JPH03234981A - 積層形圧電素子を用いた弁 - Google Patents
積層形圧電素子を用いた弁Info
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- JPH03234981A JPH03234981A JP2031894A JP3189490A JPH03234981A JP H03234981 A JPH03234981 A JP H03234981A JP 2031894 A JP2031894 A JP 2031894A JP 3189490 A JP3189490 A JP 3189490A JP H03234981 A JPH03234981 A JP H03234981A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、積層形圧電素子を用いた弁に関し、特に圧電
素子に発生する残留歪による変位量が相殺され、確実か
つ安定な作動が可能とされる積層形圧電素子を用いた弁
に適用して有効な技術に関する。
素子に発生する残留歪による変位量が相殺され、確実か
つ安定な作動が可能とされる積層形圧電素子を用いた弁
に適用して有効な技術に関する。
圧電素子を用いた弁として、たとえば切換弁においては
、圧電素子を備えた駆動部と、圧電素子の変位により作
動される作動部材を備えた弁本体部などから構成されて
いる。そして、圧電素子に駆動電圧が印加されることに
より圧電素子が変位され、この変位に連動して作動部材
が作動されることによって流体圧流通路が開閉される構
造となっている。
、圧電素子を備えた駆動部と、圧電素子の変位により作
動される作動部材を備えた弁本体部などから構成されて
いる。そして、圧電素子に駆動電圧が印加されることに
より圧電素子が変位され、この変位に連動して作動部材
が作動されることによって流体圧流通路が開閉される構
造となっている。
ところが、前記のような従来技術においては、圧電素子
自体が持つ残留歪特性によって使用時間を経過するに伴
って変位量が変化し、ついには流体圧漏れが発生すると
いう問題がある。従って、流通路の開閉を確実に行うた
めには、圧電素子の残留歪をいかに少なくするかが重要
な要因となり、そのための工夫が色々と試みられている
。しかしながら、このような圧電素子の残留歪をなくす
ることは至難のことである。
自体が持つ残留歪特性によって使用時間を経過するに伴
って変位量が変化し、ついには流体圧漏れが発生すると
いう問題がある。従って、流通路の開閉を確実に行うた
めには、圧電素子の残留歪をいかに少なくするかが重要
な要因となり、そのための工夫が色々と試みられている
。しかしながら、このような圧電素子の残留歪をなくす
ることは至難のことである。
そこで、本発明の目的は、２組の積層形圧電素子を用い
ることによって圧電素子の残留歪による変位量が互いに
相殺され、流体圧の漏れ防止と確実かつ安定な開閉動作
が可能とされる積層形圧電素子を用いた弁を提供するこ
とにある。
ることによって圧電素子の残留歪による変位量が互いに
相殺され、流体圧の漏れ防止と確実かつ安定な開閉動作
が可能とされる積層形圧電素子を用いた弁を提供するこ
とにある。
本発明の積層形圧電素子を用いた弁は、駆動電圧の印加
により変位される積層形圧電素子と、該積層形圧電素子
に連動して変位される変位部材とを備え、該変位部材の
変位により流体圧流通路が開閉される弁であって、第１
の積層形圧電素子と第２の積層形圧電素子との２個の前
記積層形圧電素子を備え、該第１および第２の積層形圧
電素子の可動端が並設して前記変位部材に結合され、該
変位部材が前記第１の積層形圧電素子と第２の積層形圧
電素子との変位量の違いにより該第１および第２の積層
形圧電素子の伸縮方向の変位に対して直角方向に拡大し
て変位されるものである。
により変位される積層形圧電素子と、該積層形圧電素子
に連動して変位される変位部材とを備え、該変位部材の
変位により流体圧流通路が開閉される弁であって、第１
の積層形圧電素子と第２の積層形圧電素子との２個の前
記積層形圧電素子を備え、該第１および第２の積層形圧
電素子の可動端が並設して前記変位部材に結合され、該
変位部材が前記第１の積層形圧電素子と第２の積層形圧
電素子との変位量の違いにより該第１および第２の積層
