JPH03250693A - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents
多層プリント配線板の製造方法Info
- Publication number
- JPH03250693A JPH03250693A JP4567090A JP4567090A JPH03250693A JP H03250693 A JPH03250693 A JP H03250693A JP 4567090 A JP4567090 A JP 4567090A JP 4567090 A JP4567090 A JP 4567090A JP H03250693 A JPH03250693 A JP H03250693A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen
- printed wiring
- copper
- wiring board
- copper foil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 abstract 1
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000001603 reducing effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000013405 beer Nutrition 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013527 degreasing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L potassium persulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O USHAGKDGDHPEEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 1
- UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M sodium chlorite Chemical compound [Na+].[O-]Cl=O UKLNMMHNWFDKNT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229960002218 sodium chlorite Drugs 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は多層プリント配線板の製造方法に関するもので
、回路となる銅箔面とプリプレグとの密着性に優れ、へ
ローイング現象のない多層プリント配線板の製造方法に
関するものである。
、回路となる銅箔面とプリプレグとの密着性に優れ、へ
ローイング現象のない多層プリント配線板の製造方法に
関するものである。
従来、多層プリント配線板を製造する方法は、回路とな
る銅箔の表面を粗化し、さらに亜塩素酸ナトリウム系の
水溶液や過硫酸カリ系の水溶液で酸化銅とすることによ
り、銅箔面に微細な凹凸を形成することによりプリプレ
グとの密着性をはかっていた。
る銅箔の表面を粗化し、さらに亜塩素酸ナトリウム系の
水溶液や過硫酸カリ系の水溶液で酸化銅とすることによ
り、銅箔面に微細な凹凸を形成することによりプリプレ
グとの密着性をはかっていた。
しかしながら、単に銅箔面を酸化銅とする方法ではプリ
プレグと積層一体化したものは、多層プリント配線板と
した後、スルホール用のドリル加工を行った後の工程で
デスミア用の処理液、メツキの前処理液やメツキ液に浸
漬した際に、酸化銅面が耐酸、耐アルカリ性に乏しく、
これらの処理液に侵され、いわゆるハローイング現象(
以下ハローという)が発生し、w4箔面とプリプレグと
の接着力を著しく低下させてしまうという欠点があった
。
プレグと積層一体化したものは、多層プリント配線板と
した後、スルホール用のドリル加工を行った後の工程で
デスミア用の処理液、メツキの前処理液やメツキ液に浸
漬した際に、酸化銅面が耐酸、耐アルカリ性に乏しく、
これらの処理液に侵され、いわゆるハローイング現象(
以下ハローという)が発生し、w4箔面とプリプレグと
の接着力を著しく低下させてしまうという欠点があった
。
これらの欠点を改良するため、回路面を酸化銅とし、次
いでこの面をアルカリ性還元剤溶液で処理する方法等が
提案されている(特開昭56−153797号公報)が
、この方法はアルカリ性還元剤溶液を安定化させること
が非常に困難であり、さらにアルカリ性還元剤溶液によ
りカニッツアロー反応などの副反応が生じる恐れがあり
、また還元剤であるホルマリンの消耗が激しく、補充な
どの還元剤溶液の管理が非常に雛しく、還元剤溶液は高
