JPH03232628A - マガジン搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 所要部品を上下方向の多段に収容可能な複数のマガジン
を上下方向に搬送させる装置に関し、幅寸法が異なるマ
ガジンに対する汎用性を改善しマガジンより所要部品を
出し入れする機構を無調整化させるおよび、所要部品の
収容または取り出しを高速化する改善を目的とし、 該マガジンの上下動を案内するガイドと、該ガイドに沿
って該マガジンを搬送させるアームを有するエレベータ
機構とを具え、 該マガジンを幅方向に挾むように少なくとも一対のガイ
ドレールが直立する該ガイドには、該−対のガイドレー
ルを該マガジンの幅方向の中心に向けて同量かつ同時に
移動させる調整機構を具えてなることを第１の特徴とし
、 または、前記ガイドの一側には該ガイドに向けて前後す
る２基の前記エレベータ機構を具え、交互に上下動する
該エレベータ機構に設けられ中間部を回動自在に支承さ
れた前記アームには、該中間部より一方に延在し前記マ
ガジンが搭載されるマガジン搭載部と、該中間部より他
方に延在し該マガジン搭載部に該マガジンが搭載されて
ないとき該マガジン搭載部を跳ね上げる重りとを具え、 該マガジン搭載部に該マガジンを搭載する部位には、該
アームの他方を突き上げるストッパが設けられ、該スト
ッパに該アームの他方が突き上げられたとき該マガジン
搭載部がほぼ水平姿態になるようにしたことを第２の特
徴とし、 さらに、前記第１．第２の特徴を兼ね備えたことを特徴
とし構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は複数の所要部品を上下方向の多段に収容するマ
ガジンを上下方向に搬送させるマガジン搬送装置の構成
、特にマガジンに所要部品を収容するまたは取り出すに
際し、幅寸法が異なるマガジンに対する汎用性を改善し
、かつ、所要部品の収容または取り出しを高速化する構
成に関する。

〔従来の技術〕

各種製品の製造に際し、工程間における半製品および組
み込み部品等の搬送は、人手やロボットおよび自走車等
によって行われるが、半導体装置の製造等においては、
複数の所要部品を収容するマガジンが利用されている。

第５図は複数の連結リードフレームを収容するマガジン
の斜視図である。

半導体装置の製造において、半導体チップを搭載するス
テージおよび、ステージに搭載した半導体チップに接続
される多数のリードが形成されたリードフレームは、半
導体チップの搭ｆｉ３ｉ（ダイボンディング）および該
チップとリードとの接続工程等において、複数（例えば
５個）のリードフレームを連結した状態でマガジンに収
容し搬送される。

第５図において、複数（例えば５０枚）の連結リードフ
レーム（所要部品；以下リードフレームとする）１を上
下方向の多段に収容するマガジン２は、左内側面および
右内側面に複数の溝３が設けられ、各リードフレームｌ
は、左内側面の溝３と右内側面の溝３に掛は渡すように
収容される。

このようなマガジン２において、リードフレーム１の幅
は半導体装置の種別によって種々であり、従ってマガジ
ン２０幅Ｗも種々のものが利用される。

そして、リードフレーム１に半導体チップを搭載させる
ダイボンダーにおいて、例えば半導体チップ搭載済みの
リードフレーム１をマガジン２に収容させるためマガジ
ン２を上下方向に搬送する従来のマガジン搬送装置は、
マガジン２の位置決めがその一辺、例えば第５図におけ
る手前下辺４を定位置にセットする構成であった。従っ
て、図中に破線で示す如くマガジン２より幅の広いマガ
ジン５は、マガジン２に対し、幅方向の中心軸が矢印方
向にずれるようになる。

〔発明が解決しようとする課題〕

以上説明したように、ダイボンダー等に組み込まれ、マ
ガジン２を上下方向に搬送する従来のマガジン搬送装置
は、所要部品に適応するマガジンの幅寸法が変わると、
所要部品の幅方向中心軸の位置が変動する。

従って、マガジン２にリードフレーム１を出し入れする
のに際し、リードフレーム１を水平に保持し移動させる
リードフレーム搬送４１１は、リードフレームｌの幅寸
法が異なると調整し直す必要があった。

