JPH023543B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はキヤリアテープに等間隔に予め設けら
れたリードにダイをボンデイングするインナーリ
ードボンダーに関する。

（従来技術） 従来、インナーリードボンデイングには２つの
方法が知られている。第１の方法は、等間隔に分
割された複数のダイからなるウエフアをXYZ方
向に駆動されるテーブル上に位置決め載置し、こ
のテーブルの上方に間欠移送されるキヤリアテー
プを配設してなり、キヤリアテープの上方に配設
されたボンデイングツールで直接キヤリアテープ
をダイに押圧してボンデイングする。

しかしながら、この方法はダイとリードとの位
置合せをキヤリアテープの上方に配設されたカメ
ラでダイ及びリードの重なり合つたパターンを検
出して行うので、ダイのパターンの位置ずれが検
出しにくいという欠点を有する。

またウエフアはセラミツクやガラス等のプレー
トに低融点の接着剤で貼り付け、これを等間隔に
分割してなるので、前記のようにキヤリアテープ
をウエフア上で直接に押付けてボンデイングする
方法は、ボンデイング時にボンデイングしたダイ
の周辺のダイにボンデイングツールの熱が伝わ
り、接着剤が溶けて容易にダイの位置がずれると
共に、隣接するダイのスライシングラインから接
着剤が溶けて毛細管現象等によつて隣接するダイ
の表面に上つてダイを汚し、該ダイの検出ができ
なくなることがある。またプレートのそり、平坦
度、耐熱性がボンデイング後のダイ及びリードに
大きく影響する。

またボンデイングするダイと隣接するダイのパ
ツドにボンデイングするキヤリアテープのインナ
ーリードが触れないように、ボンデイングツール
近傍のインナーリード部がダイから離れるように
湾曲して配置しなければならなく、キヤリアテー
プに悪影響を及ぼす。

第２の方法は、ウエフアを載置してXY方向に
駆動されるテーブルをキヤリアテープのボンデイ
ングポジシヨンより離れた位置に配設し、前記ボ
ンデイングポジシヨンと前記テーブルとの間にダ
イを位置決めする位置決め爪を有するダイ位置決
めポジシヨンを設け、第１の移送アームによつて
ウエフアより１個のダイを真空吸着してダイ位置
決めポジシヨンに移送して位置決め爪によつて位
置決めする。次に第２の移送アームが前記位置決
めされたダイを真空吸着してボンデイングポジシ
ヨンに移送する。その後キヤリアテープの上方よ
りボンデイングツールでキヤリアテープをダイに
押圧してボンデイングする。

この方法はダイはボンデイングポジシヨンより
離れた位置で位置決めされるので、ボンデイング
ポジシヨンの上方に配設されたカメラはキヤリア
テープのリードのみ検出すればよい利点を有する
が、一旦位置決めされたダイを再び移送アームで
吸着して移送するので、吸着時及び吸着解除時に
ダイの位置ずれが発生するという欠点を有する。

一方、キヤリアテープにおいては、キヤリアテ
ープのリードをダイに対して正確に位置出しする
必要がある。このため、位置決めされたリードの
検出位置を検出カメラの下方に移動させてキヤリ
アテープのリード位置を自動認識させて補正し、
再びリードをボンデイング位置に移動させる動作
をさせている。

従来、かかるキヤリアテープの位置決め装置と
して、例えば特公昭57−53972号公報及び特開昭
58−141号公報に示すものが知られている。

しかしながら、従来のフイルムキヤリアの位置
決め装置は、位置決め爪で位置決めされたリード
部を単にガイド板にテープのテンシヨンにより圧
接させているのみであるので、前記動作のために
位置決め装置をＸ及びＹ方向に移動させて位置決
めされたテープを移動させると、振動によつて位
置決めされたテープのリードの位置ずれが生じ、
ペレツトに対するリードのボンデイング位置精度
が悪くなるという欠点があつた。

（発明の目的） 本発明の目的は、前記第２の方法の欠点である
ダイの位置ずれを防止すると共に、キヤリアテー
プのリードの位置ずれも防止することができるイ
ンナーリードボンダーを提供することにある。

