JPH07246331A - 長尺材のプラズマ蒸着装置 - Google Patents
長尺材のプラズマ蒸着装置Info
- Publication number
- JPH07246331A JPH07246331A JP6040031A JP4003194A JPH07246331A JP H07246331 A JPH07246331 A JP H07246331A JP 6040031 A JP6040031 A JP 6040031A JP 4003194 A JP4003194 A JP 4003194A JP H07246331 A JPH07246331 A JP H07246331A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- long material
- vapor
- vapor deposition
- long
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 67
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 39
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 31
- 238000002407 reforming Methods 0.000 claims description 24
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 7
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 229910002367 SrTiO Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005243 fluidization Methods 0.000 description 1
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 description 1
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長尺材のプラズマ蒸着装置に係るもので、長
尺材に組成の変化を抑制しながら均一で緻密な超電導膜
を付着して超電導特性の良好な超電導長尺材を得るとと
もに、広範囲な技術分野の長尺材の表面の改質に対して
の適用性を高める。 【構成】 改質物質を原子状のプラズマ流として噴出さ
せるプラズマ装置と、該プラズマ装置に接続されプラズ
マ流雰囲気を形成するとともに被蒸着長尺材の表面を露
出させる蒸着チャンバと、該蒸着チャンバに接続され被
蒸着長尺材の供給及び引き取りを行なう長尺材供給手段
及び蒸着材引き取り手段とを具備する。
尺材に組成の変化を抑制しながら均一で緻密な超電導膜
を付着して超電導特性の良好な超電導長尺材を得るとと
もに、広範囲な技術分野の長尺材の表面の改質に対して
の適用性を高める。 【構成】 改質物質を原子状のプラズマ流として噴出さ
せるプラズマ装置と、該プラズマ装置に接続されプラズ
マ流雰囲気を形成するとともに被蒸着長尺材の表面を露
出させる蒸着チャンバと、該蒸着チャンバに接続され被
蒸着長尺材の供給及び引き取りを行なう長尺材供給手段
及び蒸着材引き取り手段とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、長尺材のプラズマ蒸着
装置に関するものである。
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】酸化物超電導体膜や線材等の超電導複合
体を製造する場合には、予め構成元素を所望の比率で配
合した酸化物超電導微粒子を製造しておくことが必要で
ある。この場合に、構成元素の配合比の均一な粒径の小
さな酸化物超電導微粒子を使用することが、酸化物超電
導体の超電導特性向上を図る上で有利であり、これらの
関連技術として、例えば、特開平０４−１７１６１３号
公報（酸化物超電導体膜の製造方法及び製造装置）、特
開平０４−１７５２０７号公報（酸化物超電導微粒子の
製造方法及び製造装置）及び特開平０４−１７５２８５
号公報（酸化物超電導体膜の製造方法及び製造装置）が
提案されている。
体を製造する場合には、予め構成元素を所望の比率で配
合した酸化物超電導微粒子を製造しておくことが必要で
ある。この場合に、構成元素の配合比の均一な粒径の小
さな酸化物超電導微粒子を使用することが、酸化物超電
導体の超電導特性向上を図る上で有利であり、これらの
関連技術として、例えば、特開平０４−１７１６１３号