形圧電素子の伸縮方向の変位に対して直角方向に拡大し
て変位されるものである。
また、前記第１の積層形圧電素子の残留歪分による変位
量と、前記第２の積層形圧電素子の残留歪分による変位
量とが、該第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向
の変位量として互いに相殺され、前記変位部材の変位ず
れが該伸縮方向の変位量のみとされるようにしたもので
ある。
量と、前記第２の積層形圧電素子の残留歪分による変位
量とが、該第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向
の変位量として互いに相殺され、前記変位部材の変位ず
れが該伸縮方向の変位量のみとされるようにしたもので
ある。
前記した積層形圧電素子を用いた弁によれば、第１の積
層形圧電素子と第２の積層形圧電素子との２個の積層形
圧電素子を備え、これらの第１および第２の積層形圧電
素子の可動端を並設して変位部材に結合することにより
、この変位部材を第１の積層形圧電素子と第２の積層形
圧電素子との変位量の違いにより第１および第２の積層
形圧電素子の伸縮方向の変位に対して直角方向に拡大し
て変位させることができる。これにより、第１および第
２の積層形圧電素子の変位量を変位部材によって拡大し
、流体圧流通路を変位部材の変位により開閉することが
できる。
層形圧電素子と第２の積層形圧電素子との２個の積層形
圧電素子を備え、これらの第１および第２の積層形圧電
素子の可動端を並設して変位部材に結合することにより
、この変位部材を第１の積層形圧電素子と第２の積層形
圧電素子との変位量の違いにより第１および第２の積層
形圧電素子の伸縮方向の変位に対して直角方向に拡大し
て変位させることができる。これにより、第１および第
２の積層形圧電素子の変位量を変位部材によって拡大し
、流体圧流通路を変位部材の変位により開閉することが
できる。
また、この場合に、第１の積層形圧電素子の残留歪分に
よる変位量と、第２の積層形圧電素子の残留歪分による
変位量とを、第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方
向の変位量として互いに相殺させることができるので、
変位部材の変位ずれを伸縮方向の変位量のみとすること
ができる。
よる変位量と、第２の積層形圧電素子の残留歪分による
変位量とを、第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方
向の変位量として互いに相殺させることができるので、
変位部材の変位ずれを伸縮方向の変位量のみとすること
ができる。
第１図は本発明の一実施例である積層形圧電素子を用い
た弁を示す断面図、第２図は本実施例の積層形圧電素子
を用いた弁の開閉動作を示す説明図である。
た弁を示す断面図、第２図は本実施例の積層形圧電素子
を用いた弁の開閉動作を示す説明図である。
まず、第１図により本実施例の積層形圧電素子を用いた
弁の構成を説明する。
弁の構成を説明する。
−
本実施例の積層形圧電素子を用いた弁は、たとえば流体
圧の流通路を切り換える切換弁とされ、本体１の内部に
駆動電圧の印加により変位される第１の積層形圧電素子
２および第２の積層形圧電素子３と、これらの第１およ
び第２の積層形圧電素子２，３に連動して変位される変
位部材であるレバー４とが収納されている。
圧の流通路を切り換える切換弁とされ、本体１の内部に
駆動電圧の印加により変位される第１の積層形圧電素子
２および第２の積層形圧電素子３と、これらの第１およ
び第２の積層形圧電素子２，３に連動して変位される変
位部材であるレバー４とが収納されている。
本体１は、その内部に流体圧が流入される弁室５が形成
され、この弁室５から外部に連通される入力ポートロ、
排出ポート７および出力ポート８が本体１の外周面に開
設されている。そして、入力ポートロおよび排出ボート
７には、弁室５側に突出される弁座５ａ、７ａが設けら
れている。
され、この弁室５から外部に連通される入力ポートロ、
排出ポート７および出力ポート８が本体１の外周面に開
設されている。そして、入力ポートロおよび排出ボート
７には、弁室５側に突出される弁座５ａ、７ａが設けら
れている。
第１の積層形圧電素子２および第２の積層形圧電素子３
は、本体１の弁室５に並設して設けられ、固定端２ａ、
