JPH03234973A - 真空シール用金属部材 - Google Patents
真空シール用金属部材Info
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- JPH03234973A JPH03234973A JP3120290A JP3120290A JPH03234973A JP H03234973 A JPH03234973 A JP H03234973A JP 3120290 A JP3120290 A JP 3120290A JP 3120290 A JP3120290 A JP 3120290A JP H03234973 A JPH03234973 A JP H03234973A
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Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、真空機器に用いられる、Ｏリング、ガスケ
ット、ボルト、ナツト、およびワッシャ等の真空シール
用部材に関するものである。
ット、ボルト、ナツト、およびワッシャ等の真空シール
用部材に関するものである。
［従来の技術および発明が解決しようとする課題］最近
の科学技術の発展に伴い、超高真空や、あるいは高温ま
たは放射線の下などの特殊な真空の環境下で用いること
のできる真空用シール部材が望まれている。しかしなが
ら、従来から用いられているニトリルゴム、スチレンブ
タジェンゴム、シリコンゴム、およびフッ素ゴム等の有
機物によるシール部材では、シール部材からのガス放出
があり、超高真空が得られないという問題があった。
の科学技術の発展に伴い、超高真空や、あるいは高温ま
たは放射線の下などの特殊な真空の環境下で用いること
のできる真空用シール部材が望まれている。しかしなが
ら、従来から用いられているニトリルゴム、スチレンブ
タジェンゴム、シリコンゴム、およびフッ素ゴム等の有
機物によるシール部材では、シール部材からのガス放出
があり、超高真空が得られないという問題があった。
また一部の特殊な用途には、ＩｎまたはＰｂ等の金属が
使用されているが、このようなシール部材であっても、
高温下で使用できないという問題があったり、あるいは
耐放射線性に劣るという問題があった。
使用されているが、このようなシール部材であっても、
高温下で使用できないという問題があったり、あるいは
耐放射線性に劣るという問題があった。
この発明の目的は、ガス放出が少なく、かつ耐熱性およ
び耐放射線性に優れた真空シール用金属部材を提供する
ことにある。
び耐放射線性に優れた真空シール用金属部材を提供する
ことにある。
［課題を解決するための手段］
この発明の真空シール用金属部材は、一方向凝固させた
金属からなることを特徴としている。
金属からなることを特徴としている。
この発明の真空シール用金属部材は、一方向凝固させた
金属を凝固後のそのままの形態で、たとえば線材の形態
で用いるものであってもよいし、あるいは一方向凝固さ
せた後特定の形状に加工して用いるものであってもよい
。
金属を凝固後のそのままの形態で、たとえば線材の形態
で用いるものであってもよいし、あるいは一方向凝固さ
せた後特定の形状に加工して用いるものであってもよい
。
一方向凝固させる金属としては、純度９９．９％以上の
ものが好ましい。また金属としては、Ｃｕ、ＡＡ’およ
びＡｇを用いることが好ましい。
ものが好ましい。また金属としては、Ｃｕ、ＡＡ’およ
びＡｇを用いることが好ましい。
さらに、一方向凝固させた金属は単結晶体であることが
好ましい。
好ましい。
［作用］
一方向凝固させた金属は、含有ガス量が少ないので、ガ
ス放出量が少なく、超高真空を達成させることができる
。また、一方向凝固させた金属は、従来よりシール部材
として使用されている有機物や金属と比較すると、耐熱
性および耐放射線性に優れている。このため、この発明
の真空シール用金属部材は耐熱性および耐放射線性に優
れている。
ス放出量が少なく、超高真空を達成させることができる
。また、一方向凝固させた金属は、従来よりシール部材
として使用されている有機物や金属と比較すると、耐熱
性および耐放射線性に優れている。このため、この発明
の真空シール用金属部材は耐熱性および耐放射線性に優
れている。
また、一方向凝固させた金属をそのまま使用すると、軟
らかいので、それ自身の変形によってより密なシールが
可能であるとともに、小さな力でも締付けることができ
る。
らかいので、それ自身の変形によってより密なシールが
可能であるとともに、小さな力でも締付けることができ
る。
さらに一方向凝固させた金属として単結晶体を使用する
と、ガス放出性、耐熱性および耐放射線等においてさら
に優れている。
と、ガス放出性、耐熱性および耐放射線等においてさら
に優れている。
［実施例］
本発明例
加熱鋳型式連続鋳造法により、第１表に示す金属を一方
向凝固させて、線径２．Ｏｍｍの金属線を得た。これら
の金属線をリング状に曲げて、真空容器の０リングとし
て用い、真空容器内を２４時間排気した後における真空
容器内の圧力を測定した。
向凝固させて、線径２．Ｏｍｍの金属線を得た。これら
の金属線をリング状に曲げて、真空容器の０リングとし