公報（酸化物超電導体膜の製造方法及び製造装置）、特
開平０４−１７５２０７号公報（酸化物超電導微粒子の
製造方法及び製造装置）及び特開平０４−１７５２８５
号公報（酸化物超電導体膜の製造方法及び製造装置）が
提案されている。
【０００３】このような方法及び装置によって製造され
た酸化物超電導微粒子は、長尺の線材あるいはテープに
被覆することによって、超電導線材及び超電導テープと
することができる。この場合、銀等の線材あるいはテー
プの表面に、酸化物超電導微粒子の塗膜を形成しておい
て、該塗膜を焼成して超電導膜とする方法が考えられて
いる。
た酸化物超電導微粒子は、長尺の線材あるいはテープに
被覆することによって、超電導線材及び超電導テープと
することができる。この場合、銀等の線材あるいはテー
プの表面に、酸化物超電導微粒子の塗膜を形成しておい
て、該塗膜を焼成して超電導膜とする方法が考えられて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、酸化物超電導
微粒子は、その製造後において長期間放置することなく
速やかに成形焼結するようにしないと、変質等に基づい
て所望の超電導特性を得ることが困難になり、そして、
成形及び焼結作業が介在することに基づいて、微粒子表
面接触部分等において超電導特性が低下し易くなる傾向
がある。
微粒子は、その製造後において長期間放置することなく
速やかに成形焼結するようにしないと、変質等に基づい
て所望の超電導特性を得ることが困難になり、そして、
成形及び焼結作業が介在することに基づいて、微粒子表
面接触部分等において超電導特性が低下し易くなる傾向
がある。
【０００５】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
ので、以下の目的を有している。 長尺材に超電導膜を付着する際に、組成の変化を抑制
しながら均一な膜を形成すること。 酸化物超電導微粒子の製造後の影響による超電導特性
の低下を防止すること。 超電導特性を向上させること。 広範囲な技術分野の長尺材の表面の改質に対しての適
用性を得ること。
ので、以下の目的を有している。 長尺材に超電導膜を付着する際に、組成の変化を抑制
しながら均一な膜を形成すること。 酸化物超電導微粒子の製造後の影響による超電導特性
の低下を防止すること。 超電導特性を向上させること。 広範囲な技術分野の長尺材の表面の改質に対しての適
用性を得ること。
【０００６】
【課題を解決するための手段】長尺材のプラズマ蒸着装
置として、改質物質を原子状のプラズマ流として噴出さ
せるプラズマ装置と、該プラズマ装置に接続されプラズ
マ流雰囲気を形成するとともに被蒸着長尺材の表面を露
出させる蒸着チャンバと、該蒸着チャンバに接続され被
蒸着長尺材の供給及び引き取りを行なう長尺材供給手段
及び蒸着材引き取り手段とを具備する構成を採用してい
る。プラズマ装置には、改質物質を供給する改質物質供
給手段と、改質物質を気流に乗せて送り込む気送手段と
が接続される。改質物質供給手段によって供給される改
質物質として、超電導酸化物、水またはミスト等が適用
される。改質物質供給手段として、酸化物超電導微粒子
を供給する酸化物超電導微粒子製造装置が採用される。
置として、改質物質を原子状のプラズマ流として噴出さ
せるプラズマ装置と、該プラズマ装置に接続されプラズ
マ流雰囲気を形成するとともに被蒸着長尺材の表面を露
出させる蒸着チャンバと、該蒸着チャンバに接続され被
蒸着長尺材の供給及び引き取りを行なう長尺材供給手段
及び蒸着材引き取り手段とを具備する構成を採用してい
る。プラズマ装置には、改質物質を供給する改質物質供
給手段と、改質物質を気流に乗せて送り込む気送手段と
が接続される。改質物質供給手段によって供給される改
質物質として、超電導酸化物、水またはミスト等が適用
される。改質物質供給手段として、酸化物超電導微粒子
を供給する酸化物超電導微粒子製造装置が採用される。
【０００７】
【作用】蒸着チャンバに供給された被蒸着長尺材の露出
部分に、改質物質を超音速のプラズマ流として噴出させ
ると、改質物質が原子状になり、プラズマ流雰囲気中の
被蒸着長尺材の表面に気相蒸着して、露出部分の改質が
行なわれる。改質された長尺材は、蒸着材引き取り手段
により蒸着チャンバの外部に引き取られる。気相蒸着
が、大気雰囲気で実施される場合には、酸素等の影響を
受けて酸化物等の生成が行なわれ、特定のガス雰囲気で
実施される場合には、そのガス成分の影響を受ける。プ
ラズマ装置には、改質物質供給手段によって改質物質が
気流に乗せられた状態で送り込まれ、プラズマ流への誘
導がなされる。改質物質として、酸化物超電導微粒子が
