JPH03249173A - アルミニウム蒸発用るつぼ - Google Patents
アルミニウム蒸発用るつぼInfo
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- JPH03249173A JPH03249173A JP4445190A JP4445190A JPH03249173A JP H03249173 A JPH03249173 A JP H03249173A JP 4445190 A JP4445190 A JP 4445190A JP 4445190 A JP4445190 A JP 4445190A JP H03249173 A JPH03249173 A JP H03249173A
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- crucible
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はアルミニウム蒸発用るつぼに関し、さらに詳し
くは食品梱包用プラスチック製フィルム、建材、家電用
薄鋼板等の表面にアルミニウム薄膜を蒸着するために必
要なアルミニウムを収容して溶融蒸発させる長寿命化を
図った黒鉛るつぼに関する。
くは食品梱包用プラスチック製フィルム、建材、家電用
薄鋼板等の表面にアルミニウム薄膜を蒸着するために必
要なアルミニウムを収容して溶融蒸発させる長寿命化を
図った黒鉛るつぼに関する。
従来より、アルミニウムの真空蒸着は一般に黒鉛るつぼ
を用いこの中にアルミニウムを収容し真空度１０−’〜
１０−’Ｔｏｒｒ、蒸発温度１４００〜１５００℃で行
われており、この条件下においては溶融状態のアルミニ
ウムは極めて大きな流動性があり、黒鉛るつぼに無数に
存在する微細な気孔や隙間に浸透し、るつぼを破壊する
現象があるので黒鉛るつぼは実用上使用することができ
ない。
を用いこの中にアルミニウムを収容し真空度１０−’〜
１０−’Ｔｏｒｒ、蒸発温度１４００〜１５００℃で行
われており、この条件下においては溶融状態のアルミニ
ウムは極めて大きな流動性があり、黒鉛るつぼに無数に
存在する微細な気孔や隙間に浸透し、るつぼを破壊する
現象があるので黒鉛るつぼは実用上使用することができ
ない。
そこで、黒鉛製るつぼの長寿命化を図るものとして、黒
鉛に存在する無数の気孔や隙間にアルミナ及び炭素を含
浸処理した改良黒鉛るつぼが提案されている（特開昭６
１−７６６６３号公報）。また、炭化残量が多いフェノ
ール樹脂、フラン樹脂、タールピッチ等を熱処理して熱
分解黒鉛のガラス質としたるつぼが市販されている。
鉛に存在する無数の気孔や隙間にアルミナ及び炭素を含
浸処理した改良黒鉛るつぼが提案されている（特開昭６
１−７６６６３号公報）。また、炭化残量が多いフェノ
ール樹脂、フラン樹脂、タールピッチ等を熱処理して熱
分解黒鉛のガラス質としたるつぼが市販されている。
しかしながら、前記アルミナ、炭素を含浸させた黒鉛る
つぼは、破壊が少なくなって無処理の黒鉛るつぼよりそ
の寿命は相当延びるが、アルミナ、炭素の含浸層が浅く
、気孔や隙間の密封が不充分であり、比較的短時間で破
壊し、長時間連続操業用の大規模真空蒸着装置には不向
きで期待できない。
つぼは、破壊が少なくなって無処理の黒鉛るつぼよりそ
の寿命は相当延びるが、アルミナ、炭素の含浸層が浅く
、気孔や隙間の密封が不充分であり、比較的短時間で破
壊し、長時間連続操業用の大規模真空蒸着装置には不向
きで期待できない。
一方、黒鉛のガラス質としたるつぼは、上記のような現
象の破壊はないが、樹脂、タールピッチ等液状有機材料
を熱処理して固体化するため現状では薄肉の小物しか製
造できず、アルミニウムを溶融後凝固させるとアルミニ
ウムの熱収縮で破壊し薄肉のために強度的に問題があり
、大規模真空蒸着装置用の大形るつぼの製造ができない
という問題があった。
象の破壊はないが、樹脂、タールピッチ等液状有機材料
を熱処理して固体化するため現状では薄肉の小物しか製
造できず、アルミニウムを溶融後凝固させるとアルミニ
ウムの熱収縮で破壊し薄肉のために強度的に問題があり
、大規模真空蒸着装置用の大形るつぼの製造ができない
という問題があった。
本発明はこのような事情に鑑み、黒鉛るつぼの高寿命化
が図られ、るつぼの大形化も可能なアルミニウム蒸発用
るつぼを提供しようとするものである。
が図られ、るつぼの大形化も可能なアルミニウム蒸発用
るつぼを提供しようとするものである。
本発明は黒鉛るつぼの表面に、ＴｉＣ又はＺｒＣを含有