３ａが本体１に固定され、また可動端２ｂ、３ｂが伸縮
自在にレバー４に結合されている。そして、第１および
第２の積層形圧電素子２．３には、駆動電圧が印加され
るリード線（図示せず）が接続され、外部から駆動電圧
が供給されることによって伸縮される構造となっている
。
は、本体１の弁室５に並設して設けられ、固定端２ａ、
３ａが本体１に固定され、また可動端２ｂ、３ｂが伸縮
自在にレバー４に結合されている。そして、第１および
第２の積層形圧電素子２．３には、駆動電圧が印加され
るリード線（図示せず）が接続され、外部から駆動電圧
が供給されることによって伸縮される構造となっている
。
レバー（変位部材）４は、その固定端４ａに第１および
第２の積層形圧電素子２，３の可動端２ｂ ３ｂが並
設して結合され、また可動端４ｂの両側面に人力ポート
ロ＄よび排出ボート７が開閉される弁９，１０が固定さ
れている。そして、レバー４は、第１の積層形圧電素子
２と第２の積層形圧電素子３との変位量の違いによって
第１および第２の積層形圧電素子２，３の伸縮方向に対
して直角方向、すなわち第１図の左右方向にレバー４の
長さに応じて拡大して変位される構造となっている。
第２の積層形圧電素子２，３の可動端２ｂ ３ｂが並
設して結合され、また可動端４ｂの両側面に人力ポート
ロ＄よび排出ボート７が開閉される弁９，１０が固定さ
れている。そして、レバー４は、第１の積層形圧電素子
２と第２の積層形圧電素子３との変位量の違いによって
第１および第２の積層形圧電素子２，３の伸縮方向に対
して直角方向、すなわち第１図の左右方向にレバー４の
長さに応じて拡大して変位される構造となっている。
次に、本実施例の作用について説明する。
始めに、第１および第２の積層形圧電素子２゜３に駆動
電圧が印加されていない時には、第１図のように第１お
よび第２の積層形圧電素子２．３が縮んだ状態とされ、
レバー４の可動端４ｂは人力ポートロの弁座６ａと排出
ポート７の弁座７ａとの中立位置に静止されている。
電圧が印加されていない時には、第１図のように第１お
よび第２の積層形圧電素子２．３が縮んだ状態とされ、
レバー４の可動端４ｂは人力ポートロの弁座６ａと排出
ポート７の弁座７ａとの中立位置に静止されている。
そしで、たとえば第１の積層形圧電素子２にのみ駆動電
圧が印加されると、第１の積層形圧電素子２のみが伸び
た状態となり、レバー４は第１の積層形圧電素子２の固
定端４ａ側が微小変位される。そして、この微小変位量
がレバー４の長さによって拡大され、レバー４の可動端
４ｂが第１図の矢印右方向に拡大して変位される。
圧が印加されると、第１の積層形圧電素子２のみが伸び
た状態となり、レバー４は第１の積層形圧電素子２の固
定端４ａ側が微小変位される。そして、この微小変位量
がレバー４の長さによって拡大され、レバー４の可動端
４ｂが第１図の矢印右方向に拡大して変位される。
これにより、レバー４の可動端４ｂに固定される弁１０
によって排出ポート７の弁座７ａが閉じられ、人力ポー
トロと出力ポート８とが弁室５を介して連通される。こ
の状態において、たとえば図示しない流体圧源がら空気
圧などの流体圧が入力ポートロに供給されると、この供
給された流体圧は人力ポートロから弁室５を通じて出力
ポート８より外部に出力される。
によって排出ポート７の弁座７ａが閉じられ、人力ポー
トロと出力ポート８とが弁室５を介して連通される。こ
の状態において、たとえば図示しない流体圧源がら空気
圧などの流体圧が入力ポートロに供給されると、この供
給された流体圧は人力ポートロから弁室５を通じて出力
ポート８より外部に出力される。
次に、第１の積層形圧電素子２への駆動電圧が遮断され
、逆に第２の積層形圧電素子３にのみ駆動電圧が印加さ
れると、第２の積層形圧電素子３のみが伸びた状態とな
り、レバー４は第２の積層形圧電素子３の固定端４ａ側
が微小変位される。
、逆に第２の積層形圧電素子３にのみ駆動電圧が印加さ
れると、第２の積層形圧電素子３のみが伸びた状態とな
り、レバー４は第２の積層形圧電素子３の固定端４ａ側
が微小変位される。
そして、この微小変位量がレバー４の長さによつて拡大
され、レバー４の可動端４ｂが第１図の矢印左方向に拡
大して変位される。
され、レバー４の可動端４ｂが第１図の矢印左方向に拡
大して変位される。
これにより、レバー４の可動端４ｂに固定される弁９に
