JPH03257980A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH03257980A JPH03257980A JP2057116A JP5711690A JPH03257980A JP H03257980 A JPH03257980 A JP H03257980A JP 2057116 A JP2057116 A JP 2057116A JP 5711690 A JP5711690 A JP 5711690A JP H03257980 A JPH03257980 A JP H03257980A
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- JP
- Japan
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- excitation
- main discharge
- capacitor
- circuit
- spark gap
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、放電による励起を行なうレーザ装置、特に、
エキシマレーザ装置に関するものである。
エキシマレーザ装置に関するものである。
従来の技術
従来、放電励起を行なうレーザ装置においては、予備励
起により放電を安定化して使用している。
起により放電を安定化して使用している。
特に、エキシマレーザ装置においては、この予備励起に
よる放電の安定化は必須技術である。この予備励起装置
を用いたレーザ装置については、例えば、「エキシマレ
ーザの開発とその応用技術・例」（渡辺俊太部監著 応
用技術出版）Ｐ１５〜３０に記載されている。以下、こ
の技術の予備励起装置を用いたレーザ装置について図面
を参照しながら説明する。
よる放電の安定化は必須技術である。この予備励起装置
を用いたレーザ装置については、例えば、「エキシマレ
ーザの開発とその応用技術・例」（渡辺俊太部監著 応
用技術出版）Ｐ１５〜３０に記載されている。以下、こ
の技術の予備励起装置を用いたレーザ装置について図面
を参照しながら説明する。
第４図は従来のレーザ装置を示す回路構成図である。第
４図に示すように、ピーキングコンデンサ１、予備励起
スパークギャップ２および主放電電極３により主放電を
行なう主放電回路が構成され、充電コンデンサ４、サイ
ラトロン５および充電コイル６によう充電回路が構成さ
れている。
４図に示すように、ピーキングコンデンサ１、予備励起
スパークギャップ２および主放電電極３により主放電を
行なう主放電回路が構成され、充電コンデンサ４、サイ
ラトロン５および充電コイル６によう充電回路が構成さ
れている。
以上の構成において、以下、その動作について説明する
。
。
高圧電源７からの高電圧により充電コンデンサ４が充電
コイル６を通して高電圧に充電されている状態で、サイ
シトロントリガ信号８がサイラトロン５に加わると、サ
イラトロン５は導通して充電コンデンサ４の電荷は移行
電流９として急速に放電する。移行電流９は予備励起ス
パークギャップ２をスパークにより放電しながら通シ、
ピーキングコンデンサ１を充電する。予備励起スパ−ク
ギャップ２のスパークによる紫外（ＵＶ）光は予備励起
光１０として主放電電極３を照射する。この照射により
主放電電極３付近のレーザ媒質ガス（エキシマレーザで
は希ガスと）・ロゲンガスの混合ガス）を電離して−様
なグロー放電を行ないやすい状態にする。ピーキングコ
ンデンサ１が十分に充電されると、２つの主放電電極３
の間に高電圧が印加され、十分な自爆電圧に達すると、
前述の予備励起により誘起されたグロー放電が急速に開
始し、主放電電流１１がパルス状大電流として流れ、主
放電電極３の間に主放電１２を発生させる。
コイル６を通して高電圧に充電されている状態で、サイ
シトロントリガ信号８がサイラトロン５に加わると、サ
イラトロン５は導通して充電コンデンサ４の電荷は移行
電流９として急速に放電する。移行電流９は予備励起ス
パークギャップ２をスパークにより放電しながら通シ、
ピーキングコンデンサ１を充電する。予備励起スパ−ク
ギャップ２のスパークによる紫外（ＵＶ）光は予備励起
光１０として主放電電極３を照射する。この照射により
主放電電極３付近のレーザ媒質ガス（エキシマレーザで
は希ガスと）・ロゲンガスの混合ガス）を電離して−様
なグロー放電を行ないやすい状態にする。ピーキングコ
ンデンサ１が十分に充電されると、２つの主放電電極３
の間に高電圧が印加され、十分な自爆電圧に達すると、
前述の予備励起により誘起されたグロー放電が急速に開