（発明の実施例） 以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す全体斜視図、第
２図は第１図の平面図、第３図は第２図の矢視３
−３部分の側面説明図、第４図及び第５図は第１
図のボンデイングツール近傍の正面図、第６図は
第４図の６−６線部分の要部断面図、第７図はウ
エフア吸着板部分の側面図である。

第１図、第２図に示すように、ボンデイングツ
ール１０を有するボンデイングヘツド１１の両側
には、テープローダ部１２及びテープアンローダ
部１３がそれぞれ架台１４上に配設されている。
前記テープローダ部１２にはリール１５が回転自
在に支承されており、このリール１５にはリード
が等間隔に設けられたキヤリアテープ１６とこの
キヤリアテープ１６のリードを保護するスペーサ
テープ１７とが重ね合せられて巻回されている。
前記テープアンローダ部１３には前記キヤリアテ
ープ１６とスペーサテープ１７とを重ね合せて巻
き取るためのリール１８が回転自在に支承されて
おり、このリール１８はリール駆動用モータ（図
示せず）で駆動される。

またリール１５に巻回されたキヤリアテープ１
６をボンデイングツール１０の下方及びリール１
８側に案内するために、テープローダ部１２及び
テープアンローダ部１３にはそれぞれキヤリアテ
ープガイドローラ２０，２１，２２，２３が回転
自在に配設されている。またボンデイングツール
１０の下方にはガイド部材２４が、このガイド板
２４の両側にはガイドローラ２５，２６が、更に
このガイドローラ２５，２６の両側にはキヤリア
テープ１６の両側に形成されたスプロケツト孔に
係合するスプロケツトホイル２７，２８がそれぞ
れテープ位置調整板２９に回転自在に取付けられ
ている。前記テープ位置調整板２９はXY方向に
駆動されるXYテーブル３０に固定されている。
また前記一方のスプロケツトホイル２８はステツ
ピングモータ（図示せず）で一方向に回転駆動さ
せられる。またリール１５に巻回されたスペーサ
テープ１７をリール１８側に案内するために、テ
ープローダ部１２及びテープアンローダ部１３に
はそれぞれスペーサテープガイドローラ３１，３
２が回転自在に取付けられている。

第１図、第２図、第３図に示すように、前記ボ
ンデイングツール１０の下方には、回転及び上下
に駆動される回転テーブル４０がその回転中心を
ボンデイングツール１０より偏位させて配設され
ており、回転テーブル４０はＸ、Ｙ方向に駆動さ
れるＸ、Ｙテーブル４１に搭載されている。また
回転テーブル４０上にはボンデイングツール１０
の真下及びこの真下の位置と同心円上にダイ載置
台４２Ａ，４２Ｂが固定されている。前記ダイ載
置台４２Ｂの上方には、対向した一対のダイ位置
決め爪４３Ａ，４３Ｂがダイ載置台４２Ａ，４２
Ｂの移動をさまたげない隙間を保つて配設されて
おり、これらダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂは図
示しない駆動機構により開閉されるようになつて
いる。

前記ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂの前方（ボ
ンデイングツール１０と反対側）には、ウエフア
載置用XYテーブル５０が配設されており、この
ウエフア載置用XYテーブル５０上には等間隔に
分割された複数のダイ５１からなるウエフア５２
が固定されたウエフア基板５３が位置決め固定さ
れている。またウエフア載置用XYテーブル５０
の内側には、このウエフア載置用XYテーブル５
０に位置決め載置されたウエフア基板５３のウエ
フア５２の裏面を真空吸着するプランジヤ５４が
上下動可能に配設されており、このプランジヤ５
４内には１個のダイ５１を突き上げる突き上げ針
５５が上下動可能に配設されている。前記ダイ位
置決め爪４３Ａ，４３Ｂとウエフア載置用XYテ
ーブル５０との間には、ウエフア載置用XYテー
ブル５０上の１個のダイ５１を真空吸着して前記
ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂ部に位置するダイ
載置台４２Ｂ上に移送する上下動及び揺動可能な
ダイ移送レバー５６が配設されている。

