JPH03236157A - 電極の製造法 - Google Patents
電極の製造法Info
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- JPH03236157A JPH03236157A JP2033104A JP3310490A JPH03236157A JP H03236157 A JPH03236157 A JP H03236157A JP 2033104 A JP2033104 A JP 2033104A JP 3310490 A JP3310490 A JP 3310490A JP H03236157 A JPH03236157 A JP H03236157A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フィルム状の薄形電池に用いる電極の製造法
に関するものである。
に関するものである。
従来技術とその問題点
従来の薄形電池の電極としては、導電材、結着剤、電極
作用物質を混合し、シート状の薄膜としていた。
作用物質を混合し、シート状の薄膜としていた。
この場合、シートの厚さは電極作用物質の粒径に依存し
、膜強度は結着剤の含有率に依存している。そのため１
０Ｐ＊以下の厚みの薄膜の製造は困難であり、電極作用
物質の充填率を上げることも困難であった。
、膜強度は結着剤の含有率に依存している。そのため１
０Ｐ＊以下の厚みの薄膜の製造は困難であり、電極作用
物質の充填率を上げることも困難であった。
上記の欠点を解決するために、蒸着法、スパッタリング
法などが提案されている。しかし蒸着法やスパッタリン
グ法は成膜速度が遅く、数百λ以下の成膜には適するが
、それ以上の成膜には適しない。
法などが提案されている。しかし蒸着法やスパッタリン
グ法は成膜速度が遅く、数百λ以下の成膜には適するが
、それ以上の成膜には適しない。
成膜速度を改善するために、金ｊ１１微粒子を直接気流
に乗せて、基板上に高速で堆積する方法が特開平ｊ−２
６５４５０号公報に提案されている。しかしこの方法で
は、成膜工程が不連続で非効率であるという欠点がある
。
に乗せて、基板上に高速で堆積する方法が特開平ｊ−２
６５４５０号公報に提案されている。しかしこの方法で
は、成膜工程が不連続で非効率であるという欠点がある
。
さらに上記の方法では多元系の電池活物質を得ることは
、種々の金属微粒子が高価であり、均一に混合すること
が困難なため、生産性が誓く、又性能の優れた電池活物
質を形成することはできなかった。
、種々の金属微粒子が高価であり、均一に混合すること
が困難なため、生産性が誓く、又性能の優れた電池活物
質を形成することはできなかった。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点に鑑みなされたものであ、す
、生産性に優れた、高密度で均一な組成の超薄膜の［ｉ
を提供することを目的とするものである。
、生産性に優れた、高密度で均一な組成の超薄膜の［ｉ
を提供することを目的とするものである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するべ（、
ガス中蒸発法で生成した金属の微粒子を気流に乗せて基
板に吹きつけ電極を形成するにおいて・複数個の蒸発源
を用い基板上で多元系の紹紮粒子からなる電池活物質を
生成することを熱処理する電極の製造法である。
板に吹きつけ電極を形成するにおいて・複数個の蒸発源
を用い基板上で多元系の紹紮粒子からなる電池活物質を
生成することを熱処理する電極の製造法である。
又、基板を加熱することにより電池活物質を熱処理する
前記の電極の製造法である。
前記の電極の製造法である。
又、導入用気流ガスが金属微粒子に対して不活性である
前記の１！極の製造法である。
前記の１！極の製造法である。
又、金属微粒子を基板上に堆積させた後、酸素ガス又は
酸素ガスと不活性ガスの混合ガスを導入して該堆積金属
と反応させる前記の電極の製造法である。
酸素ガスと不活性ガスの混合ガスを導入して該堆積金属
と反応させる前記の電極の製造法である。
又、複数個の金属の微粒子を混合した不活性ガス気流に
酸素ガスを混合する前記の電極の製造法である。
酸素ガスを混合する前記の電極の製造法である。
又、金属がＭｎ１Ｃｏ、Ｎ１、Ｚｎ％Ｓｎ、 Ｐｂ５Ｌ
１、ＭＯ％ ７％ Ｃｒ、 Ｆｅ、 Ｒｕ、 ０５１％
Ｗ、 Ｃｕ。
１、ＭＯ％ ７％ Ｃｒ、 Ｆｅ、 Ｒｕ、 ０５１％
Ｗ、 Ｃｕ。
Ａ７の中より選はれた前記の電極の製造法である。
実施例
以下、本発明の詳細について実施例により説明する。
第１図は本発明の製造装置の概略図である。
ここで１はガスデボジシＪン室、２，３，４゜５は蒸発
室、６，７．８，９は〜ツボ、１０゜１１．１２，１３
．ｌは供給ガス、１５は基板、１６は加熱ヒーター、１
７は真空ボンデ、１８はノズル、１９は導入管、２０は
誘導加熱装置である。
室、６，７．８，９は〜ツボ、１０゜１１．１２，１３
．ｌは供給ガス、１５は基板、１６は加熱ヒーター、１
７は真空ボンデ、１８はノズル、１９は導入管、２０は
誘導加熱装置である。
各々の蒸発室において、〜ツボの中１ｃＬｉ、ｖ、 ｃ
ｏ、 ｖを入れて、高周波誘導加熱装置により加熱溶融
し、気化させる。供給ガスのムｒ気相中で冷却し、微粒
子化して導入管で混合されながら、ムｒガスと共にデボ
ジシラン室に送られ、ノズルより基板に噴量し、堆積さ
せた。この場合のデボジシ、ン室の圧力を０゜１２ｔｏ
ｒｒとし、ムｒガスの供給圧を１００ｔｏｒｒとした。
ｏ、 ｖを入れて、高周波誘導加熱装置により加熱溶融
し、気化させる。供給ガスのムｒ気相中で冷却し、微粒
子化して導入管で混合されながら、ムｒガスと共にデボ
ジシラン室に送られ、ノズルより基板に噴量し、堆積さ
せた。この場合のデボジシ、ン室の圧力を０゜１２ｔｏ
ｒｒとし、ムｒガスの供給圧を１００ｔｏｒｒとした。
ノズ〜は０゜８×１０−とした。次にデボジン璽ン室の
ボンベ１４の酸素ガスを導入しながら加熱ヒーターによ
り７００℃で堆積膜を反応させた０この膜は１０−１＠
Ｘ１０謔×１０μｍであった。この膜をＸ線回折法、元
素分析法により、Ｌｉ Ｖ２ Ｃｏ ０６であることを
同定した。
ボンベ１４の酸素ガスを導入しながら加熱ヒーターによ
り７００℃で堆積膜を反応させた０この膜は１０−１＠
Ｘ１０謔×１０μｍであった。この膜をＸ線回折法、元
素分析法により、Ｌｉ Ｖ２ Ｃｏ ０６であることを
同定した。
ここで得られる堆積体は、結合剤を必要とせず、乾式で
清浄な製造法によるものであり、生産性に優れ、均一な
超薄膜のｔ極を得ることが出来る。
清浄な製造法によるものであり、生産性に優れ、均一な
超薄膜のｔ極を得ることが出来る。
上記実施例では、Ｌｉ、７％ Ｇｏを用いたが、Ｍ ｎ
％ Ｎ １、Ｚｎｓ Ｓｎ、 Ｐｂ、 Ｍｏ、Ｃｒ１
Ｆｅ、 ＲｕｑＯ８１Ｗ％ ｃｕ１ムり等を用いること
ができる。
