JPH03239202A - 表面高反射鏡 - Google Patents

表面高反射鏡

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JPH03239202A
JPH03239202A JP3581090A JP3581090A JPH03239202A JP H03239202 A JPH03239202 A JP H03239202A JP 3581090 A JP3581090 A JP 3581090A JP 3581090 A JP3581090 A JP 3581090A JP H03239202 A JPH03239202 A JP H03239202A
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JP
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reflection mirror
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JP3581090A
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Hideo Fujii
秀雄 藤井
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Pentax Corp
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カメラ、望遠鏡、顕微鏡等の光学製品に使用
される表面反射多層膜を有する表面高反射鏡に関する。
〔従来の技術〕
光学製品に使用される表面高反射鏡の反射材料としては
、一般的には、可視から近赤外の範囲に渡って反射率が
高い銀が使用されている。しかしながら、銀を使用する
場合、単層膜では膜付着性、耐湿性、耐硫化性等の点で
劣るという問題がある。
このため銀の単層膜に下地層と、保護層とを形成した多
層膜構成とし、膜付着性、耐湿性、耐硫化性等を付与し
ている。
例えば、第3図に示すように、4層構造として、基板l
e上に酸化アルミニウムからなる下地層2eを形成し、
下地層2e上に銀からなる反射層3eを形成し、さらに
反射層3e上に保護層として、酸化アルミニウム層4e
と、二酸化ケイ素層5eとを順次形成した例(’Ref
lectance and durability o
f Ag marrors coated with 
thin 1ayers of Al2O2pl、us
 reactively deposited 5il
icon oxide、”^ppl、 Opt、 。
14 (1975)、 2639)がある。
また第4図に示すように、6層構造として、基板1f上
に銅からなる下地層2fを形成し、下地層2r上に銀か
らなる反射層3fを形成し、さらに反射層3f上に保護
層として、酸化アルミニウム層4fと、酸化タンタル層
5fと、二酸化ケイ素層6fと、酸化タンタル層7fと
を順次形成した例(′″Progress 1nthe
 development of a durable
 5ilver−based high−reflec
tance coating for astrono
mical telescopes、 ”Appl、O
pt、 、 24 (1985)、 1164)がある
。
上記方法は、いずれも表面高反射鏡の基板としてガラス
を使用する場合に効果を発揮する。
〔発明が解決しようとする課題〕 近年、ポリカーボネート、ポリエステル、アクリル樹脂
等のプラスチック成形技術が発達し、またプラスチック
はガラスと比較して複雑な形状を簡単に成形できるとい
う利点から、光学部材としてその使用範囲も拡大してい
る。例えば、カメラに使用されているペンタプリズムは
、コスト低減のためにプラスチック化が望まれており、
内部中空のペンタ形状成形品に表面反射膜を形成した製
品も使用され始めている。しかしながら、基板がポリカ
ーボネート、ポリエステル、アクリル樹脂等のプラスチ
ックで形成されている場合は、基板がガラスで形成され
ている場合と比較して、上述と同様の膜構成では、膜付
着性、耐湿性等の点で劣るという問題点がある。
従って本発明の目的は、基板がポリカーボネート、ポリ
エステル、アクリル樹脂等のプラスチックで形成されて
いる場合においても、膜付着性、耐湿性等に優れた表面
高反射鏡を提供することである。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的に鑑み鋭意研究の結果、本発明者は、基板がポ
リカーボネート、ポリエステル、アクリル樹脂等のプラ
スチックで形成されている場合においても、膜付着性、
耐湿性等に優れた表面高反射鏡を得るためには、基板と
銀からなる反射層との付着力を強化すればよいが、硫化
クロムを下地層として基板と反射層との間に形成すれば
その付着力を強化できることを発見し、本発明に想到し
た。
すなわち、本発明の表面高反射鏡は、(a)基板表面上
に形成された硫化クロムからなる下地層と、(5)前記
硫化クロム下地層上に形成された銀からなる反射層と、
(c)前記反射層上に形成された保護層とを有すること
を特徴とする。
〔作用〕
表面高反射鏡において、基板がポリカーボネート、ポリ
