
角度θが増加して減磁する。これにより、上辺に見られ
る傾いた直線状の磁化特性か得られる。磁界の向きを−
ｙ方向に変えてもしばらくはθの値か増すのみであるか
、ある保磁力−Ｈｃに達すると磁化が膜面内で回転し初
め、これに伴って縞の向きも回転してやかて磁化は−ｙ
力方向向かう。これは、Ｈ−Ｈｃにおける垂直の磁化曲
線に対応する。さらに磁界の大きさを増すと、今度はθ
か小さくなり、Ｈ＝Ｈｋ土にて０となって、飽和状態に
達する。
縞状磁区構造は、スパッタ成膜の場合、軟磁性下地層４
Ｂのターゲット組成や雰囲気圧力等の成膜条件を適切に
選択することにより実現できる。
Ｂのターゲット組成や雰囲気圧力等の成膜条件を適切に
選択することにより実現できる。
本実施例の軟磁性下地層４Ｂは、以下の成膜条件〔１〕
でアルマイト表面処理されたＡＡ製基板３上に形成する
ことにより縞状磁区構造を実現した。
でアルマイト表面処理されたＡＡ製基板３上に形成する
ことにより縞状磁区構造を実現した。
また、この軟磁性下地層４Ｂ上に膜厚か０．１５μｍで
垂直保磁力が１００００ ｅのＣｏＣｒ記録層５を積層
することにより記録媒体ＩＢを作成した。
垂直保磁力が１００００ ｅのＣｏＣｒ記録層５を積層
することにより記録媒体ＩＢを作成した。
成膜条件〔ｌ〕 ニ
スバッタ方式：ブレーナマグネトロン
ターゲット ニＦｅ−８１ｗｔ％Ｎ１
（６黍′φ）
ＲＦ電力 ：１ｋｗ
Ａｒ雰囲気圧：３ｍＴｏｏｒ
基板温度 ：１００℃
膜厚 ：５μｍ
このような軟磁性下地層４Ｂでは、５Ｏｅを越える外部
磁界に対しても磁壁移動が抑制されていることかカー効
果測定装置を利用して確認された。
磁界に対しても磁壁移動が抑制されていることかカー効
果測定装置を利用して確認された。
上記記録媒体ＩＢを使用して外部磁界に対する記録情報
の信頼性実験をした結果を以下に説明する。
の信頼性実験をした結果を以下に説明する。
第５図は、記録媒体ＩＢにレベルが一定の信号を記録し
て再生した時の１トラツクタ一ン分の再生信号の波形を
示す。
て再生した時の１トラツクタ一ン分の再生信号の波形を
示す。
次に、同じトラックターンを繰り返し再生している時に
、ヘッド真上から外部磁界を印加した。
、ヘッド真上から外部磁界を印加した。
この磁界の強さを３０ｅとした場合、信号のレベルダウ
ンは無く、さらに磁界の強さを３倍強まで高めて１００
ｅとした時の再生信号の波形を第６図に示す。同図から
明らかなように、レベルダウンの部分は認められず、情
報信号の消去は依然として発生していない。
ンは無く、さらに磁界の強さを３倍強まで高めて１００
ｅとした時の再生信号の波形を第６図に示す。同図から
明らかなように、レベルダウンの部分は認められず、情
報信号の消去は依然として発生していない。
従って、上述の記録媒体ＩＢは浮遊磁界による情報消去
か抑制され、情報記録状態の維持に関して等しい高信頼
性を有する。
か抑制され、情報記録状態の維持に関して等しい高信頼
性を有する。
第７図及び第８図は、夫々本発明になる垂直磁気記録媒
体の第２及び第３実施例である二層膜構造の垂直磁気記
録媒体ＩＣ及びＩＤの断面模式図を示す。
体の第２及び第３実施例である二層膜構造の垂直磁気記
録媒体ＩＣ及びＩＤの断面模式図を示す。
記録媒体ＩＣにおいては、軟磁性下地層４Ｃの第１の軟
磁性下地層（４Ｃａ）か上述の縞状磁区構造を有し、第
２の軟磁性下地層４Ｃｂが面内磁区構造を有する二層構
造となっている。
磁性下地層（４Ｃａ）か上述の縞状磁区構造を有し、第
２の軟磁性下地層４Ｃｂが面内磁区構造を有する二層構
造となっている。
また、記録媒体ＩＤにおいては、軟磁性下地層４Ｄの第
１の軟磁性下地層（４ｄａ）か面内磁区構造を有し、第
２の軟磁性下地層（４ｄｂ）が縞状磁区構造を有する二
層構造となっている。
１の軟磁性下地層（４ｄａ）か面内磁区構造を有し、第
２の軟磁性下地層（４ｄｂ）が縞状磁区構造を有する二
層構造となっている。
この様な軟磁性下地層（４Ｃ，４Ｄ）は、先のスパッタ
リング法を用いても実現できる。ここでは、第９図で示
すめっき装置を用いて形成した。
リング法を用いても実現できる。ここでは、第９図で示
すめっき装置を用いて形成した。
めっき槽３３内のめっき液２７は、硫酸ニッケル（Ｎｉ
ＳＯ４，６Ｈ，Ｏ）と塩化ニッケル（ＮｉＣＬ２）と硫
酸第一鉄（ＦｅＳＯ４，７Ｈｔ○）とを主成分としたも
のを用い、以下の成膜条件〔２〕を順次選択することに
より縞状磁区構造と通常の面内磁区構造を有する二層軟
磁性下地層をＮｉめっき処理されたＡｆ製基板３に形成
した。
ＳＯ４，６Ｈ，Ｏ）と塩化ニッケル（ＮｉＣＬ２）と硫
酸第一鉄（ＦｅＳＯ４，７Ｈｔ○）とを主成分としたも
のを用い、以下の成膜条件〔２〕を順次選択することに
より縞状磁区構造と通常の面内磁区構造を有する二層軟
磁性下地層をＮｉめっき処理されたＡｆ製基板３に形成
した。
この時の縞状磁区下地層及び面内磁区下地層の膜厚はそ
れぞれ０．５μｍとした。２６は基板ホルダ、２８はめ
っき電極である。
れぞれ０．５μｍとした。２６は基板ホルダ、２８はめ
っき電極である。
成膜条件〔２〕
面内磁区 浴温 ：３０〜３７°Ｃ基板回転数
：９０〜１７０ ｒｐｍ 電流密度 ： ２〜６ Ａ／ｄｍ２ 縞状磁区構造 浴温 ：４０°Ｃ以上 基板回転数： ９０〜１７０ ｒｐｍ 電流密度 ： ２〜６ Ａ／ｄｍ” 第１θ図（ａ）及び第１１図（ａ）は記録媒体ＩＣ，Ｉ
Ｄにレベル一定の信号を記録して再生した時のトラック
ターン分の再生信号の波形を夫々示す。また、記録媒体
１ｃ、ＩＤに単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中
にヘッド真上から１００ｅ外部磁界を印加して、情報消
去の様子を観測した結果を夫々第１０図（ｂ）及び第１
１図（ｂ）に示す。第１Ｏ図及び第１１図かられかるよ
うに、これらの記録媒体ＩＣ及びＩＤにおいても、磁気
記録装置内の３〜５Ｏｅの浮遊磁界と比べて大きな１０
０ｅの外部磁界でもレベルダウンの部分は認められず、
情報消去は依然として発生していないことかわかる。従
って、記録媒体１ｃ及びＩＤは浮遊磁界による情報記録
状態の維持に関して高信頼性を有する。
：９０〜１７０ ｒｐｍ 電流密度 ： ２〜６ Ａ／ｄｍ２ 縞状磁区構造 浴温 ：４０°Ｃ以上 基板回転数： ９０〜１７０ ｒｐｍ 電流密度 ： ２〜６ Ａ／ｄｍ” 第１θ図（ａ）及び第１１図（ａ）は記録媒体ＩＣ，Ｉ
Ｄにレベル一定の信号を記録して再生した時のトラック
ターン分の再生信号の波形を夫々示す。また、記録媒体
１ｃ、ＩＤに単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中
にヘッド真上から１００ｅ外部磁界を印加して、情報消
去の様子を観測した結果を夫々第１０図（ｂ）及び第１
１図（ｂ）に示す。第１Ｏ図及び第１１図かられかるよ
うに、これらの記録媒体ＩＣ及びＩＤにおいても、磁気
記録装置内の３〜５Ｏｅの浮遊磁界と比べて大きな１０
０ｅの外部磁界でもレベルダウンの部分は認められず、
情報消去は依然として発生していないことかわかる。従
って、記録媒体１ｃ及びＩＤは浮遊磁界による情報記録
状態の維持に関して高信頼性を有する。
第２及び第３実施例では、二層構造の軟磁性下地層を用
いているが、勿論、それ以上の数の層を交互に設けても
同様な効果が得られることは言うまでもない。
いているが、勿論、それ以上の数の層を交互に設けても
同様な効果が得られることは言うまでもない。
第１２図は、本発明になる垂直磁気記録媒体の第４の実
施例である二層膜構造の垂直磁気記録媒体ｌＥを示す。
施例である二層膜構造の垂直磁気記録媒体ｌＥを示す。
同図中、第１図と同一部分には同一符号を付し、その説
明は省略する。
明は省略する。
軟磁性下地層４Ｅは、第１２図に拡大して示すように、
各帯状の磁区２１〜１． ２１−２． ２１−３゜・・
・が記録媒体ＩＥの周方向、即ち、トラック方向と略同
じ方向に延在した縞状磁区構造を有する。
各帯状の磁区２１〜１． ２１−２． ２１−３゜・・
・が記録媒体ＩＥの周方向、即ち、トラック方向と略同
じ方向に延在した縞状磁区構造を有する。
例えば第１３図に示す記録媒体ＩＦの様に軟磁性下地層
４Ｅが縞状磁区構造を有しても、各帯状の磁区２２−１
． ２２−２．・・・が記録媒体ＩＦの半径方向、即ち
、トラックに対して直交する方向に延在する場合には、
再生時に主磁極が下地層４Ｆの各帯状の磁区２２−１．
２２−２．・・・を横切ることになる。これに起因し
て、ノイズスペクトルは第１４図に線２３て示す如くな
り、記録媒体ＩＦの周速度を１３ｍ／ｓとすると、縞の
ピッチ（２μｍ）程度に対応する３ＭＨｚ付近にノイズ
ビーク２４か発生してしまう。これにより、ノイズは増
加してＳ／Ｎを低下させ、高密度記録の上で障害となる
。
４Ｅが縞状磁区構造を有しても、各帯状の磁区２２−１
． ２２−２．・・・が記録媒体ＩＦの半径方向、即ち
、トラックに対して直交する方向に延在する場合には、
再生時に主磁極が下地層４Ｆの各帯状の磁区２２−１．
２２−２．・・・を横切ることになる。これに起因し
て、ノイズスペクトルは第１４図に線２３て示す如くな
り、記録媒体ＩＦの周速度を１３ｍ／ｓとすると、縞の
ピッチ（２μｍ）程度に対応する３ＭＨｚ付近にノイズ
ビーク２４か発生してしまう。これにより、ノイズは増
加してＳ／Ｎを低下させ、高密度記録の上で障害となる
。
しかし、第１２図に示す縞状磁区構造を有する記録媒体
ＩＥの場合には、再生時に主磁極か帯状の磁区２１−１
． ２１−２．・・・を横切ることはない。
ＩＥの場合には、再生時に主磁極か帯状の磁区２１−１
． ２１−２．・・・を横切ることはない。
このため、ノイズスペクトルは第１５図に線２５で示す
如くになり、ノイズピークは発生しない。
如くになり、ノイズピークは発生しない。
従って、記録媒体ＩＥは浮遊磁界による情報消去が発生
しにくく、しかもＳ／Ｎか改善されたものとなる。 勿
論、第２及び第３実施例において説明した記録媒体の軟
磁性下地層の一部を構成する縞状磁区構造の層の各帯状
磁区をトラック方向と同じ方向に延在すれば同様の効果
かある。
しにくく、しかもＳ／Ｎか改善されたものとなる。 勿
論、第２及び第３実施例において説明した記録媒体の軟
磁性下地層の一部を構成する縞状磁区構造の層の各帯状
磁区をトラック方向と同じ方向に延在すれば同様の効果
かある。
第１６図は第１２図の縞状磁区構造を形成する方法を説
明する図である。第１６図中、３０゜３１は永久磁石で
あり、スパッタリング装置内に設置された基板３の上面
側に配される。３３は磁束であり、基板３の周方向に作
用する。スパッタリングのとき、永久磁石３０．３１を
軸３４を中心に矢印方向３５に回転させる。これにより
、基板３の下面には周方向の磁界が印加される。この状
態で、第１実施例と同様の条件でスパッタリングを行う
と、第１２図に示すように各帯状の磁区２１−１． ２
１−２．・・・が基板３の周方向上に延在した縞状磁区
構造の軟磁性下地層４Ｅが形成される。
明する図である。第１６図中、３０゜３１は永久磁石で
あり、スパッタリング装置内に設置された基板３の上面
側に配される。３３は磁束であり、基板３の周方向に作
用する。スパッタリングのとき、永久磁石３０．３１を
軸３４を中心に矢印方向３５に回転させる。これにより
、基板３の下面には周方向の磁界が印加される。この状
態で、第１実施例と同様の条件でスパッタリングを行う
と、第１２図に示すように各帯状の磁区２１−１． ２
１−２．・・・が基板３の周方向上に延在した縞状磁区
構造の軟磁性下地層４Ｅが形成される。
次に、本発明になる垂直磁気記録媒体の第５実施例を説