選択される場合には、搬送ガスとしてＡｒガス等の不活
性が採用され、被蒸着長尺材の表面に、配向性を有する
緻密な酸化物超電導膜が形成される。改質物質が水また
はミスト等である場合には、被蒸着長尺材の表面にＯＨ
基が生成され、親水性が付与される。改質物質供給手段
として、酸化物超電導微粒子製造装置が採用される場合
には、製造された酸化物超電導微粒子が気流とともに、
プラズマ装置の内部に送り込まれる。
部分に、改質物質を超音速のプラズマ流として噴出させ
ると、改質物質が原子状になり、プラズマ流雰囲気中の
被蒸着長尺材の表面に気相蒸着して、露出部分の改質が
行なわれる。改質された長尺材は、蒸着材引き取り手段
により蒸着チャンバの外部に引き取られる。気相蒸着
が、大気雰囲気で実施される場合には、酸素等の影響を
受けて酸化物等の生成が行なわれ、特定のガス雰囲気で
実施される場合には、そのガス成分の影響を受ける。プ
ラズマ装置には、改質物質供給手段によって改質物質が
気流に乗せられた状態で送り込まれ、プラズマ流への誘
導がなされる。改質物質として、酸化物超電導微粒子が
選択される場合には、搬送ガスとしてＡｒガス等の不活
性が採用され、被蒸着長尺材の表面に、配向性を有する
緻密な酸化物超電導膜が形成される。改質物質が水また
はミスト等である場合には、被蒸着長尺材の表面にＯＨ
基が生成され、親水性が付与される。改質物質供給手段
として、酸化物超電導微粒子製造装置が採用される場合
には、製造された酸化物超電導微粒子が気流とともに、
プラズマ装置の内部に送り込まれる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明に係る長尺材のプラズマ蒸着装
置の一実施例を図１に基づいて説明する。図１では、被
改質微粒子の製造供給装置として、前述した特開平０４
−１７５２０７号の酸化物超電導微粒子の製造装置が適
用される。
置の一実施例を図１に基づいて説明する。図１では、被
改質微粒子の製造供給装置として、前述した特開平０４
−１７５２０７号の酸化物超電導微粒子の製造装置が適
用される。
【０００９】図１例にあって、符号Ａは改質物質供給手
段、Ｂは気送手段、１０はプラズマ装置、１１は蒸着チ
ャンバ、１２は長尺材供給手段、１３は蒸着材引き取り
手段である。
段、Ｂは気送手段、１０はプラズマ装置、１１は蒸着チ
ャンバ、１２は長尺材供給手段、１３は蒸着材引き取り
手段である。
【００１０】前記微粒子供給手段Ａは、気送手段Ｂを経
由して蒸着チャンバ１１に接続され、特開平０４−１７
５２０７号の酸化物超電導微粒子の製造装置に準じるも
ので、水溶液供給手段１、キャリアガス供給手段２、ミ
スト化手段３、分級手段４、水分蒸発手段５、吸湿手段
（ディフュージョンドライヤ）６、保温手段７、焼成手
段８、予熱部（予熱炉）８Ａ、焼成部（焼成炉）８Ｂ及
びＮＯｘ除去手段９を具備している。
由して蒸着チャンバ１１に接続され、特開平０４−１７
５２０７号の酸化物超電導微粒子の製造装置に準じるも
ので、水溶液供給手段１、キャリアガス供給手段２、ミ
スト化手段３、分級手段４、水分蒸発手段５、吸湿手段
（ディフュージョンドライヤ）６、保温手段７、焼成手
段８、予熱部（予熱炉）８Ａ、焼成部（焼成炉）８Ｂ及
びＮＯｘ除去手段９を具備している。
【００１１】前記気送手段Ｂは、図１例にあっては、改
質物質供給手段Ａが、酸化物超電導微粒子をガスに乗せ
て下流に送り出す機能を有しているために、ＮＯｘ除去
手段９と蒸着チャンバ１１の内部との間を接続する微粒
子供給管等によって構成されるが、酸化物超電導微粒子
の気送を確実にするために、Ａｒガスによるキャリアガ
ス供給系１４と、酸化物超電導微粒子とＡｒガスとの混
合により流動化を促進させる混合器１５とが付加され
る。
質物質供給手段Ａが、酸化物超電導微粒子をガスに乗せ
て下流に送り出す機能を有しているために、ＮＯｘ除去
手段９と蒸着チャンバ１１の内部との間を接続する微粒
子供給管等によって構成されるが、酸化物超電導微粒子
の気送を確実にするために、Ａｒガスによるキャリアガ
ス供給系１４と、酸化物超電導微粒子とＡｒガスとの混
合により流動化を促進させる混合器１５とが付加され
る。
【００１２】前記プラズマ装置１０は、改質物質を原子
状のプラズマ流として噴出させるもので、改質物質に合
わせてＡｒガス等を供給するためのプラズマガス供給装
置１６と、プラズマガス及び改質物質をプラズマ化して
駆動するための高周波等のプラズマ加熱装置電源１７及
び加熱駆動コイル１８と、トーチの部分を冷却する冷媒
を供給循環させるためのトーチ冷却装置（冷却ガス供給
系）１９とを有している。
状のプラズマ流として噴出させるもので、改質物質に合
