JPH032346B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の利用分野） 本発明はキヤリアテープ（以下テープという）
に等間隔に予め設けられたリードにダイをボンデ
イングするインナーリードボンダーに関する。

（従来技術） 従来のインナーリードボンダーは、等間隔に分
割された複数のダイからなるウエフアをXYZ方
向に駆動されるテーブル上に位置決め載置し、こ
のテーブルの上方に間欠移送されるテープを配設
してなり、テープの上方に配設されたボンデイン
グツールで直接テープをダイに押圧してボンデイ
ングする。

（従来技術の問題点） しかしながら、この方法はダイとリードを同一
の光学軸を用いて重ね合わせて映し、位置合わせ
のための認識処理を行う。このために、ダイ表面
の光の反射の具合や、リードのメツキや材質、リ
ードを形成するテープ自身の材質などによつて、
認識を行わせるための条件の設定が非常に難し
く、また試料（ダイやテープ）が変更になる時に
は装置を長時間ストツプさせて調整作業を行わな
ければならないという問題があつた。

またウエフアはセラミツクやガラス等のプレー
トに低融点の接着剤で貼り付け、これを等間隔に
分割してなるので、前記のようにテープをウエフ
ア上で直接に押付けてボンデイングする方法は、
ボンデイング時にボンデイングしたダイの周辺の
ダイにボンデイングツールの熱が伝わり、接着剤
が溶けて容易にダイの位置がずれると共に、隣接
するダイのスライシングラインから接着剤が溶け
て毛細管現象等によつて隣接するダイの表面に上
つてダイを汚してしまうことがある。

またボンデイングするダイと隣接するダイのパ
ツドにボンデイングするテープのインナーリード
が触れないように、ボンデイングツール近傍のイ
ンナーリード部がダイから離れるように湾曲して
配置しなければならなく、テープに悪影響を及ぼ
す。

（発明の目的） 本発明の目的は、前記技術の欠点を除去するこ
とができると共に、ダイの姿勢を傾けてテープの
リードにボンデイングする場合にも容易に対処で
きるインナーリードボンダーを提供することにあ
る。

（発明の実施例） 以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す全体斜視図、第
２図は第１図の平面図、第３図は第２図の矢視３
−３部分の側面説明図である。ボンデイングツー
ル１０を有するボンデイングヘツド１１の両側に
は、テープローダ部１２及びテープアンローダ部
１３がそれぞれ架台１４上に配設されている。前
記テープローダ部１２にはリール１５が回転自在
に支承されており、このリール１５にはリードが
等間隔に設けられたテープ１６とこのテープ１６
のリードを保護するスピーサテープ１７とが重ね
合せられて巻回されている。前記テープアンロー
ダ部１３には前記テープ１６とスペーサテープ１
７とを重ね合せて巻き取るためのリール１８が回
転自在に支承されており、このリール１８はリー
ル駆動用モータ（図示せず）で駆動される。

またリール１５に巻回されたテープ１６をボン
デイングツール１０の下方及びリール１８側に案
内するために、テープローダ部１２及びテープア
ンローダ部１３にはそれぞれテープガイドローラ
２０，２１，２２，２３が回転自在に配設されて
いる。またボンデイングツール１０の両側にはテ
ープガイドローラ２４，２５が、このテープガイ
ドローラ２４，２５の両側にはテープ１６の両側
に形成されたスプロケツト孔に係合するスプロケ
ツトホイル２６，２７が、更にこのスプロケツト
ホイル２６，２７の両側にテープガイドローラ２
８，２９がそれぞれテープ位置調整板３０に回転
自在に取付けられている。前記テープ位置調整板
３はXY方向に駆動されるXYテーブル３１に固
定されている。また前記一方のスプロケツトホイ
ル２７はステツピングモータ（図示せず）で一方
向に回転駆動させられる。またリール１５に巻回
されたスペーサテープ１７をリール１８側に案内
するために、テープローダ部１２及びテープアン
ローダ部１３にはそれぞれスペーサテープガイド
ローラ３２，３３が回転自在に取付けられてい
る。

