JPH0323933U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0323933U JPH0323933U JP8463189U JP8463189U JPH0323933U JP H0323933 U JPH0323933 U JP H0323933U JP 8463189 U JP8463189 U JP 8463189U JP 8463189 U JP8463189 U JP 8463189U JP H0323933 U JPH0323933 U JP H0323933U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main body
- cover
- chuck
- top plate
- top surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
第１図はこの考案に係るウエーハ吸着チヤツク
の一実施例を示す概略縦断面図、第２図は従来の
ウエーハ吸着チヤツクを示す概略縦断面図である
。 ２……チヤツク本体、３……パツド、４……吸
気孔、５……半導体ウエーハ、７……カバー、８
……カバー本体、９……クツシヨン、１０……ア
ーム、１２……ストツパー。
の一実施例を示す概略縦断面図、第２図は従来の
ウエーハ吸着チヤツクを示す概略縦断面図である
。 ２……チヤツク本体、３……パツド、４……吸
気孔、５……半導体ウエーハ、７……カバー、８
……カバー本体、９……クツシヨン、１０……ア
ーム、１２……ストツパー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面から負圧吸引手段に向つて延び少くとも上
面側で多数の吸気孔を穿設したチヤツク本体と、 天板を有する円筒状カバー本体の前記天板内面
に軟質素材からなる環状クツシヨンを装着したカ
バーとを具備し、 上記チヤツク本体の上方に上記カバーを移行可
能の配設したことを特徴とするウエーハ吸着チヤ
ツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8463189U JPH0323933U (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8463189U JPH0323933U (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0323933U true JPH0323933U (ja) | 1991-03-12 |
Family
ID=31633236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8463189U Pending JPH0323933U (ja) | 1989-07-18 | 1989-07-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0323933U (ja) |
-
1989
- 1989-07-18 JP JP8463189U patent/JPH0323933U/ja active Pending