わせてＡｒガス等を供給するためのプラズマガス供給装
置１６と、プラズマガス及び改質物質をプラズマ化して
駆動するための高周波等のプラズマ加熱装置電源１７及
び加熱駆動コイル１８と、トーチの部分を冷却する冷媒
を供給循環させるためのトーチ冷却装置（冷却ガス供給
系）１９とを有している。
【００１３】前記蒸着チャンバ１１は、プラズマ装置１
０に接続状態に配されて、プラズマ流雰囲気を形成する
とともに、表面が露出した状態の被蒸着長尺材Ｘを挿通
状態で収容するものである。
０に接続状態に配されて、プラズマ流雰囲気を形成する
とともに、表面が露出した状態の被蒸着長尺材Ｘを挿通
状態で収容するものである。
【００１４】蒸着チャンバ１１には、被蒸着長尺材Ｘの
供給及び引き取りを行なうための長尺材供給手段１２及
び蒸着材引き取り手段１３が配される。つまり、図１に
示すように、長尺材供給手段１２には、被蒸着長尺材Ｘ
を繰り出すための送り出しドラム１２ａと、該送り出し
ドラム１２ａから繰り出された被蒸着長尺材Ｘを蒸着チ
ャンバ１１の内部に案内するためのガイドローラ１２
ｂ，１２ｃとが配され、蒸着材引き取り手段１３には、
プラズマ蒸着が施された改質済み長尺材Ｙを巻き取るた
めの引き取りドラム１３ａと、改質済み長尺材Ｙの案内
をするためのガイドローラ１３ｂ，１３ｃとが配され
る。
供給及び引き取りを行なうための長尺材供給手段１２及
び蒸着材引き取り手段１３が配される。つまり、図１に
示すように、長尺材供給手段１２には、被蒸着長尺材Ｘ
を繰り出すための送り出しドラム１２ａと、該送り出し
ドラム１２ａから繰り出された被蒸着長尺材Ｘを蒸着チ
ャンバ１１の内部に案内するためのガイドローラ１２
ｂ，１２ｃとが配され、蒸着材引き取り手段１３には、
プラズマ蒸着が施された改質済み長尺材Ｙを巻き取るた
めの引き取りドラム１３ａと、改質済み長尺材Ｙの案内
をするためのガイドローラ１３ｂ，１３ｃとが配され
る。
【００１５】また、蒸着チャンバ１１には、気流に混合
した微粒子等を捕捉するための排ガスフィルタやガスを
排出するためのブロア等を備えた排ガス処理系２０が接
続状態に配される。
した微粒子等を捕捉するための排ガスフィルタやガスを
排出するためのブロア等を備えた排ガス処理系２０が接
続状態に配される。
【００１６】このように構成されている長尺材のプラズ
マ蒸着装置であると、改質物質供給手段Ａ、プラズマ装
置１０及びプラズマガス供給装置１６等の作動により、
供給されたＡｒガス及び酸化物超電導微粒子が、プラズ
マ加熱装置電源１７及び加熱駆動コイル１８により加熱
及び駆動されて超音速状態のプラズマ流となってトーチ
部分から噴出され、この際に、酸化物超電導微粒子等が
原子状になる。
マ蒸着装置であると、改質物質供給手段Ａ、プラズマ装
置１０及びプラズマガス供給装置１６等の作動により、
供給されたＡｒガス及び酸化物超電導微粒子が、プラズ
マ加熱装置電源１７及び加熱駆動コイル１８により加熱
及び駆動されて超音速状態のプラズマ流となってトーチ
部分から噴出され、この際に、酸化物超電導微粒子等が
原子状になる。
【００１７】一方、長尺材供給手段１２及び蒸着材引き
取り手段１３の作動に伴って、例えば粒径が０．０５μ
ｍ程度の酸化物超電導微粒子が、気流により蒸着チャン
バ１１の内部に送り込まれると、原子状とされた酸化物
の構成材（構成原子）が、被蒸着長尺材Ｘの表面に気相
蒸着する反応を生じ、成分比が保持されたままプラズマ
蒸着による改質処理（超電導膜のコーティング処理等）
がなされる。
取り手段１３の作動に伴って、例えば粒径が０．０５μ
ｍ程度の酸化物超電導微粒子が、気流により蒸着チャン
バ１１の内部に送り込まれると、原子状とされた酸化物
の構成材（構成原子）が、被蒸着長尺材Ｘの表面に気相
蒸着する反応を生じ、成分比が保持されたままプラズマ
蒸着による改質処理（超電導膜のコーティング処理等）
がなされる。
【００１８】〔実験例〕酸化物超電導微粒子として、Ｙ
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏ-xを選択し、初期混合比：硝酸塩（Ｙ：Ｂ
ａ：Ｃｕ：＝１：２：３），プラズマ加熱装置の出力：
１．５ｋＷ，圧力：大気圧，プラズマガス：Ａｒ１．５
リットル／分，キャリアガス：Ａｒ０．４−Ｏ2 ０．１
リットル／分の条件下で、図１の装置によって、ＳｒＴ
ｉＯ3 ，ＭｇＯ，Ａｇ／ＭｇＯからなるフィルムベース
上にプラズマ蒸着を行なった。プラズマ蒸着後において
は、Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ：＝１．００：１．６８：２．８０
の成分比となった。