エステル、アクリル樹脂等のプラスチックで形成されて
いる場合においても、基板上に基板との付着性の高い硫
化クロムの下地層を形成し、その硫化クロム下地層上に
銀からなる反射層を形成すると、基板と銀からなる反射
層の膜付着力が強化される。これにより膜付着性、耐湿
性の高い表面高反射鏡が得られる。
〔実施例〕
第1図は、本発明の一実施例による表面高反射鏡を概略
的に示す。本表面高反射鏡は、3層構造であり、各層は
真空蒸着法、スパッタリング等により形成されている。
本実施例では、ポリカーボネート、ポリエステル、アク
リル樹脂等のプラスチックで形成された基板la上に表
面高反射鏡が形成される場合を示すが、ガラス基板上に
も形成し得ることは勿論である。
基板la上に硫化クロムからなる下地層2aが形成され
、硫化クロム下地層2a上に銀からなる反射層3aが形
成され、さらに反射層3a上に保護層4aが形成されて
いる。
硫化クロム下地層2aは、上記プラスチック材料からな
る基板1aとの付着性が高い硫化クロムにより形成する
。硫化クロム下地層2aの厚さは10nm以上であり、
特に15〜50nmであるのが好ましい。硫化クロム下
地層2aの膜厚がlQnm未満であると、十分な付着力
が得られない。
硫化クロム下地層2a上に形成された銀からなる反射層
3aは、45nm以上の膜厚を有するのが好ましく、特
に100〜20Or+mとするのが好ましい。膜厚が4
5nm未満であると、完全な反射とならず、ハーフミラ
−化するので、好ましくない。
最後に、反射層3a上に形成した保護層4aは、酸化ア
ルミニウムにより形成するのが好ましく、また膜厚は2
0nm以上、特に20〜1100nであるのが好 − 6 ましい。膜厚が20nm未満であると、反射層3aの保
護作用が充分でない。
第2図は、本発明の別の実施例による表面高反射鏡を概
略的に示す。この実施例では、保護層4bは酸化アルミ
ニウム層と透明材料からなる層との多層膜からなるが、
その他の層(下地層2h及び反射層3b)については、
第1図の実施例と同じである。
透明材料としては、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、
酸化チタン、酸化セリウム、酸化ニオブ、二酸化ケイ素
、フッ化マグネシウム等の誘電体があげられ、その膜厚
は20nm以上、特に20〜1100nであるのが好ま
しい。
酸化アルミニウム層と透明材料からなる層とは一層ずつ
でもよいが、交互に積層させてもよい。
積層の場合、各層は2〜5層程度とするのがよい。
本発明を以下の実施例によりさらに詳細に説明する。
実施例1 第1図に示す構成の表面高反射鏡を作成するために、ま
ずポリカーボネートからなる基板la上に、硫化クロム
からなる層を真空蒸着法により膜厚15nmに形成し、
硫化クロム下地層2aとした。この硫化クロム下地層2
a上に反射材料として膜厚1100nの銀からなる反射
層3aを真空蒸着法により形成した。さらに反射層3a
上に膜厚1100nの酸化アルミニウムからなる保護層
4cを真空蒸着法により形成し、表面高反射鏡を形成し
た。
この表面高反射鏡を、温度40℃、湿度95%R11の
恒温室に放置し、216時間経過するまで24時間毎に
セロハンテープによる剥離試験を行い、耐湿性試験を行
った。なお実際の使用を考慮すると、剥離するまでの時
間は200時間以上が望ましい。結果を第2表に示す。
また実施例1については、上記耐湿性試験前後で45°
の入射光に対する分光反射率を測定した。
結果を第5図に示す。この結果によれば、耐湿性試験の
前後で45°入射光の分光反射率はほとんど変化せず、
また耐湿性試験後においても、波長が430〜700 
nmの可視域では、97%以上の高反射率が得られた。
実施例2 第2図に示す構成の表面高反射鏡を作成するために、保
護層4bとして酸化アルミニウム層を含む透明材料の多
層膜を形成し、それ以外は実施例1と同じ条件で表面高
反射鏡を形成した。なお、保護N4bは厚さ65nmの
酸化アルミニウム層と、厚さ55nmの酸化ジルコニウ
ムからなる誘電体層との2層からなる。実施例)と同様
に試験した結果、膜付着性、耐湿性については、実施例
1と同様であった。
比較例1〜2 硫化クロム下地層2aを硫化クロムではなく、硫化亜鉛
(比較例1)及び硫化アンチモン(比較例2)により形
成し、それ以外は実施例1と同じ条件で表面高反射鏡を
形成し、実施例1と同じ耐湿性試験を行った。結果を第
1表に示す。
比較例3 第3図に示すような4層構造からなる表面高反射鏡を作
成するために、ポリカーボネートからなる基板le上に
膜厚30nmの酸化アルミニウムからなる下地層2eを
真空蒸着法により形成し、この下地層2e上に膜厚11
00nの銀からなる反射層3eを真空蒸着法により形成
し、さらに反射層3e上に保護層として、膜厚30nm
の酸化アルミニウム層4eと、膜厚150nmの二酸化
ケイ素層5eとを、真空蒸着法により順次形成した。得
られた表面高反射鏡に対して、実施例1と同じ耐湿性試
験を行った。結果を第1表に示す。
比較例4 第4図において、ポリカーボネートで形成された基板l
f上に、銅を真空蒸着法により膜厚40nmに形成し、
下地層2fとした。この下地層2f上に反射材料として
膜厚1100nの銀からなる反射層3fを真空蒸着法に
より形成し、さらに反射層3f上に保護層として、膜厚