前記ウエフア載置用XYテーブル５０の両側に
は、ローダ側ウエフア基板カセツト６０とアンロ
ーダ側ウエフア基板カセツト６１が配設されてい
る。ローダ側ウエフア基板カセツト６０は上下に
駆動されるようになつており、ウエフア５２が固
定されたウエフア基板５３が上下に等間隔に複数
個収納されている。またローダ側ウエフア基板カ
セツト６０はウエフア載置用XYテーブル５０側
が開放しており、この開放部を通してローダ側ウ
エフアカセツト６０内よりウエフア載置用XYテ
ーブル５０側に伸びたコンベア６２が配設されて
いる。前記アンローダ側ウエフア基板カセツト６
１は上方及び右側のみが開放したコ字形の箱体よ
りなり、ウエフア基板５３を直接積み重ねるよう
になつている。

前記コンベア６２の上方及び前記アンローダ側
ウエフア基板カセツト６１の上方には、ウエフア
吸着板６３Ａ，６３Ｂがそれぞれ配設されてお
り、これらウエフア吸着板６３Ａ，６３Ｂはそれ
ぞれアーム６４Ａ，６４Ｂに固定されている。ア
ーム６４Ａ，６４Ｂはコンベア６２の側方よりア
ンローダ側ウエフア基板カセツト６１の側方に伸
びたガイド棒６５に摺動及び回動自在に取付けら
れた滑動体６６Ａ，６６Ｂに固定されており、一
方の滑動体６６Ａはコンベア６２上とウエフア載
置用XYテーブル５０上との間を、他方の滑動体
６６Ｂはウエフア載置用XYテーブル５０上とア
ンローダ側ウエフア基板カセツト６１上との間を
それぞれ図示しない駆動装置で駆動されて往復動
するようになつている。

前記ウエフア吸着板６３Ａ，６３Ｂには、第７
図に示すように、ウエフア基板５３を真空吸着す
る吸着盤７０が複数個取付けられている。吸着盤
７０はアーム６４Ａ，６４Ｂに形成された真空孔
７１にパイプ７２を介して接続され、真空孔７１
は図示しない真空装置にパイプを介して接続され
ている。

また前記突き上げ針５５の上方、即ちダイピツ
クアツプポジシヨン８０の上方には、ダイ５１の
欠け及び不良マーク等を検出するダイ不良検出用
カメラ８１が配設され、一対のダイ位置決め爪４
３Ａ，４３Ｂの上方、即ちダイ位置決めポジシヨ
ン８２の上方には、ダイ５１の位置パターンを検
出するダイ位置パターン検出用カメラ８３が配設
され、キヤリアテープ１６の上方でかつボンデイ
ングツール１０の上方、即ちボンデイングポジシ
ヨン８４の上方には、キヤリアテープ１６のリー
ドの位置パターンを検出するリード位置パターン
検出用カメラ８５が配設されており、これらカメ
ラ８１，８３，８５は架台１４に固定されたカメ
ラホルダー８６に固定されている。

第１図、第４図に示すように、ボンデイングポ
ジシヨン８４とガイドローラ２６の間にはその１
端にキヤリアテープ１６のスプロケツトホールに
係合する位置決め爪９０ａを有する位置決め爪レ
バー９０が設けられている。位置決め爪レバー９
０は位置決め爪９０ａの直上方近傍で偏心軸９１
によつて回転可能に支持されると共に、その他端
はテープ位置調整板２９に固定された支点軸９２
の外周に引張コイルバネ９３に付勢され常時滑動
可能に接している。また偏心軸９１は図示しない
駆動手段により約90゜往復回動するように構成さ
れている。