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏ-xを選択し、初期混合比：硝酸塩（Ｙ：Ｂ
ａ：Ｃｕ：＝１：２：３），プラズマ加熱装置の出力：
１．５ｋＷ，圧力：大気圧，プラズマガス：Ａｒ１．５
リットル／分，キャリアガス：Ａｒ０．４−Ｏ2 ０．１
リットル／分の条件下で、図１の装置によって、ＳｒＴ
ｉＯ3 ，ＭｇＯ，Ａｇ／ＭｇＯからなるフィルムベース
上にプラズマ蒸着を行なった。プラズマ蒸着後において
は、Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ：＝１．００：１．６８：２．８０
の成分比となった。
【００１９】図２は、前述の実験例において、ＳｒＴｉ
Ｏ3 フィルムベース上に厚さ０．２μｍのＹＢａ2Ｃｕ3
Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における組織表面の
電子顕微鏡写真の模写図を示している。この条件下で
は、蒸着面の方向への通電時の電流密度が、温度：７
７．３Ｋにおいて、１０5 Ａ／ｃｍ2 を超える好結果が
得られた。また、表面組織をみると、酸化物超電導膜の
組織が、均一でかつ緻密となっていることが確認され
た。図３（ａ）は、ＳｒＴｉＯ3 フィルムベース上にＹ
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における
Ｘ線回析パターン（解析角度と強度との関係）を示して
おり、図３（ｂ）は、ＭｇＯベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ
-xのプラズマ蒸着を行なった場合におけるＸ線回析パタ
ーンを示している。図３（ａ）にあっては、プラズマ蒸
着層が薄いために、ＳｒＴｉＯ3 フィルムベースの影響
が現れているが、図３（ｂ）と比較して、同等結果であ
ることが理解される。
Ｏ3 フィルムベース上に厚さ０．２μｍのＹＢａ2Ｃｕ3
Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における組織表面の
電子顕微鏡写真の模写図を示している。この条件下で
は、蒸着面の方向への通電時の電流密度が、温度：７
７．３Ｋにおいて、１０5 Ａ／ｃｍ2 を超える好結果が
得られた。また、表面組織をみると、酸化物超電導膜の
組織が、均一でかつ緻密となっていることが確認され
た。図３（ａ）は、ＳｒＴｉＯ3 フィルムベース上にＹ
Ｂａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における
Ｘ線回析パターン（解析角度と強度との関係）を示して
おり、図３（ｂ）は、ＭｇＯベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ
-xのプラズマ蒸着を行なった場合におけるＸ線回析パタ
ーンを示している。図３（ａ）にあっては、プラズマ蒸
着層が薄いために、ＳｒＴｉＯ3 フィルムベースの影響
が現れているが、図３（ｂ）と比較して、同等結果であ
ることが理解される。
【００２０】図４（ａ）は、ＭｇＯベース上にＹＢａ2
Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における組織
表面の電子顕微鏡写真の模写図を示しており、図４
（ｂ）は、ＭｇＯベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプラズ
マ蒸着を行なった場合における組織断面の電子顕微鏡写
真の模写図を示している。図４の条件下では、電流密度
が、温度４．２Ｋにおいて、５０００Ａ／ｃｍ2となっ
たが、図２例と比較して見劣りする結果となった。この
場合、図４の（ｂ）の中央部分に示すように、プラズマ
蒸着膜は、約２μｍの厚さを有しているものの、ベース
材料の影響を受ける等により特性が低下したものと思わ
れる。
Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における組織
表面の電子顕微鏡写真の模写図を示しており、図４
（ｂ）は、ＭｇＯベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプラズ
マ蒸着を行なった場合における組織断面の電子顕微鏡写
真の模写図を示している。図４の条件下では、電流密度
が、温度４．２Ｋにおいて、５０００Ａ／ｃｍ2となっ
たが、図２例と比較して見劣りする結果となった。この
場合、図４の（ｂ）の中央部分に示すように、プラズマ
蒸着膜は、約２μｍの厚さを有しているものの、ベース
材料の影響を受ける等により特性が低下したものと思わ