温とする必要があり、さらに高アルカリであるため取り
扱いの安全性に劣るという欠点がある。
いでこの面をアルカリ性還元剤溶液で処理する方法等が
提案されている(特開昭56−153797号公報)が
、この方法はアルカリ性還元剤溶液を安定化させること
が非常に困難であり、さらにアルカリ性還元剤溶液によ
りカニッツアロー反応などの副反応が生じる恐れがあり
、また還元剤であるホルマリンの消耗が激しく、補充な
どの還元剤溶液の管理が非常に雛しく、還元剤溶液は高
温とする必要があり、さらに高アルカリであるため取り
扱いの安全性に劣るという欠点がある。
〔発明が解決しようとする課R]
本発明らはこれらの欠点を解決しようと鋭意研究を進め
た結果、銅箔面を酸化銅処理後、水素もしくは水素及び
窒素の混合ガス雰囲気中で還元処理を施すことにより、
ハローを著しく改善できるとの知見を得てなされたもの
であり、銅箔面とプリプレグとの接着性に優れ、かつ耐
熱性に優れたハローの出ない多層プリント配線板を製造
することにある。
た結果、銅箔面を酸化銅処理後、水素もしくは水素及び
窒素の混合ガス雰囲気中で還元処理を施すことにより、
ハローを著しく改善できるとの知見を得てなされたもの
であり、銅箔面とプリプレグとの接着性に優れ、かつ耐
熱性に優れたハローの出ない多層プリント配線板を製造
することにある。
〔課題を解決するための手段]
本発明は、多層プリント配線板を製造するにあたって、
まず回路パターンの銅箔面を通常の方法により酸化処理
した後、水素もしくは水素と窒素の混合ガスの雰囲気中
で還元処理を行った後に積層一体化することによりハロ
ーの生じない多層プリント配線板を製造するものである
。
まず回路パターンの銅箔面を通常の方法により酸化処理
した後、水素もしくは水素と窒素の混合ガスの雰囲気中
で還元処理を行った後に積層一体化することによりハロ
ーの生じない多層プリント配線板を製造するものである
。
本発明において用いられる水素と窒素の混合ガスは水素
の濃度が5〜100%の範囲のものが好ましく低温にて
還元作用を進める意味で水素が高濃度の方が望ましい。
の濃度が5〜100%の範囲のものが好ましく低温にて
還元作用を進める意味で水素が高濃度の方が望ましい。
又、雰囲気温度は150〜400°Cの範囲が好ましく
150°C以下では還元作用が生じに< < 400℃
以上では基板材料の分解が進む。工業的には基板材料の
分解や処理時間を考え水素が高濃度で低温側で処理する
のが遺しているが、還元作用が進めば本発明の効果が得
られるのでこれに限定されるものではない。
150°C以下では還元作用が生じに< < 400℃
以上では基板材料の分解が進む。工業的には基板材料の
分解や処理時間を考え水素が高濃度で低温側で処理する
のが遺しているが、還元作用が進めば本発明の効果が得
られるのでこれに限定されるものではない。
還元処理により銅箔表面の酸化銅被膜を耐薬品性に優れ
る金属銅化するとともに、酸化銅被膜形成時の表面の凹
凸の形状を保持してプリプレグ中の樹脂との接着性を維
持することにより耐ハロー性、耐熱性の優れた多層プリ
ント配線板を得ることが出来る。
る金属銅化するとともに、酸化銅被膜形成時の表面の凹
凸の形状を保持してプリプレグ中の樹脂との接着性を維
持することにより耐ハロー性、耐熱性の優れた多層プリ
ント配線板を得ることが出来る。
このように本発明で用いる水素と窒素の混合ガスによる
還元処理はガス濃度と温度の管理のみで良く管理が容易
で、かつ多量の処理が可能なため、安価で効率良くハロ
ーのない多層プリント配線板を製造するのに好適である
。
還元処理はガス濃度と温度の管理のみで良く管理が容易
で、かつ多量の処理が可能なため、安価で効率良くハロ
ーのない多層プリント配線板を製造するのに好適である
。
実施例1
以下の工程により多層プリント配線板を作成した。
(1)ガラス−エポキシ銅張積層板に公知の方法によっ
て回路パターンを形成し、内層用回路板とした。
て回路パターンを形成し、内層用回路板とした。
(2)脱脂剤(エンプレートPC−499メルテツクス
株)に浸漬し、回路パターン面のよごれを取り除く。
株)に浸漬し、回路パターン面のよごれを取り除く。
(3)さらに、水洗後、過硫酸アンモニウムでソフトエ
ツチングをおこなった後、硫酸水溶液で洗浄する。
ツチングをおこなった後、硫酸水溶液で洗浄する。
(4)水洗後、内層銅箔酸化処理剤(エンブレー1−
MB −438メルテックス株)で処理し銅箔面に酸化
被膜を形成する。
MB −438メルテックス株)で処理し銅箔面に酸化
被膜を形成する。
(5)水洗後120″C20分間乾燥する(6)水素5
0%、窒素50%の混合ガス中に温度200℃で60分
間炉内に放置する。
0%、窒素50%の混合ガス中に温度200℃で60分
間炉内に放置する。
(7)得られた内層回路板の上下にエポキシプリプレグ
を重ね合わせ、180°C1120分間、50kg/c