前記ボンデイングツール１０の下方には、回転
及び上下に駆動される回転テーブル４０がその回
転中心をボンデイングツール１０より偏位させて
配設されており、回転テーブル４０はXY方向に
駆動されるXYテーブル４１に搭載されている。
また回転テーブル４０上にはボンデイングツール
１０の真下及びこの真下の位置と同心円上にダイ
載置台４２Ａ，４２Ｂが固定されている。前記ダ
イ載置台４２Ｂの上方には、対向した一対のダイ
位置決め爪４３Ａ，４３Ｂがダイ載置台４２Ａ，
４２Ｂの移動をさまたげない隙間を保つて配設さ
れており、これらダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂ
は図示しない駆動機構により開閉されるようにな
つている。

前記ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂの前方（ボ
ンデイングツール１０と反対側）には、ウエフア
載置用XYテーブル５０が配設されており、この
ウエフア載置用XYテーブル５０上には等間隔に
分割された複数のダイ５１からなるウエフア５２
が固定されたウエフア基板５３が位置決め固定さ
れている。またウエフア載置用XYテーブル５０
の内側には、このウエフア載置用XYテーブル５
０に位置決め載置されたウエフア基板５３のウエ
フア５２の裏面を真空吸着するプランジヤ５４が
上下動可能に配設されており、このプランジヤ５
４内には１個のダイ５１を突き上げる突き上げ針
５５が上下動可能に配設されている。前記ダイ位
置決め爪４３Ａ，４３Ｂとウエフア載置用XYテ
ーブル５０との間には、ウエフア載置用XYテー
ブル５０上の１個のダイ５１を真空吸着して前記
ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂ部に位置するダイ
載置台４２Ｂ上に移送する上下動及び揺動可能な
ダイ移送レバー５６が配設されている。

前記突き上げ針５５の上方、即ちダイピツクア
ツプポジシヨン６０の上方には、ダイ５１の欠け
及び不良マーク等を検出するダイ不良検出用カメ
ラ６１が配設され、一対のダイ位置決め爪４３
Ａ，４３Ｂの上方、即ちダイ位置決めポジシヨン
６２の上方には、ダイ５１の位置パターンを検出
するダイ位置パターン検出用カメラ６３が配設さ
れ、テープ１６の上方でかつボンデイングツール
１０の上方、即ちボンデイングポジシヨン６４の
上方には、テープ１６のリードの位置パターンを
検出するリード位置パターン検出用カメラ６５が
配設されており、これらカメラ６１，６３，６５
は架台１４に固定されたカメラホルダー６６に固
定されている。