また、従来のマガジン搬送装置はマガジンを上下方向に
搬送させるエレベータ機構が１基であるため、リードフ
レーム１の収容または取り出しが完了した用済みマガジ
ン２をエレベータ機構より退けてから、新規マガジン２
をエレベータ機構ニ搭載させるようになる。

そのようなエレベータ機構に搭載された用済みマガジン
を新規マガジンに交換する所要時間は、一般乙こ１０秒
〜２０秒程度であり、例えばグイボンダーにこのマガジ
ン搬送装置を適用したとき、マガジン交換中はボンディ
ング作業が全く止まるため、その１０秒〜２０秒が装置
全体のロス時間になる。

本発明の目的は、幅寸法の異なるマガジンに対する汎用
性を改善し、マガジンの交換に伴うロス時間を低減させ
ることである。

［課題を解決するための手段］ 本発明はその実施例の要部を模式平面図として示す第１
図によれば、所要部品（リードフレーム）１を上下方向
の多段に収容可能なマガジン２を上下方向に搬送させる
装置１１において、マガジン２の上下動を案内するガイ
ドと、該ガイドに沿ってマガジン２を搬送させるアーム
２７を有するエレベータ機構１６とを具え、 マガジン２を幅方向に挟むように少なくとも一対のガイ
ドレール１２．１３が直立する該ガイドには、一対のガ
イドレール１２．１３をマガジン２の幅Ｗ方向の中心に
向けて同量かつ同時に移動させる調整機構（ガイドレー
ル１２．１３の雌ねじとねじ軸１４゜１５）を具えてな
ることを本発明の第１の特徴とし、本発明の他の実施例
の要部を模式平面図とじて示す第３図によれば、所要部
品（連結リードフレーム）１を上下方向の多段に収容可
能なマガジン２を上下方向に搬送させる装置４１におい
て、マガジン２の上下動を案内するガイドの一側に、該
ガイドに向けて前後する２基のエレベータ機構１６ａ、
　１６ｂを具え、 交互に上下動するエレベータ機構１６ａ、　１６ｂに設
けられ中間部４２ａ　、　４３ａが回動自在に支承され
たアーム４２．４３には、中間部４２ａ、４３ａより一
方に延在しマガジン２が搭載されるマガジン搭載部４２
ｂ、４３ｂと、中間部４２ａ　、　４３ａより他方に延
在しマガジン搭載部４２ｂ、　４３ｂにマガジン２が搭
載されてないときマガジン搭載部４２ｂ、　４３ｂを跳
ね上げる重り４２ｂ。

４３ｂとを具え、 マガジン搭載部４２ｂ、　４３ｂにマガジン２を搭載す
る部位には、アーム４２．４３の他方を突き上げるスト
ッパ４８ａ、　４８ｂが設けられ、ストッパ４８ａ　、
　４８ｂにアーム４２．４３の他方が突き上げられたと
きアーム４２．４３がほぼ水平姿態になるようにしたこ
とを本発明の第２の特徴とし、 本発明の目的は、前記第１の特徴または第２の特徴の少
なくとも一方を具えた装置によって達成される。

〔作用〕

上記手段の第１の特徴によって、マガジンの幅が異なっ
てもそれらのマガジンに収容される所要部品は幅方向の
中心軸が一定化するため、マガジンに所要部品を収容ま
たは取り出す機構は、無調整化されメンテナンスが簡易
化される。

また、上記手段の第２の特徴によって、マガジンに所要
部品を収容するまたはマガジンに収容された所要部品を
取り出す従来のロス時間が減少し、装置の実働効率が改
善される。

さらに、第１および第２の特徴を兼ね備えることによっ
て、マガジンに所要部品を収容または取り出す機構の無
調整化およびメンテナンスの簡易化を可能にすると共に
、装置の実働効率が改善されるようになる。

