JPH0448436A - ディスクのスピン乾燥方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野１ 本発明は、磁気ディスク等のディスクを洗浄した後にお
いて、高速スピン乾燥するためのディスクのスピン乾燥
方式に関するものである。 ［従来の技術１ 磁気ディスクの製造工程において、磁気記録膜を形成す
る前及び形成後に、その表面に付着している塵埃や汚れ
等をクリーニングするために洗浄される。ここで、ディ
スクの洗浄は、洗浄液を用いたブラシ洗浄、高周波洗浄
等により行われるが、このディスクの洗浄を行った後に
おいては、該ディスクを乾燥させなければならない、こ
のディスクの乾燥は、例えば温水を用いる方式、ベーパ
乾燥式、窒素ガスを吹き付ける方式、スピン乾燥方式等
積々の方式が提案されているが、このうち、スピン乾燥
方式は、簡単な設備でディスクを乾燥させることができ
るので、最も広く用いられている。 而して、このスピン乾燥を行うには、洗浄後のディスク
をスピンドルに設けたチャック部材でチャックさせて、
該スピンドルを高速で回転させることによって、ディス
ク表面に付着する洗浄液を遠心力の作用で外周エツジ部
分から飛散させるものである。そして、このディスクの
スピン乾燥の際においては、チャック部材は、通常、デ
ィスクの内周部をチャックするようにしている。

【発明が解決しようとする課題１ ところで、前述したように、ディスクの内周部をチャッ
クさせた状態でスピン乾燥を行った場合には、肉眼では
殆ど認識することが出来ない程度ではあるが、ディスク
の表面には僅かではあるがじみが発生する。このじみの
発生原因としては、ディスクは、洗浄後においては、そ
の表面だけでなく、内縁部にも洗浄液が付着しており、
従って、この内縁部にチャック部材を当接させてディス
クの回転を行わせると、このチャック部材の当接部に液
が滞留することになり、この液がディスクが高速回転状
態から停止するまでの低速状態となったときに、既に乾
燥したディスクの表面に移行して、該ディスクが部分的
に汚損されることに起因するものである。 而して、近年においては、磁気ディスクの記録密度が飛
躍的に向上されるようになってきており、このためにデ
ィスクの表面が完全に均一な状態となっていないと、情
報の書き込み及び読み出しに支障を来たすおそれがある
。従って、前述したようなじみがディスクの表面に発生
していると、このしみがたとえ僅かなものであったとし
ても、製品としてのディスクの品質に悪影響を与えるこ
とになる。 本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、ディスクの高速スピン乾燥時にお
いて、その表面にじみが発生しないようにむらなく完全
に乾燥することができるようにしたディスクのスピン乾
燥方式を提供することにある。 【課題を解決するための手段】 前述した目的を達成するために、本発明は、ディスクを
スピン乾燥用チャック手段への受け渡し前の段階で、こ
のディスクの外周をチャックして回転させながら、その
内周部に向けてガス噴出ノズルを対向配設し、ディスク
またはノズルを回転させながら、該ノズルからガスを吹
き付けて予めディスク内周から洗浄液を除去するように
したことをその特徴とするものである。

【作用】

スピン乾燥用チャック手段によりディスクの内周をチャ
ックさせる前に予めこのディスクの内縁部の洗浄液を除
去し、内周部を予備的に乾燥させた後に、スピン乾燥用
チャック手段をディスクの内周部に当接させて、高速ス
ピン乾燥を行わせることによって、このチャック手段と
ディスクの内縁部との間に洗浄液が残存するのを防止す
ることができ、ディスクをスピン乾燥させた後に洗浄液
がディスク表面に浸み出すおそれはない。 ここで、ディスクの外周をチャックして回転させながら
行う予備乾燥は、必ずしも該ディスクの内周縁部におけ
る完全な乾燥を目的とするものではなく、スピン乾燥時