％ Ｎ １、Ｚｎｓ Ｓｎ、 Ｐｂ、 Ｍｏ、Ｃｒ１
Ｆｅ、 ＲｕｑＯ８１Ｗ％ ｃｕ１ムり等を用いること
ができる。
発明の効果
上述した如く、本発明は生産性に優れた、高密度で均一
な組成の超薄膜の電極を提供することが出来るので、そ
の工業的価値は極めて大である。
な組成の超薄膜の電極を提供することが出来るので、そ
の工業的価値は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の製造装置の概略図である。
１・・・ガスデポジＶＷＺ室
２、３．４．５・・・蒸発室
６．７，８．９・・・ルッポ
１０、ＩＬ １２，１３゜
１５・・・基板
１７・・・真空ポンプ
１９・・・導入管
１４・・・供給ガス
１６・・・加熱ヒーター
１８・・・ノズル
２０・・・誘導加熱装置
め願人
湯浅寅池株式会社
Claims (6)
- （１）ガス中蒸発法で生成した金属の微粒子を気流に乗
せて基板に吹きつけ電極を形成するにおいて、複数個の
蒸発源を用い基板上で多元系の超微粒子からなる電池活
物質を生成することを特徴とする電極の製造法。 - （２）基板を加熱することにより電池活物質を熱処理す
る請求項１記載の電極の製造法。 - （３）導入用気流ガスが金属微粒子に対して不活性であ
る請求項１記載の電極の製造法。 - （４）金属微粒子を基板上に堆積させた後、酸素ガス又
は酸素ガスと不活性ガスの混合ガスを導入して該堆積金
属と反応させる請求項１、２又は３記載の電極の製造法
。 - （５）複数個の金属の微粒子を混合した不活性ガス気流
に酸素ガスを混合する請求項１、２、３又は４記載の電
極の製造法。 - （６）金属がＭｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｌ
ｉ、Ｍｏ、Ｖ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｒｕ、Ｏｓ、Ｗ、Ｃｕ、Ａ
ｇの中より選ばれた請求項１、２、３、４又は５記載の
電極の製造法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2033104A JPH03236157A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 電極の製造法 |
| EP91301073A EP0442681B1 (en) | 1990-02-13 | 1991-02-11 | Manufacturing method for electrode and manufacturing method for electrode-electrolyte composite |
| EP96111757A EP0741426B1 (en) | 1990-02-13 | 1991-02-11 | Manufacturing method for electrode |
| US07/653,328 US5290592A (en) | 1990-02-13 | 1991-02-11 | Manufacturing method for electrode |
| DE69127109T DE69127109T2 (de) | 1990-02-13 | 1991-02-11 | Herstellungsverfahren für eine Elektrode und Herstellungsverfahren für eine Verbund-Elektrode-Elektrolyte |
| CA002036098A CA2036098A1 (en) | 1990-02-13 | 1991-02-11 | Manufacturing method for electrode and manufacturing method for electrode electrolyte composite |
| DE69132176T DE69132176T2 (de) | 1990-02-13 | 1991-02-11 | Verfahren zur Herstellung von Elektroden |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2033104A JPH03236157A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 電極の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03236157A true JPH03236157A (ja) | 1991-10-22 |
Family
ID=12377355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2033104A Pending JPH03236157A (ja) | 1990-02-13 | 1990-02-13 | 電極の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03236157A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5589300A (en) * | 1993-09-27 | 1996-12-31 | Arthur D. Little, Inc. | Small particle electrodes by aerosol process |
| US8048568B2 (en) | 2003-01-06 | 2011-11-01 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Negative active material for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery |
-
1990
- 1990-02-13 JP JP2033104A patent/JPH03236157A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5589300A (en) * | 1993-09-27 | 1996-12-31 | Arthur D. Little, Inc. | Small particle electrodes by aerosol process |
| US8048568B2 (en) | 2003-01-06 | 2011-11-01 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Negative active material for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery |
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