次に作用について説明する。ウエフア基板５３
がウエフア載置用XYテーブル５０上に載置され
ると、ウエフア基板５３はウエフア載置用XYテ
ーブル５０上に図示しない位置決め機構で位置決
め固定される。次にウエフア載置用XYテーブル
５０は図示しない駆動機構によりXY方向に駆動
され、ダイ５１とXYテーブル５０の軸との傾き
をθモータで補正した後、ピツクアツプされるダ
イ５１がダイ不良検出用カメラ６１の真下のダイ
ピツクアツプポジシヨン６０に移動させられる。
そして、ダイ不良検出用カメラ６１によつてダイ
５１の良、不良が検出される。ダイ５１が不良で
あると、次のダイ５１がダイピツクアツプポジシ
ヨン６０に移動され、同様にして検出される。ダ
イ５１が良品であると、プランジヤ５４が上昇
し、プランジヤ５４の真空が働いてウエフア５２
を真空吸着する。また同時にダイ移送レバー５６
が図示しない駆動機構によりダイピツクアツプポ
ジシヨン６０の真上に回動させられ、続いて下降
させられる。これによりダイ移送レバー５６の先
端に固定された真空吸着コレツト５７が前記検出
された良品ダイ５１に当接し、真空吸着コレツト
５７の真空が働いてダイ５１を吸着する。次にダ
イ移送レバー５６が上昇すると同時に突き上げ針
５５が上昇し、ダイ５１を突き上げる。これによ
りダイ５１は真空吸着コレツト５７に吸着されて
ピツクアツプされる。その後ダイ移送レバー５６
はダイ位置決めポジシヨン６２の上方に回動し、
続いて下降させられる。これにより真空吸着コレ
ツト５７に吸着されているダイ５１がダイ載置台
４２Ｂ上に当接し、真空吸着コレツト５７の真空
が切れる。次にダイ移送レバー５６はダイ５１を
ダイ載置台４２Ｂ上に残して上昇し、続いて回動
して元のスタート位置に戻る。また前記のように
ダイ移送レバー５６の真空吸着コレツト５７によ
つてウエフア載置用XYテーブル５０上よりダイ
５１がピツクアツプされると、ウエフア載置用
XYテーブル５０はXY方向に駆動され、次にピ
ツクアツプされるダイ５１がダイ不良検出用カメ
ラ６１によつて検出される。

前記のようにダイ５１がダイ載置台４２Ｂ上に
載置されると、ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂが
図示しない駆動機構により閉方向に移動させら
れ、ダイ５１のＸ方向及びθ方向（傾き）の位置
が修正される。その後、ダイ位置決め爪４３Ａ，
４３Ｂは開方向に移動させられる。ダイ５１の傾
きが修正されると、ダイ位置パターン検出用カメ
ラ６３によつてダイ５１のパターンのXY方向の
位置ずれが検出され、図示しない記憶装置に記憶
される。その後、回転テーブル４０は180度回転
させられ、また回転と同時又は回転の前もしくは
後に前記検出位置と正規の位置との差がパルス信
号としてXYテーブル４１のXYパルスモータに
送られ、ダイ５１のXY方向の位置が補正され、
ダイ５１が載置されたダイ載置台４２Ｂはボンデ
イングポジシヨン６２に位置する。

一方、スプロケツトホイル２７が図示しない駆
動機構で間欠駆動される毎に、リール１５に巻回
されたテープ１６はテープガイドローラ２０，２
１，２８、スプロケツトホイル２６、テープガイ
ドローラ２４を経て送られ、テープ１６のリード
がボンデイングポジシヨン６４に送られる。また
スプロケツトホイル２７とリール１８間にたるん
だテープ１６を図示しない検出手段で検知し、こ
れにより図示しない駆動機構によりリール１８が
駆動され、テープ１６はリール１８に巻き取られ
る。また同時にリール１５に巻回されたスペーサ
テープ１７はスベーサテープガイドローラ３２，
３３を経てリール１８にテープ１６と一緒に重ね
て巻き取られる。この状態においては、ボンデイ
ングツール１０はボンデイングポジシヨン６４の
真上から後方に後退した位置に位置している。

このようにしてテープ１６が送られ、テープ１
６のリードがボンデイングポジシヨンに位置する
と、テープ位置調整板３０がXY方向に駆動さ
れ、テープ１６のリードの検出位置をリード位置
パターン検出用カメラ６５の下方に移動させてテ
ープ１６のリードの検出位置が検出される。そし
て、前記のようにダイ位置パターン検出用カメラ
６３によつて検出されたダイ５１のパターンに対
するテープ１６のリードのパターンの位置ずれが
図示しない演算装置によつて算出される。そし
て、再びテープ位置調整板３０がXYテーブル３
１によつてXY方向に駆動され、前記算出されて
補正された位置にテープ１６のリードを位置させ
る動作が行われる。XYテーブル３１がXY方向
に駆動されると、テープ位置調整板３０を介して
スプロケツトホイル２６，２７が移動させられ
る。スプロケツトホイル２６，２７の爪部はテー
プ１６のスプロケツト孔に係合しているので、前
記のようにスプロケツトホイル２６，２７が移動
させられると、スプロケツトホイル２６，２７間
のテープ１６の部分も移動させられる。これによ
り、ボンデイングポジシヨン６４部におけるテー
プ１６のリードのパターンがダイ５１のパターン
に位置合せされる。