ガイド板２４の下方のボンデイングポジシヨン
８４にはスプリング性を有するクランパ１００が
配設されており、このクランパ１００はクランプ
アーム１０１に取付けられている。クランプアー
ム１０１は前記ガイドローラ２５が回転自在に支
承された軸１０２に回転自在に支承されている。
前記クランパ１００及びクランプアーム１０１は
キヤリアテープ１６のリード部のボンデイング部
分に対応した部分にそれぞれ窓が設けられてい
る。また前記ガイドローラ２６が回転自在に支承
された軸１０３にはスプリングガイド１０４が固
定されており、このスプリングガイド１０４に配
設されたスプリング１０５により、前記クランプ
アーム１０１はクランパ１００がガイド板２４に
圧接するように付勢されている。また前記偏心軸
９１には位置決めレバー９０の位置決め爪９０ａ
がキヤリアテープ１６のスプロケツトホイルより
離れた位置にある時に前記クランプアーム１０１
を下方に押圧するクランプ解除レバー１０６が固
定されている。

（作用） 次に作用について説明する。ローダ側ウエフア
基板カセツト６０が図示しない上下駆動機構で１
ピツチ下降させられると、最下位のウエフア基板
５３がコンベア６２上に載置される。次にコンベ
ア６０が図示しない駆動機構で作動し、ウエフア
基板５３はウエフア載置用XYテーブル５０側に
移送される。次にアーム６４Ａが下方方向に回動
させられ、ウエフア吸着板６３Ａに固定された吸
着盤７０がウエフア５２に当接する。この状態で
図示しない真空装置が働き、アーム６４Ａの真空
孔７１が真空となり、パイプ７２を介して吸着盤
７０がウエフア５２を吸着する。その後アーム６
４Ａは上方方向に回動し、ウエフア基板５３と共
にウエフア５２をコンベア６２よりピツクアツプ
する。次に滑動体６６Ａがウエフア載置用XYテ
ーブル５０の方向に移動し、ウエフア基板５３は
ウエフア載置用XYテーブル５０の上方に移送さ
れる。続いてアーム６４Ａは下方方向に回動させ
られ、ウエフア基板５３をウエフア載置用XYテ
ーブル５０上に位置させる。同時にウエフア吸着
板６３Ａの真空が切れ、ウエフア基板５３をウエ
フア載置用XYテーブル５０上に残してアーム６
４Ａは上方方向に回動し、続いてコンベア６２の
上方に移動させられる。

前記のようにウエフア基板５３がウエフア載置
用XYテーブル５０上に載置されると、ウエフア
基板５３はウエフア載置用XYテーブル５０上に
図示しない位置決め機構で位置決め固定される。
次にウエフア載置用XYテーブル５０は図示しな
い駆動機構によりXY方向に駆動され、ダイ５１
とXYテーブル５０と軸との傾きをθモータで補
正した後、ピツクアツプされるダイ５１がダイ不
良検出用カメラ８１の真下のダイピツクアツプポ
ジシヨン８０に移動させられる。そして、ダイ不
良検出用カメラ８１によつてダイ５１の良、不良
が検出される。ダイ５１が不良であると、次のダ
イ５１がダイピツクアツプポジシヨン８０に移動
され、同様にして検出される。ダイ５１が良品で
あると、プランジヤ５４が上昇し、プランジヤ５
４の真空が働いてウエフア５２を真空吸着する。
また同時にダイ移送レバー５６が図示しない駆動
機構によりダイピツクアツプポジシヨン８０の真
上に回動させられ、続いて下降させられる。これ
によりダイ移送レバー５６の先端に固定された真
空吸着コレツト５７が前記検出された良品ダイ５
１に当接し、真空吸着コレツト５７の真空が働い
てダイ５１を吸着する。次にダイ移送レバー５６
が上昇すると同時に突き上げ針５５が上昇し、ダ
イ５１を突き上げる。これによりダイ５１は真空
吸着コレツト５７に吸着されてピツクアツプされ
る。その後ダイ移送レバー５６はダイ位置決めポ
ジシヨン８２の上方に回動し、続いて下降させら
れる。これにより真空吸着コレツト５７に吸着さ
れているダイ５１がダイ載置台４２Ｂ上に当接
し、真空吸着コレツト５７の真空が切れる。次に
ダイ移送レバー５６はダイ５１をダイ載置台４２
Ｂ上に残して上昇し、続いて回動して元のスター
ト位置に戻る。また前記のようにダイ移送レバー
５６の真空吸着コレツト５７によつてウエフア載
置用XYテーブル５０上よりダイ５１がピツクア
ツプされると、ウエフア載置用XYテーブル５０
はXY方向に駆動され、次にピツクアツプされる
ダイ５１がダイ不良検出用カメラ８１によつて検
出される。