明する。先ず、スパッタリング法を用いて、アルマイト
表面処理がなされたＡＡ製基板上に２種類のＣｏＣｒ／
ＮｉＦｅ二層膜記録媒体ＩＡ及びＩＧを作成した。なお
、軟磁性下地層４Ａ。
明する。先ず、スパッタリング法を用いて、アルマイト
表面処理がなされたＡＡ製基板上に２種類のＣｏＣｒ／
ＮｉＦｅ二層膜記録媒体ＩＡ及びＩＧを作成した。なお
、軟磁性下地層４Ａ。
４Ｇへの成膜条件〔３〕は以下の通りであり、この上に
膜厚が０．１５μｍで垂直保磁力が１００００ ｅのＣ
ｏＣｒ記録層５を積層した。
膜厚が０．１５μｍで垂直保磁力が１００００ ｅのＣ
ｏＣｒ記録層５を積層した。
成膜条件〔３〕
スパッタ方式：プレーナマグネトロン
ターゲット ：記録媒体ＩＡＦｅ−８１ｗｔ％Ｎ１（６
！’φ） 記録媒体ＩＧＦｅ−８０ ｗｔ ％ Ｎｉ （６！ン φ ）ＲＦ主電力
：１ｋｗ Ａｒ雰囲気圧： ２ｍＴｏｒｒ（記録媒体ＩＡ）。
！’φ） 記録媒体ＩＧＦｅ−８０ ｗｔ ％ Ｎｉ （６！ン φ ）ＲＦ主電力
：１ｋｗ Ａｒ雰囲気圧： ２ｍＴｏｒｒ（記録媒体ＩＡ）。
３ ｍＴｏｒｒ（記録媒体ＩＧ）
基板温度 ＝６０°Ｃ（記録媒体ＩＡ）。
１００°Ｃ（記録媒体ＩＧ）
膜厚 ：０．５μｍ
第１７図に示す記録媒体ＩＡは従来の垂直磁気記録媒体
に相当し、第１８図に示す記録媒体ｌＧは本発明になる
垂直磁気記録媒体の第５実施例である。ここで、画記録
媒体ＩＡ及びＩＧの異なる点は、軟磁性下地層４Ａ、４
Ｇの保磁力である。
に相当し、第１８図に示す記録媒体ｌＧは本発明になる
垂直磁気記録媒体の第５実施例である。ここで、画記録
媒体ＩＡ及びＩＧの異なる点は、軟磁性下地層４Ａ、４
Ｇの保磁力である。
第１９図（ａ）、（ｂ）に媒体ＩＡ、ＩＧの下地層４Ａ
、４ＧのＢ−Ｈ特性を夫々示す。記録媒体ｌＡの保磁力
は０゜８０ｅてあり、記録媒体ＩＧの保磁力は磁気記録
装置内の浮遊磁界より大きい６．５Ｏｅである。このと
き、記録媒体ＩＡの軟磁性下地層４Ａは磁気記再生録装
置の浮遊磁界以下の２０ｅの外部磁界で磁壁移動が起こ
るのに対し、記録媒体Ｇの下地層４Ｇは５Ｏｅを越えて
も磁壁移動が抑制されていることがカー効果測定装置を
利用して確認された。
、４ＧのＢ−Ｈ特性を夫々示す。記録媒体ｌＡの保磁力
は０゜８０ｅてあり、記録媒体ＩＧの保磁力は磁気記録
装置内の浮遊磁界より大きい６．５Ｏｅである。このと
き、記録媒体ＩＡの軟磁性下地層４Ａは磁気記再生録装
置の浮遊磁界以下の２０ｅの外部磁界で磁壁移動が起こ
るのに対し、記録媒体Ｇの下地層４Ｇは５Ｏｅを越えて
も磁壁移動が抑制されていることがカー効果測定装置を
利用して確認された。
第２０図（ａ）、（ｂ）は記録媒体ＩＡ、ＩＧにレベル
一定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分
の再生信号の波形を夫々示す。また、記録媒体ＩＡ、Ｉ
Ｇに単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中にヘッド
真上から３０ｅ及び６０ｅ外部磁界を印加して、情報消
去の様子を観測した結果を夫々第２１図（ａ）、（ｂ）
に示す。
一定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分
の再生信号の波形を夫々示す。また、記録媒体ＩＡ、Ｉ
Ｇに単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中にヘッド
真上から３０ｅ及び６０ｅ外部磁界を印加して、情報消
去の様子を観測した結果を夫々第２１図（ａ）、（ｂ）
に示す。
第２１図かられかるように、記録媒体ＩＡでは３０ｅの
外部磁界で部分的な情報消去（符号１４゜１５の部分）
が見られるのに対し、記録媒体ＩＧでは６０ｅの外部磁
界にも情報が消去されない。
外部磁界で部分的な情報消去（符号１４゜１５の部分）
が見られるのに対し、記録媒体ＩＧでは６０ｅの外部磁
界にも情報が消去されない。
従って、記録媒体ｌＧの浮遊磁界に対する情報消去の改
善効果は明らかである。
善効果は明らかである。
次に、本発明になる垂直磁気記録媒体の第６実施例を説
明する。先ず、成膜条件は第５実施例で述べた記録媒体
ＩＡと同一でディスク半径方向に磁場を印加した状態で
軟磁性下地層４Ｈ，４１をスパッタ成膜して第２２図及
び第２３図に示す記録媒体ＩＨ及び１１を作成した。記
録媒体１１は、本発明になる垂直磁気記録媒体の第６実
施例である。画記録媒体ＩＨ，ＩＩの下地層４Ｈ，４Ｉ
には半径方向を磁化容易軸とする磁気異方性か付与され
、その結果、円周方向のＢ−Ｈ特性は回転磁化モードを
示す第２４図（ａ）、（ｂ）の如くになった。記録媒体
ＩＨは弱い磁場中で成膜したため異方性磁界は磁気記録
再生装置内の磁気ヘッド近傍における浮遊磁界以下の２
０ｅであるのに対し、記録媒体ＩＩは強い磁場中で成膜
したので、異方性磁界は磁気記録再生装置内の浮遊磁界
に比べ大きい８０ｅである。このとき、記録媒体ＩＨの
下地層４Ｈは３０ｅの外部磁界で磁壁移動が起こるのに
対し、記録媒体１１の下地層では５Ｏｅを越えても磁壁
移動が抑制されていることがカー効果測定装置にて確認
された。
明する。先ず、成膜条件は第５実施例で述べた記録媒体
ＩＡと同一でディスク半径方向に磁場を印加した状態で
軟磁性下地層４Ｈ，４１をスパッタ成膜して第２２図及
び第２３図に示す記録媒体ＩＨ及び１１を作成した。記
録媒体１１は、本発明になる垂直磁気記録媒体の第６実
施例である。画記録媒体ＩＨ，ＩＩの下地層４Ｈ，４Ｉ
には半径方向を磁化容易軸とする磁気異方性か付与され
、その結果、円周方向のＢ−Ｈ特性は回転磁化モードを
示す第２４図（ａ）、（ｂ）の如くになった。記録媒体
ＩＨは弱い磁場中で成膜したため異方性磁界は磁気記録
再生装置内の磁気ヘッド近傍における浮遊磁界以下の２
０ｅであるのに対し、記録媒体ＩＩは強い磁場中で成膜
したので、異方性磁界は磁気記録再生装置内の浮遊磁界
に比べ大きい８０ｅである。このとき、記録媒体ＩＨの
下地層４Ｈは３０ｅの外部磁界で磁壁移動が起こるのに
対し、記録媒体１１の下地層では５Ｏｅを越えても磁壁
移動が抑制されていることがカー効果測定装置にて確認
された。
第２５図（ａ）、（ｂ）は記録媒体ＩＨ，ＩＩにレベル
一定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分
の再生信号の波形を夫々示す。また、記録媒体ＩＨ，Ｉ
Ｉに単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中にヘッド
真上から３０ｅ及び６０ｅ外部磁界を印加して、情報消
去（符号１４゜１５の部分）の様子を観測した結果を夫
々第２６図（ａ）、（ｂ）に示す。第２６図かられかる
ように、記録媒体ｌＨでは ３０ｅの外部磁界で部分的
な情報消去（符号１４．１５の部分）が見られるのに対
し、記録媒体１■では６０ｅの外部磁界にも情報が消去
されず、浮遊磁界に対する情報消去の改善に有効である
。
一定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分
の再生信号の波形を夫々示す。また、記録媒体ＩＨ，Ｉ
Ｉに単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中にヘッド
真上から３０ｅ及び６０ｅ外部磁界を印加して、情報消
去（符号１４゜１５の部分）の様子を観測した結果を夫
々第２６図（ａ）、（ｂ）に示す。第２６図かられかる
ように、記録媒体ｌＨでは ３０ｅの外部磁界で部分的
な情報消去（符号１４．１５の部分）が見られるのに対
し、記録媒体１■では６０ｅの外部磁界にも情報が消去
されず、浮遊磁界に対する情報消去の改善に有効である
。
なお、本実施例では半径方向を磁化容易軸とする磁気異
方性が付与されているか、この異方性の方向はこれに限
定されるものではなく面内方向であれば良い。但し、ト
ラック方向と異方性の方向とのなす角が同一トラック上
で変化すると、記録再生効率が変化して再生信号波形の
エンベロープが悪化してしまう。例えば、第２８図は異
方性を第２７図の如く一方向に固定した記録媒体の再生
信号波形を示すが、明らかにエンベロープが悪化してい
る。従って、磁化容易軸方向と記録トラックとのなす角
度が同一トラック上の各位置において常に一定である磁
気異方性付与が望ましい。
方性が付与されているか、この異方性の方向はこれに限
定されるものではなく面内方向であれば良い。但し、ト
ラック方向と異方性の方向とのなす角が同一トラック上
で変化すると、記録再生効率が変化して再生信号波形の
エンベロープが悪化してしまう。例えば、第２８図は異
方性を第２７図の如く一方向に固定した記録媒体の再生
信号波形を示すが、明らかにエンベロープが悪化してい
る。従って、磁化容易軸方向と記録トラックとのなす角
度が同一トラック上の各位置において常に一定である磁
気異方性付与が望ましい。
第２９図及び第３０図は、スパッタリング法を用いて実
現した本発明になる垂直磁気記録媒体の第７及び第８実
施例である垂直磁気記録媒体ＩＪ。
現した本発明になる垂直磁気記録媒体の第７及び第８実
施例である垂直磁気記録媒体ＩＪ。
ＩＫを示す。各図中、３はアルマイト処理されたＡｆ基
板、４Ｊ、４にはＮｉＦｅ （パーマロイ）の軟磁性下
地層であり、透磁率が１５００で厚さか２μｍである。
板、４Ｊ、４にはＮｉＦｅ （パーマロイ）の軟磁性下
地層であり、透磁率が１５００で厚さか２μｍである。
５は垂直磁気異方性を有するＣ。
Ｃｒの磁気記録層であり、厚さが０．１５μｍで垂直保
磁力か１００００ ｅである。４２はこれらの実施例の
要部をなす硬磁性層であり、記録媒体ＩＪでは基板３と
軟磁性下地層４Ｊとの間に、記録媒体ＩＫでは軟磁性下
地層４にと垂直磁気記録層５との間に配しである。硬磁
性層４２は、厚さか０．０２μｍで保磁力が８００ｅの
ＦｅＣｏからなる。また、この硬磁性層４２は通常のス
パッタリング形成では残留磁化の方向は限定されず、−
様とはならない。このような硬磁性層４２はこの上面も
しくは下面に形成される軟磁性下地層４Ｊ、４Ｋに水平
方向のバイアス磁界Ｈ１を印加する。これにより、軟磁
性下地層４Ｊ、４には不規則な磁壁移動を起こし易い枕
木磁壁の発生が抑制され、且つ、硬磁性層４２の残留磁
化方向に対応した水平方向（面方向）に向いた面内異方
性が軟磁性下地層４Ａに付与される。
磁力か１００００ ｅである。４２はこれらの実施例の
要部をなす硬磁性層であり、記録媒体ＩＪでは基板３と
軟磁性下地層４Ｊとの間に、記録媒体ＩＫでは軟磁性下
地層４にと垂直磁気記録層５との間に配しである。硬磁
性層４２は、厚さか０．０２μｍで保磁力が８００ｅの
ＦｅＣｏからなる。また、この硬磁性層４２は通常のス
パッタリング形成では残留磁化の方向は限定されず、−
様とはならない。このような硬磁性層４２はこの上面も
しくは下面に形成される軟磁性下地層４Ｊ、４Ｋに水平
方向のバイアス磁界Ｈ１を印加する。これにより、軟磁
性下地層４Ｊ、４には不規則な磁壁移動を起こし易い枕
木磁壁の発生が抑制され、且つ、硬磁性層４２の残留磁
化方向に対応した水平方向（面方向）に向いた面内異方
性が軟磁性下地層４Ａに付与される。
記録媒体ＩＪ、ＩＫの下地層４Ｊ、４にでは、外部磁界
が５Ｏｅを越えても磁壁移動が抑制されていることがカ
ー効果測定装置にて確認された。
が５Ｏｅを越えても磁壁移動が抑制されていることがカ
ー効果測定装置にて確認された。
第３１図（ａ）、（ｂ）は夫々記録媒体ＩＪにレベル一
定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分の
