JPH03244121A - 縦型半導体製造装置 - Google Patents

縦型半導体製造装置

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JPH03244121A
JPH03244121A JP4217990A JP4217990A JPH03244121A JP H03244121 A JPH03244121 A JP H03244121A JP 4217990 A JP4217990 A JP 4217990A JP 4217990 A JP4217990 A JP 4217990A JP H03244121 A JPH03244121 A JP H03244121A
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JP
Japan
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cassette
cassettes
rack
transfer
buffer
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JP4217990A
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Hideki Koike
秀樹 小池
Riichi Kano
狩野　利一
Makoto Ozawa
誠 小沢
Fumihide Ikeda
文秀 池田
Shoichiro Izumi
泉　昭一郎
Toru Yoshida
徹 吉田
Ryoji Saito
良二 斉藤
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Kokusai Denki Electric Inc
Original Assignee
Kokusai Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製造装置における縦型炉に係り、特に縦
型炉と外部のカセット搬送ロボットとの間で行われるカ
セットの搬送を効率よく行うことができる縦型炉に関す
る。
〔従来技術とその課題〕
従来の縦型炉では、１つの炉体内に１バッチ分のカセッ
トしか収容できないカセット棚が設けられている構造で
あるため、カセット内のウェハの処理終了後炉体外部へ
カセットを搬出し、その後次のロフト分のカセットを炉
体外部から炉体内のカセット棚へ搬入する必要がある。
近年ファクトリオートメーション化により、カセット棚
へのカセットの搬入、搬出はカセット搬送ロボット等に
より行われているが、カセット搬送ロボット等によりカ
セットの搬送速度に制限があるため、多くの半導体製造
装置のあるクリーンルームで効率良く装置を稼働させる
には、多くのカセット搬送ロボットが必要であるととも
に、装置外に設けられカセットを収納するカセットスト
ッカの台数が多くなりあるいはカセットストッカの容量
が大きくなるという課題がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明縦型炉は上記の課題を解決するため、図示のよう
に炉体ｌ内にウェハ搬送用のカセットを収納する移動カ
セット棚３と一時的に次のバッチ分等のカセットを収納
するバッファカセット棚２と、炉体外部及び前記２つの
棚２．３の間でカセット搬送を行うカセット搬送機構４
を設けてなる構成としたものである。
〔作　用〕
本発明縦型炉はこのような構成であるから、移動カセッ
ト棚３側のカセット内のウェハを処理している間に、カ
セット搬送機構４により次バッチのカセットをバッファ
カセット棚２内の一部に収納しておく。処理終了時には
処理済みウェハの入ったカセットをバッファカセット棚
２内の他の部分に搬送し、次バッチ用カセットをバッフ
ァカセット棚２内より移動カセット棚３内に搬送後、ウ
ェハの処理を行う。この間にカセットの回収、供給をカ
セット搬送機構４により行うことで、装置のウェハカセ
ットの回収、供給待ちをなくすことができる。
〔実施例〕
以下図面により本発明の詳細な説明する。
図面は本発明縦型炉の一実施例の構成を示す説明用斜視
図で、この実施例は炉体ｌ内にウェハ搬送用のカセット
を左右方向に移動可能な移動カセット棚３と、一時的に
次のバッチ分等のカセットを収納する固定されたバッフ
ァカセット棚２と、炉体外部及び前記２つの棚２．３の
間でカセット搬送を行うカセット搬送ロボット４を設け
てなる。
本実施例は上記のような構成であるから、移動カセット
棚３側のカセット内のウェハを処理している間に、カセ
ット搬送ロボット４により次バッチのカセットをバッフ
ァカセット棚２内の一部に収納しておく。処理終了時に
は処理済みウェハの入ったカセットをバッファカセット
棚２内の他の部分に搬送し、次バッチ用カセットをバッ
ファカセット棚２内より移動カセット棚３内に搬送後、
ウェハの処理を行う。この間にカセットの回収供給をカ
セット搬送ロボット４により行うことで、装置のウェハ
カセットの回収、供給待ちをなくすことができる。
〔発明の効果〕
上述のように本発明によれば、炉体１内にウェハ搬送用
のカセットを収納する移動カセット棚３と一時的に次の
バッチ分等のカセットを収納するバッファカセット棚２
と、炉体外部及び前記２つの棚２，３の間でカセット搬
送を行うカセット搬送機構４を設けてなる構成としたの
で、外部のカセット搬送ロボットの台数を増大すること
なく、装置のカセット回収、供給待ちによる休止時間を
なくすことが可能となり、装置の稼働率を向上すること
ができる。
またカセット搬送機構４の台数及び装置外に設置すべき
カセットストッカの台数あるいはその容量が少なくて済
むので、それだけコストを低減でき、運用上のソフトウ
ェアの開発も容易となり、ファクトリオートメーション
化を容易に遠戚することができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明縦型炉の一実施例の構成を示す説明用斜視
図である。 １・・・・・・炉体、２・・・・・・バッファカセット
棚、３・・・・・・移動カセット棚、４・・・・・・カ
セット搬送機構（ロボット）。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 炉体（１）内にウェハ搬送用のカセットを収納する移動
    カセット棚（３）と一時的に次のバッチ分等のカセット
    を収納するバッファカセット棚（２）と、炉体外部及び
    前記２つの棚（２、３）の間でカセット搬送を行うカセ
    ット搬送機構（４）を設けてなる縦型炉。
JP2042179A 1990-02-21 1990-02-21 縦型半導体製造装置 Expired - Lifetime JPH0797564B2 (ja)

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