dの条件で加熱・加圧し多層プリント配線板を作成した
。
を重ね合わせ、180°C1120分間、50kg/c
dの条件で加熱・加圧し多層プリント配線板を作成した
。
(8)得られた多層プリント配線板を0.4 tmφの
ドリルを用いてスルホール加工し、このものを塩酸水溶
液(12%)に5分間浸漬しハロ−性、およびノンフラ
ッシュタイプの無電解銅メツキプロセス(シブレイPH
Pプロセスシブレイファーイースト株)を用いメツキプ
ロセスによるハロー性を評価した。また、内層w4箔の
ビール強度および半田耐熱性を測定し結果を第1表に示
す。
ドリルを用いてスルホール加工し、このものを塩酸水溶
液(12%)に5分間浸漬しハロ−性、およびノンフラ
ッシュタイプの無電解銅メツキプロセス(シブレイPH
Pプロセスシブレイファーイースト株)を用いメツキプ
ロセスによるハロー性を評価した。また、内層w4箔の
ビール強度および半田耐熱性を測定し結果を第1表に示
す。
実施例2
実施例1と同様の工程により多層プリント配線板を作成
するが実施例1の(6)の工程で水素20%、窒素80
%の混合ガス中に温度250”Cで60分間炉内に放置
する点を変えた以外は実施例1と同様に行い多層プリン
ト配線板を作成し、評価した結果を第1表に示す。
するが実施例1の(6)の工程で水素20%、窒素80
%の混合ガス中に温度250”Cで60分間炉内に放置
する点を変えた以外は実施例1と同様に行い多層プリン
ト配線板を作成し、評価した結果を第1表に示す。
実施例3
実施例1と同様の工程により多層プリント配線板を作成
するが、実施例1の(1)のガラスエポキシ銅張積層板
をガラスポリイミドの積層板に、(2)のエポキシプリ
プレグをポリイミドプリプレグに同じ<(2)の180
°C1120分間を200’C150分間に及び(6)
の工程で水素20%、窒素80%、温度300°Cの炉
内に放置して変えた以外は実施例1と同様に行い多層プ
リント配線板を作成し評価した結果を第1表に示す 比較例 実施例1の(6)の工程を除いた以外は実施例1と同様
にし多層プリント配線板を作成し評価した結果を第1表
に示す。
するが、実施例1の(1)のガラスエポキシ銅張積層板
をガラスポリイミドの積層板に、(2)のエポキシプリ
プレグをポリイミドプリプレグに同じ<(2)の180
°C1120分間を200’C150分間に及び(6)
の工程で水素20%、窒素80%、温度300°Cの炉
内に放置して変えた以外は実施例1と同様に行い多層プ
リント配線板を作成し評価した結果を第1表に示す 比較例 実施例1の(6)の工程を除いた以外は実施例1と同様
にし多層プリント配線板を作成し評価した結果を第1表
に示す。
第
表
※1 : 常態+S−260/20’ (JTS
C6481)※2 : プレッシャークツカー(125
℃)1時間+S−260/20’※3 : プレッシャ
ークツカー(125℃)2時間+S−260/20’〔
発明の効果] 以上のように、本発明の方法により得られた多層プリン
ト配線板は、回路パターンを形成した内層銅箔とプリプ
レグとの接着性に非常に優れ、耐ハロー性、耐熱性に優
れた多層プリント配線板であり、さらに本発明の多層プ
リント配線板を得る方法においては内層銅箔の還元に用
いる水素もしくは水素と窒素の混合ガスの取扱い及びそ
の処理は容易で、かつ生産性に優れ、工業的利用価値の
高いものである。
C6481)※2 : プレッシャークツカー(125
℃)1時間+S−260/20’※3 : プレッシャ
ークツカー(125℃)2時間+S−260/20’〔
発明の効果] 以上のように、本発明の方法により得られた多層プリン
ト配線板は、回路パターンを形成した内層銅箔とプリプ
レグとの接着性に非常に優れ、耐ハロー性、耐熱性に優
れた多層プリント配線板であり、さらに本発明の多層プ
リント配線板を得る方法においては内層銅箔の還元に用
いる水素もしくは水素と窒素の混合ガスの取扱い及びそ
の処理は容易で、かつ生産性に優れ、工業的利用価値の
高いものである。
Claims (1)
- (1)片面もしくは両面にあらかじめ回路パターンを形
成した内層回路板1枚以上と複数のプリプレグとを交互
に重ね合わせ、更にその上下に銅箔もしくは片面銅張板
もしくは片面にのみ回路を作成した両面銅張板を配し、
プレスにより加熱・加圧することによって一体化し、多
層プリント配線板を製造する方法において、内層回路板
の回路パターンである銅箔表面に酸化銅被膜を形成し、
次いでこれら内層回路板を水素もしくは水素および窒素
の混合ガス雰囲気中で還元処理し回路パターン表面の酸
化銅被膜を金属銅化した後、プリプレグと交互に重ね合
わせ、プレスにより加熱・加圧して多層一体化すること