始し、主放電電流１１がパルス状大電流として流れ、主
放電電極３の間に主放電１２を発生させる。
この主放電１２によジレーザ媒質は放電励起され、適当
なミラー等による共振器光学系によりレーザ光が発振さ
れる。
なミラー等による共振器光学系によりレーザ光が発振さ
れる。
発明が解決しようとする課題
しかし、上記従来の予備励起装置を用いたレーザ装置で
は、主放電回路中に予備励起スパークギャップ２が組み
込１れているため、以下のような課題があった。
は、主放電回路中に予備励起スパークギャップ２が組み
込１れているため、以下のような課題があった。
第１に、予備励起スパークギャップ２には充電コンデン
サ４の電荷がピーキングコンデンサ１に移る移行電流９
が全部流れ、また、主放電１２が発生する時に主放電電
流１１が全部流れる。このため、予備励起スパークギャ
ップ２には予備励起に必要な放電電流よりはるかに大き
な電流が流れ、必要以上の強度スパークが発生する。こ
のためスパークギャップ２の磨耗が激しく、長時間の安
定動作を必要とする産業用のレーザ装置として問題とな
る。
サ４の電荷がピーキングコンデンサ１に移る移行電流９
が全部流れ、また、主放電１２が発生する時に主放電電
流１１が全部流れる。このため、予備励起スパークギャ
ップ２には予備励起に必要な放電電流よりはるかに大き
な電流が流れ、必要以上の強度スパークが発生する。こ
のためスパークギャップ２の磨耗が激しく、長時間の安
定動作を必要とする産業用のレーザ装置として問題とな
る。
第２に、主放電回路の放電スピードが低下することであ
る。すなわち、ピーキングコンデンサ１と予備励起スパ
ークギャップ２と主放電電極３により主放電回路を構成
しているが、この主放電回路の放電スピードは、自身の
インダクタンスに依存する。インダクタンスを低減して
スピードを上げるためには、なるべくこの回路を小型に
作る必要がある。しかし、予備励起スパークギャップ２
は主放電電極３を良好に紫外光で照射するために位置が
制約され、回路の小型化に制限があシ、放電スピードを
高くすることが困難となる。放電スピードの低下は主放
電１２の均一性を悪化させ、アーク放電の増加を発生さ
せてレーザの発振効率を悪化させる。
る。すなわち、ピーキングコンデンサ１と予備励起スパ
ークギャップ２と主放電電極３により主放電回路を構成
しているが、この主放電回路の放電スピードは、自身の
インダクタンスに依存する。インダクタンスを低減して
スピードを上げるためには、なるべくこの回路を小型に
作る必要がある。しかし、予備励起スパークギャップ２
は主放電電極３を良好に紫外光で照射するために位置が
制約され、回路の小型化に制限があシ、放電スピードを
高くすることが困難となる。放電スピードの低下は主放
電１２の均一性を悪化させ、アーク放電の増加を発生さ
せてレーザの発振効率を悪化させる。
第３に、必要以上の予備励起スパークギャップ２でのス
パークはエネルギーの不要な消耗を発生し、レーザ発振
の総合効率を低下させる等の課題がある。
パークはエネルギーの不要な消耗を発生し、レーザ発振
の総合効率を低下させる等の課題がある。
本発明は、以上のような従来技術の課題を解決するもの
であり、必要以上の予備励起スパークを防止することが
でき、したがって、予備励起スパークギャップの磨耗を
防止することができ長期間の安定動作を図ることができ
る。また、主放電回路の小型化を図ることができ、した
がって、放電スピードを向上させることができ、更には
、レーザ発振効率を向上させることができるようにした
レーザ装置を提供することを目的とするものである。
であり、必要以上の予備励起スパークを防止することが
でき、したがって、予備励起スパークギャップの磨耗を
防止することができ長期間の安定動作を図ることができ
る。また、主放電回路の小型化を図ることができ、した
がって、放電スピードを向上させることができ、更には
、レーザ発振効率を向上させることができるようにした
レーザ装置を提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するための本発明の技術的解決手段は、
予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップの直列
回路がピーキングコンデンサと並列回路になるように構
成されたものである。
予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップの直列
回路がピーキングコンデンサと並列回路になるように構
成されたものである。
ｌた、上記予備励起コンデンサと上記予備励起スパーク
ギャップの直列回路にコイルを直列接続することができ
