JPH03257804A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH03257804A JPH03257804A JP5589690A JP5589690A JPH03257804A JP H03257804 A JPH03257804 A JP H03257804A JP 5589690 A JP5589690 A JP 5589690A JP 5589690 A JP5589690 A JP 5589690A JP H03257804 A JPH03257804 A JP H03257804A
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- Japan
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- magnetic
- alloy
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- face
- substrate
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- Granted
Links
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、磁気ディスク、磁気ドラム、磁気テープなど
の磁気記録媒体に関する。
の磁気記録媒体に関する。
［従来の接衝］
近年、磁気記録媒体においては、高記録密度が要求され
、そのために連続薄膜媒体が注目されている。その連続
薄膜媒体としては、Ｃｏ−Ｃｒ系。
、そのために連続薄膜媒体が注目されている。その連続
薄膜媒体としては、Ｃｏ−Ｃｒ系。
Ｃｏ −Ｎ ｉ系、Ｃｏ−Ｐｔ系などのＣｏ合金が知ら
れていて、スパッタリング等の方法により成膜される。
れていて、スパッタリング等の方法により成膜される。
そしてその連続薄膜媒体の保磁力を上げることにより記
録密度を向上させることができる。
録密度を向上させることができる。
その保磁力を上げるためには、磁性膜の下地としてＣｒ
又はＣｒ合金を成膜し、六方最密構造Ｃｏ合金系磁性膜
の磁化容易軸であるＣ軸を面内に配向しようとしてきた
。
又はＣｒ合金を成膜し、六方最密構造Ｃｏ合金系磁性膜
の磁化容易軸であるＣ軸を面内に配向しようとしてきた
。
［発明が解決しようとするｌ１ｉｊ［］しかしながら上
記した磁性膜はＣｒ （１１０）面が媒体面に平行に成
膜したＣｒ膜上に六方最密構造Ｃｏ（１０１）面が媒体
に平行になっていた（Ｇ、Ｌ、Ｃｈｅｎ、ＩＥＥＥ
Ｔｒａｎｓ、Ｍａｇ、ＭＡＧ−２２（１９８６）３３４
）。そのため六方最密構造ｃｏの磁化容易軸が完全には
面内に配向しておらず、高い保磁力を得るのが困難であ
った。
記した磁性膜はＣｒ （１１０）面が媒体面に平行に成
膜したＣｒ膜上に六方最密構造Ｃｏ（１０１）面が媒体
に平行になっていた（Ｇ、Ｌ、Ｃｈｅｎ、ＩＥＥＥ
Ｔｒａｎｓ、Ｍａｇ、ＭＡＧ−２２（１９８６）３３４
）。そのため六方最密構造ｃｏの磁化容易軸が完全には
面内に配向しておらず、高い保磁力を得るのが困難であ
った。
また、下地膜として膜厚５０〜２００Ａの休心立方構造
Ｃｒ（１００）面を非磁性基板に平行に成膜し、その上
に六方最密構造Ｃｏ（１１０）面及びＣ軸が非磁性基板
に平行になフている強磁性Ｃｏ合金膜を有する磁気記録
媒体は、角型比が最大になる事が特開平１−２２０２１
７に記載されている。
Ｃｒ（１００）面を非磁性基板に平行に成膜し、その上
に六方最密構造Ｃｏ（１１０）面及びＣ軸が非磁性基板
に平行になフている強磁性Ｃｏ合金膜を有する磁気記録
媒体は、角型比が最大になる事が特開平１−２２０２１
７に記載されている。
しかし、Ｃｒの下地膜が２００Ａ以下では高い保磁力を
得る事は、困難であった。
得る事は、困難であった。
本発明は、上記欠点を改良し、六方最密構造Ｃｏ合金系
の磁気記録媒体において、８００（Ｏｅ）以上の高い保
磁力を有する磁気記録媒体を提供するものである。
の磁気記録媒体において、８００（Ｏｅ）以上の高い保
磁力を有する磁気記録媒体を提供するものである。
［課題を解決するための手段］
本発明は、非磁性基板上に３００Å以上のＣｒ又はＣｒ
合金薄膜を設け、その上にエピタキシャル成長したＣｏ
合金磁性薄膜を有する磁気記録媒体であって、前記Ｃｒ
又はＣｒ合金薄膜の結晶面が、Ｘ線回折強度比でＣｒ
（１００）／Ｃｒ （１１０）＞０．５の割合で体心立
方構造Ｃｒ（１００）面が非磁性基板と平行になってい
て、六方最密構ＩＭＣｏ合金系磁性膜のＧｏ（１１０）
面が。
合金薄膜を設け、その上にエピタキシャル成長したＣｏ
合金磁性薄膜を有する磁気記録媒体であって、前記Ｃｒ
又はＣｒ合金薄膜の結晶面が、Ｘ線回折強度比でＣｒ