再生信号の波形及び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録
再生中にヘッド真上から１００ｅ外部磁界を印加して、
情報消去の様子を観測した結果を示す。同様に、第３２
図（ａ）。
定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分の
再生信号の波形及び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録
再生中にヘッド真上から１００ｅ外部磁界を印加して、
情報消去の様子を観測した結果を示す。同様に、第３２
図（ａ）。
（ｂ）は夫々記録媒体ＩＫにレベル一定の信号を記録し
て再生した時の１トラツクタ一ン分の再生信号の波形及
び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中にヘッド真
上から１００ｅの外部磁界を印加して、情報消去の様子
を観測した結果を示す。
て再生した時の１トラツクタ一ン分の再生信号の波形及
び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録再生中にヘッド真
上から１００ｅの外部磁界を印加して、情報消去の様子
を観測した結果を示す。
第３１図及び第３２図かられかるように、画記録媒体Ｉ
Ｊ、ＩＫとも磁気記録再生装置内の浮遊磁界よりも十分
大きい１００ｅの外部磁界に対しても情報が消去されず
、浮遊磁界に対する情報消去の改善は著しい。
Ｊ、ＩＫとも磁気記録再生装置内の浮遊磁界よりも十分
大きい１００ｅの外部磁界に対しても情報が消去されず
、浮遊磁界に対する情報消去の改善は著しい。
しかし、残留磁化の方向が一様ではない上記記録媒体で
は、そのバイアス磁界によって誘起される軟磁性下地層
の磁気異方性の向きが同一トラック上の各位置において
一定でないため、記録再生効率が変動して再生信号波形
のエンベロープが悪化してしまう。
は、そのバイアス磁界によって誘起される軟磁性下地層
の磁気異方性の向きが同一トラック上の各位置において
一定でないため、記録再生効率が変動して再生信号波形
のエンベロープが悪化してしまう。
そこで、この課題を解決したのが第３３図に示す本発明
になる垂直磁気記録媒体の第９実施例である垂直磁気記
録媒体Ｉしてある。記録媒体ＩＬの構成は記録媒体ＩＪ
と全く同じである。異なるのは、第３３図の符号４４で
示すように硬磁性層４２の残留磁化の向きが面内で周方
向（トラック方向）に揃った状態となっていることであ
る。
になる垂直磁気記録媒体の第９実施例である垂直磁気記
録媒体Ｉしてある。記録媒体ＩＬの構成は記録媒体ＩＪ
と全く同じである。異なるのは、第３３図の符号４４で
示すように硬磁性層４２の残留磁化の向きが面内で周方
向（トラック方向）に揃った状態となっていることであ
る。
従って、この硬磁性層４２のバイアス磁界Ｈ２によって
誘起される軟磁性下地層４Ｌの磁気異方性の向きは同一
トラック上の各位置において略一定となり、記録再生効
率の変化が生じない。なお、硬磁性層４２の残留磁化の
方向は外部より磁界を印加することにより制御した。
誘起される軟磁性下地層４Ｌの磁気異方性の向きは同一
トラック上の各位置において略一定となり、記録再生効
率の変化が生じない。なお、硬磁性層４２の残留磁化の
方向は外部より磁界を印加することにより制御した。
第３４図（ａ）、（ｂ）は夫々記録媒体ＩＬにレベル一
定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分の
再生信号の波形及び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録
再生中にヘッド真上から外部磁界を印加して情報消去の
様子を観測した結果を示す。同図より明らかな如く、再
生信号波形のエンベロープは改善されており、且つ、浮
遊磁界に対する情報消去の抑制効果も維持されている。
定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分の
再生信号の波形及び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録
再生中にヘッド真上から外部磁界を印加して情報消去の
様子を観測した結果を示す。同図より明らかな如く、再
生信号波形のエンベロープは改善されており、且つ、浮
遊磁界に対する情報消去の抑制効果も維持されている。
なお、上記実施例では磁化容易軸方向をトラック方向と
一致させた構成であるが、これに限らず、磁化容易軸の
方向がトラック上のどの位置でもトラック方向に対して
一定の方向であれば上記と同様の効果を得られる。例え
ば、磁化容易軸の方向を記録媒体の半径方向に定めても
良い。また、硬磁性層は、ＦｅＣｏに代えて他の硬磁性
層でも良く、例えば、ＣｏＮｉを厚さ０．０２μｍ及び
保磁力１０００ｅで形成すれば良い。
一致させた構成であるが、これに限らず、磁化容易軸の
方向がトラック上のどの位置でもトラック方向に対して
一定の方向であれば上記と同様の効果を得られる。例え
ば、磁化容易軸の方向を記録媒体の半径方向に定めても
良い。また、硬磁性層は、ＦｅＣｏに代えて他の硬磁性
層でも良く、例えば、ＣｏＮｉを厚さ０．０２μｍ及び
保磁力１０００ｅで形成すれば良い。
第３５図は、本発明になる垂直磁気記録媒体の第１Ｏ実
施例である二層膜構造の垂直磁気記録媒体ＩＭを示す。
施例である二層膜構造の垂直磁気記録媒体ＩＭを示す。
第３６図は第３５図の記録媒体ＩＭの構造を拡大して示
す。各図中、３はアルマイト処理されたＡＡ’製基板基
板Ｍは透磁率が８００で厚さが１μｍのＮｉＦｅ （Ｆ
ｅ−８１ｗｔ％Ｎｉ）軟磁性下地層である。５は保磁力
が１００００ｅで厚さが０．１５μｍのＣｏＣｒ垂直磁
気記録層である。
す。各図中、３はアルマイト処理されたＡＡ’製基板基
板Ｍは透磁率が８００で厚さが１μｍのＮｉＦｅ （Ｆ
ｅ−８１ｗｔ％Ｎｉ）軟磁性下地層である。５は保磁力
が１００００ｅで厚さが０．１５μｍのＣｏＣｒ垂直磁
気記録層である。
第３７図はこの記録媒体ＩＭにレベルが一定の信号を記
録し、これに外部よりヘッド真上から磁気記録再生装置
内の浮遊磁界より十分大きい１００ｅの磁界を作用させ
た時の１トラツクタ一ン分の再生信号の波形を示す。同
図より分かるように、レベルダウンの部分は認められず
、記録媒体ＩＭは浮遊磁界による消去が抑制され、情報
記録状態の維持に関して高信頼性を有する。
録し、これに外部よりヘッド真上から磁気記録再生装置
内の浮遊磁界より十分大きい１００ｅの磁界を作用させ
た時の１トラツクタ一ン分の再生信号の波形を示す。同
図より分かるように、レベルダウンの部分は認められず
、記録媒体ＩＭは浮遊磁界による消去が抑制され、情報
記録状態の維持に関して高信頼性を有する。
また、第５７図と比較してわかるように、出力レベルの
低下はな（、従来と同程度の再生出力が得られる。なお
、軟磁性下地層４Ｍの透磁率が５０〜８００の範囲で、
且つ、厚さか１μｍ以上の範囲であれば、上記と同様の
効果が得られる。
低下はな（、従来と同程度の再生出力が得られる。なお
、軟磁性下地層４Ｍの透磁率が５０〜８００の範囲で、
且つ、厚さか１μｍ以上の範囲であれば、上記と同様の
効果が得られる。
透磁率８００の軟磁性下地層４Ｍは例えば第９図に示す
めっき装置により形成される。基板３には厚さ１０００
人のＮｉＦｅ下地導電膜が予めスパッタリング法により
形成しである。この基板３を基板ホルダ２６に支持して
、硫酸ニッケルと硫酸第１鉄が主成分でありＰＨか２の
めっき液２７Ｍを満たしためっき槽３３に下部のめっき
電極２８に対向させて配置して１７０ ｒｐｍで回転さ
せる。この時、電流密度は６ Ａ／ｄｍ”で浴温は４０
℃である。この条件で電解めっきを行うことにより、下
地導電膜上に透磁率が８００のＮｉＦｅ軟磁性下地膜４
Ｍが形成される。
めっき装置により形成される。基板３には厚さ１０００
人のＮｉＦｅ下地導電膜が予めスパッタリング法により
形成しである。この基板３を基板ホルダ２６に支持して
、硫酸ニッケルと硫酸第１鉄が主成分でありＰＨか２の
めっき液２７Ｍを満たしためっき槽３３に下部のめっき
電極２８に対向させて配置して１７０ ｒｐｍで回転さ
せる。この時、電流密度は６ Ａ／ｄｍ”で浴温は４０
℃である。この条件で電解めっきを行うことにより、下
地導電膜上に透磁率が８００のＮｉＦｅ軟磁性下地膜４
Ｍが形成される。
なお、浴温を変えることにより透磁率の異なる所望の軟
磁性下地層が形成できる。例えば、浴温を３５°Ｃとす
ると透磁率が２０００の軟磁性下地層が形成され、浴温
を４３°Ｃとすると、透磁率か１００の軟磁性下地層が
形成される。
磁性下地層が形成できる。例えば、浴温を３５°Ｃとす
ると透磁率が２０００の軟磁性下地層が形成され、浴温
を４３°Ｃとすると、透磁率か１００の軟磁性下地層が
形成される。
また、上記の軟磁性下地膜は基板温度、ターゲット組成
等の成膜条件を適宜室めればスパッタリング法や蒸着法
によっても形成し得る。
等の成膜条件を適宜室めればスパッタリング法や蒸着法
によっても形成し得る。
次に、軟磁性下地層の透磁率と浮遊磁界による情報消去
との関連についての実験を説明する。
との関連についての実験を説明する。
第３８図に示すように、軟磁性下地層の厚さを０．５μ
ｍに固定し、透磁率が１５００．８００ 、１００と異
なる種類の垂直磁気記録媒体■、■、■を作成して（記
録媒体■は従来例に相当）単磁極型ヘッドを用いて情報
の記録再生を行った。更に、再生中にヘッド真上から外
部磁界を印加して情報消去の様子を観察した。
ｍに固定し、透磁率が１５００．８００ 、１００と異
なる種類の垂直磁気記録媒体■、■、■を作成して（記
録媒体■は従来例に相当）単磁極型ヘッドを用いて情報
の記録再生を行った。更に、再生中にヘッド真上から外
部磁界を印加して情報消去の様子を観察した。
第３８図より分かるように、従来例の一つに相当する記
録媒体■においては３０ｅの強さの外部磁界を加えただ
けで部分的な情報消去か認められた。ｌ ＯＯｅの強さ
の外部磁界に対しては情報消去の程度は更に顕著となる
。
録媒体■においては３０ｅの強さの外部磁界を加えただ
けで部分的な情報消去か認められた。ｌ ＯＯｅの強さ
の外部磁界に対しては情報消去の程度は更に顕著となる
。
一方、記録媒体■、■においては、ｌ ００ｅの強さの
外部磁界を加えても情報消去が発生しないことが分かる
。
外部磁界を加えても情報消去が発生しないことが分かる
。
第３９図は、上記の実験に基づいて、外部磁界１００ｅ
を印加したときの記録媒体−周に相当するｌトラックタ
ーンについての再生の最小出力／平均出力と軟磁性下地
層の透磁率との関係を示す図である。同図中、線Ｉから
分かるように、透磁率が８００以下では最小出力／平均
出力は１０ｅ％であり、部分的消去か発生しないことが
分かる。
を印加したときの記録媒体−周に相当するｌトラックタ
ーンについての再生の最小出力／平均出力と軟磁性下地
層の透磁率との関係を示す図である。同図中、線Ｉから
分かるように、透磁率が８００以下では最小出力／平均
出力は１０ｅ％であり、部分的消去か発生しないことが
分かる。
従って、浮遊磁界による情報消去が発生しにくいように
するためには、透磁率を従来例における一般的な値であ
る１５００より大幅に下げた値８００以下とすることが
必要である。
するためには、透磁率を従来例における一般的な値であ
る１５００より大幅に下げた値８００以下とすることが
必要である。
しかし、第３８図中の記録媒体■、■について見られる
ように、軟磁性下地層の透磁率を８００以下とすると、
再生出力が低下してしまうという新たな問題が生じた。
ように、軟磁性下地層の透磁率を８００以下とすると、
再生出力が低下してしまうという新たな問題が生じた。
透磁率が８００以下である制約の下にこの問題を解決す
る必要がある。
る必要がある。
次に、軟磁性下地層の透磁率を１００程度とし、その厚
さと再生出力の関連についての実験を説明する。
さと再生出力の関連についての実験を説明する。
〔実験２〕
第４０図に示すように、透磁率８００以下である１００
に固定して、厚さが０．５μｍの記録媒体■と厚さが２
μｍの記録媒体■と、透磁率が５０で厚さが２０μｍの
記録媒体■とを作成した。
に固定して、厚さが０．５μｍの記録媒体■と厚さが２
μｍの記録媒体■と、透磁率が５０で厚さが２０μｍの
記録媒体■とを作成した。
これらの記録媒体■、■、■に情報を単磁極型ヘッドで
記録後、ヘッド真上から１００ｅの外部磁界を印加した
状態で再生した。この実験より次の二つの事実が分かっ
た。
記録後、ヘッド真上から１００ｅの外部磁界を印加した
状態で再生した。この実験より次の二つの事実が分かっ
た。
第一に、前記の実験１により既に裏付けられた事実であ
るが、情報消去は発生していないことが分かった。
るが、情報消去は発生していないことが分かった。
第二に、厚さを従来の一般的な厚さである０、５μｍよ
り大幅に厚くして２μｍ、２０μｍとすると、再生出力
が増加することが分かった。
り大幅に厚くして２μｍ、２０μｍとすると、再生出力
が増加することが分かった。
第４１図は上記の実験■の結果である第２の事実に着目
して、記録効率（ヘッド起磁力の有効利用率）と軟磁性
下地層の厚さとの関係を求めたものである。同図中、線
■は透磁率が従来の一般的な値である１５００の場合の
関係を示す。線■は透磁率が１００の場合の関係を示す
。線■から、透磁率が１５００の軟磁性下地層の場合に
は膜厚か０．５μｍ（従来例）の時の記録効率は３０％
であることが分かる。透磁率が１００の下地層の記録媒
体では、線■から分かるように、厚さ０〜４μｍまでの
範囲では記録効率が漸次増加し、４μｍ以上では記録効
率は従来の場合の記録効率である３０％を越えているこ
とが分かる。また、厚さが０．５μｍでは記録効率は約
２５％と十分ではないが、厚さが１μｍ程度になると約
２８％となり、満足できる値となることが分かる。更に
、本発明において下地層の最大膜厚はその効果上制限は
ないが、生産効率やコストの面から２０μｍ程度（記録
媒体■）となる。
して、記録効率（ヘッド起磁力の有効利用率）と軟磁性
下地層の厚さとの関係を求めたものである。同図中、線
■は透磁率が従来の一般的な値である１５００の場合の
関係を示す。線■は透磁率が１００の場合の関係を示す
。線■から、透磁率が１５００の軟磁性下地層の場合に
は膜厚か０．５μｍ（従来例）の時の記録効率は３０％
であることが分かる。透磁率が１００の下地層の記録媒
体では、線■から分かるように、厚さ０〜４μｍまでの
範囲では記録効率が漸次増加し、４μｍ以上では記録効
率は従来の場合の記録効率である３０％を越えているこ
とが分かる。また、厚さが０．５μｍでは記録効率は約
２５％と十分ではないが、厚さが１μｍ程度になると約
２８％となり、満足できる値となることが分かる。更に
、本発明において下地層の最大膜厚はその効果上制限は
ないが、生産効率やコストの面から２０μｍ程度（記録
媒体■）となる。
従って、軟磁性下地層の透磁率が８００以下であっても
厚さを１μｍ以上とすれば従来と比べて遜色のない所望
の記録効率を得ることができる。
厚さを１μｍ以上とすれば従来と比べて遜色のない所望
の記録効率を得ることができる。
以上説明した様に、実施例の記録媒体では、浮遊磁界が
作用したときに情報が消去されてしまうことを抑制する
ことが出来、しかも十分な記録効率を達成することがで
きるため情報記録の信頼性の向上に著しく寄与する。
作用したときに情報が消去されてしまうことを抑制する
ことが出来、しかも十分な記録効率を達成することがで
きるため情報記録の信頼性の向上に著しく寄与する。
磁性膜の異方性付与の手段としては、磁場中で薄膜形成
する手法や基板（ディスク）上にスジ状の凹凸を形成し
た後磁性膜を形成する方法が知られている。前者は特開
昭６２−２１２９１８号公報にて提案されており、後者
は特開昭６２−２６２２１７号公報にて提案されている
。
する手法や基板（ディスク）上にスジ状の凹凸を形成し
た後磁性膜を形成する方法が知られている。前者は特開
昭６２−２１２９１８号公報にて提案されており、後者
は特開昭６２−２６２２１７号公報にて提案されている
。
しかし、前者の方法では磁場印加システムを成膜装置に
組み込む必要が生じ、装置本体か高価になってしまう欠
点を持つ。また、後者の方法では、従来異方性付与のた
めにディスク全面にスジ状の凹凸を形成していたため、
電磁変換素子となる磁気ヘッドを搭載したスライダの浮
上変動を引き起こしたり、凸部の存在により実効的なス
ペーシングが減少し、その結果、ヘッドとディスクの接
触確率が増加して信頼性か低下してしまうといった問題
を有していた。
組み込む必要が生じ、装置本体か高価になってしまう欠
点を持つ。また、後者の方法では、従来異方性付与のた
めにディスク全面にスジ状の凹凸を形成していたため、
電磁変換素子となる磁気ヘッドを搭載したスライダの浮
上変動を引き起こしたり、凸部の存在により実効的なス
ペーシングが減少し、その結果、ヘッドとディスクの接
触確率が増加して信頼性か低下してしまうといった問題
を有していた。
これに対し、本発明者らは、ディスク基板上にスジ状の
凹凸を円周方向に一部形成するだけで、基板上に形成さ
れた下地層に円周方向を磁化容易軸とする異方性が付与
されることを見出した。
凹凸を円周方向に一部形成するだけで、基板上に形成さ
れた下地層に円周方向を磁化容易軸とする異方性が付与
されることを見出した。
次に、本発明になる垂直磁気記録媒体の製造方法の第１
実施例について説明する。
実施例について説明する。
本実施例では、第４２図（ａ）に示す如く表面かＮｉめ
っき処理された５インチ径のｌｌ製基板３上に表面の粗
さＲａ＝３ｍｍのスジ状の凹凸３Ｎを円周方向に形成す
る。その後、ＮｉＦｅ軟磁性下地層４Ｎをめっき法、Ｃ
ｏＣｒ垂直記録層５をスパッタ法により順次形成して第
４２図（ｂ）に示す垂直磁気記録媒体ＩＮが完成する。
っき処理された５インチ径のｌｌ製基板３上に表面の粗
さＲａ＝３ｍｍのスジ状の凹凸３Ｎを円周方向に形成す
る。その後、ＮｉＦｅ軟磁性下地層４Ｎをめっき法、Ｃ
ｏＣｒ垂直記録層５をスパッタ法により順次形成して第
４２図（ｂ）に示す垂直磁気記録媒体ＩＮが完成する。
ここで、記録媒体ＩＮのスジ状の凹凸３Ｎは、研磨テー
プを用いて実現し得る。また、ＮｉＦｅ軟磁性下地層４
Ｎのめっきの成膜条件は第１０実施例で述べた透磁率が
２０００の条件に準する。なお、記録媒体ＩＮの膜構成
はＮｉＦｅ軟磁性下地層４Ｎの膜厚が２μｍ、ＣｏＣｒ
垂直記録層５の膜厚が０．１５ μｍであり、ＣｏＣ
ｒの保磁力は１００００ ｅである。
プを用いて実現し得る。また、ＮｉＦｅ軟磁性下地層４
Ｎのめっきの成膜条件は第１０実施例で述べた透磁率が
２０００の条件に準する。なお、記録媒体ＩＮの膜構成
はＮｉＦｅ軟磁性下地層４Ｎの膜厚が２μｍ、ＣｏＣｒ
垂直記録層５の膜厚が０．１５ μｍであり、ＣｏＣ
ｒの保磁力は１００００ ｅである。
第４３図（ａ）、（ｂ）は夫々記録媒体ＩＮの部分Ｘ、
ＹでのＮｉＦｅ軟磁性下地層４Ｎの磁気特性を示す。
ＹでのＮｉＦｅ軟磁性下地層４Ｎの磁気特性を示す。
明らかに、円周方向を容易軸とする異方性は付与されて
いる。しかも、スジ状凹凸部の３Ｎ（Ｘ）の磁気特性と
スジ部が形成されていないフラット部（Ｙ）の磁気特性
は同等である。
いる。しかも、スジ状凹凸部の３Ｎ（Ｘ）の磁気特性と
スジ部が形成されていないフラット部（Ｙ）の磁気特性
は同等である。
第４４図（ａ）、（ｂ）は夫々記録媒体ＩＮにレベル一
定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分の
再生信号の波形及び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録
再生中にヘッド真上から３０ｅ外部磁界を印加して情報
消去の様子を観測した結果を示す。同図より明らかな如
く、記録媒体ＩＮでは３０ｅの外部磁界でも部分的な情
報消去がみられず、浮遊磁界による情報消去の改善に有
効であることがわかる。
定の信号を記録して再生した時の１トラツクタ一ン分の
再生信号の波形及び単磁極型ヘッドを用いて情報を記録
再生中にヘッド真上から３０ｅ外部磁界を印加して情報
消去の様子を観測した結果を示す。同図より明らかな如
く、記録媒体ＩＮでは３０ｅの外部磁界でも部分的な情
報消去がみられず、浮遊磁界による情報消去の改善に有
効であることがわかる。
本実施例の製造方法では、異方性付与の手法として基板
３の一部にスジ状の凹凸３Ｎを円周方向に形成すればよ
く、記録再生を行う磁気ヘッドとの浮上マージン低下を
極力抑えることができる。
３の一部にスジ状の凹凸３Ｎを円周方向に形成すればよ
く、記録再生を行う磁気ヘッドとの浮上マージン低下を
極力抑えることができる。
この結果、優れた信頼性を示す媒体を提供することかで
きる。なお、スジ状の凹凸基板３と軟磁性下地層４Ｎと
のうち少なくとも一方の一部に形成すれば同様の効果が
得られる。
きる。なお、スジ状の凹凸基板３と軟磁性下地層４Ｎと
のうち少なくとも一方の一部に形成すれば同様の効果が
得られる。
垂直磁気記録媒体の軟磁性下地層は、記録再生感度向上
に寄与するものの、ノイズの発生源ともなりつる。ノイ
ズが発生すると、再生時のＳ／Ｎ比が低下する。従って
、Ｓ／Ｎ比を向上させるためには、軟磁性下地層に関連
するノイズが小さい垂直磁気記録媒体の製造方法が望ま
れている。
に寄与するものの、ノイズの発生源ともなりつる。ノイ
ズが発生すると、再生時のＳ／Ｎ比が低下する。従って
、Ｓ／Ｎ比を向上させるためには、軟磁性下地層に関連
するノイズが小さい垂直磁気記録媒体の製造方法が望ま
れている。
通常は、基板上に軟磁性下地層をスパッタリング等によ
り形成し、更にこの上に磁気記録層をスパッタリング等
により形成し、以上で完成という製造方法である。しか
し、このような製造方法では軟磁性下地層が必ずしもノ
イズを低減する磁区状態となるとは限らず、その結果、
ノイズが増大し、再生時のＳ／Ｎ比の低下をきたす。
り形成し、更にこの上に磁気記録層をスパッタリング等
により形成し、以上で完成という製造方法である。しか
し、このような製造方法では軟磁性下地層が必ずしもノ
イズを低減する磁区状態となるとは限らず、その結果、
ノイズが増大し、再生時のＳ／Ｎ比の低下をきたす。
そこで、軟磁性下地層に関連するノイズを低減すること
が可能な本発明になる垂直磁気記録媒体の製造方法の実
施例について説明する。
が可能な本発明になる垂直磁気記録媒体の製造方法の実
施例について説明する。
第４５図は本発明になる垂直磁気記録媒体の製造方法の
第２実施例を示す。
第２実施例を示す。
まず、二層膜記録媒体の製造方法を説明すると、工程Ｓ
１では第４６図に示すように、アルマイト処理されたＡ
ｊ７製基板基板３上Ｎ ｉ Ｆ ｅをスパッタリングし
て軟磁性下地層４Ｐを２μｍ程度の厚さに形成する。軟
磁性下地層４Ｐは、ターゲット組成、Ａｒ雰囲気圧等の
成膜条件を制御することにより第４７図（ａ）に示す面
内磁区構造４Ｐａ又は同図（ｂ）に示す縞状磁区構造４
Ｐｂとなる。
１では第４６図に示すように、アルマイト処理されたＡ