る。
ギャップの直列回路にコイルを直列接続することができ
る。
そして、上記予備励起コンデンサの総容量をピーキング
コンデンサの総容量より小さくし、また、上記ピーキン
グコンデンサを有する主放電回路の断面積が上記予備励
起コンデンサと上記予備励起スパークギャップを有する
予備励起回路の断面積より小さくなるように構成する。
コンデンサの総容量より小さくし、また、上記ピーキン
グコンデンサを有する主放電回路の断面積が上記予備励
起コンデンサと上記予備励起スパークギャップを有する
予備励起回路の断面積より小さくなるように構成する。
作用
したがって、本発明によれば、主放電回路に付加して予
備励起コンデンサと予備励起スパークギャップを並列に
設けることにより、主放電は主に予備励起スパークギャ
ップを台筐ない回路で行ない、必要かつ十分な強度の予
備励起を主として予備励起コンデンサと予備励起スパー
クギャップの直列回路で行なうことができ、必要以上の
予備励起スパークを防止することができ、また、スパー
クギャップを台筐ない主放電回路の小型化を図ることが
できる。
備励起コンデンサと予備励起スパークギャップを並列に
設けることにより、主放電は主に予備励起スパークギャ
ップを台筐ない回路で行ない、必要かつ十分な強度の予
備励起を主として予備励起コンデンサと予備励起スパー
クギャップの直列回路で行なうことができ、必要以上の
予備励起スパークを防止することができ、また、スパー
クギャップを台筐ない主放電回路の小型化を図ることが
できる。
実施例
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
筐ず、本発明の第１の実施例について説明する。
第１図および第２図は本発明の第１の実施例におけるレ
ーザ装置を示し、第１図は回路構成図、第２図は主放電
回路と予備励起回路の断面積の説明図である。
ーザ装置を示し、第１図は回路構成図、第２図は主放電
回路と予備励起回路の断面積の説明図である。
第１図に示すように、ピーキングコンデンサ１と主放電
電極３により主放電を行なう主放電回路が構成され、予
備励起コンデンサ１３と予備励起スパークギャップ２の
直列回路がピーキングコンデンサ１に並列回路となるよ
うに接続されている。
電極３により主放電を行なう主放電回路が構成され、予
備励起コンデンサ１３と予備励起スパークギャップ２の
直列回路がピーキングコンデンサ１に並列回路となるよ
うに接続されている。
その他の構成は第４図に示す上記従来例と同様であシ、
充電コンデンサ４、サイラトロン５および充電コイル６
により充電回路が構成されている。
充電コンデンサ４、サイラトロン５および充電コイル６
により充電回路が構成されている。
以上の構成において、以下、その動作について説明する
。
。
高圧電源７からの高電圧により充電コンデンサ４が充電
コイル６を通して高電圧に充電されている状態で、サイ
シトロントリガ信号８がサイラトロン５に加わると、サ
イラトロン５は導通して充電コンデンサ４の電荷は移行
電流９として急速に放電する。移行電流９の多くはピー
キングコンデンサ１を充電する。移行電流９の一部は予
備励起スパークギャップ２をスパークにより放電しなが
ら通う、予備励起コンデンサ１３を充電する。予備励起
スパークギャップ２のスパークによる紫外光は予備励起
光１０として主放電電極３を照射し、主放電電極３付近
のレーザ媒質ガスを電離して−様なグロー放電を行ない
やすい状態にする。予備励起スパークギャップ２のスパ
ークの強度は、予備励起コンデンサ１３の容量を調整す
ることにょシ、自由に設定することが可能であシ、この
予備励起スパークギャップ２を予備励起に必要、かつ十
分な程度に強度を認定する。したがって、必要以上のス
パーク強度を避けることができ、スパークギャップ２の
磨耗とエネルギーの不要消耗を減少させることができる
。ピーキングコンデンサ１が十分に充電すると、２つの
主放電電極３の間に高電圧が印加され、予備励起により
誘起されたグロー放電が急速に開始し、主放電電流１１
がパルス状大電流として流れ、主放電電極３の間に主放
電１２を発生させる。この時の主放電回路には予備励起
スパークギャップ２を台筐ないため、上記従来例より高
速−度に放電を開始することができる。筐た、予備励起
コンデンサ１３に充電した電気エネルギーも予備励起ス
パークギャップ２を通して主放電電流１１に合流して主
放電１２に寄与するため、損失とはならない。
コイル６を通して高電圧に充電されている状態で、サイ
シトロントリガ信号８がサイラトロン５に加わると、サ
イラトロン５は導通して充電コンデンサ４の電荷は移行
電流９として急速に放電する。移行電流９の多くはピー