したガラス賀状の炭素層を形成させてなることを特徴と
するアルミニウム蒸発用るつぼである。
したガラス賀状の炭素層を形成させてなることを特徴と
するアルミニウム蒸発用るつぼである。
本発明のアルミニウム蒸発用るつぼは黒鉛るつぼの表面
に、炭素残量の多いフェノール樹脂、フラン樹脂、ター
ルピッチのような有機材料液体にＴｉ、 Ｚｒ粉末また
はＴｉＣ，２ｒＣ粉末を添加して塗布または含浸させさ
らに２０００℃〜３０００℃に無酸炉中で熱処理し上記
塗布、含浸物を緻密なガラス質層にして付着形成させ、
このような工程を繰返し、層を厚くすることによって得
られる。
に、炭素残量の多いフェノール樹脂、フラン樹脂、ター
ルピッチのような有機材料液体にＴｉ、 Ｚｒ粉末また
はＴｉＣ，２ｒＣ粉末を添加して塗布または含浸させさ
らに２０００℃〜３０００℃に無酸炉中で熱処理し上記
塗布、含浸物を緻密なガラス質層にして付着形成させ、
このような工程を繰返し、層を厚くすることによって得
られる。
本発明の前記ガラス質層は気孔、隙間がなく緻密であり
、溶融アルミニウムの浸透を阻止する。
、溶融アルミニウムの浸透を阻止する。
熱処理に際してＴｉ、 Ｚｒ粉末は有機材料と結合して
ＴｉＣ，ＺｒＣのように炭化物となり、この炭化物は溶
融アルミニウムによって浸食され難い。
ＴｉＣ，ＺｒＣのように炭化物となり、この炭化物は溶
融アルミニウムによって浸食され難い。
また、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末を添加したものは熱処理
に際して、それ以上の炭化の進展はないが、上記同様溶
融アルミニウムの浸食を防止する作用がある。るつぼの
構造としては黒鉛部の肉厚を厚くして強度をもたせ、こ
の表面に上記ガラス質を形成させるため強度的破壊の間
頚は防止可能であり、るつぼの大形化が達成できる。
に際して、それ以上の炭化の進展はないが、上記同様溶
融アルミニウムの浸食を防止する作用がある。るつぼの
構造としては黒鉛部の肉厚を厚くして強度をもたせ、こ
の表面に上記ガラス質を形成させるため強度的破壊の間
頚は防止可能であり、るつぼの大形化が達成できる。
本発明のるつぼを評価するため以下のような方法を実施
した。
した。
黒鉛るつぼにアルミニウムを収容して２Ｘ １０−’Ｔ
ｏｒｒの真空中で１４５０℃に加熱保持し、アルミニウ
ムを３０分間蒸発させ、その後、常温まで冷却して大気
中に取り出し、るつぼの異常を観察した。異常が認めら
れないるつぼはアルミニウムの蒸発域量分のアルミニウ
ムを新たに加えて上記の操作を異常が認められるまで行
った。
ｏｒｒの真空中で１４５０℃に加熱保持し、アルミニウ
ムを３０分間蒸発させ、その後、常温まで冷却して大気
中に取り出し、るつぼの異常を観察した。異常が認めら
れないるつぼはアルミニウムの蒸発域量分のアルミニウ
ムを新たに加えて上記の操作を異常が認められるまで行
った。
なお比較のためアルミナ、炭素の含浸処理を施した市販
の黒鉛るつぼおよび黒鉛をガラス質にした市販るつぼに
ついても同様な評価を行い、これらを第１表に併せて示
す。
の黒鉛るつぼおよび黒鉛をガラス質にした市販るつぼに
ついても同様な評価を行い、これらを第１表に併せて示
す。
本発明の黒鉛るつぼは、フラン樹脂に容積百分率で３％
の割合でＴｉ、 Ｚｒ粉末またはＴｉＣ，ＺｒＣの粉末
を添加したスラリー状樹脂をるつぼ表面に塗布し２００
０℃まで無酸化炉で徐々に加熱しフラン樹脂の炭化とガ
ラス質化、さらにＴｉ、Ｚｒ粉末の場合はこれらの炭化
物を行い約５時間保持後冷却し、厚み０．３＋ｎｍのガ
ラス質層を黒鉛るつぼの表面に形成させたものを使用し
た。
の割合でＴｉ、 Ｚｒ粉末またはＴｉＣ，ＺｒＣの粉末
を添加したスラリー状樹脂をるつぼ表面に塗布し２００
０℃まで無酸化炉で徐々に加熱しフラン樹脂の炭化とガ
ラス質化、さらにＴｉ、Ｚｒ粉末の場合はこれらの炭化
物を行い約５時間保持後冷却し、厚み０．３＋ｎｍのガ
ラス質層を黒鉛るつぼの表面に形成させたものを使用し
た。
第１表の通り本発明の実施例は比較例より寿命回数が大
きく延びている。これは緻密な黒鉛のガラス質と溶融ア
ルミニウムに浸食され難いＴｉＣ，ＺｒＣが含有されて
いる効果である。比較例１は溶融アルミニウムの浸透に
よる割れが発生し破壊していた。比較例２はアルミニウ
ムの凝固後に発生する熱収縮による張力が３１１１ｆｆ
ｌの肉厚のるつぼに細い割れが発生していた。
きく延びている。これは緻密な黒鉛のガラス質と溶融ア
ルミニウムに浸食され難いＴｉＣ，ＺｒＣが含有されて
いる効果である。比較例１は溶融アルミニウムの浸透に