次に回転テーブル４０が上昇してダイ５１がテ
ープ１６のリードに圧接される。また同時にボン
デイングヘツド１１が駆動されてボンデイングツ
ール１０がボンデイングポジシヨン６４の真上に
移動させられ、続いて下降してテープ１６のリー
ドにダイ５１をボンデイングする。その後、ボン
デイングツール１０は上昇及び後退し、回転テー
ブル４０は下降する。これにより、ダイボンデイ
ングの１サイクルが終了する。以後、上記動作を
繰返して順次ダイ５１がテープ１６のリードにボ
ンデイングされる。

このように、ダイ５１を１個ずつダイ位置決め
ポジシヨン６２に送つて位置決めし、その後ボン
デイングポジシヨンに送るので、他のダイ及びボ
ンデイングポジシヨン６４近傍のリードに悪影響
を及ぼすこともない。

またダイ位置決めポジシヨン６２においては、
ダイ５１の傾きを修正（θ方向に位置決め）し、
XY方向のずれをダイ不良検出カメラ６１で認識
してXYテーブル４１によつて補正するので、一
対のダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂの対向面は第
４図に示すように平面でよく、ダイ寸法が変つて
もダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂを交換する必要
がなく、ダイ５１に対する共用性及び作業の効率
が著しく向上する。

特にダイ５１の姿勢が指示された角度だけ傾け
てテープ１６のリードにボンデイングする場合に
は、第４図ｂに示すように、ダイ５１の傾き角度
αだけ傾いた形状のダイ位置決め爪４３Ａ，４３
Ｂに交換するのみでよく、ダイ位置決め爪４３
Ａ，４３Ｂをダイ５１の傾き角度αだけ傾ける必
要がなく、ダイ５１の角度付けが容易となる。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれ
ば、ダイを１個ずつボンデイングポジシヨンに送
るので、他のダイ及びリードに悪影響を及ぼすこ
ともない。またダイ位置決め爪は、相対向して配
設された一対のダイ位置決め爪よりなり、対向面
が平面に形成され、ダイの傾きを修正するので、
ダイ寸法によるダイ位置決め爪の交換が不要で、
生産性が向上する。またダイ位置決め爪の対向面
を斜めにするだけでダイの角度付けが容易に行え
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２
図は第１図の平面図、第３図は第２図の矢視３−
３部分の側面説明図、第４図ａ，ｂはダイ位置決
め爪の拡大平面図である。 １０……ボンデイングツール、１６……キヤリ
アテープ、４０……回転テーブル、４１……XY
テーブル、４２Ａ，４２Ｂ……ダイ載置台、４３
Ａ，４３Ｂ……ダイ位置決め爪、５１……ダイ、
５６……ダイ移送レバー、６０……ダイピツクア
ツプポジシヨン、６２……ダイ位置決めポジシヨ
ン、６４……ボンデイングポジシヨン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ダイを１個ずつダイ位置決めポジシヨンへ送
   つてダイ位置決め爪で位置決めし、この位置決め
   されたダイをボンデイングポジシヨンに送る一
   方、フイルムキヤリアのリードを前記ボンデイン
   グポジシヨンに送つて前記ダイの上方に位置さ
   せ、ボンデイングツールで前記フイルムキヤリア
   のリードを前記ダイに押圧してボンデイングする
   インナーリードボンダーにおいて、前記ダイ位置
   決め爪は、相対向して配設された一対のダイ位置
   決め爪よりなり、対向面が平面に形成され、ダイ
   の傾きを修正することを特徴とするインナーリー
   ドボンダー。