て用い、真空容器内を２４時間排気した後における真空
容器内の圧力を測定した。
第１表
比較例
従来の方法で製造した線径２．Ｑｍｍの多結晶体のＣｕ
線（試料Ｎｏ、５）およびＡＩ線（試料Ｎｏ、６）を用
い、上記の本発明例と同様にして真空容器のＯリングと
して用い、真空容器内の圧力を測定した。
線（試料Ｎｏ、５）およびＡＩ線（試料Ｎｏ、６）を用
い、上記の本発明例と同様にして真空容器のＯリングと
して用い、真空容器内の圧力を測定した。
従来例
断面が円形状（直径２．Ｑｍｍ）のシリコンゴム製のＯ
リング（試料Ｎｏ、７）およびフッ素ゴム製のＯリング
（試料Ｎｏ、８）を用い、本発明例と同様にして真空容
器内のＯリングとして用いて、２４時間排気後の真空容
器内の圧力を測定した。なお、用いたＯリングはリング
の内径が１０Ｑｍｍのものを用いた。
リング（試料Ｎｏ、７）およびフッ素ゴム製のＯリング
（試料Ｎｏ、８）を用い、本発明例と同様にして真空容
器内のＯリングとして用いて、２４時間排気後の真空容
器内の圧力を測定した。なお、用いたＯリングはリング
の内径が１０Ｑｍｍのものを用いた。
本発明例、比較例、および従来例の真空容器内の２４時
間排気後の圧力を第２表に示す。
間排気後の圧力を第２表に示す。
（以下余白）
第２表
第２表に示すように、本発明例の金属線をシール部材と
して使用した場合には、比較例および従来例のものに比
べ高い真空度を維持することができる。また比較例の試
料Ｎｏ、５および６の多結晶体の金属線を用いたもので
は、締付けの際非常に大きな力が必要であった。
して使用した場合には、比較例および従来例のものに比
べ高い真空度を維持することができる。また比較例の試
料Ｎｏ、５および６の多結晶体の金属線を用いたもので
は、締付けの際非常に大きな力が必要であった。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明に従う真空シール用金属
部材は、高い真空度を維持することができ超高真空用の
真空シール用部材として用いることができる。
部材は、高い真空度を維持することができ超高真空用の
真空シール用部材として用いることができる。
また従来のシール部材に比べると、耐熱性および耐放射
線性において優れており、特殊な条件下で使用される真
空シール用金属部材として有用なものである。
線性において優れており、特殊な条件下で使用される真
空シール用金属部材として有用なものである。
さらに、この発明に従う真空シール用金属部材は、柔ら
かなものであるため、多結晶体金属による金属部材と比
較すると、比較的小さな力で締付けることができる。
かなものであるため、多結晶体金属による金属部材と比
較すると、比較的小さな力で締付けることができる。
Claims (3)
- （１）一方向凝固させた金属からなることを特徴とする
、真空シール用金属部材。 - （２）前記金属が純度９９．９％以上のＣｕ、Ａｌまた
はＡｇである、請求項１に記載の真空シール用金属部材
。 - （３）前記金属が単結晶体である、請求項１に記載の真
空シール用金属部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3120290A JPH03234973A (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 | 真空シール用金属部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3120290A JPH03234973A (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 | 真空シール用金属部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03234973A true JPH03234973A (ja) | 1991-10-18 |
Family
ID=12324832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3120290A Pending JPH03234973A (ja) | 1990-02-10 | 1990-02-10 | 真空シール用金属部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03234973A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6031235A (en) * | 1992-07-28 | 2000-02-29 | Hitachi, Ltd. | Ultra-high vacuum apparatus |
-
1990
- 1990-02-10 JP JP3120290A patent/JPH03234973A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6031235A (en) * | 1992-07-28 | 2000-02-29 | Hitachi, Ltd. | Ultra-high vacuum apparatus |
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