〔実施例） 以下に、図面を用いて本発明の実施例によるマガジン搬
送装置を説明する。

１１図は本発明の一実施例によるマガジン搬送装置の要
部を模式的に示す平面図、第２図は第１図に示す装置要
部を矢印Ａ方向から見た組み立て状態の側面図である。

第１図において、ダイボンダーに設られ、半導体チップ
搭載済みのリードフレームを上昇中のマガジン２の側方
より収容させるマガジン搬送装置１１は、マガジン２の
前方の二隅を上下方向に案内するガイドレール１２と、
マガジン２の後方の二隅を上下方向に案内するガイドレ
ール１３と、マガジン２の左端部においてマガジン２の
幅Ｗ方向に対向するガイドレール１２と１３の対向間隔
調整用ねじ軸１４と、ヤガジン２の右端部においてマガ
ジン２の幅Ｗ方向に対向するガイドレール１２と１３と
の対向間隔調整用ねじ軸１５と、ガイドレール１２．１
３に沿ってマガジン２を持ち上げるエレベータ機構１６
を有する。

ねじ軸１４は、ガイドレール１２を貫通する右雌ねじに
螺合する右ねじ１４ａと、ガイドレール１３を貫通する
左雌ねじに螺合する左ねじ１４ｂと、エレベータ機構１
６の左端面より突出する軸受部材１７を貫通する右雌ね
じに螺合する右ねじ１４ｃを具え、手前先端部にねじ軸
１４を回動させる摘み１８が固着される。

ねじ軸１５は、ガイドレール１２を貫通する右雌ねじに
螺合する右ねじ１５ａと、ガイドレール１３を貫通する
左雌ねじに螺合する左ねじ１５ｂを具え、手前先端部に
ねじ軸１５を回動させる摘み１９が固着される。

ねじ軸１４および１５において、右ねじ１４ａ、左ねじ
１４ｂ、右ねじ１４ｃ、右ねじ１５ａ、左ねじ１５ｂの
リードは全て同一である。

エレベータ機構１６は、一対のレール２０に沿って前後
動（図は上下動）する基台２１と、基台２１より直立す
るガイド軸２２と、基台２１より直立するねじ軸２３と
、ガイド軸２２に嵌合するブツシュ２５およびねじ軸２
３に螺合する雌ねじ２６を有するエレベータ部材２４と
、エレベータ部材２４より前方に突出する一対のアーム
２７とを具え、軸受部材１７は基台２１に固着される。

基台２１に設けられエレベータ部材２４を上下動させる
駆動機構は、正逆回転可能なモータ（例えばレバーシブ
ルモータ）２８と、モータ２８によって回動されるプー
リ２９．ベルト３０．プーリ３１にて構成し、プーリ３
１と共にねじ軸２３が回動し、該回動によってエレベー
タ部材２４が上下動する。

また、エレベータ部材２４とガイドレール１２は、ねじ
軸１４を回動させても常に一定間隔を保つ構成であり、
そのため、マガジン２をその全幅に渡って支持する長さ
に形成されたアーム２７は、常に全幅に渡りマガジン２
を支持するようになる。

このように構成された装置１１は、ガイドレール１２と
１３の対向間隔がねじ軸１４と１５によって容易に調整
可能であり、マガジン２の幅Ｗに合うように調整した該
対向間隔は、マガジン２０幅Ｗ方向の中心軸が不変であ
る。

従って、装置１１によって上下動中のマガジン２からり
一ドフレームを取り出すまたは、マガジン２にリードフ
レームを収容させるための機構は、マガジン２の幅と無
関係に、決められた動作をすればよいことになる。

第２図において、装置ベツド３２の上面に一対のレール
２０が固着され、レール２０にそって移動する基台２１
の上には、モータ支持板５２．複数本の脚５５を介し支
持されたモータ２８、ねじ軸２３を回動自在かつ直立せ
しめて支持する支持金具５６が装着し、基台２１の前端
面に突出する一対の軸受部材１７と３４によって、ねじ
軸１４が回動自在に支持される。