れる。
【００２１】図５は、Ａｇ／ＭｇＯベース上にＹＢａ2
Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における組織
表面の電子顕微鏡写真の模写図を示している。図５で
は、プラズマ蒸着膜における結晶が、例えば２０μｍ以
上で、面方向に大きく成長している（面方向に配向性が
ある）ことが明らかであり、超電導特性の改良が期待さ
れる。
Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ蒸着を行なった場合における組織
表面の電子顕微鏡写真の模写図を示している。図５で
は、プラズマ蒸着膜における結晶が、例えば２０μｍ以
上で、面方向に大きく成長している（面方向に配向性が
ある）ことが明らかであり、超電導特性の改良が期待さ
れる。
【００２２】〔他の実施態様〕本発明にあっては、次の
技術を包含する。 ａ）金属系の超電導テープを製造する際に適用するこ
と。 ｂ）母材を、フィルムに代えて線条体として、超電導線
条体とすること。 ｃ）鋼材への亜鉛メッキ等の防食目的に適用すること。 ｄ）改質物質供給手段Ａから水またはミストを供給して
（つまり改質物質を水として）、任意フィルムの表面に
ＯＨ基を生成する等の変成により活性化表面を形成し、
その後の第３物質のコーティングを容易にすること。 ｅ）Ｎｉ，ＴｉＯ2 相互間の蒸着のように、蒸着性の悪
い材料の組み合わせにおいて、配合比を少しずつ緩やか
に変えた傾斜材料により、中間の蒸着層を介在状態に配
すること。 ｆ）蒸着チャンバの内部雰囲気を、大気雰囲気、その他
のガス雰囲気とし、酸素等によるガス成分の影響を及ぼ
すこと、あるいは、影響を生じないガス成分を設定する
こと。
技術を包含する。 ａ）金属系の超電導テープを製造する際に適用するこ
と。 ｂ）母材を、フィルムに代えて線条体として、超電導線
条体とすること。 ｃ）鋼材への亜鉛メッキ等の防食目的に適用すること。 ｄ）改質物質供給手段Ａから水またはミストを供給して
（つまり改質物質を水として）、任意フィルムの表面に
ＯＨ基を生成する等の変成により活性化表面を形成し、
その後の第３物質のコーティングを容易にすること。 ｅ）Ｎｉ，ＴｉＯ2 相互間の蒸着のように、蒸着性の悪
い材料の組み合わせにおいて、配合比を少しずつ緩やか
に変えた傾斜材料により、中間の蒸着層を介在状態に配
すること。 ｆ）蒸着チャンバの内部雰囲気を、大気雰囲気、その他
のガス雰囲気とし、酸素等によるガス成分の影響を及ぼ
すこと、あるいは、影響を生じないガス成分を設定する
こと。
【００２３】
【発明の効果】本発明に係る長尺材のプラズマ蒸着装置
によれば、以下のような効果を奏する。 （１） 改質物質を原子状のプラズマ流として噴出させ
るプラズマ装置と、プラズマ流雰囲気を形成するととも
に被蒸着長尺材の表面を露出させる蒸着チャンバと、長
尺材供給手段及び蒸着材引き取り手段とを具備すること
により、所望の改質物質を被蒸着長尺材の表面に気相蒸
着して、その改質を行なうことができる。 （２） 蒸着チャンバの内部のガス雰囲気に任意性があ
り、空気等の酸素介在雰囲気や特定のガス雰囲気を選択
して、気相蒸着性を向上させることができる。 （３） プラズマ装置に、改質物質を供給する改質物質
供給手段と、改質物質を気流に乗せて送り込む気送手段
とが接続されることにより、改質物質の送り込み及びプ
ラズマ流の形成を容易にすることができる。 （４） 改質物質供給手段が、水またはミストを供給す
るものであることにより、被蒸着長尺材の表面にＯＨ基
を生成して、親水性が付与された表面を形成することが
できる。 （５） 改質物質供給手段が、酸化物超電導微粒子を供
給する酸化物超電導微粒子製造装置であることことによ
り、所望形状の被蒸着長尺材の表面に、均質で緻密な超
電導コーティング層を形成して、超電導長尺材とするこ
とができる。 （６） 長尺材にプラズマ蒸着によって超電導コーティ
ング層を形成することにより、酸化物超電導微粒子等の
成分比の変化を抑制しながら、超電導特性の良好な超電
導長尺材を製造することができる。
によれば、以下のような効果を奏する。 （１） 改質物質を原子状のプラズマ流として噴出させ
るプラズマ装置と、プラズマ流雰囲気を形成するととも
に被蒸着長尺材の表面を露出させる蒸着チャンバと、長
尺材供給手段及び蒸着材引き取り手段とを具備すること
により、所望の改質物質を被蒸着長尺材の表面に気相蒸
着して、その改質を行なうことができる。 （２） 蒸着チャンバの内部のガス雰囲気に任意性があ
り、空気等の酸素介在雰囲気や特定のガス雰囲気を選択
して、気相蒸着性を向上させることができる。 （３） プラズマ装置に、改質物質を供給する改質物質