よって入力ポートロの弁座６ａが閉じられ、排出ポート
７と出力ポート８とが弁室５を介して連通される。この
状態において、たとえば外部に接続される図示しない流
体圧作動機器から流体圧が出力ポート８に排出されると
、この排出された流体圧は出力ポート８から弁室５を通
じて排出ポート７より外部に排出される。
よって入力ポートロの弁座６ａが閉じられ、排出ポート
７と出力ポート８とが弁室５を介して連通される。この
状態において、たとえば外部に接続される図示しない流
体圧作動機器から流体圧が出力ポート８に排出されると
、この排出された流体圧は出力ポート８から弁室５を通
じて排出ポート７より外部に排出される。
また、このように作動される切換弁において、たとえば
駆動電圧が印加されない場合の第１の積層形圧電素子２
の寸法をａ１第２の積層形圧電素子３の寸法をｂ１駆動
電圧が印加された場合の寸法をそれぞれ第２図に示すよ
うにＡ１． Ｂ＋ として、第１および第２の積層形
圧電素子２．３に交互に電圧を印加すると、ａとＡ１
の寸法差、ｂと３１ の寸法差が発生する。そして、こ
の寸法差がレバー４で拡大され、弁９，１０の動きおよ
び位置となって現れる。
駆動電圧が印加されない場合の第１の積層形圧電素子２
の寸法をａ１第２の積層形圧電素子３の寸法をｂ１駆動
電圧が印加された場合の寸法をそれぞれ第２図に示すよ
うにＡ１． Ｂ＋ として、第１および第２の積層形
圧電素子２．３に交互に電圧を印加すると、ａとＡ１
の寸法差、ｂと３１ の寸法差が発生する。そして、こ
の寸法差がレバー４で拡大され、弁９，１０の動きおよ
び位置となって現れる。
ところが、圧電素子自体が持つ残留歪特性によって第１
および第２の積層形圧電素子２．３の変位量が変化した
場合においては、使用時間の経過に関係して残留歪が蓄
積され、第２図に示すように寸法誤差を含む寸法Ａ２お
よびＢ２ となる。しかしながら、本実施例の切換弁に
おいては、Ａ２Ａ１−ΔＡＳ８２ Ｂ＋ −ΔＢの
残留歪分の寸法差ΔＡとΔＢとが互いに相殺し合い、こ
れらが等しい場合には弁９，１０の位置が単に伸縮方向
に寸法△だけずれるのみで左右方向の動作に関しては初
期状態と同等の動作となる。
および第２の積層形圧電素子２．３の変位量が変化した
場合においては、使用時間の経過に関係して残留歪が蓄
積され、第２図に示すように寸法誤差を含む寸法Ａ２お
よびＢ２ となる。しかしながら、本実施例の切換弁に
おいては、Ａ２Ａ１−ΔＡＳ８２ Ｂ＋ −ΔＢの
残留歪分の寸法差ΔＡとΔＢとが互いに相殺し合い、こ
れらが等しい場合には弁９，１０の位置が単に伸縮方向
に寸法△だけずれるのみで左右方向の動作に関しては初
期状態と同等の動作となる。
従って、本実施例の切換弁によれば、駆動電圧の印加に
より変位される第１の積層形圧電素子２および第２の積
層形圧電素子３の２個の積層形圧電素子と、これらの第
１および第２の積層形圧電素子２，３に結合して第１お
よび第２の積層形圧電素子２．３の伸縮方向に対して直
角方向に拡大して変位されるレバー（変位部材）４とを
備えることにより、使用に伴う経時変化によって発生す
る第１の積層形圧電素子２の残留歪分の変位誤差と第２
の積層形圧電素子３の残留歪分の変位誤差とを互いに相
殺することができる。これにより、レバー４の変位ずれ
を伸縮方向の変位量のみとすることができるので、左右
方向のずれに大きく左右される入力ポートロおよび排出
ポート７の開閉動作を確実に行うことができる。
より変位される第１の積層形圧電素子２および第２の積
層形圧電素子３の２個の積層形圧電素子と、これらの第
１および第２の積層形圧電素子２，３に結合して第１お
よび第２の積層形圧電素子２．３の伸縮方向に対して直
角方向に拡大して変位されるレバー（変位部材）４とを
備えることにより、使用に伴う経時変化によって発生す
る第１の積層形圧電素子２の残留歪分の変位誤差と第２
の積層形圧電素子３の残留歪分の変位誤差とを互いに相
殺することができる。これにより、レバー４の変位ずれ
を伸縮方向の変位量のみとすることができるので、左右
方向のずれに大きく左右される入力ポートロおよび排出
ポート７の開閉動作を確実に行うことができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に説明したが本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