支持金具５６の上端部には側方に突出する支持金具５７
が設けられ、支持金具５７によって回動自在に支持され
たねじ軸３８は、ねじ１４ａと同一ピッチの右ねじ３８
ａ、ねじ１４ｂと同一ピッチの左ねじ３８ｂを具え、ね
じ１４ａ、３８ａが螺合するガイドレール１２とねじ１
４ｂ、３８ｂが螺合するガイドレール１３は、ねじ軸１
４と３８によって支持される。

ねじ軸１４はねじ１４ａと摘み１８との間にプーリ３５
が装着され、ねじ軸３８にはプーリ３５に対向するプ−
１Ｊ３６が装着され、プーリ３５と３６にはベルト３７
が張設される。

このような装置１１において、摘み１８を回転させると
ねじ軸１４．３８は同一方向に回転し、該回転によって
ガイドレール１２と１３との間隔は、上下動させるマガ
ジン２のコーナ部を案内する寸法に設定されると共に、
ねじ軸２３を上下動するエレベータ部材２４より突出す
るアーム２７の先端は、ガイドレール１２に対し定位置
を維持するようになる。

そこで、プーリ２９に固着された円板５３１脚５５に装
着したホトセンサ５４によって回転制御されるモータ２
８を回動させると、エレベータ部材２４は上下動し、ア
ーム２７に搭載されたマガジン２は、ガイドレール１２
．１３にそって上下方向に搬送されるようになる。

第３図は本発明の他の実施例によるマガジン搬送装置の
要部を模式的に示す平面図である。

装置１１と共通部分に同一符号を使用した第３図におい
て、ダイボンダーに設けられ、半導体チップ搭載済みの
リードフレームを上昇中のマガジン２の側方より収容さ
せるマガジン搬送装置４１は、マガジン２の上下動を案
内するガイドレール１２゜１３と、ガイドレール１２と
１３の対向間隔を調整する一対のねじ軸１４．１５と、
ガイドレール１２．１３に沿ってマガジン２を持ち上げ
る２基のエレベータ機構１６ａ、　１６ｂを有する。

エレベータ機構１６ａ、　１６ｂは、一対のレール２０
に沿って前後動する基台２１に設けられ、基台２１の左
端面には、右ねじ１４ｃに螺合する右ねじが形成された
突出部材１７が固着される。

マガジン２の後方において上下動するエレベータ機構１
６ａは、基台２１より直立するガイド軸２２ａと、基台
２１より直立するねじ軸２３ａと、ガイド軸２２ａに嵌
合するブツシュ２５ａおよびねじ軸２３ａに螺合する雌
ねじ２６ａを有するエレベータ部材２４ａと、エレベー
タ部材２４ａより前方に突出する一対のアーム４２とを
具えてなる。

エレベータ機構１６ａの後方において上下動するエレベ
ータ機構１６ｂは、基台２１より直立するガイド軸２２
ｂと、基台２１より直立するねじ軸２３ｂと、ガイド軸
２２ｂに嵌合するブツシュ２５ｂおよびねじ軸２３ｂに
螺合する雌ねじ２６ｂを有するエレベータ部材２４ｂと
、エレベータ部材２４ｂより前方に突出する一対のアー
ム４３とを具えてなる。

アーム４２と４３は、中間部４２ａ、４３ａが回動自在
に支持されており、中間部４２ａ　、　４３ａより前方
（一方）がマガジン搭載部４２ｂまたは４３ｂ１中間部
４２ａ、４３ａより後方（他方）がマガジンを搭載しな
いアーム４２．４３の跳ね上げ用重り４２ｃ、　４３ｃ
である。

基台２１には、ねじ軸２３ａ、　２３ｂをそれぞれ正逆
方向に回転させるモータ、プーリ、ベルトよりなる一対
の駆動機構が設けられているが、それらは装置１１にお
ける駆動機構と同一構成であるため、第２図は該駆動機
構が省略されている。

第４図（イ）〜（チ）は第３図に示すマガジン搬送装置
の動作説明図である。

上昇中のマガジン２にリードフレームを収容させる装置
４１を模式的に示す第３図において、４５は装置４１の
配設台、４６はマガジン供給台、４７はリードフレーム
収容済みマガジン受台、４８ａ　、　４８ｂはアーム４
２．４３のマガジン搭載部４２ｂ、　４３ｂを水平にす
るストッパ、４９は空マガジン２ａをマガジン供給台よ
り１個ずつ押し出すブツシャ、５０はリードフレーム収
容済みマガジン２ｂをその受台４７に移すブツシャであ
る。