よる割れが発生し破壊していた。比較例２はアルミニウ
ムの凝固後に発生する熱収縮による張力が３１１１ｆｆ
ｌの肉厚のるつぼに細い割れが発生していた。
本発明により長寿命化したアルミニウム蒸発用黒鉛るつ
ぼが提供される。
ぼが提供される。
Claims (1)
- 黒鉛るつぼの表面に、ＴｉＣ又はＺｒＣを含有したガラ
ス質状の炭素層を形成させてなることを特徴とするアル
ミニウム蒸発用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4445190A JPH03249173A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | アルミニウム蒸発用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4445190A JPH03249173A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | アルミニウム蒸発用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03249173A true JPH03249173A (ja) | 1991-11-07 |
Family
ID=12691856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4445190A Pending JPH03249173A (ja) | 1990-02-27 | 1990-02-27 | アルミニウム蒸発用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03249173A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685827B1 (ko) * | 2005-02-28 | 2007-02-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원, 증착장치 및 박막 형성 방법 |
| CN108046812A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-05-18 | 中国平煤神马能源化工集团有限责任公司 | 一种人造石墨坩埚及其制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034318A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-02 | ||
| JPS5152940A (ja) * | 1974-11-06 | 1976-05-11 | Tokai Carbon Kk | |
| JPH01145386A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-07 | Showa Denko Kk | 黒鉛るつぼ |
-
1990
- 1990-02-27 JP JP4445190A patent/JPH03249173A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034318A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-02 | ||
| JPS5152940A (ja) * | 1974-11-06 | 1976-05-11 | Tokai Carbon Kk | |
| JPH01145386A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-07 | Showa Denko Kk | 黒鉛るつぼ |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100685827B1 (ko) * | 2005-02-28 | 2007-02-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 증발원, 증착장치 및 박막 형성 방법 |
| CN108046812A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-05-18 | 中国平煤神马能源化工集团有限责任公司 | 一种人造石墨坩埚及其制备方法 |
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