供給手段と、改質物質を気流に乗せて送り込む気送手段
とが接続されることにより、改質物質の送り込み及びプ
ラズマ流の形成を容易にすることができる。 （４） 改質物質供給手段が、水またはミストを供給す
るものであることにより、被蒸着長尺材の表面にＯＨ基
を生成して、親水性が付与された表面を形成することが
できる。 （５） 改質物質供給手段が、酸化物超電導微粒子を供
給する酸化物超電導微粒子製造装置であることことによ
り、所望形状の被蒸着長尺材の表面に、均質で緻密な超
電導コーティング層を形成して、超電導長尺材とするこ
とができる。 （６） 長尺材にプラズマ蒸着によって超電導コーティ
ング層を形成することにより、酸化物超電導微粒子等の
成分比の変化を抑制しながら、超電導特性の良好な超電
導長尺材を製造することができる。
【図１】本発明に係る長尺材のプラズマ蒸着装置の一実
施例を示すブロック図を併記した正断面図である。
施例を示すブロック図を併記した正断面図である。
【図２】ＳｒＴｉＯ3 ベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプ
ラズマ蒸着を行なった場合における組織表面の電子顕微
鏡写真の模写図である。
ラズマ蒸着を行なった場合における組織表面の電子顕微
鏡写真の模写図である。
【図３】図２の場合におけるＸ線回析パターン図であ
る。
る。
【図４】ＭｇＯベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプラズマ
蒸着を行なった場合における組織表面または組織断面の
電子顕微鏡写真の模写図である。
蒸着を行なった場合における組織表面または組織断面の
電子顕微鏡写真の模写図である。
【図５】Ａｇ／ＭｇＯベース上にＹＢａ2Ｃｕ3Ｏ-xのプ
ラズマ蒸着を行なった場合における組織表面の電子顕微
鏡写真の模写図である。
ラズマ蒸着を行なった場合における組織表面の電子顕微
鏡写真の模写図である。
Ａ 改質物質供給手段（酸化物超電導微粒子製造装置） Ｂ 気送手段 Ｘ 被蒸着長尺材 Ｙ 改質済み長尺材 １ 水溶液供給手段 ２ キャリアガス供給手段 ３ ミスト化手段 ４ 分級手段 ５ 水分蒸発手段 ６ 吸湿手段（ディフュージョンドライヤ） ７ 保温手段 ８ 焼成手段 ８Ａ 予熱部（予熱炉） ８Ｂ 焼成部（焼成炉） ９ ＮＯｘ除去手段 １０ プラズマ装置 １１ 蒸着チャンバ １２ 長尺材供給手段 １２ａ 送り出しドラム １２ｂ，１２ｃ ガイドローラ １３ 蒸着材引き取り手段 １３ａ 引き取りドラム １３ｂ，１３ｃ ガイドローラ １４ キャリアガス供給系 １５ 混合器 １６ プラズマガス供給装置 １７ プラズマ加熱装置電源 １８ 加熱駆動コイル １９ トーチ冷却装置（冷却ガス供給系） ２０ 排ガス処理系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 39/24 ＺＡＡ Ｂ
Claims (4)
- 【請求項１】 改質物質を原子状のプラズマ流として噴
出させるプラズマ装置（１０）と、該プラズマ装置に接
続されプラズマ流雰囲気を形成するとともに被蒸着長尺
材（Ｘ）の表面を露出させる蒸着チャンバ（１１）と、
該蒸着チャンバに接続され被蒸着長尺材の供給及び引き
取りを行なう長尺材供給手段（１２）及び蒸着材引き取
り手段（１３）とを具備することを特徴とする長尺材の
プラズマ蒸着装置。 - 【請求項２】 プラズマ装置（１０）に、改質物質を供
給する改質物質供給手段（Ａ）と、改質物質を気流に乗
せて送り込む気送手段（Ｂ）とが接続されることを特徴
とする請求項１記載の長尺材のプラズマ蒸着装置。 - 【請求項３】 改質物質供給手段（Ａ）が、水またはミ
ストを供給するものであることを特徴とする請求項２記
載の長尺材のプラズマ蒸着装置。 - 【請求項４】 改質物質供給手段（Ａ）が、酸化物超電
導微粒子を供給する酸化物超電導微粒子製造装置である
ことを特徴とする請求項２記載の長尺材のプラズマ蒸着
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040031A JPH07246331A (ja) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | 長尺材のプラズマ蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6040031A JPH07246331A (ja) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | 長尺材のプラズマ蒸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07246331A true JPH07246331A (ja) | 1995-09-26 |