を特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4567090A JPH03250693A (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 多層プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4567090A JPH03250693A (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 多層プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03250693A true JPH03250693A (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=12725823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4567090A Pending JPH03250693A (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | 多層プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03250693A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113215518A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-08-06 | 江苏富乐德半导体科技有限公司 | 一种铜片氧化方法 |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP4567090A patent/JPH03250693A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113215518A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-08-06 | 江苏富乐德半导体科技有限公司 | 一种铜片氧化方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0713304B2 (ja) | 銅の表面処理法 | |
| CN104160792A (zh) | 印刷布线板的制造方法及激光加工用铜箔 | |
| JPS648479B2 (ja) | ||
| JP4264679B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| WO2008005094A2 (en) | Process for increasing the adhesion of a metal surface to a polymer | |
| JPH03250693A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
| JPS63168077A (ja) | プリント配線板の製造法 | |
| JPH01195281A (ja) | 無電解めつき用触媒 | |
| JP2002060967A (ja) | 銅または銅合金の表面処理法 | |
| JP2000036659A (ja) | ビルドアップ多層配線板の製造方法 | |
| JPH0380595A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
| JPS6113400B2 (ja) | ||
| JPH03288493A (ja) | 多層プリント配線板 | |
| JPS6199700A (ja) | 銅配線基板の構造 | |
| JP2000151118A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
| JP3185516B2 (ja) | 多層配線板の製造方法 | |
| JPH04155993A (ja) | 多層プリント配線板の製造法 | |
| JPH0637452A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
| JPH03283494A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
| JPH06177534A (ja) | 銅被覆ガラスエポキシ基板の製造方法 | |
| JP2001185846A (ja) | プリント配線板の製造方法及びその方法によって製造されたプリント配線板 | |
| JPH0496292A (ja) | 多層印刷回路用基板の製造法 | |
| JP2009084652A (ja) | 金属の酸化処理方法および酸化処理液 | |
| JPS60241291A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| JPS62252993A (ja) | 多層配線板の製造方法 |