にチャック部材とディスクとの間に洗浄液の溜りが出来
ないようにすればよいものであるから、僅かな時間ガス
を吹き付けるだけでも大きな効果を発揮する。そして、
ディスク全体の乾燥は、スピン乾燥用チャック手段にチ
ャックさせた状態で、このディスクを高速回転させるこ
とによって行われる。 而して−、ディスクの洗浄後には、この洗浄工程から乾
燥工程に移載して行われるものであって、スピン乾燥用
チャック手段に移載するために、通常は、該ディスクの
外周をチャックする移載用チャック手段によってディス
クの受け渡しが行われる。そこで、この移載用チャック
手段にディスク回転機構を付設し、該移載用チャック手
段でディスクをチャックして、受け渡しを行う寸前でこ
のディスクを回転させながらガスの吹き付け、その後直
ちにスピン乾燥を行うようにすれば、内周縁部の液の除
去とスピン乾燥とをほぼ連続的に行うことができて、よ
り完全でむらのない乾燥が可能となる。 ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。 第１図にディスクＤの内周縁部の予備乾燥を行うための
装置、第２図は高速スピン乾燥を行うための装置の概略
構成を示す。 まず、第１図において、１はディスクＤを洗浄工程から
受け取って、乾燥工程に受け渡すための移載用チャック
手段を示し、該移載用チャック手段１は、相互に近接中
離間する方向に変位可能な２木のアーム２．２を有し、
該各アームにはそれぞれ上下一対のチャック駒３．３が
装着されている。このチャック駒３はディスクＤの外周
に当接してそのチャックを行うものであって、該各チャ
ー、り駒３はアーム２に対して回転自在となっている。 従って、アーム２，２を離間させた状態で、ディスクＤ
に対面させて、相互に近接する方向に変位させることに
よって、該ディスクＤをチャックすることができるよう
になっている。 また、４は駆動ローラを示し、該駆動ローラ４はモータ
５の回転軸５ａに装着されている。そして、この駆動ロ
ーラ４もディスクＤの外周に接離可能となっており、移
載用チャック手段１におけるチャック駒３でディスクＤ
をチャックさせた状態で、この駆動ローラ４を該ディス
クＤの外周に当接させて回転させると、該ディスクＤが
これに追従して回転せしめられることになる。而して、
これら移載用チャック手段ｌ及び駆動ローラ４の回転駆
動用モータ５はロボット等の移載機構に装着されており
、この移載機構によって洗浄後のディスクＤを洗浄工程
から取り出して、乾燥工程に移載することができる構成
となっている。 次に、乾燥工程には、第２図に示したように。 スピンドル１０が設けられており、該スピンドル１０に
はスピン乾燥用チャック手段を構成する３個のチャック
部片１１が装着されている。チャック部片１１はディス
クＤの内周に当接させることによって、該ディスクＤを
チャックさせた状態で、スピンドル１０を回転駆動する
ことによりディスクＤの高速スピン乾燥を行わせること
ができる。 このように、スピンドルｌＯによってディスクＤの高速
スピン乾燥を行う前の段階で、チャラック部片１１が当
接するディスク内周部を予備乾燥させるために、窒素ガ
ス噴出ノズル６が用いられる。 この窒素ガス噴出ノズル６は、ディスクＤが移載用チャ
ック手段ｌからスピンドルＩＯのチャック部片１１への
受け渡し位置において、該ディスクＤの内周に対面する
ように配設されて、ディスクＤをスピンドル１０側に受
け渡す前の段階で、該ディスクＤの内面に付着する洗浄
液を除去させることができるようになっている。 前述した構成を有する装置を用いて、ディスクＤのスピ
ン乾燥が行われるが、次にその乾燥を行う方法について
説明する。 まず、ディスクＤが洗浄されて、その表面には洗浄液が
付着した状態のまま、移載用チャック手段１におけるチ
ャック駒３によりその外周部をチャックさせて、乾燥工
程に搬入される。そして、該ディスクＤがスピンドル１
０のチャック部片１１により受け取られる前の段階で、
