JPS6184079A - ガスレ−ザの放電装置 - Google Patents
ガスレ−ザの放電装置Info
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- JPS6184079A JPS6184079A JP20577884A JP20577884A JPS6184079A JP S6184079 A JPS6184079 A JP S6184079A JP 20577884 A JP20577884 A JP 20577884A JP 20577884 A JP20577884 A JP 20577884A JP S6184079 A JPS6184079 A JP S6184079A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- capacitor
- electrode
- gas laser
- discharge device
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
「産業上の利用分野」
本発明は、エキシマレーザ、 ＴＥＡ−Ｃｏ□レーザ等
の・母ルス発振形ガスレーザに適用される放電装置の改
良に関する。 「従来技術」 エキシマレーデ等の／４ルス発振形ガスレーザの放電装
置は、コンデンサの放電エネルギーを放電電極間に印加
してこの放電電極間で放電を行い、この放電によってレ
ーザ媒質ガスを励起する作用をなす。 第７図は、上記コンデンサとして同軸形コンデンサ１を
適用した従来のガスレーザの放電装置を例示している。 この放電装置は、一対の放″’ｆＭ、 ％ｉ 極２．３
の上方に上記同軸形コンデンサｌを位置させ、該コンデ
ンサ１の中心電極４を上部放電電極２に接続するととも
に、該コンデンサの両側方に突設された外部電極端子５
を′電路６および導電性グレート７を介して下部電極３
に接続し、上記型へ２，３で形成される放電室間の側方
に位置する上記電路６の途中もて予備電離用のギャップ
８を形成した構成を有する。なお上記同軸形コンデンサ
ｌは、通常、電極２，３の長手方向に沿って複数個たと
え￥１３〜８個配置される。 が開始されろと、その充電時に上記Ｘ路６のギャップ８
において予備ｍｉとよばれろ小放電が行なわれる。そし
て上記コンガンｆ１の充電が完了すると、その放電エネ
ルギーによって、今度は電極２．３間において主放′亀
が行なわれ、これによってレーデ媒質ガスが励起される
。 上記予備′ＲＬ離は、上記小放電によシ発生される紫外
光によっ℃主放ＩＬ領域の電子をあらかじめ発生させる
作用、つまυこの予備古雅ののちにグロー状態の主放電
を円滑に開始させる作用をなすものである。 なお１．上記主放電時に放電電流が流れる電流路を、以
下、主回路ループという。 ［発明が解決しようとする問題点」 上記従来の放電装置は、上記放電電極２．３の両側方に
平行平板形コンデンサを位置させ、このコンデンサの放
電エネルギーをＮ、極２，３に加えるよりにした形式の
放電装置に比して主回路ループのインダクタンスを低減
することができる。しかし、この従来装置においても上
記インダクタンスによる発振出力への影響が大きく、そ
のため上記インダクタンスをさらに低減しうる放ｖｉ装
置が斑まれていた。 本発明は、このような要望を満たすことがでさるガスレ
ーザの放電装置を提供しようとするものである。 「問題点を解決するための手段」 本発明では、放１！１！極に放電エネルギーを与えるコ
ンデンサとして、異方向に突出する３個以上の外部電極
端子を備えた同軸形コンデンサを使用し、上記各放電電
極を該同軸形コンデンサの中心１ｊ他の軸線上に位置さ
せるとともに、上記中心電極側に位置する一方の放電１
！癒と該中心電極とを？！読し、上記各外部電極端子を
上記各放電１！極の側方を通る各別な電路を介して他方
の放電電極に接続するようにしている。 「作用」 本発明によれば、従来装置よりも主回路ループが多く形
成され、それらのループが並列接続される。＋：ｒＩ−
故、主回路ループのもつインダクタンスを全体的に低減
することができる。 「災施沙・ｊ」 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。 第１図しま本発明に保るガスレーザ用放電装置の一実施
例を示す。この実施例に係る放電装置は。 ２個の同軸形コンデンサ１０を同軸状に積み重ねてなる
コンデンサプロ、り１１を複数ブロック備え、これらの