具体的に説明したが本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、本実施例の切換弁においては、第１の積層形
圧電素子２および第２の積層形圧電素子３に交互に駆動
電圧を印加する場合について説明したが、本発明は前記
実施例に限定されるものではなく、たとえば第１および
第２の積層形圧電素子２．３の双方に電圧レベルの異な
る駆動電圧を印加する場合についても適用可能である。
圧電素子２および第２の積層形圧電素子３に交互に駆動
電圧を印加する場合について説明したが、本発明は前記
実施例に限定されるものではなく、たとえば第１および
第２の積層形圧電素子２．３の双方に電圧レベルの異な
る駆動電圧を印加する場合についても適用可能である。
この場合には、印加される駆動電圧の相対電位差を一定
に保つことにより、第１および第２の積層形圧電素子２
，３の残留歪による変位誤差を均等に発生されることが
できるので、確実な動作に加えて安定した動作が可能と
なる。
に保つことにより、第１および第２の積層形圧電素子２
，３の残留歪による変位誤差を均等に発生されることが
できるので、確実な動作に加えて安定した動作が可能と
なる。
以上の説明では、主として本発明者によってなされた発
明をその利用分野である流体圧作動機器に用いられる切
換弁に適用した場合について説明したが、これに限定さ
れるものではなく、複数の積層形圧電素子およびこれら
の変位に作動される変位部材を備えた他の弁装置につい
ても広く適用可能である。
明をその利用分野である流体圧作動機器に用いられる切
換弁に適用した場合について説明したが、これに限定さ
れるものではなく、複数の積層形圧電素子およびこれら
の変位に作動される変位部材を備えた他の弁装置につい
ても広く適用可能である。
本願において開示される発明のうち代表的なものについ
て得られる効果を簡単に説明すれば下記の通りである。
て得られる効果を簡単に説明すれば下記の通りである。
駆動電圧の印加により変位される積層形圧電素子と、こ
の積層形圧電素子に連動して変位される変位部材とを備
え、この変位部材の変位により流体圧流通路が開閉され
る弁において、第１の積層形圧電素子と第２の積層形圧
電素子との２個の積層形圧電素子を備え、これらの第１
および第２の１ 積層形圧電素子の可動端が並設して変位部材に結合され
、この変位部材が第１の積層形圧電素子と第２の積層形
圧電素子との変位量の違いにより第１および第２の積層
形圧電素子の伸縮方向に対して直角方向に拡大して変位
されることにより、第１および第２の積層形圧電素子の
変位量を変位部材によって拡大変位させ、流体圧流通路
を変位部材の変位により開閉することができる。
の積層形圧電素子に連動して変位される変位部材とを備
え、この変位部材の変位により流体圧流通路が開閉され
る弁において、第１の積層形圧電素子と第２の積層形圧
電素子との２個の積層形圧電素子を備え、これらの第１
および第２の１ 積層形圧電素子の可動端が並設して変位部材に結合され
、この変位部材が第１の積層形圧電素子と第２の積層形
圧電素子との変位量の違いにより第１および第２の積層
形圧電素子の伸縮方向に対して直角方向に拡大して変位
されることにより、第１および第２の積層形圧電素子の
変位量を変位部材によって拡大変位させ、流体圧流通路
を変位部材の変位により開閉することができる。
また、この場合に第１の積層形圧電素子の残留歪分によ
る変位量と、第２の積層形圧電素子の残留歪分による変
位量とを、第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向
の変位量として互いに相殺させることができるので、変
位部材の変位ずれを伸縮方向の変位量のみとすることが
できる。
る変位量と、第２の積層形圧電素子の残留歪分による変
位量とを、第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向
の変位量として互いに相殺させることができるので、変
位部材の変位ずれを伸縮方向の変位量のみとすることが
できる。
この結果、第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向