第４図（イ）において、マガジン供給台４６に複数（図
は３個）の空マガジン２ａを搭載した動作開始前の装置
４１は、エレベータ部材２４ａ、　２４ｂが降下してお
り、その状態で重り４２ｃ、　４３ｃがストッパ４８ａ
または４８ｂに当接するアーム４２．４３のマガジン搭
載部４２ｂ、　４３ｂは水平である。

そこで、第４図（０）に示すようにブツシャ４９が空マ
ガジン２ａを押すようにすると、最先端の空マガジン２
ａは、マガジン搭載部４３ｂに搭載されガイドレール１
３に当接される。

次いで、第４図（ハ）に示すように、ガイド軸２２ｂに
沿ってエレベータ部材２４ｂを上昇させると、マガジン
搭載部４３ｂに搭載されたマガジン２ａの重さによって
、マガジン搭載部４２ｂの水平を維持するアーム４３は
、エレベータ部材２４ｂと共に上昇し、ガイドレール１
２．１３に案内されて上昇中の空マガジン２ａには、適
当な所定位置において、上部より複数の連続リードフレ
ーム１が順次収容されるようになる。

リードフレーム１の収容が完了したマガジン２ｂは、第
４図（ニ）に示すように、エレベータ部材２４ａによっ
てガイドレール１２．１３の上方に抜は出すようになる
が、該抜は出しとほぼ当時または該抜は出しに先立って
、ブツシャ４９は次の空マガジン２ａをマガジン搭載部
４２ｂに搭載せしめ、ガイドレール１３に当接さるよう
になる。

次いで、第４図（ネ）に示すように、ブツシャ５０がリ
ードフレーム収容済みマガジン２ｂを受台４７に移すと
、アーム４３は重り４３ｃによってマガジン搭載部４３
ｂが跳ね上げられ、その間に、２番目の空マガジン２ａ
をアーム４２のマガジン搭載部４２ｂに搭載したエレベ
ータ部材２４ａは、ガイド軸２２ａに沿って上昇し始め
る。

そして、エレベータ部材２４ａの上昇により２番目の空
マガジン２ａにリードフレーム１を収容し、第４図（へ
）に示すようにリードフレーム収容済み２番目のマガジ
ン２ｂがガイドレール１２．１３の上方に抜は出す間に
、エレベータ部材２４ｂは陣下し、重り４３ｃがストッ
パ４８ａに当接することによって水平となったアーム４
３のマガジン搭載部４３ｂには、３番目の空マガジン２
ａが搭載される。

次いで、第４図（ト）に示すように、ブツシャ５０によ
ってリードフレーム収容済み２番目のマガジン２ｂが受
台４７に移されると、アーム４２は重り４２ｃによって
マガジン搭載部４２ｂが跳ね上げられ、３番目の空マガ
ジン２ａをアーム４３に搭載したエレベータ部材２４ｂ
は上昇し始める。

そして、第４図（チ）に示すように、エレベータ部材２
４ａの降下によって重り４２ｃがストッパ４８ａに当接
したアーム４２のマガジン搭載部４２ｂは水平に戻り、
リードフレーム収容済み３番目のマガジン２ｂはガイド
レール１２．１３の上方に抜は出す。