前記のようにダイ５１がダイ載置台４２Ｂ上に
載置されると、ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂが
図示しない駆動機構により閉方向に移動させら
れ、ダイ５１のＸ方向及びθ方向の位置が調整さ
れる。その後、ダイ位置決め爪４３Ａ，４３Ｂは
開方向に移動させられる。ダイ５１のＸ方向の位
置が調整されると、ダイ位置パターン検出用カメ
ラ８３によつてダイ５１のパターンのＸ、Ｙ方向
の位置ずれが検出され、図示しない記憶装置に記
憶される。その後、回転テーブル４０は180度回
転させられ、また回転と同時にXYテーブル４１
で前記位置ずれを補正し、ダイ５１が載置された
ダイ載置台４２Ｂはボンデイングポジシヨン８２
に位置する。

一方、スプロケツトホイル２８が図示しない駆
動機構で間欠駆動される毎に、リール１５に巻回
されたキヤリアテープ１６はキヤリアテープガイ
ドローラ２０，２１、スプロケツトホイル２７、
キヤリアテープガイドローラ２５を経て送られ、
キヤリアテープ１６のリードがボンデイングポジ
シヨン８４に送られる。またスプロケツトホイル
２８とリール１８間にたるんだキヤリアテープ１
６を図示しない検出手段で検知し、これにより図
示しない駆動機構によりリール１８が駆動され、
キヤリアテープ１６はリール１８に巻き取られ
る。また同時にリール１５に巻回されたスペーサ
テープ１７はスペーサテープガイドローラ３１，
３２を経てリール１８にキヤリアテープ１６と一
緒に重ねて巻き取られる。この状態においては、
ボンデイングツール１０はボンデイングポジシヨ
ン８４の真上から後方に後退した位置に位置して
いる。

このようにしてキヤリアテープ１６が送られ、
キヤリアテープ１６のリードがボンデイングポジ
シヨンにリードが粗位置決めされると、次に偏心
軸９１が約90度回動し、位置決め爪レバー９０は
第５図の状態から第４図の状態に移動し、粗位置
決めされているキヤリアテープ１６のスプロケツ
トホールに係合し、キヤリアテープ１６を更に微
少量移送して停止し、キヤリアテープ１６を正確
に位置決めする。

また前記のように偏心軸９１が約90度回動する
と、クランプ解除レバー１０６も第５図の状態よ
り第４図の状態に回動するので、クランプアーム
１０１はスプリング１０５の付勢力で押し上げら
れ、クランプ１００はキヤリアテープ１６をガイ
ド板２４に押付ける。

この状態でテープ位置調整板２９がXY方向に
駆動され、キヤリアテープ１６のリードの検出位
置をリード位置パターン検出用カメラ８５の下方
に移動させてキヤリアテープ１６のリードの検出
位置が検出される。そして、前記のようにダイ位
置パターン検出用カメラ８３によつて検出された
ダイ５１のパターンに対するキヤリアテープ１６
のリードのパターンの位置ずれが図示しない演算
装置によつて算出される。そして、再びテープ位
置調整板２９がXYテーブル３０によつてXY方
向に駆動され、前記算出されて補正された位置キ
ヤリアテープ１６のリードを位置させる動作が行
われる。XYテーブル３０がXY方向に駆動され
ると、テーブル位置調整板２９を介してスプロケ
ツトホイル２７，２８が移動させられる。スプロ
ケツトホイル２７，２８の爪部はキヤリアテープ
１６のスプロケツト孔に係合しているので、前記
のようにスプロケツトホイル２７，２８が移動さ
せられると、スプロケツトホイル２７，２８間の
キヤリアテープ１６の部分も移動させられる。こ
れにより、ボンデイングポジシヨン８４部におけ
るキヤリアテープ１６のリードのパターンがダイ
５１のパターンに位置合せされる。