キングコンデンサ１を充電する。移行電流９の一部は予
備励起スパークギャップ２をスパークにより放電しなが
ら通う、予備励起コンデンサ１３を充電する。予備励起
スパークギャップ２のスパークによる紫外光は予備励起
光１０として主放電電極３を照射し、主放電電極３付近
のレーザ媒質ガスを電離して−様なグロー放電を行ない
やすい状態にする。予備励起スパークギャップ２のスパ
ークの強度は、予備励起コンデンサ１３の容量を調整す
ることにょシ、自由に設定することが可能であシ、この
予備励起スパークギャップ２を予備励起に必要、かつ十
分な程度に強度を認定する。したがって、必要以上のス
パーク強度を避けることができ、スパークギャップ２の
磨耗とエネルギーの不要消耗を減少させることができる
。ピーキングコンデンサ１が十分に充電すると、２つの
主放電電極３の間に高電圧が印加され、予備励起により
誘起されたグロー放電が急速に開始し、主放電電流１１
がパルス状大電流として流れ、主放電電極３の間に主放
電１２を発生させる。この時の主放電回路には予備励起
スパークギャップ２を台筐ないため、上記従来例より高
速−度に放電を開始することができる。筐た、予備励起
コンデンサ１３に充電した電気エネルギーも予備励起ス
パークギャップ２を通して主放電電流１１に合流して主
放電１２に寄与するため、損失とはならない。
上記主放電回路は予備励起スパークギャップ２を含１な
いため、小型化を図ることができ、この主放電回路の小
型化により１インダクタンスを低減し、主放電１２のス
ピードを高くしてレーザ発振効率を向上させることがで
きる。そして、具体的には、第２図に示すように、ピー
キングコンデンサ１と主放電電極３で作る主放電回路の
断面積１４を小さくすることであう、この主放電回路の
断面積１４を予備励起コンデンサ１３と予備励起スパー
クギャップ２と主放電電極３で作る予備励起回路の断面
積１５に比べて小さくして高速化することが望ましい構
成である。
いため、小型化を図ることができ、この主放電回路の小
型化により１インダクタンスを低減し、主放電１２のス
ピードを高くしてレーザ発振効率を向上させることがで
きる。そして、具体的には、第２図に示すように、ピー
キングコンデンサ１と主放電電極３で作る主放電回路の
断面積１４を小さくすることであう、この主放電回路の
断面積１４を予備励起コンデンサ１３と予備励起スパー
クギャップ２と主放電電極３で作る予備励起回路の断面
積１５に比べて小さくして高速化することが望ましい構
成である。
なお、予備励起スパークギャップ２の位置は主放電電極
３の照射に都合の良い位置に自由に配置することが可能
であり１これにより主放電回路の大きさが大きくなる問
題は発生しない。−！た、予備励起コンデンサ１３の総
容量はピーキングコンデンサ１の総容量より小さい方が
主放電電流１１に対する予備励起回路の電流の影響が少
なく、良い特性が得られる。
３の照射に都合の良い位置に自由に配置することが可能
であり１これにより主放電回路の大きさが大きくなる問
題は発生しない。−！た、予備励起コンデンサ１３の総
容量はピーキングコンデンサ１の総容量より小さい方が
主放電電流１１に対する予備励起回路の電流の影響が少
なく、良い特性が得られる。
次に、本発明の第２の実施例について説明する。
第３図は本発明の第２の実施例におけるレーザ装置を示
す回路構成図である。
す回路構成図である。
本実施例の特徴とするところは、予備励起コンデンサ１
３と直列に配置された予備励起スパークギャップ２−１
．２−２に予備励起コイル１６−１．１６−２が直列に
挿入されている点にあり、その他の構成は上記第１の実
施例と同様である。
３と直列に配置された予備励起スパークギャップ２−１
．２−２に予備励起コイル１６−１．１６−２が直列に
挿入されている点にあり、その他の構成は上記第１の実
施例と同様である。
予備励起スパークギャップ２Ｆｉ、一般には、紫外光を
主放電電極３に対して均一に照射するため、数多く使用
することが多い。特に、実際のレーザでは、主放電電極
３が細長い形状であるため、均一に照明するには数十率
の予備励起スパークギャップ２−１．２−２、・・・を
使用する。このような場合、予備励起スパークギャップ
２−１．２−２のアーク放電の強度を一定化することが
大切であシ、予備励起コイル１６−１．１６−２を設け
ることにより、各予備励起スパークギャップ２−１．２
−２に流れる電流を均一化してアーク放電の強度の均一
化を図ることが可能となる。筐た、予備励起コイル１６
−１．１６−２のインダクタンスを調整して最適な時間
タイミングで予備励起光を照射することも可能である。
主放電電極３に対して均一に照射するため、数多く使用