（１００）／Ｃｒ （１１０）＞０．５の割合で体心立
方構造Ｃｒ（１００）面が非磁性基板と平行になってい
て、六方最密構ＩＭＣｏ合金系磁性膜のＧｏ（１１０）
面が。
前記Ｃｒ（１００）面上にエピタキシャル成長している
事を特徴とする磁気記録媒体を提供するものである。
事を特徴とする磁気記録媒体を提供するものである。
加熱した基板上にＣｒ又はＣｒ合金下池層を設け、その
Ｃｒ（１００）面がＸ線回折強度比で。
Ｃｒ（１００）面がＸ線回折強度比で。
Ｃｒ （１００）／Ｃｒ （１１０）＞０．５の割合で
Ｃｒ（１００）面が媒体面と平行になったＣｒ又はＣｒ
合金下地層を設けると、Ｃｒ （１００）面にＣｏ（１
１０）面がエピタキシャル成長する。
Ｃｒ（１００）面が媒体面と平行になったＣｒ又はＣｒ
合金下地層を設けると、Ｃｒ （１００）面にＣｏ（１
１０）面がエピタキシャル成長する。
そして、六方最密構造Ｃｏ合金系磁性膜のＣ。
（１１０）面が、Ｘ線回折強度比で、Ｃｏ（１１０）
／Ｃｒ （１１０） ＞０． １の割合で非磁性基板と
平行になっており保磁力８００ （Ｏｅ）以上が期待さ
れる。
／Ｃｒ （１１０） ＞０． １の割合で非磁性基板と
平行になっており保磁力８００ （Ｏｅ）以上が期待さ
れる。
本発明者は、Ｃｏ（１１０）面が基板に平行であれば、
高い保磁力が得られる事に着目し、そのためのＣｒ又は
Ｃｒ合金の下地膜の結晶面について種々検討し本発明を
完成した。即ち、下地膜のｃｒ （１００）面のＸ線回
折強度比をある値以上にすることにより、Ｃｏ（１１０
）面が基板に平行になり、８００ （Ｏｅ）以上の高い
保磁力が得られる。
高い保磁力が得られる事に着目し、そのためのＣｒ又は
Ｃｒ合金の下地膜の結晶面について種々検討し本発明を
完成した。即ち、下地膜のｃｒ （１００）面のＸ線回
折強度比をある値以上にすることにより、Ｃｏ（１１０
）面が基板に平行になり、８００ （Ｏｅ）以上の高い
保磁力が得られる。
１１１図は、Ｃｒ膜厚１０００ＡにおけるＸ線回折強度
比と保磁力との関係を示す、Ｃｒ （１００）／Ｃｒ（
１１０）の比が、大きくなる程保磁力が大きくなる。
比と保磁力との関係を示す、Ｃｒ （１００）／Ｃｒ（
１１０）の比が、大きくなる程保磁力が大きくなる。
Ｃｒ （１００）面のＸ線回折強度を大きくするための
条件を検討した。ＮｉＰメツキを施したＡ１合金の非磁
性基板上に以下の条件で、下地のＣｒ及びＣｏ合金の磁
性膜をスパッタリング法に依り成膜した。
条件を検討した。ＮｉＰメツキを施したＡ１合金の非磁
性基板上に以下の条件で、下地のＣｒ及びＣｏ合金の磁
性膜をスパッタリング法に依り成膜した。
■スパッタ装置 Ｖ ａ ｒ ｉ ａ ｎＭＤＰ−１
０００ ■スパッタ方法 ＤＣマグネトロンスパッタ■基板
ＮｉＰメンキＡｌ基板基板−ターゲット Ｃ
ｒ。
０００ ■スパッタ方法 ＤＣマグネトロンスパッタ■基板
ＮｉＰメンキＡｌ基板基板−ターゲット Ｃ
ｒ。
Ｃｏ １２Ｃｒ ２Ｔ ａ、 Ｃ
上記製造方法により製造された磁気記録媒体の磁気的性
質について本発明者が行った実験結果を基に以下説明す
る。薄膜の磁気的性質は、振動試料型磁力針（理研電子
製）、結晶配向性はＸ線回折装置（ｊ！！！学電機製）
にて各々測定した。
質について本発明者が行った実験結果を基に以下説明す
る。薄膜の磁気的性質は、振動試料型磁力針（理研電子
製）、結晶配向性はＸ線回折装置（ｊ！！！学電機製）
にて各々測定した。
１１２図は、Ｃｒ膜膜厚１００入
ｍｍＴ ｏ ｒ ｒの時の基板温度とＣｒ（１００）の
Ｘ線回折強度の関係を示す。
Ｘ線回折強度の関係を示す。
第３図は， Ｃ ｒ Ａ ｒ圧６ｍｍＴｏｒｒ，
基板温度２５０℃の時のＣｒ膜厚とＣｒ（１００）のＸ
線回折強度の関係を示す。
基板温度２５０℃の時のＣｒ膜厚とＣｒ（１００）のＸ
線回折強度の関係を示す。
第４図は，Ｃｒ膜厚１０００人，基板温度２５０℃の時
のＣ ｒ Ａ ｒ圧とＣｒ（１００）面のＸ線回折強度
の関係を示す。
のＣ ｒ Ａ ｒ圧とＣｒ（１００）面のＸ線回折強度
の関係を示す。
これらから明らかなように，基板温度が高いほど，Ｃｒ
膜厚が厚いほど又，ＣｒＡｒ圧が低いほどＣｒ（１００
）面のＸ線回折強度が大きくなる事がわかる。
膜厚が厚いほど又，ＣｒＡｒ圧が低いほどＣｒ（１００
）面のＸ線回折強度が大きくなる事がわかる。
［作用］
下地のＣｒ（１００）面が，基板に平行になると，その
上に磁性膜である六方最密構造Ｃｏ合金膜のＣｏ（１１
０）面が，下地膜上にエビタキシヤル成長し、磁化容易
軸が面内に配向しているため高い保磁力が得られる。
上に磁性膜である六方最密構造Ｃｏ合金膜のＣｏ（１１
０）面が，下地膜上にエビタキシヤル成長し、磁化容易
軸が面内に配向しているため高い保磁力が得られる。
［実施例］
前記した装置及びターゲットを使用して、基板温度２５