次に回転テーブル４０が上昇してダイ５１がキ
ヤリアテープ１６のリードに圧接される。また同
時にボンデイングヘツド１１が駆動されてボンデ
イングツール１０がボンデイングポジシヨン８４
の真上に移動させられ、続いて下降してキヤリア
テープ１６のリードにダイ５１をボンデイングす
る。その後、ボンデイングツール１０は上昇及び
後退し、回転テーブル４０は下降する。

ボンデイングが終了すると、偏心軸９１は前記
と逆方向に約90度回動し、第４図の状態より第５
図の状態に位置決め爪９２ａは移動してキヤリア
テープ１６のスプロケツトホールから離れ、また
同時にクランプ解除レバー１０６はクランプアー
ム１０１を押し下げ、クランパ１００はキヤリア
テープ１６から離れる。これにより、ダイボンデ
イングの１サイクルが終了する。以後、上記動作
を繰返して順次ダイ５１がキヤリアテープ１６の
リードにボンデイングされる。

このようにしてダイボンデイングが順次行わ
れ、ウエフア載置用XYテーブル５０に位置決め
載置されたウエフア５３の良品のダイ５１がなく
なると、滑動体６６Ｂがウエフア載置用XYテー
ブル５０の方向に移動させられ、ウエフア吸着板
６３Ｂはダイピツクアツプポジシヨン８０の上方
に位置する。続いてアーム６４Ｂは下方向に回動
させられ、ウエフア吸着板６３Ｂに固定された吸
着盤７０がウエフア基板５３に当接する。この状
態で図示しない真空装置が働き、アーム６４Ｂの
真空孔７１が真空になり、パイプ７２を介して吸
着盤７０がウエフア基板５３を吸着する。その後
アーム６４Ｂは上方方向に回動し、ウエフア基板
５３をウエフア載置用XYテーブル５０よりピツ
クアツプする。次に滑動体６６Ｂはアンローダ側
ウエフア基板カセツト６１側に移動し、ウエフア
基板５３はアンローダ側ウエフア基板カセツト６
１の上方に移送される。そして、ウエフア吸着板
６３Ｂの真空が切れ、ウエフア基板５３はアンロ
ーダ側ウエフア基板カセツト６１内に収納され
る。このようにしたウエフア載置用XYテーブル
５０よりウエフア基板５３が除去されると、前記
した動作によつて再びローダ側ウエフア基板カセ
ツト６０内のウエフア５２付きのウエフア基板５
３がウエフア載置用XYテーブル５０上に移送さ
れて位置決め載置され、前記したボンデイングサ
イクルを順次繰返す。

このように、ダイ位置決めポジシヨン８２及び
ボンデイングポジシヨン８４を含む大きさの回転
テーブル４０を設け、この回転テーブル４０上の
ダイ位置決めポジシヨン８２でダイ５１を位置決
め後、回転テーブル４０を回転させることにより
前記位置決めされたダイ５１はボンデイングポジ
シヨン８４に位置させられるので、ボンデイング
ポジシヨン８４におけるダイ５１は回転テーブル
４０の回転精度によつて決り、ダイ５１は位置ず
れがなくボンデイングポジシヨン８４に位置させ
られ、高精度のボンデイングが行なわれる。

またクランパ１００によつてキヤリアテープ１
６をガイド板２４に押圧した状態で位置決め装置
をXY方向に移動させるので、装置の移動による
振動によつてキヤリアテープ１６が位置ずれする
ことがなく、キヤリアテープ１６の位置決めされ
たリード部をボンデイング終了まで確保すること
ができ、ボンデイング位置精度が向上する。また
ボンデイング時にはキヤリアテープ１６のリード
のボンデイング部周辺をクランパ１００によつて
押圧されているので、リードの形状が均一にな
り、リードとペレツトのエツジシヨートがなくな
り、歩留りが向上する。

なお、上記実施例においては、ウエフア載置用
XYテーブル５０にウエフア５２を供給したが、
分離されたダイを収納したトレイを供給してもよ
い。また回転テーブル４０上に２個のダイ載置台
４２Ａ，４２Ｂを設けたが、３個以上のダイ載置
台を設け、ダイ載置台の個数に応じて回転角度で
回転させてもよい。また回転テーブル４０は円形
状に形成する必要はなく、ダイ載置台４２Ａ，４
２Ｂの部分のみが連接した形状でもよい。またダ
イ載置台４２Ａ，４２Ｂを設けなく、直接ダイを
回転テーブル４０上に載置するようにしてもよ
い。

また上記実施例においては、クランプ解除レバ
ー１０６を偏心軸９１に固定したが、別個にクラ
ンプ解除レバー１０６を固定する軸を設けてもよ
い。またキヤリアテープ１６の位置決めは偏心軸
９１に回転可能に支持された位置決め爪レバー９
０に形成された位置決め爪９０ａにより行つた
が、例えば特開昭51−43075号公報に示すように、
先端に傾斜部を有するつめ部材を案内ブロツクに
上下滑動自在に、かつばねで下方に付勢し、つめ
部材がテープのスプロケツトホールに係合して位
置決めを行うようにしてもよい。

（発明の効果） 以上の説明から明らかな如く、本発明によれ
ば、回転テーブル上でダイを位置決めし、回転テ
ーブルを回転させることにより前記位置決めされ
たダイをボンデイングポジシヨンに位置させるの
で、高精度のボンデイングが行われる。

またダイ位置決めポジシヨンにおいて、ダイを
Ｘ方向及びθ方向に位置決めし、Ｙ方向のずれを
認識して補正するので、一対のダイ位置決め爪の
対向面は平面でよく、ダイ寸法が変つてもダイ位
置決め爪を交換する必要がなく、ダイに対する共
用性及び作業の効率が著しく向上する。

またテープをガイド部材にクランパで押付け、
テープを送る時にクランパの押圧をクランプ解除
部材で解除するように構成してなるので、ボンデ
イング精度及び歩留りが向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２
図は第１図の平面図、第３図は第２図の矢視３−
３部分の側面説明図、第４図及び第５図は第１図
のボンデイングツール近傍を示し、第４図はクラ
ンパ上昇状態の正面図、第５図はクランパ下降状
態の正面図、第６図は第４図の６−６線部分の要
部断面図、第７図はウエフア吸着板部分の側面図
である。 １０……ボンデイングツール、１６……キヤリ
アテープ、２４……ガイド板、４０……回転テー
ブル、５１……ダイ、５６……ダイ移送レバー、
８２……ダイ位置決めポジシヨン、８４……ボン
デイングポジシヨン、１００……クランパ、１０
１……クランプアーム、１０６……クランプ解除
レバー。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ダイを１個ずつダイ位置決めポジシヨンに送
   つて位置決めし、この位置決めされたダイをボン
   デイングポジシヨンに送る一方、キヤリアテープ
   のリードを前記ボンデイングポジシヨンに設けた
   ガイド部材の下面に送つて前記ダイの上方に位置
   させ、ボンデイングツールで前記キヤリアテープ
   のリードを前記ダイに押圧してボンデイングする
   インナーリードボンダーにおいて、前記ダイ位置
   決めポジシヨン及び前記ボンデイングポジシヨン
   を含む大きさの回転テーブルと、この回転テーブ
   ルをＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に駆動する駆動機構と、前
   記回転テーブル上方の前記ダイ位置決めポジシヨ
   ン部に設けられダイ位置決めポジシヨンに送られ
   たダイのθ方向の傾きを修正する爪を有するダイ
   位置修正機構と、前記キヤリアテープを前記ガイ
   ド部材に押圧するクランパと、前記キヤリアテー
   プを送る時に前記クランパの押圧を解除するクラ
   ンプ解除部材とを設けたことを特徴とするインナ
   ーリードボンダー。