することが多い。特に、実際のレーザでは、主放電電極
３が細長い形状であるため、均一に照明するには数十率
の予備励起スパークギャップ２−１．２−２、・・・を
使用する。このような場合、予備励起スパークギャップ
２−１．２−２のアーク放電の強度を一定化することが
大切であシ、予備励起コイル１６−１．１６−２を設け
ることにより、各予備励起スパークギャップ２−１．２
−２に流れる電流を均一化してアーク放電の強度の均一
化を図ることが可能となる。筐た、予備励起コイル１６
−１．１６−２のインダクタンスを調整して最適な時間
タイミングで予備励起光を照射することも可能である。
すなわち、インダクタンスを多くするとアーク放電は遅
れるので、主放電とタイミングを合わせることができる
。
れるので、主放電とタイミングを合わせることができる
。
発明の効果
以上述べたように本発明によれば、主放電回路に付加し
て予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップを並
列に設けることにょシ、主放電は主に予備励起スパーク
ギャップを含１ない回路で行ない、必要かつ十分な強度
の予備励起を主として予備励起コンデンサと予備励起ス
パークギャップの直列回路で行なうことができる。この
ように必要以上の予備励起スパークを防止することがで
きるので、予備励起スパークギャップの磨耗を防止する
ことができて長期間の安定動作を図ることができる。ま
た、上記のように予備励起コンデンサと予備励起スパー
クギャップをピーキングコンデンサと別に並列回路とし
て設けることにょシ、主放電回路の小型化を図ることが
でき、したがって、放電スピードを向上させることがで
きる。更に、上記のように放電スピードを向上させると
共に、必要以上の予備励起スパークを防止し、不要なエ
ネルギー損失を少なくするので、レーザ発振効率を向上
させることができる。
て予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップを並
列に設けることにょシ、主放電は主に予備励起スパーク
ギャップを含１ない回路で行ない、必要かつ十分な強度
の予備励起を主として予備励起コンデンサと予備励起ス
パークギャップの直列回路で行なうことができる。この
ように必要以上の予備励起スパークを防止することがで
きるので、予備励起スパークギャップの磨耗を防止する
ことができて長期間の安定動作を図ることができる。ま
た、上記のように予備励起コンデンサと予備励起スパー
クギャップをピーキングコンデンサと別に並列回路とし
て設けることにょシ、主放電回路の小型化を図ることが
でき、したがって、放電スピードを向上させることがで
きる。更に、上記のように放電スピードを向上させると
共に、必要以上の予備励起スパークを防止し、不要なエ
ネルギー損失を少なくするので、レーザ発振効率を向上
させることができる。
第１図および第２図は本発明の第１の実施例におけるレ
ーザ装置を示し、第１図は回路構成図、第２図は主放電
回路と予備励起回路の断面積の説明図、第３図は本発明
の第２の実施例におけるレーザ装置を示す回路構成図、
第４図は従来例のレーザ装置を示す回路構成図である。 １・・・ピーキングコンデンサ、２．２−１．２−２・
・・予備励起スパークギャップ、３・・・主放電電極、
４・・・充電コンデンサ、５・・・サイラトロン、６・
・・充電コイル、９・・・移行電流、１０・・・予備励
起光、１１・・・主放電電流、１２・・・主放電、１３
・・・予備励起コンデンサ、１６−”１．１６−２・・
・予備励起コイル。
ーザ装置を示し、第１図は回路構成図、第２図は主放電
回路と予備励起回路の断面積の説明図、第３図は本発明
の第２の実施例におけるレーザ装置を示す回路構成図、
第４図は従来例のレーザ装置を示す回路構成図である。 １・・・ピーキングコンデンサ、２．２−１．２−２・
・・予備励起スパークギャップ、３・・・主放電電極、
４・・・充電コンデンサ、５・・・サイラトロン、６・
・・充電コイル、９・・・移行電流、１０・・・予備励
起光、１１・・・主放電電流、１２・・・主放電、１３
・・・予備励起コンデンサ、１６−”１．１６−２・・
・予備励起コイル。
Claims (4)
- （１）予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップ
の直列回路がピーキングコンデンサと並列回路になるよ
うに構成されたレーザ装置。 - （２）予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップ
の直列回路にコイルが直列接続された請求項１記載のレ