ｊ７製基板基板３上Ｎ ｉ Ｆ ｅをスパッタリングし
て軟磁性下地層４Ｐを２μｍ程度の厚さに形成する。軟
磁性下地層４Ｐは、ターゲット組成、Ａｒ雰囲気圧等の
成膜条件を制御することにより第４７図（ａ）に示す面
内磁区構造４Ｐａ又は同図（ｂ）に示す縞状磁区構造４
Ｐｂとなる。
各磁区の延在方向は特定されない。
次に、磁気記録層形成工程Ｓ２を行う。この工程Ｓ２で
は、第４８図に示すように、先の工程Ｓｌで形成した軟
磁性下地層４Ｐ上に、ＣｏＣｒをスパッタリングして垂
直磁気異方性を有する磁気記録層５を０．２μｍの厚さ
に形成する。これにより、半完成記録媒体１Ｐｓを得る
。
は、第４８図に示すように、先の工程Ｓｌで形成した軟
磁性下地層４Ｐ上に、ＣｏＣｒをスパッタリングして垂
直磁気異方性を有する磁気記録層５を０．２μｍの厚さ
に形成する。これにより、半完成記録媒体１Ｐｓを得る
。
次に、軟磁性下地層４Ｐの磁区調整工程Ｓ３を行う。こ
の工程Ｓ３では、第４９図に示すように、半完成記録媒
体１Ｐｓを磁界発生源を内蔵した再生装置４９に組み込
み、単磁極型ヘッド５０（第５３図参照）により再生す
る。このとき、下地層４Ｐに関連するノイズが再生され
、これがスペクトラムアナライザ５１に供給され、例え
ば符号５２で示すようなノイズスペクトルが表示される
。
の工程Ｓ３では、第４９図に示すように、半完成記録媒
体１Ｐｓを磁界発生源を内蔵した再生装置４９に組み込
み、単磁極型ヘッド５０（第５３図参照）により再生す
る。このとき、下地層４Ｐに関連するノイズが再生され
、これがスペクトラムアナライザ５１に供給され、例え
ば符号５２で示すようなノイズスペクトルが表示される
。
第５０図は、このノイズスペクトル５２を拡大して示す
。この時、使用ヘッドはトラック幅が１０μｍでコイル
巻数が３３ターンであり、媒体周速度は１３ｍ／ｓであ
り、スペクトラムアナライザの分解能帯域幅は３０ＫＨ
２で測定した。同図より分かるように、周波数３ＭＨｚ
付近で、約２μＶ ｒｍｓとなるノイズのピークが存在
し、媒体ノイズは大きな値となる。
。この時、使用ヘッドはトラック幅が１０μｍでコイル
巻数が３３ターンであり、媒体周速度は１３ｍ／ｓであ
り、スペクトラムアナライザの分解能帯域幅は３０ＫＨ
２で測定した。同図より分かるように、周波数３ＭＨｚ
付近で、約２μＶ ｒｍｓとなるノイズのピークが存在
し、媒体ノイズは大きな値となる。
５３は電磁石又は永久磁石よりなる磁界発生源であり、
上記再生装置４９内に設けてあり、例えば１０００ｅと
いう磁界５４を、半完成記録媒体１Ｐｓに印加する。ま
た、この磁界発生源５３は、その姿勢を自由に変えられ
る構成となっており、半完成記録媒体１Ｐｓに対して任
意の方向の磁界を印加することが可能である。
上記再生装置４９内に設けてあり、例えば１０００ｅと
いう磁界５４を、半完成記録媒体１Ｐｓに印加する。ま
た、この磁界発生源５３は、その姿勢を自由に変えられ
る構成となっており、半完成記録媒体１Ｐｓに対して任
意の方向の磁界を印加することが可能である。
磁界５４が印加されると、軟磁性下地層４Ｐの磁区構造
が変えられ、これに伴って、上記のノイズの状態が変わ
る。
が変えられ、これに伴って、上記のノイズの状態が変わ
る。
スペクトラムアナライザ５１を観測しながら、磁界発生
源５３を調整操作して下地層４Ｐの磁区を調整し、ノイ
ズスペクトルが例えば符号５５で示すようになってノイ
ズが最小となった状態とする。即ち、下地層４Ｐに関連
するノイズが最小となるように下地層４Ｐの磁区を調整
する。
源５３を調整操作して下地層４Ｐの磁区を調整し、ノイ
ズスペクトルが例えば符号５５で示すようになってノイ
ズが最小となった状態とする。即ち、下地層４Ｐに関連
するノイズが最小となるように下地層４Ｐの磁区を調整
する。
ノイズスペクトル５５を拡大して示すと、第５１図に示
す如くになる。同図より分かるように、磁区調整前には
現われていたピークが消失し、θ〜２０ＭＨｚの測定帯
域に渡ってほぼ平らなスペクトルとなり、媒体ノイズは
著しく低減する。
す如くになる。同図より分かるように、磁区調整前には
現われていたピークが消失し、θ〜２０ＭＨｚの測定帯
域に渡ってほぼ平らなスペクトルとなり、媒体ノイズは
著しく低減する。
第４６図の段階で形成された軟磁性下地層４Ｐが例えば
第４７図（ｂ）に示す縞状磁区構造４Ｐｂである場合に
は、上記の磁区調整により磁区構造は第５２図に拡大し
て示すように帯状の各磁区５７が記録媒体の周方向（ト
ラック方向）に延在するようになっている。
第４７図（ｂ）に示す縞状磁区構造４Ｐｂである場合に
は、上記の磁区調整により磁区構造は第５２図に拡大し
て示すように帯状の各磁区５７が記録媒体の周方向（ト
ラック方向）に延在するようになっている。
これにより第５２図に示す垂直磁気記録媒体ＩＰが完成
する。４Ｐ’は磁区を調整された軟磁性下地層を示す。
する。４Ｐ’は磁区を調整された軟磁性下地層を示す。
このようにして製造された記録媒体ＩＰは、軟磁性下地
層４Ｐ’に関連するノイズが少な（、従ってＳ／Ｎ比を
向上できるものとなる、なお、通常の磁気記録装置内に
おいて、記録媒体ＩＰに作用する浮遊磁界の強さは３〜
５Ｏｅ程度と弱く、軟磁性下地層４Ｐ’の調整された磁
区が変化することはない。
層４Ｐ’に関連するノイズが少な（、従ってＳ／Ｎ比を
向上できるものとなる、なお、通常の磁気記録装置内に
おいて、記録媒体ＩＰに作用する浮遊磁界の強さは３〜
５Ｏｅ程度と弱く、軟磁性下地層４Ｐ’の調整された磁
区が変化することはない。
本実施例では垂直磁気記録層形成後に下地層の磁区調整
工程Ｓ３を行っているが、軟磁性下地層４Ｐの形成後す
ぐに下地層４Ｐの磁区調整工程を行っても良い。また、
上記の磁区調整工程Ｓ３ではノイズを観測しなから磁区
調整を行なっているが、ノイズの観測と磁区調整とを順
次行なうようにしてもよい。
工程Ｓ３を行っているが、軟磁性下地層４Ｐの形成後す
ぐに下地層４Ｐの磁区調整工程を行っても良い。また、
上記の磁区調整工程Ｓ３ではノイズを観測しなから磁区
調整を行なっているが、ノイズの観測と磁区調整とを順
次行なうようにしてもよい。
なお、本実施例は、軟磁性下地層４Ｐの磁区構造が面内
磁区構造４Ｐａの場合にも縞状磁区構造４Ｐｂの場合に
も適用できる。
磁区構造４Ｐａの場合にも縞状磁区構造４Ｐｂの場合に
も適用できる。
次に、本発明になる垂直磁気記録媒体の製造方法の第３
実施例について第５８図と共に説明する。
実施例について第５８図と共に説明する。
第５８図中、第４２図と実質的に同じ部分には同一符号
を付し、その説明は省略する 本実施例では、基板３と軟磁性下地層４Ｎとの間に密着
層６２０が形成される。この密着層６２０は、基板３と
軟磁性下地層４Ｎとの密着性を向上させるために設けら
れ、例えば０．００１〜０．１μｍの膜厚を有するＴｉ
、Ｃｒ等からなる。
を付し、その説明は省略する 本実施例では、基板３と軟磁性下地層４Ｎとの間に密着
層６２０が形成される。この密着層６２０は、基板３と
軟磁性下地層４Ｎとの密着性を向上させるために設けら
れ、例えば０．００１〜０．１μｍの膜厚を有するＴｉ
、Ｃｒ等からなる。
又、スジ状の凹凸６２０Ｎが密着層６２０に形成される
。本実施例によれば、上記製造方法の第１実施例と同様
な効果を得ることができる。
。本実施例によれば、上記製造方法の第１実施例と同様
な効果を得ることができる。
なお、本実施例の変形例として、スジ状の凹凸を基板３
．密着層６２０及び軟磁性下地層４Ｎのうち少なくとも
１つの一部に形成しても良いことは言うまでもない。
．密着層６２０及び軟磁性下地層４Ｎのうち少なくとも
１つの一部に形成しても良いことは言うまでもない。
また、本発明は実施例のディスク及びそのの製造に限ら
ず、テープ等の他の記録媒体及びその製造方法にも適用
し得、同様の効果を有する。
ず、テープ等の他の記録媒体及びその製造方法にも適用
し得、同様の効果を有する。
又、各実施例において、基板、密着層、硬磁性層、軟磁
性下地層及び磁気記録層に用いる材料は実施例のものに
限定されるものではない。
性下地層及び磁気記録層に用いる材料は実施例のものに
限定されるものではない。
例えば、基板にはリジッド又はフレキシブルな材料が用
いられる。リジッドな材料としては、（強化）ガラス、
アルミニウム、Ｎｉめっきされたアルミニウム、アルマ
イト処理されたアルミニウム、アルチックやアルミナ等
のセラミクス、ガラスグレーズドセラミクスなどを用い
得る。フレキシブルな材料としては、ポリイミドやポリ
エチレンナフタレート等の有機フィ゛ルムを用い得る。
いられる。リジッドな材料としては、（強化）ガラス、
アルミニウム、Ｎｉめっきされたアルミニウム、アルマ
イト処理されたアルミニウム、アルチックやアルミナ等
のセラミクス、ガラスグレーズドセラミクスなどを用い
得る。フレキシブルな材料としては、ポリイミドやポリ
エチレンナフタレート等の有機フィ゛ルムを用い得る。
密着層にはＴｔ＋ Ｃｒ、 Ｃｕ、 ＡＩ！等を用い得
る。
る。
硬磁性層には、ＦｅＣｏ、ＣｏＮｉ、ＣｏＰｔ。
ＣｏＮｉＣｒ、Ｆｅ０４ｒ γ Ｆｅ２０ｓ等のＣｏ
系メタルを用い得る。
系メタルを用い得る。
軟磁性下地層には、Ｎｉ、ＮｉＦｅ、Ｃｏ。
ＣｏＺｒＣｒやＣｏＺｒＮｂ等のＣｏＺｒ系メタル、Ｃ
ｏＦｅ、Ｆｅ、ＦｅＮ、Ｆｅ５ｉＡｊ７゜Ｆｅ５ｉＡｉ
Ｎ等を用い得る。
ｏＦｅ、Ｆｅ、ＦｅＮ、Ｆｅ５ｉＡｊ７゜Ｆｅ５ｉＡｉ
Ｎ等を用い得る。
磁気記録層には、Ｃｏ系メタル、ＦｅＣｏ０゜ＣｏＮ１
ＲｅＰ、Ｂａ−フェライト等を用い得る。
ＲｅＰ、Ｂａ−フェライト等を用い得る。
Ｃｏ系メタルには、ＣｏＣｒやＣｏＣｒＴａなどのよう
にｃｏとＣｒ、Ｍｏ、Ｖ、Ｗ、Ｃｕ、Ａｆ。
にｃｏとＣｒ、Ｍｏ、Ｖ、Ｗ、Ｃｕ、Ａｆ。
Ｔｉ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｒｅ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｎｂ。
Ｔａ、Ｚｒ及びＰｔを含むグループ内の１又は複数の元
素とからなる合金が含まれる。
素とからなる合金が含まれる。
以上本発明を実施例により説明したか、本発明はこれら
の実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可能
である。
の実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可能
である。
本発明によれば、下地層を浮遊磁界以下の外部磁界に対
して磁壁移動を抑制する構成としているので、浮遊磁界
による情報の消去が発生しにくく、高性能な垂直磁気記
録媒体を実現できるので、実用的には極めて有用である
。
して磁壁移動を抑制する構成としているので、浮遊磁界
による情報の消去が発生しにくく、高性能な垂直磁気記
録媒体を実現できるので、実用的には極めて有用である
。
第１図は記録媒体の第１実施例を説明する図、第２図は
縞状磁区構造のモデルを示す図、第３図は磁化スピンの
変化の状態を示す図、第４図は第１図中軟磁性下地層の
磁化特性を示す図、 第５図は第１図の記録媒体の再生信号波形図、第６図は
１００ｅの磁界下での第１図の記録媒体の再生信号波形
図、 第７図及び第８図は夫々記録媒体の第２及び第３実施例
を説明する断面図、 第９図はめっき装置の概略を示す断面図、第１０図は第
７図の記録媒体の再生信号及び１００ｅの磁界下での再
生信号の波形図、第１１図は第８図の記録媒体の再生信
号及び１００ｅの磁界下での再生信号の波形図、第１２
図は記録媒体の第４実施例を説明する図、第１３図は各
帯状の磁区が半径方向に延在する記録媒体を説明する図
、 第１４図は第１３図の記録媒体のノイズスペクトルを示
す図、 第１５図は第１２図の記録媒体のノイズスペクトルを示
す図、 第１６図は第１２図の磁区構造の形成方法を示す図、 第１７図は従来の記録媒体の要部断面図、第１８図は記
録媒体の第５実施例の要部断面図、第１９図は第１７図
及び第１８図の記録媒体の下地層のＢ−Ｈ特性を示す図
、 第２０図は第１７図及び第１８図の記録媒体の再生信号
波形図、 第２１図は第１７図及び第１８図の記録媒体の３０ｅ及
び６０ｅの磁界下での再生信号の波形図、第２２図は下
地層に半径方向を磁化容易軸とする磁気異方性か付与さ
れた記録媒体の要部断面図、第２３図は記録媒体の第６
実施例の要部断面図、第２４図は第２２図及び第２３図
の記録媒体の円周方向のＢ−Ｈ特性を示す図、 第２５図は第２２図及び第２３図の記録媒体の再生信号
波形図、 第２６図は第２２図及び第２３図の記録媒体の３０ｅ及
び６０ｅの磁界下での再生信号の波形図、第２７図は異
方性を一方向に固定した記録媒体の平面図、 第２８図は第２７図の記録媒体の再生信号波形図、 第２９図及び第３０図は夫々記録媒体の第７及び第８実
施例を説明する図、 第３１図は第２９図の記録媒体の再生信号及び１００ｅ
の磁界下での再生信号の波形図、第３２図は第３０図の
記録媒体の再生信号及び１００ｅの磁界下での再生信号
の波形図、第３３図は記録媒体の第９実施例を説明する
図、第３４図は第３３図の記録媒体の再生信号及び１０
０ｅの磁界下での再生信号の波形図、第３５図は記録媒
体の第１Ｏ実施例を説明する図、 第３６図は第３５図の記録媒体を拡大して示す要部断面
図、 第３７図は第３５図の記録媒体のｌ ００ｅの磁界下で
の再生信号の波形図、 第３８図は下地層の透磁率と浮遊磁界による情報消去と
の関連についての実験結果を説明する図、第３９図は情
報消去と下地層の透磁率との関係を示す図、 第４０図は下地層の厚さと再生出力との関連についての
実験結果を説明する図、 第４１図は記録効率と下地層の厚さとの関係を示す図、 第４２図は記録媒体の製造方法の第１実施例を説明する
図、 第４３図は第４２図の記録媒体の部分Ｘ、 Ｙでの磁気
特性を示す図、 第４４図は第４２図の記録媒体の再生信号及び３０ｅの
磁界下での再生信号の波形図、第４５図は記録媒体の製
造方法の第２実施例を示すフローチャート、 第４６図は下地層形成工程を説明する図、第４７図は下
地層の磁区構造を説明する図、第４８図は記録形成工程
を説明する図、第４９図は下地層の磁区調整工程を説明
する図、第５０図は磁区調整前のノイズスペクトルを示
す図、 第５１図は磁区調整後のノイズスペクトルを示す図、 第５２図は完成した記録媒体を示す図、第５３図は記録
媒体に対する浮遊磁界の作用を説明する図、 第５４図は従来の記録媒体を示す図、 第５５図は第５４図の記録媒体の面内磁区のモデルを示
す図、 第５６図は第５４図の記録媒体の再生信号波形図、 第５７図は第５４図の記録媒体の３０ｅの磁界下での再
生信号波形図、 第５８図は記録媒体の製造方法の第３実施例を説明図で
ある。 第１図〜第５３図及び第５８図において、Ａ−ＩＮ、Ｉ
Ｐは垂直磁気記録媒体、 は基板、 Ａ〜４Ｎ、４Ｐは軟磁性下地層、 は磁気記録層、 ０−１． ２０−２． ２１−１． ２１−２． ２２
−１゜２−２は縞状の磁区、 ２は硬磁性層、 ９は再生装置、 ０は単磁極型ヘッド、 ５１はスペクトラムアナライザ、 ５２．５５はノイズスペクトル、 ５３は磁界発生源、 ５４は磁界 を示す。
縞状磁区構造のモデルを示す図、第３図は磁化スピンの
変化の状態を示す図、第４図は第１図中軟磁性下地層の
磁化特性を示す図、 第５図は第１図の記録媒体の再生信号波形図、第６図は
１００ｅの磁界下での第１図の記録媒体の再生信号波形
図、 第７図及び第８図は夫々記録媒体の第２及び第３実施例
を説明する断面図、 第９図はめっき装置の概略を示す断面図、第１０図は第
７図の記録媒体の再生信号及び１００ｅの磁界下での再
生信号の波形図、第１１図は第８図の記録媒体の再生信
号及び１００ｅの磁界下での再生信号の波形図、第１２
図は記録媒体の第４実施例を説明する図、第１３図は各
帯状の磁区が半径方向に延在する記録媒体を説明する図
、 第１４図は第１３図の記録媒体のノイズスペクトルを示
す図、 第１５図は第１２図の記録媒体のノイズスペクトルを示
す図、 第１６図は第１２図の磁区構造の形成方法を示す図、 第１７図は従来の記録媒体の要部断面図、第１８図は記
録媒体の第５実施例の要部断面図、第１９図は第１７図
及び第１８図の記録媒体の下地層のＢ−Ｈ特性を示す図
、 第２０図は第１７図及び第１８図の記録媒体の再生信号
波形図、 第２１図は第１７図及び第１８図の記録媒体の３０ｅ及
び６０ｅの磁界下での再生信号の波形図、第２２図は下
地層に半径方向を磁化容易軸とする磁気異方性か付与さ
れた記録媒体の要部断面図、第２３図は記録媒体の第６
実施例の要部断面図、第２４図は第２２図及び第２３図
の記録媒体の円周方向のＢ−Ｈ特性を示す図、 第２５図は第２２図及び第２３図の記録媒体の再生信号
波形図、 第２６図は第２２図及び第２３図の記録媒体の３０ｅ及
び６０ｅの磁界下での再生信号の波形図、第２７図は異
方性を一方向に固定した記録媒体の平面図、 第２８図は第２７図の記録媒体の再生信号波形図、 第２９図及び第３０図は夫々記録媒体の第７及び第８実
施例を説明する図、 第３１図は第２９図の記録媒体の再生信号及び１００ｅ
の磁界下での再生信号の波形図、第３２図は第３０図の
記録媒体の再生信号及び１００ｅの磁界下での再生信号
の波形図、第３３図は記録媒体の第９実施例を説明する
図、第３４図は第３３図の記録媒体の再生信号及び１０
０ｅの磁界下での再生信号の波形図、第３５図は記録媒
体の第１Ｏ実施例を説明する図、 第３６図は第３５図の記録媒体を拡大して示す要部断面
図、 第３７図は第３５図の記録媒体のｌ ００ｅの磁界下で
の再生信号の波形図、 第３８図は下地層の透磁率と浮遊磁界による情報消去と
の関連についての実験結果を説明する図、第３９図は情
報消去と下地層の透磁率との関係を示す図、 第４０図は下地層の厚さと再生出力との関連についての
実験結果を説明する図、 第４１図は記録効率と下地層の厚さとの関係を示す図、 第４２図は記録媒体の製造方法の第１実施例を説明する
図、 第４３図は第４２図の記録媒体の部分Ｘ、 Ｙでの磁気
特性を示す図、 第４４図は第４２図の記録媒体の再生信号及び３０ｅの
磁界下での再生信号の波形図、第４５図は記録媒体の製
造方法の第２実施例を示すフローチャート、 第４６図は下地層形成工程を説明する図、第４７図は下
地層の磁区構造を説明する図、第４８図は記録形成工程
を説明する図、第４９図は下地層の磁区調整工程を説明
する図、第５０図は磁区調整前のノイズスペクトルを示
す図、 第５１図は磁区調整後のノイズスペクトルを示す図、 第５２図は完成した記録媒体を示す図、第５３図は記録
媒体に対する浮遊磁界の作用を説明する図、 第５４図は従来の記録媒体を示す図、 第５５図は第５４図の記録媒体の面内磁区のモデルを示
す図、 第５６図は第５４図の記録媒体の再生信号波形図、 第５７図は第５４図の記録媒体の３０ｅの磁界下での再
生信号波形図、 第５８図は記録媒体の製造方法の第３実施例を説明図で
ある。 第１図〜第５３図及び第５８図において、Ａ−ＩＮ、Ｉ
Ｐは垂直磁気記録媒体、 は基板、 Ａ〜４Ｎ、４Ｐは軟磁性下地層、 は磁気記録層、 ０−１． ２０−２． ２１−１． ２１−２． ２２
−１゜２−２は縞状の磁区、 ２は硬磁性層、 ９は再生装置、 ０は単磁極型ヘッド、 ５１はスペクトラムアナライザ、 ５２．５５はノイズスペクトル、 ５３は磁界発生源、 ５４は磁界 を示す。
Claims (21)
- （１）基板（３）上に少なくとも軟磁性下地層（４Ｂ〜
４Ｎ、４Ｐ）を介して垂直磁気異方性を有する磁気記録
層（５）を設けた二層膜構造の垂直磁気記録媒体におい
て、 該軟磁性下地層（４Ｂ〜４Ｎ、４Ｐ）は、少なくとも垂
直磁気記録媒体が搭載される磁気記録再生装置内におけ
る磁気ヘッド近傍の浮遊磁界以下の外部磁界に対して磁
壁移動を抑制する手段を有することを特徴とする垂直磁
気記録媒体。 - （２）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｂ、４Ｅ、４
Ｆ）に形成された縞状の磁区構造（２０−１〜２０−４
、２１−１〜２１−３、２２−１〜２２−３）からなる
ことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録媒体。 - （３）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｃ）を構成す
る第１及び第２の下地層（４Ｃｂ、 ４Ｃａ）からなり、該第１の下地層（４Ｃｂ）は前記基
板（３）上に形成され縞状の磁区構造を有し、該第２の
下地層（４Ｃａ）は該第１の下地層上に形成され磁化が
面内方向に向いた磁区構造を有することを特徴とする請
求項１記載の垂直磁気記録媒体。 - （４）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｄ）を構成す
る第１及び第２の下地層（４Ｃａ、 ４Ｃｂ）からなり、該第１の下地層（４Ｃａ）は前記基
板（３）上に形成され磁化が面内方向に向いた磁区構造
を有し、該第２の下地層（４Ｃｂ）は該第１の下地層上
に形成され縞状の磁区構造を有することを特徴とする請
求項１記載の垂直磁気記録媒体。 - （５）前記縞状の磁区構造（２０−１〜２０−４、２１
−１〜２１−３）の各磁区は、前記磁気記録層（５）に
形成される記録トラックと略平行に延在することを特徴
とする請求項２〜４のうちいずれか一項記載の垂直磁気
記録媒体。 - （６）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｇ）に設定さ
れた前記浮遊磁界より大なる保磁力からなることを特徴
とする請求項１記載の垂直磁気記録媒体。 - （７）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｉ）に形成さ
れた面内方向を磁化容易軸とする磁気異方性からなり、
異方性磁界は前記浮遊磁界より大きいことを特徴とする
請求項１記載の垂直磁気記録媒体。 - （８）前記磁化容易軸と前記磁気記録層（５）に形成さ
れる記録トラックとは同一記録トラック上の各位置にお
いて略一定の角度をなすことを特徴とする請求項７記載
の垂直磁気記録媒体。 - （９）前記手段は、前記基板（３）と前記軟磁性下地層
（４Ｊ、４Ｌ）との間に介在する硬磁性層（４２）から
なることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録媒体
。 - （１０）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｋ）と前記
磁気記録層（５）との間に介在する硬磁性層（４２）か
らなることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録媒
体。 - （１１）前記硬磁性層（４２）の残留磁化方向と前記磁
気記録層（５）に形成される記録トラックとは同一記録
トラック上の各位置において略一定の角度をなすことを
特徴とする請求項９又は１０記載の垂直磁気記録媒体。 - （１２）前記手段は、前記軟磁性下地層（４Ｍ）に設定
された略５０〜８００の透磁率からなることを特徴とす
る請求項１記載の垂直磁気記録媒体。 - （１３）前記手段は、少なくとも前記基板（３）及び前