60nmの酸化アルミニウム層4fと、膜厚75nmの
酸化タンタル層5fと、膜厚75nn+の二酸化ケイ素
層6fと、膜厚75nmの酸化タンタル層7fとを、真
空蒸着法により順次形成した。得られた表面高反射鏡に
対して、実施例1と同じ耐湿性試験 9 −10− を行った。結果を第1表に示す。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、本発明の表面高反射鏡においては
、基板と銀からなる反射層との間に硫化クロム下地層を
形成している。従って基板がポリカーボネート、ポリエ
ステル、アクリル樹脂等のプラスチックで形成されてい
る場合においても、基板と反射層との間の付着力が強化
されているため、膜付着性、耐湿性等に優れている。
以上においてプラスチック基板に反射鏡を形成する場合
について説明したが、本発明はこれに限定されず、ガラ
ス基板に形成した場合にも良好な効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による表面高反射鏡を示す断
面図であり、 第2図は本発明の別の一実施例による表面高反射鏡を示
す断面図であり、 第3図は従来の表面高反射鏡の一例を示す断面図であり
、 第4図は従来の表面高反射鏡の別の例を示す断面図であ
り、 第5図は本発明の一実施例による表面高反射鏡の216
時間耐湿性試験前後での45°入射光の分光反射率を示
すグラフである。 Ia、ib、le、if −・基板 2a、 2b  ・・・・・硫化クロム下地層2e・・
・・・・・酸化アルミニウム下地層2f・・・・・・・
銅下地層 3a、3b、3e、3f ・・反射層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面高反射鏡において、 (a)基板表面上に形成された硫化クロムからなる下地
    層と、 (b)前記硫化クロム下地層上に形成された銀からなる
    反射層と、 (c)前記反射層上に形成された保護層とを有すること
    を特徴とする表面高反射鏡。
  2. (2)請求項1に記載の表面高反射鏡において、前記硫
    化クロム下地層が膜厚10nm以上であることを特徴と
    する表面高反射鏡。
JP3581090A 1990-02-16 1990-02-16 表面高反射鏡 Granted JPH03239202A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3581090A JPH03239202A (ja) 1990-02-16 1990-02-16 表面高反射鏡
US07/654,422 US5216551A (en) 1990-02-16 1991-02-12 Surface reflector
GB9103162A GB2241709B (en) 1990-02-16 1991-02-14 Surface reflector
DE4104735A DE4104735C2 (de) 1990-02-16 1991-02-15 Flächenreflektor
FR919101845A FR2658618B1 (fr) 1990-02-16 1991-02-15 Reflecteur multicouche pour dispositif optique.
FR9215033A FR2684769B1 (fr) 1990-02-16 1992-12-14 Reflecteur multicouche pour dispositif optique.

Applications Claiming Priority (1)

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JP3581090A JPH03239202A (ja) 1990-02-16 1990-02-16 表面高反射鏡

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JPH03239202A true JPH03239202A (ja) 1991-10-24
JPH052961B2 JPH052961B2 (ja) 1993-01-13

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006303478A (ja) * 2005-03-24 2006-11-02 Toray Ind Inc Led用反射体
CN116917776A (zh) * 2021-02-22 2023-10-20 环球城市电影有限责任公司 反射镜楔错觉系统和方法
JP2024508398A (ja) * 2021-02-22 2024-02-27 ユニバーサル シティ スタジオズ リミテッド ライアビリティ カンパニー ミラーウェッジイリュージョンシステム及び方法

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JP2024508398A (ja) * 2021-02-22 2024-02-27 ユニバーサル シティ スタジオズ リミテッド ライアビリティ カンパニー ミラーウェッジイリュージョンシステム及び方法

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