ーザ装置。 - （３）予備励起コンデンサの総容量がピーキングコンデ
ンサの総容量より小さい請求項１または２記載のレーザ
装置。 - （４）ピーキングコンデンサを有する主放電回路の断面
積が予備励起コンデンサと予備励起スパークギャップを
有する予備励起回路の断面積より小さくなるように構成
された請求項１ないし３のいずれかに記載のレーザ装置
。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2057116A JPH03257980A (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | レーザ装置 |
| CA 2037850 CA2037850A1 (en) | 1990-03-08 | 1991-03-08 | Laser apparatus with preionization |
| EP19910301966 EP0446072A3 (en) | 1990-03-08 | 1991-03-08 | Laser apparatus with preionization |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2057116A JPH03257980A (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257980A true JPH03257980A (ja) | 1991-11-18 |
Family
ID=13046570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2057116A Pending JPH03257980A (ja) | 1990-03-08 | 1990-03-08 | レーザ装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0446072A3 (ja) |
| JP (1) | JPH03257980A (ja) |
| CA (1) | CA2037850A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08335739A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Nec Corp | 放電励起エキシマレーザ装置 |
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Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04326584A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE3722724A1 (de) * | 1987-07-09 | 1989-01-19 | Lambda Physik Forschung | Schaltung fuer die vorionisierung und hauptentladung eines gepulsten gaslasers |
-
1990
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1991
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- 1991-03-08 EP EP19910301966 patent/EP0446072A3/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08335739A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Nec Corp | 放電励起エキシマレーザ装置 |
| WO2005085902A1 (en) * | 2004-03-10 | 2005-09-15 | Do-Young Kim | Apparatus and method for detecting a buried objetc using solitary wave. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0446072A3 (en) | 1992-01-02 |
| EP0446072A2 (en) | 1991-09-11 |
| CA2037850A1 (en) | 1991-09-09 |
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