記軟磁性下地層（４Ｎ）のうち一方の一部に形成された
スジ状の凹凸（３Ｎ）からなり、該スジ状の凹凸は前記
磁気記録層（５）に形成される記録トラックと略平行に
延在することを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録
媒体。 - （１４）前記軟磁性下地層（４Ｍ）は、約１〜５０μｍ
の厚さを有することを特徴とする請求項１〜１３のうち
いずれか１項記載の垂直磁気記録媒体。 - （１５）前記基板（３）はディスク形状を有し、前記磁
気記録層（５）に形成される記録トラックは同心円状で
あることを特徴とする請求項１〜１４のうちいずれか一
項記載の垂直磁気記録媒体。 - （１６）前記浮遊磁界は３〜５Ｏｅであり、前記手段は
５Ｏｅ以下の外部磁界に対して磁壁移動を抑制すること
を特徴とする請求項１〜１５のうちいずれか一項記載の
垂直磁気記録媒体。 - （１７）基板（３）と、該基板上に形成された軟磁性下
地層（４Ｎ）と、該軟磁性下地層上に形成された磁気記
録層（５）とからなる垂直磁気記録媒体の製造方法にお
いて、 該基板（３）及び該軟磁性下地層（４Ｎ）の少なくとも
一方の一部に、該磁気記録層（５）に形成される記録ト
ラックと略平行にスジ状の凹凸（３Ｎ）を形成する工程
と、 該基板上に該軟磁性下地層及び該磁気記録層を順次積層
する工程とを含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体の
製造方法。 - （１８）基板（３）上に軟磁性下地層（４Ｐ）と磁気記
録層（５）とを順次積層してなる垂直磁気記録媒体の製
造方法において、 該軟磁性下地層（４Ｐ）に磁界（２４）を印加して該軟
磁性下地層の磁区を調整する工程を含むことを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。 - （１９）前記軟磁性下地層（４Ｐ）及び前記磁気記録層
（５）を順次形成した半完成記録媒体（１Ｐｓ）に磁界
（２４）を印加して該軟磁性下地層の磁区を調整するこ
とを特徴とする請求項１８記載の垂直磁気記録媒体の製
造方法。 - （２０）前記軟磁性下地層（４Ｐ）を形成した半完成記
録媒体（１Ｐｓ）に磁界（２４）を印加して該軟磁性下
地層の磁区を調整することを特徴とする請求項１８記載
の垂直磁気記録媒体の製造方法。 - （２１）基板（３）と、該基板上に形成された密着層（
６２０）と、該密着層上に形成された軟磁性下地層（４
Ｎ）と、該軟磁性下地層上に形成された磁気記録装置（
５）とからなる垂直磁気記録媒体の製造方法において、 該基板（３）、該密着層（６２０）及び該軟磁性下地層
（４Ｎ）のうち少なくとも１つの一部に、該磁気記録層
（５）に形成される記録トラックと略平行にスジ状の凹
凸（３Ｎ、６２０Ｎ）を形成する工程と、 該基板上に該密着層、該軟磁性下地層及び該磁気記録層
を順次積層する工程とを含むことを特徴とする垂直磁気
記録媒体の製造方法。
Applications Claiming Priority (10)
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|---|---|---|---|
| JP1-138274 | 1989-05-31 | ||
| JP13827389 | 1989-05-31 | ||
| JP1-138273 | 1989-05-31 | ||
| JP13827489 | 1989-05-31 | ||
| JP30271989 | 1989-11-20 | ||
| JP1-302719 | 1989-11-20 | ||
| JP32924089 | 1989-12-19 | ||
| JP1-329240 | 1989-12-19 | ||
| JP33066789 | 1989-12-20 | ||
| JP1-330667 | 1989-12-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03224122A true JPH03224122A (ja) | 1991-10-03 |
| JP2911050B2 JP2911050B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=27527508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2137959A Expired - Fee Related JP2911050B2 (ja) | 1989-05-31 | 1990-05-28 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP0400970B1 (ja) |
| JP (1) | JP2911050B2 (ja) |
| KR (1) | KR930005788B1 (ja) |
| CA (1) | CA2017696C (ja) |
| DE (1) | DE69028948T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6204995B1 (en) | 1998-02-19 | 2001-03-20 | Nec Corporation | Magnetic disc apparatus |
| US6270885B1 (en) | 1997-11-17 | 2001-08-07 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium |
| JP2008097822A (ja) * | 2003-09-12 | 2008-04-24 | Univ Waseda | 磁気記録媒体用基板及び磁気記録媒体 |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3274615B2 (ja) * | 1996-03-08 | 2002-04-15 | 日本アイ・ビー・エム株式会社 | 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録装置 |
| US6190764B1 (en) | 1998-11-23 | 2001-02-20 | Read-Rite Corporation | Inductive write head for magnetic data storage media |
| US6221218B1 (en) | 1998-11-23 | 2001-04-24 | Read-Rite Corporation | Method of forming an inductive write head for magnetic data storage media |
| US6495252B1 (en) | 1999-07-22 | 2002-12-17 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording medium with superparamagnetic underlayer |
| US6524730B1 (en) | 1999-11-19 | 2003-02-25 | Seagate Technology, Llc | NiFe-containing soft magnetic layer design for multilayer media |
| JP3582435B2 (ja) * | 1999-12-10 | 2004-10-27 | 日本電気株式会社 | 垂直磁気記録媒体 |
| US6816339B1 (en) * | 2000-01-10 | 2004-11-09 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording head with longitudinal magnetic field generator to facilitate magnetization switching |
| US6558811B1 (en) * | 2000-05-22 | 2003-05-06 | Maxtor Corporation | Magnetic recording medium with aluminum-containing intermetallic nitride seedlayer and method |
| JP3350512B2 (ja) * | 2000-05-23 | 2002-11-25 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
| SG91343A1 (en) * | 2000-07-19 | 2002-09-17 | Toshiba Kk | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
| US6703099B2 (en) | 2000-07-27 | 2004-03-09 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording media with patterned soft magnetic underlayer |
| US6667118B1 (en) | 2000-09-05 | 2003-12-23 | Seagate Technology Llc | Texture-induced magnetic anisotropy of soft underlayers for perpendicular recording media |
| US6709773B1 (en) | 2000-09-05 | 2004-03-23 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic anisotrophy of soft-underlayer induced by seedlayer |
| US6753072B1 (en) | 2000-09-05 | 2004-06-22 | Seagate Technology Llc | Multilayer-based magnetic media with hard ferromagnetic, anti-ferromagnetic, and soft ferromagnetic layers |
| KR100374792B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2003-03-04 | 삼성전자주식회사 | 수직 자기 기록 디스크 |
| JP4112809B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2008-07-02 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録方式の磁気ディスク装置及びディスク製造方法 |
| US6777066B1 (en) * | 2001-03-07 | 2004-08-17 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording media with improved interlayer |
| US6995950B2 (en) * | 2001-04-09 | 2006-02-07 | Maxtor Corporation | Transverse biased shields for perpendicular recording to reduce stray field sensitivity |