Family
ID=12569548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6040031A Pending JPH07246331A (ja) | 1994-03-10 | 1994-03-10 | 長尺材のプラズマ蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07246331A (ja) |
-
1994
- 1994-03-10 JP JP6040031A patent/JPH07246331A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6740624B1 (en) | Spraying method to form a thick coating and products obtained | |
| US5034372A (en) | Plasma based method for production of superconductive oxide layers | |
| JP2866265B2 (ja) | 高臨界温度超伝導可撓性導体の製造方法 | |
| Subramanian et al. | A novel technique for synthesis of silver nanoparticles by laser-liquid interaction | |
| JPH07246331A (ja) | 長尺材のプラズマ蒸着装置 | |
| JPS63274032A (ja) | 基板上に超伝導層を形成する方法 | |
| JP3276330B2 (ja) | 球状粉末の製造方法とこの方法により製造された球状粉末 | |
| US5620576A (en) | Method of and apparatus for producing a thin layer of a material on a substrate | |
| JP3187043B2 (ja) | 物理蒸着法による酸化物超電導導体の製造方法 | |
| JPH04214860A (ja) | 多成分固体材料の製造方法 | |
| JPH07278777A (ja) | 機能性微粒子の製造方法及びその装置 | |
| JPH05178614A (ja) | 酸化物超電導体膜の製造方法及び製造装置 | |
| IE902972A1 (en) | Process for thermally spraying oxide-ceramic superconducting¹materials | |
| JP2906076B2 (ja) | ガス・デポジション法による高温超伝導体厚膜の形成法およびその形成装置 | |
| JPH10180098A (ja) | 排気ガス浄化用触媒の製造方法および製造装置 | |
| JPH03236157A (ja) | 電極の製造法 | |
| EP0351139B1 (en) | Method of making composite ceramic and copper superconducting elements | |
| JP2505376B2 (ja) | 成膜方法及び装置 | |
| Takao et al. | Preparation of a multilayer and a compositional gradient layer composite by the aerosol filtration method | |
| JPH04191378A (ja) | プラズマ被膜形成装置 | |
| JP2512174B2 (ja) | 酸化物超電導微粉末および酸化物超電導体の製造方法 | |
| JPS6345619B2 (ja) | ||
| JPH11185544A (ja) | 配向制御多結晶薄膜の蒸着方法及び蒸着装置 | |
| Mančić et al. | Structural Properties of Ultradispersed Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O Particles Synthesized from Aerosol | |
| JPH03140472A (ja) | 酸化物微粒子堆積膜の製法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030401 |