JPH0325257U - - Google Patents
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- JPH0325257U JPH0325257U JP8600189U JP8600189U JPH0325257U JP H0325257 U JPH0325257 U JP H0325257U JP 8600189 U JP8600189 U JP 8600189U JP 8600189 U JP8600189 U JP 8600189U JP H0325257 U JPH0325257 U JP H0325257U
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- JP
- Japan
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- integrated circuit
- semiconductor integrated
- capacitors
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- capacitor
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- Pending
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Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図はこの考案の半導体集積回路装置の容量
部分の縦断面図、第２図は、第１図の等価回路図
である。第３図は、従来の半導体集積回路装置の
容量部分の縦断面図、第４図は、第３図の等価回
路図である。 １……基板（サブストレート）、２……Ｎ型半
導体、３……誘電膜（シリコン酸化膜）、４……
誘電膜（シリコン窒化膜）、５，１１……アルミ
電極、６……誘電膜、Ｃ１，Ｃ２……容量。
部分の縦断面図、第２図は、第１図の等価回路図
である。第３図は、従来の半導体集積回路装置の
容量部分の縦断面図、第４図は、第３図の等価回
路図である。 １……基板（サブストレート）、２……Ｎ型半
導体、３……誘電膜（シリコン酸化膜）、４……
誘電膜（シリコン窒化膜）、５，１１……アルミ
電極、６……誘電膜、Ｃ１，Ｃ２……容量。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 容量を集積回路にもつ半導体集積回路において
、 複数の誘電膜を持ち、前記各誘電膜が電極でサ
ンドイツチ構造されている複数の容量を積層形成
し、かつかれら容量を並列に接続することを特徴
とした半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8600189U JPH0325257U (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8600189U JPH0325257U (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325257U true JPH0325257U (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=31635409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8600189U Pending JPH0325257U (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325257U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026018662A1 (ja) * | 2024-07-19 | 2026-01-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 容量素子、撮像素子 |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP8600189U patent/JPH0325257U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026018662A1 (ja) * | 2024-07-19 | 2026-01-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 容量素子、撮像素子 |
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