| US20030235716A1 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-25 | Seagate Technology Llc | Method of producing NiFe alloy films having magnetic anisotropy and magnetic storage media including such films |
| WO2004032119A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Seagate Technology Llc | Soft magnetic underlayer in a magnetic storage medium |
| JP2004259306A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法 |
| JP2006172634A (ja) * | 2004-12-16 | 2006-06-29 | Tdk Corp | 磁気記録再生装置、磁気記録媒体及び磁気ヘッド |
| US20060147758A1 (en) * | 2005-01-06 | 2006-07-06 | Hong-Sik Jung | Perpendicular magnetic recording medium with magnetically resetable single domain soft magnetic underlayer |
| US7651794B2 (en) * | 2005-04-28 | 2010-01-26 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Adhesion layer for thin film magnetic recording medium |
| US7910159B2 (en) * | 2005-06-03 | 2011-03-22 | Wd Media, Inc. | Radial magnetic field reset system for producing single domain soft magnetic underlayer on perpendicular magnetic recording medium |
| US7885032B1 (en) * | 2006-03-06 | 2011-02-08 | Seagate Technology Llc | Apparatus and method for bulk erasure of disk drives |
| US8102088B2 (en) * | 2008-01-25 | 2012-01-24 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Generating electromagnetic forces with flux feedback control |
| US8169118B2 (en) * | 2008-10-09 | 2012-05-01 | Calnetix Technologies, L.L.C. | High-aspect-ratio homopolar magnetic actuator |
| US8183854B2 (en) * | 2008-11-07 | 2012-05-22 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Measuring linear velocity |
| US8564281B2 (en) * | 2009-05-29 | 2013-10-22 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Noncontact measuring of the position of an object with magnetic flux |
| US8378543B2 (en) * | 2009-11-02 | 2013-02-19 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Generating electromagnetic forces in large air gaps |
| US8796894B2 (en) | 2010-01-06 | 2014-08-05 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Combination radial/axial electromagnetic actuator |
| US8847451B2 (en) | 2010-03-23 | 2014-09-30 | Calnetix Technologies, L.L.C. | Combination radial/axial electromagnetic actuator with an improved axial frequency response |
| US8482174B2 (en) | 2011-05-26 | 2013-07-09 | Calnetix Technologies, Llc | Electromagnetic actuator |
| US9531236B2 (en) | 2011-06-02 | 2016-12-27 | Calnetix Technologies, Llc | Arrangement of axial and radial electromagnetic actuators |
| US9024494B2 (en) | 2013-01-07 | 2015-05-05 | Calnetix Technologies, Llc | Mechanical backup bearing arrangement for a magnetic bearing system |
| US9683601B2 (en) | 2013-03-14 | 2017-06-20 | Calnetix Technologies, Llc | Generating radial electromagnetic forces |
| US9559565B2 (en) | 2013-08-22 | 2017-01-31 | Calnetix Technologies, Llc | Homopolar permanent-magnet-biased action magnetic bearing with an integrated rotational speed sensor |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3965463A (en) * | 1972-08-29 | 1976-06-22 | International Business Machines Corporation | Apparatus using amorphous magnetic compositions |
| US3890605A (en) * | 1973-06-29 | 1975-06-17 | Ibm | Magnetic domain systems using domains having different properties |
| US4621030A (en) * | 1982-07-19 | 1986-11-04 | Hitachi, Ltd. | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
| JPH07105027B2 (ja) * | 1982-10-01 | 1995-11-13 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS60193126A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-01 | Anelva Corp | 垂直磁化フレキシブルデイスク |
| DD240275A1 (de) * | 1985-08-09 | 1986-10-22 | Robotron Elektronik | Schichtanordnung fuer magnetische speicherung hoher flaechendichte |
| JPS6273413A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 磁気記録媒体とその製造方法および製造装置 |
| US4692899A (en) * | 1985-12-12 | 1987-09-08 | Sperry Corporation | Propagational control for Vertical Bloch Line memories |
| JPH0215418A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体および磁気記録再生方法 |
| US5166613A (en) * | 1990-11-06 | 1992-11-24 | Southwest Research Institute | Method and apparatus for mapping stress within ferrromagnetic materials by analyzing Barkhausen noise formed by the introduction of magnetic fields |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2137959A patent/JP2911050B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-29 CA CA002017696A patent/CA2017696C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-30 EP EP90305842A patent/EP0400970B1/en not_active Expired - Lifetime
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-
1994
- 1994-08-08 US US08/286,951 patent/US5589262A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6270885B1 (en) | 1997-11-17 | 2001-08-07 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium |
| US6204995B1 (en) | 1998-02-19 | 2001-03-20 | Nec Corporation | Magnetic disc apparatus |
| JP2008097822A (ja) * | 2003-09-12 | 2008-04-24 | Univ Waseda | 磁気記録媒体用基板及び磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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