JPH0323653Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0323653Y2 JPH0323653Y2 JP10896085U JP10896085U JPH0323653Y2 JP H0323653 Y2 JPH0323653 Y2 JP H0323653Y2 JP 10896085 U JP10896085 U JP 10896085U JP 10896085 U JP10896085 U JP 10896085U JP H0323653 Y2 JPH0323653 Y2 JP H0323653Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- skimmer
- plasma
- sampling cone
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 23
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 19
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、大気圧プラズマをイオン源とする、
質量分析法に於いて利用されるイオン引き込み装
置に関する。
質量分析法に於いて利用されるイオン引き込み装
置に関する。
大気圧プラズマをイオン源とする質量分析装置
において、前記大気圧プラズマからイオンを引き
出す先端に円形オリフイスを持つサンプリングコ
ーンとサンプリングコーンから引き出されたイオ
ンを４重極質量分析計に導く先端に円形オリフイ
スを持つスキマーを、互の円形オリフイスの中心
軸を両オリフイスの半径の和以上の距離だけずら
して設置し、サンプリングコーンのオリフイスで
生じる光をスキマーで遮光し４重極質量分析計に
入らなくし、４重極質量分析計の光によるバツク
グラウンド信号を減らすイオン引き込み装置を提
供する。
において、前記大気圧プラズマからイオンを引き
出す先端に円形オリフイスを持つサンプリングコ
ーンとサンプリングコーンから引き出されたイオ
ンを４重極質量分析計に導く先端に円形オリフイ
スを持つスキマーを、互の円形オリフイスの中心
軸を両オリフイスの半径の和以上の距離だけずら
して設置し、サンプリングコーンのオリフイスで
生じる光をスキマーで遮光し４重極質量分析計に
入らなくし、４重極質量分析計の光によるバツク
グラウンド信号を減らすイオン引き込み装置を提
供する。
従来の構成を第２図に示す。大気圧プラズマ５
は先端にオリフイス（直径0.3〜1.5mm）を持つた
円錐状のサンプリングコーン１を通過し、排気管
６から図に示されない真空ポンプにより排気され
た圧力約1Torrの部室に引き込まれる。前記の部
室に引き込まれたプラズマは、排気管７に継がれ
た図に示されない真空ポンプにより減圧された第
２の部室に、サンプリングコーンと同一軸上に配
置された先端にオリフイスを持つ円錐形状のスキ
マー２を通過して導かれる。第２の部室に入つた
プラズマは、イオンレンズ３により、正イオンだ
けが集束され、４重極質量分析計４に導かれ、質
量分析される。直径約３mmの金属板で作られた遮
光板８は、サンプリングコーン１のオリフイス部
で発生する光をさえぎり４重極質量分析計の光に
よるバツクグラウンド信号を減らす働きをする。
は先端にオリフイス（直径0.3〜1.5mm）を持つた
円錐状のサンプリングコーン１を通過し、排気管
６から図に示されない真空ポンプにより排気され
た圧力約1Torrの部室に引き込まれる。前記の部
室に引き込まれたプラズマは、排気管７に継がれ
た図に示されない真空ポンプにより減圧された第
２の部室に、サンプリングコーンと同一軸上に配
置された先端にオリフイスを持つ円錐形状のスキ
マー２を通過して導かれる。第２の部室に入つた
プラズマは、イオンレンズ３により、正イオンだ
けが集束され、４重極質量分析計４に導かれ、質
量分析される。直径約３mmの金属板で作られた遮
光板８は、サンプリングコーン１のオリフイス部
で発生する光をさえぎり４重極質量分析計の光に
よるバツクグラウンド信号を減らす働きをする。
従来技術において、サンプリングコーンのオリ
フイスで発生する光を遮光するため、イオンレン
ズ（第２図・３）の中に遮光板（第２図・８）を
配置していた。しかし、遮光板は光を遮光すると
同時にイオンも遮蔽するので、４重極質量分析計
（第２図・４）に入るイオン量も減つてしまい、
感度が低下する問題点をもつている。
フイスで発生する光を遮光するため、イオンレン
ズ（第２図・３）の中に遮光板（第２図・８）を
配置していた。しかし、遮光板は光を遮光すると
同時にイオンも遮蔽するので、４重極質量分析計
（第２図・４）に入るイオン量も減つてしまい、
感度が低下する問題点をもつている。
前記の問題点を解決するためにはイオンレンズ
内の遮光板を除き、しかも４重極質量系に光が入
らないようにする必要がある。そこで本考案は、
サンプリングコーンとスキマーの軸を、それぞれ
のオリフイスの半径の和以上離して配置するもの
で、上記配置をすれば、サンプリングコーンオリ
フイスで発生する光が４重極質量分析計に入らな
いようになる。またイオンレンズ内の遮光板が不
要であるので、感度の低下もおこらない。
内の遮光板を除き、しかも４重極質量系に光が入
らないようにする必要がある。そこで本考案は、
サンプリングコーンとスキマーの軸を、それぞれ
のオリフイスの半径の和以上離して配置するもの
で、上記配置をすれば、サンプリングコーンオリ
フイスで発生する光が４重極質量分析計に入らな
いようになる。またイオンレンズ内の遮光板が不
要であるので、感度の低下もおこらない。
本考案によれば、遮光板を用いることなく、サ
ンプリングコーンのオリフイスで発生する光を遮
光できるので、イオンレンズ内でのイオンの減少
も起こらない。従つて、バツクグラウンドが低く
感度の低下も起こらないので、従来の装置より３
〜10倍の感度が得られる。
ンプリングコーンのオリフイスで発生する光を遮
光できるので、イオンレンズ内でのイオンの減少
も起こらない。従つて、バツクグラウンドが低く
感度の低下も起こらないので、従来の装置より３
〜10倍の感度が得られる。
以下、本考案を図面に基づき詳細に説明する。