に対して直角方向の変位により左右される流体圧流通路
の開閉を確実に行うことができるので、流体圧の漏れ防
止と確案かつ安定な開閉動作が可能とされる積層形圧電
素子を用いた弁を得ることができる。
に対して直角方向の変位により左右される流体圧流通路
の開閉を確実に行うことができるので、流体圧の漏れ防
止と確案かつ安定な開閉動作が可能とされる積層形圧電
素子を用いた弁を得ることができる。
２
第１図は本発明の一実施例である積層形圧電素子を用い
た弁を示す断面図、第２図は本実施例の積層形圧電素子
を用いた弁の開閉動作を示す説明図である。 １・・・・・本体、 ２・・・・・第１の積層形圧電素子、 ２ａ・・・・固定端、 ２ｂ・・・・可動端、 ３・・・・・第２の積層形圧電素子、 ３ａ・・・・固定端、 ３ｂ・・・・可動端、 ４・・・・・レバー（変位部材）、 ４ａ・・・・固定端、 ４ｂ・・・・可動端、 ５・・・・・弁室、 ６・・・・・入力ポート、 ６ａ・・・・弁座、 ７・・・・・排出ボート、 ７ａ・・・・弁座、 ８ ・出力ポート、 ９゜ ６ ブｒ口 特 許 出 願 人 株式会社 小金井製作所
た弁を示す断面図、第２図は本実施例の積層形圧電素子
を用いた弁の開閉動作を示す説明図である。 １・・・・・本体、 ２・・・・・第１の積層形圧電素子、 ２ａ・・・・固定端、 ２ｂ・・・・可動端、 ３・・・・・第２の積層形圧電素子、 ３ａ・・・・固定端、 ３ｂ・・・・可動端、 ４・・・・・レバー（変位部材）、 ４ａ・・・・固定端、 ４ｂ・・・・可動端、 ５・・・・・弁室、 ６・・・・・入力ポート、 ６ａ・・・・弁座、 ７・・・・・排出ボート、 ７ａ・・・・弁座、 ８ ・出力ポート、 ９゜ ６ ブｒ口 特 許 出 願 人 株式会社 小金井製作所
Claims (2)
- １．駆動電圧の印加により変位される積層形圧電素子と
、該積層形圧電素子に連動して変位される変位部材とを
備え、該変位部材の変位により流体圧流通路が開閉され
る弁であって、第１の積層形圧電素子と第２の積層形圧
電素子との２個の前記積層形圧電素子を備え、該第１お
よび第２の積層形圧電素子の可動端が並設して前記変位
部材に結合され、該変位部材が前記第１の積層形圧電素
子と第２の積層形圧電素子との変位量の違いにより該第
１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向の変位に対し
て直角方向に拡大して変位されることを特徴とする積層
形圧電素子を用いた弁。 - ２．前記第１の積層形圧電素子の残留歪分による変位量
と、前記第２の積層形圧電素子の残留歪分による変位量
とが、該第１および第２の積層形圧電素子の伸縮方向の
変位量として互いに相殺され、前記変位部材の変位ずれ
が該伸縮方向の変位量のみとされることを特徴とする請
求項１記載の積層形圧電素子を用いた弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2031894A JPH03234981A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 積層形圧電素子を用いた弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2031894A JPH03234981A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 積層形圧電素子を用いた弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03234981A true JPH03234981A (ja) | 1991-10-18 |
Family
ID=12343727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2031894A Pending JPH03234981A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 積層形圧電素子を用いた弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03234981A (ja) |
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