０℃、Ｃｒの下地膜１０００Ａの条件で。
０℃、Ｃｒの下地膜１０００Ａの条件で。
Ｃｒ Ａ ｒ圧を変化させて、Ｃｒ （１００）／Ｃｒ
（１１０）及びＧｏ （１１０）／Ｃｒ （１１０）の
Ｘ線回折強度比と保磁力を測定した。その結果を第５図
に示す。
（１１０）及びＧｏ （１１０）／Ｃｒ （１１０）の
Ｘ線回折強度比と保磁力を測定した。その結果を第５図
に示す。
Ｃｒ Ａ ｒ圧を減するに従い、Ｃｒ（１００）面のＸ
線回折強度が大きくなり、それにつれて、ｃｏ（１１０
）面のＸ線回折強度も大きくなり、保磁力も大きくなる
事がわかる。
線回折強度が大きくなり、それにつれて、ｃｏ（１１０
）面のＸ線回折強度も大きくなり、保磁力も大きくなる
事がわかる。
［発明の効果コ
本発明よりなる磁気記録媒体は、高い保磁力を有するの
で、記録密度を高められるので、極めて優れたものであ
る。
で、記録密度を高められるので、極めて優れたものであ
る。
第１図は、 Ｃｒ （１００） ／ Ｃｒ （１１０
）のＸ線回折強度比と保磁力との関係を示す。第２図。 第３図、ｊ［４図は、それぞれ基板温度、下地Ｃｒ膜厚
、ＣｒＡｒ圧とＣｒ（１００）面のＸ線回折強度との関
係を示す。 ｊ［５図は、ＣｒＡｒ圧とＣｒ （１００） ／ Ｃｒ
（１１０）、 Ｃｏ （１１０） ／Ｃｒ （１１０）
のＸ線回折強度比及び保磁力との関係を示す。
）のＸ線回折強度比と保磁力との関係を示す。第２図。 第３図、ｊ［４図は、それぞれ基板温度、下地Ｃｒ膜厚
、ＣｒＡｒ圧とＣｒ（１００）面のＸ線回折強度との関
係を示す。 ｊ［５図は、ＣｒＡｒ圧とＣｒ （１００） ／ Ｃｒ
（１１０）、 Ｃｏ （１１０） ／Ｃｒ （１１０）
のＸ線回折強度比及び保磁力との関係を示す。
Claims (1)
- 非磁性基板上に３００Å以上のＣｒ又はＣｒ合金薄膜
を設け，その上にエピタキシャル成長したＣｏ合金系磁
性薄膜を有する磁気記録媒体であって，前記Ｃｒ又はＣ
ｒ合金薄膜の結晶面が，Ｘ線回折強度比でＣｒ（１００
）／Ｃｒ（１１０）＞０．５の割合で体心立方構造Ｃｒ
（１００）面が非磁性基板と平行になっていて，六方最
密構造Ｃｏ合金系磁性膜のＣｏ（１１０）面が，前記Ｃ
ｒ（１００）面上にエピタキシャル成長している事を特
徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2055896A JPH0648650B2 (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2055896A JPH0648650B2 (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257804A true JPH03257804A (ja) | 1991-11-18 |
| JPH0648650B2 JPH0648650B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=13011883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2055896A Expired - Fee Related JPH0648650B2 (ja) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648650B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01220217A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-01 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気記録媒体 |
-
1990
- 1990-03-07 JP JP2055896A patent/JPH0648650B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01220217A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-01 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648650B2 (ja) | 1994-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080622 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090622 Year of fee payment: 15 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |