JPH0324241U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0324241U JPH0324241U JP8431089U JP8431089U JPH0324241U JP H0324241 U JPH0324241 U JP H0324241U JP 8431089 U JP8431089 U JP 8431089U JP 8431089 U JP8431089 U JP 8431089U JP H0324241 U JPH0324241 U JP H0324241U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- plasma generation
- generation container
- protective cover
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のイオン源の基本
的な構成を示す断面図、第２図はその電気的構成
を示す回路図、第３図および第４図は従来技術を
それぞれ示す断面図である。 １……プラズマ生成容器、２……フイラメント
、７……電流導入端子、２０……防護カバー、２
１……冷却フアン、４１……フイラメント電源。
的な構成を示す断面図、第２図はその電気的構成
を示す回路図、第３図および第４図は従来技術を
それぞれ示す断面図である。 １……プラズマ生成容器、２……フイラメント
、７……電流導入端子、２０……防護カバー、２
１……冷却フアン、４１……フイラメント電源。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 フイラメント電源からの電圧を電流導入端子を
介してプラズマ生成容器内に配置したフイラメン
トに印加し、このフイラメントからの熱電子の供
給により前記プラズマ生成容器内でプラズマを生
成させるようにしたイオン源において、 前記プラズマ生成容器の外周を覆う防護カバー
と、 この防護カバーに取り付けられ、前記フイラメ
ント電源からの電圧により駆動されて、前記電流
導入端子に向けて送風する冷却フアンとを備えた
ことを特徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8431089U JPH0324241U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8431089U JPH0324241U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0324241U true JPH0324241U (ja) | 1991-03-13 |
Family
ID=31632692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8431089U Pending JPH0324241U (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0324241U (ja) |
-
1989
- 1989-07-17 JP JP8431089U patent/JPH0324241U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5445707A (en) | Dc electric machine | |
| US6895686B1 (en) | Hairdryer including a ionizing device | |
| JPH0435392U (ja) | ||
| JPH0395835U (ja) | ||
| JPS6179641U (ja) | ||
| JPH0453260U (ja) | ||
| JPH01146766U (ja) | ||
| JPS61139562U (ja) | ||
| JPH0188100U (ja) | ||
| JPS63130154U (ja) | ||
| JPH0371671U (ja) | ||
| JPH0449448U (ja) | ||
| JPS6148695U (ja) | ||
| JPH01162762U (ja) | ||
| JPH0282870U (ja) | ||
| JPS6319745U (ja) | ||
| JPH0299929U (ja) | ||
| JPH01107442U (ja) | ||
| JPS6230851U (ja) | ||
| JPH033107U (ja) | ||
| JPH02137000U (ja) | ||
| JPS61104763U (ja) | ||
| JPH02110166U (ja) | ||
| JPS62180815U (ja) | ||
| JPH0282871U (ja) |