このように構成された装置４１は、ガイドレール１２と
１３の対向間隔がねじ軸１４と１５によって容易に調整
可能であり、マガジン２の幅Ｗに合うように調整した該
対向間隔は、マガジン２の幅Ｗ　方向０）中心軸が不変
であると共に、２基のエレベータ機構を交互に動作させ
ることによって、従来のロス時間が低減され、リードフ
レームの収容が効率化されるようになる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によるマガジン搬送装置は、
マガジン（所要部品）の幅が異なってもその幅方向の中
心軸を一定化するため、マガジンに所要部品を収容また
は取り出す機構は、無調整化されメンテナンスが簡易化
され、さらに、マガジンに所要部品を収容するまたはマ
ガジンに収容された所要部品を取り出す従来のロス時間
が減少し、装置の実働効率を改善させる効果が得られる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による装置要部の模式平面図
、 第２図は第１図に示す装置要部を矢印Ａ方向から見た組
み立て状態の側面図、 第３図は本発明の他の実施例による装置要部の模式平面
図、 第４図は第÷図に示す装置の動作説明図、第５図はマガ
ジンの斜視図、 である。 図中において、 １はリードフレーム（所要部品）、 ２．２ａ、２ｂはマガジン、 １１．４１はマガジン搬送装置、 １２、１３はガイドレール、 １６、１６ａ、　１６ｂはエレベータ機構、２４．２４
ａ、２４ｂはエレベータ部材、２７．４２．４３はアー
ム、 ４２ａ、４３ａはアームの中間部、 ４２ｂ、　４３ｂアームのマガジン搭載部、４２ｃ、　
４３ｃはアームの重り、 ４８ａ、４８ｂはストッパ、 ／ Ｚ８七 り 木全明の一実お例（＝よる装置ｉ部の稽式平面図第 図 ７ ９ 第１図に示す装置要部を矢印入方向から見た組み立て状
態の側面図第　　２　　図 ！ＩＩ　７カ゛ジ／＃伎１ＬＬＩＬ （ 〕 本食明の他の大局澄・比よう製！隼部ｎ櫂弐千［相］図
図 （へン （ ン 第３図に示Ｔ：Ｍ置ｎ動乍脱四図 第 図（〒の１） 第３図に示￥装置と動作税四図 第 図（予０２） ２７カ゛ジゾ マカ゛ジノの４＋視ン 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）所要部品（１）を上下方向の多段に収容可能な複
   数のマガジン（２）を上下方向に搬送させる装置であり
   、 該マガジン（２）の上下動を案内するガイドと、該ガイ
   ドに沿って該マガジン（２）を搬送させるアーム（２７
   ）を有するエレベータ機構（１６）とを具え、該マガジ
   ン（２）を幅方向に挟むように少なくとも一対のガイド
   レール（１２，１３）が直立する該ガイドには、該一対
   のガイドレール（１２，１３）を該マガジン（２）の幅
   方向の中心に向けて同量かつ同時に移動させる調整機構
   を具えてなることを特徴とするマガジン搬送装置。
2. （２）前記ガイドの一側には該ガイドに向けて前後する
   ２基の前記エレベータ機構（１６ａ，１６ｂ）を具え、
   交互に上下動する該エレベータ機構（１６ａ，１６ｂ）
   に設けられ中間部（４２ａ，４３ａ）が回動自在に支承
   された前記アーム（４２，４３）には、該中間部（４２
   ａ，４３ａ）より一方に延在し前記マガジン（２）が搭
   載されるマガジン搭載部（４２ｂ，４３ｂ）と、該中間
   部（４２ａ，４３ａ）より他方に延在し該マガジン搭載
   部（４２ｂ，４３ｂ）に該マガジン（２）が搭載されて
   ないとき該マガジン搭載部（４２ｂ，４３ｂ）を跳ね上
   げる重り（４２ｂ，４３ｂ）とを具え、 該マガジン搭載部（４２ｂ，４３ｂ）に該マガジン（２
   ）を搭載する部位には、該アーム（４２，４３）の他方
   を突き上げるストッパ（４８ａ，４８ｂ）が設けられ、
   該ストッパ（４８ａ，４８ｂ）に該アーム（４２，４３
   ）の他方が突き上げられたとき該マガジン搭載部（４２
   ｂ，４３ｂ）がほぼ水平姿態になるようにしたことを特
   徴とするマガジン搬送装置。
3. （３）前記請求項１に記載したマガジン搬送装置におい
   て、前記請求項２に記載したアーム（４２，４３）を有
   する２基のエレベータ機構（１６ａ，１６ｂ）とストッ
   パ（４８ａ，４８ｂ）とを具えたことを特徴とするマガ
   ジン搬送装置。