第３図に示したように、窒素ガス噴出ノズル６がディス
クＤの内周に対面せしめられる。 そこで、モータ５を作動させて、駆動ローラ４を回転駆
動することによって、ディスクＤを回転させると共に、
窒素ガス噴出ノズルｅから窒素ガスを噴出させる。これ
によって、ディスクＤの内周部に滞留する洗浄液の液滴
Ｗが除去される。ここで、窒素ガス噴出ノズル６によっ
ては、ディスクＤを完全に乾燥させるものではなく、あ
くまでも内縁部に付着している洗浄液が液滴となって滞
留するのを防止するためのものであり、従って、極く短
時間だけ窒素ガスを噴出させるようにする。 このようにしてディスクＤの内周部に液滴状態となって
滞留するのを防止するための予備乾燥処理を行った後に
おいても、該ディスクＤの表面及び内外縁部には薄い液
膜が残存している。そこで、この窒素ガスの吹き付けを
行った直後に、移載用チャック手段１からスピンドル１
０にディスクＤの移載を行う、また、このときには窒素
ガス噴出ノズル６はディスクＤから離間させる。 この状態で、スピンドル１ｏを高速で回転させることに
よって、ディスクＤの表面に付着している洗浄液を遠心
力の作用によってその外周縁部から飛散させることによ
って、その表裏両面及び内外縁部のスピン乾燥を行う。 而して、チャック部片１１とディスクＤの内縁部との間
に洗浄液が液滴状態となったまま滞留することがないの
で、前述したスピン乾燥が終了して、スピンドルを高速
回転状態から減速して停止させるまでの間に、内縁部か
ら液が流れ出して、既に乾燥させたディスクＤの表面が
再汚損されるおそれはなく、従って、該ディスクＤの表
面にしみ等を発生することなく完全に乾燥させることが
できるようになる。 なお、前述した実施例においては、予備乾燥を行う際に
は、駆動ローラ４によってディスクＤを回転駆動するよ
うに構成したものを示したが、該ディスクＤは固定して
おき、窒素ガス噴出ノズル６を回転させるようにしても
よい、また、ディスクＤに向けて吹き付けるガスは窒素
ガスだけでなく、例えばクリーンエア等であってもよく
、また必要に応じてこのガスを加熱するようにしてもよ
い。 【発明の効果１ 以上説明したように、本発明には、洗浄後のディスクの
外周をチャックさせて回転させる間に。 該ディスクの内周に向けてガスを吹き付けて、予めその
内周部に洗浄液が液滴状態として滞留するのを防止した
後に該ディスクの内径をチャックさせて高速で回転させ
ることにより、このディスクの高速スピン乾燥を行うよ
うにしたので、該ディスクの表面にしみ等を生じさせる
ことなく、極めて円滑かつ効率的に、しかもむらなく乾
燥させることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すものであって、第１図は
ディスクＤの内周縁部の予備乾燥を行うための装置構成
説明図、第２図は高速スピン乾燥を行うための装置構成
説明図、第３図は予備乾燥の作用説明図である。 １　：移載用チャック手段、２：アーム、３　：チャッ
ク駒、４　：駆動ローラ、５：モータ、６　：窒素ガス
噴出ノズル、１０ニスピンドル、１１：チャック部片、
Ｄ：ディスク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気ディスク等のディスクを洗浄した後に、該ディスク
   の外周をチャックするディスク移載手段から、スピン乾
   燥用チャック手段に受け渡して、該スピン乾燥用チャッ
   ク手段によりディスクの内周をチャックして高速回転さ
   せて、そのスピン乾燥を行うものであって、前記スピン
   乾燥用チャック手段への受け渡し前の段階で、前記ディ
   スクの外周をチャックさせて、その内周部に向けてガス
   噴出ノズルを対向配設し、ディスクまたはノズルを回転
   させながら、該ノズルからガスを吹き付けてディスク内
   周から洗浄液を予め除去することを特徴とするディスク
   のスピン乾燥方式。