第１図は本考案の実施例で大気圧プラズマ質量分
析計を示しており、大気圧プラズマ５は、可燃性
ガス炎、アーク放電、高周波無電極放電等によつ
て発生させられる。前記大気圧プラズマはイオ
ン、電子、中性粒子から構成され、先端にオリフ
イス（径0.3〜1.5mm）を持つたサンプリングコー
ン１を通し、排気管６に接続した図示されていな
いポンプにより減圧（0.1〜10Torr）された第１
の部室に引き込まれる。前記の部室に引き込まれ
たプラズマは、先端にオリフイス（径0.5〜２mm）
を持つたスキマー２を通り、排気管７に接続され
た図示されていない真空ポンプにより減圧された
第２の部室に引き込まれる。前記スキマー２は、
スキマーの円形オリフイスの中心を、前記サンプ
リングコーン１の円形オリフイスの中心から、両
オリフイスの半径の和以上離して設置さている。
サンプリングコーン１を通過したプラズマは、第
１の部室で膨張し、プラズマ密度は、サンプリン
グコーン１のオリフイスを中心に半径10mm以内で
は一様であるので前記のごとく両オリフイスを設
置しても第２の部室に引き込まれるイオン量は減
少しない。前記第２の部室に引き込まれたプラズ
マは、前記スキマー２の中心軸上に設置された円
筒状のイオンレンズ３により、イオンだけが収束
され、４重極質量分析計４に入れられ、前記４重
極質量分析計で質量分析される。
第１図は本考案の実施例で大気圧プラズマ質量分
析計を示しており、大気圧プラズマ５は、可燃性
ガス炎、アーク放電、高周波無電極放電等によつ
て発生させられる。前記大気圧プラズマはイオ
ン、電子、中性粒子から構成され、先端にオリフ
イス（径0.3〜1.5mm）を持つたサンプリングコー
ン１を通し、排気管６に接続した図示されていな
いポンプにより減圧（0.1〜10Torr）された第１
の部室に引き込まれる。前記の部室に引き込まれ
たプラズマは、先端にオリフイス（径0.5〜２mm）
を持つたスキマー２を通り、排気管７に接続され
た図示されていない真空ポンプにより減圧された
第２の部室に引き込まれる。前記スキマー２は、
スキマーの円形オリフイスの中心を、前記サンプ
リングコーン１の円形オリフイスの中心から、両
オリフイスの半径の和以上離して設置さている。
サンプリングコーン１を通過したプラズマは、第
１の部室で膨張し、プラズマ密度は、サンプリン
グコーン１のオリフイスを中心に半径10mm以内で
は一様であるので前記のごとく両オリフイスを設
置しても第２の部室に引き込まれるイオン量は減
少しない。前記第２の部室に引き込まれたプラズ
マは、前記スキマー２の中心軸上に設置された円
筒状のイオンレンズ３により、イオンだけが収束
され、４重極質量分析計４に入れられ、前記４重
極質量分析計で質量分析される。
本考案によれば、遮光板が不要であるので、４
重極質量分析計に入るイオン量を減少させること
なく、光によるバツクグラウンド信号を減少する
効果があり、大気圧プラズマ質量分析装置の感度
を向上することができる。
重極質量分析計に入るイオン量を減少させること
なく、光によるバツクグラウンド信号を減少する
効果があり、大気圧プラズマ質量分析装置の感度
を向上することができる。
第１図は本考案による装置の構成図、第２図は
従来の装置の構成図を示す。 １……サンプリングコーン、２……スキマー、
３……イオンレンズ、４……４重極質量分析計、
５……大気圧プラズマ、６……排気管１、７……
排気管２、８……遮光板。
従来の装置の構成図を示す。 １……サンプリングコーン、２……スキマー、
３……イオンレンズ、４……４重極質量分析計、
５……大気圧プラズマ、６……排気管１、７……
排気管２、８……遮光板。
Claims (1)
- 大気圧下に存在するプラズマを取り入れる先端
に円形オリフイスを持つサンプリングコーンと、
該サンプリングコーンに接続される低圧室と、該
低圧室を通過したプラズマを引き込み先端に円形
オリフイスを持つスキマーと、該スキマーに接続
された第２の低圧室と、該第２の低圧室内に設置
され前記スキマーを通過したプラズマのうちイオ
ンを収束するイオンレンズと、該収束イオンを質
量分析する質量分析計からなる大気圧プラズマ質
量分析装置において、前記サンプリングコーンの
オリフイスの中心軸と前記スキマーのオリフイス
の中心軸が両オリフイスの半径の和以上離れるよ
うにサンプリングコーンとスキマーを設置したこ
とを特徴とする大気圧プラズマ質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10896085U JPH0323653Y2 (ja) | 1985-07-17 | 1985-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10896085U JPH0323653Y2 (ja) | 1985-07-17 | 1985-07-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6217063U JPS6217063U (ja) | 1987-01-31 |
| JPH0323653Y2 true JPH0323653Y2 (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=30986628
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10896085U Expired JPH0323653Y2 (ja) | 1985-07-17 | 1985-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0323653Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6437227U (ja) * | 1987-08-24 | 1989-03-07 |
-
1985
- 1985-07-17 JP JP10896085U patent/JPH0323653Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6217063U (ja) | 1987-01-31 |
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