コンデンサブロック１１を放を電極１２．１３の上方に
等間隔で配設しである。 上記各コンデンサブロック１１を構成する２個の同軸形
コンデンサ１０は、第２図に示す如く６各の中心馴１４
が相互に連結され、かつ下段のコンデンサ１０の中心電
極１４の下端部が上部放ＷＬ［極１２に螺着連結されて
いる。また、ブロック１１を構成する各コンデンサ］Ｏ
は、それらの両側方罠突設された外部電極端子１５０位
誼が第３図に示すように相互に９０°ずらされている。 そして個々の；ンｆンサ１０の外部電極端子１５は、中
央部に下部放！！電極１３を配置した導電性のグレート
１６の鉤端部にて路１７を介し℃接続されている。 上記コンデンサプロ、り１１は、上記する各コンデンサ
１０の接続態様から明らかなように、実質的に１個の同
軸形コンデンサとして機能する。 上記ｔＣ路１７は、導電性の口、ドがらなυ、第２因に
示すように１ｒＬ極１２．１３の放電空間１８の側方に
位置する部位に予備電離用のギャップ１９が形成されて
いる。なおこの電路１７を構成するロッドは、放電を流
の帰路となるのでリタ−ンロッドと呼ばれている。 この実施例において、上記同町形コンデンサ１０の中心
電極１４とプレート１６内に高電圧がＬｌｉ加されろと
、個々の同軸形コンデンサ１０が充′にを開始し、その
充鵞時に各を路】７のギャップ１９において予備電離と
よばれろ小さな放電が行なわれる。この放電はレーデ媒
質ガスを励起して紫外光を発生させ、この紫外光は主放
電領域（前記放電空間１８）において電子を発生させる
。 しかして上記コンデンサ１０の充電が一足以上進行して
放’ｌｌｉ電極１２．１３間の電圧が放！可能ｆｘ値ま
で上昇すると、該電極１２．１３間におい℃主放電が開
始され、これによって主放電領域洸存在するレーデ媒質
ガスが励起ちれてレーデ発振が生起されるつ この実施例では、電路１７の数が第７図に示した従来ｇ
ｂの１４路６の数の２倍となるので、主回路ルーズの数
も２倍となる。個々の主回路ループは電気的
の・母ルス発振形ガスレーザに適用される放電装置の改
良に関する。 「従来技術」 エキシマレーデ等の／４ルス発振形ガスレーザの放電装
置は、コンデンサの放電エネルギーを放電電極間に印加
してこの放電電極間で放電を行い、この放電によってレ
ーザ媒質ガスを励起する作用をなす。 第７図は、上記コンデンサとして同軸形コンデンサ１を
適用した従来のガスレーザの放電装置を例示している。 この放電装置は、一対の放″’ｆＭ、 ％ｉ 極２．３
の上方に上記同軸形コンデンサｌを位置させ、該コンデ
ンサ１の中心電極４を上部放電電極２に接続するととも
に、該コンデンサの両側方に突設された外部電極端子５
を′電路６および導電性グレート７を介して下部電極３
に接続し、上記型へ２，３で形成される放電室間の側方
に位置する上記電路６の途中もて予備電離用のギャップ
８を形成した構成を有する。なお上記同軸形コンデンサ
ｌは、通常、電極２，３の長手方向に沿って複数個たと
え￥１３〜８個配置される。 が開始されろと、その充電時に上記Ｘ路６のギャップ８
において予備ｍｉとよばれろ小放電が行なわれる。そし
て上記コンガンｆ１の充電が完了すると、その放電エネ
ルギーによって、今度は電極２．３間において主放′亀
が行なわれ、これによってレーデ媒質ガスが励起される
。 上記予備′ＲＬ離は、上記小放電によシ発生される紫外
光によっ℃主放ＩＬ領域の電子をあらかじめ発生させる
作用、つまυこの予備古雅ののちにグロー状態の主放電
を円滑に開始させる作用をなすものである。 なお１．上記主放電時に放電電流が流れる電流路を、以
下、主回路ループという。 ［発明が解決しようとする問題点」 上記従来の放電装置は、上記放電電極２．３の両側方に
平行平板形コンデンサを位置させ、このコンデンサの放
電エネルギーをＮ、極２，３に加えるよりにした形式の
放電装置に比して主回路ループのインダクタンスを低減
することができる。しかし、この従来装置においても上
記インダクタンスによる発振出力への影響が大きく、そ
のため上記インダクタンスをさらに低減しうる放ｖｉ装
置が斑まれていた。 本発明は、このような要望を満たすことがでさるガスレ
ーザの放電装置を提供しようとするものである。 「問題点を解決するための手段」 本発明では、放１！１！極に放電エネルギーを与えるコ
ンデンサとして、異方向に突出する３個以上の外部電極
端子を備えた同軸形コンデンサを使用し、上記各放電電
極を該同軸形コンデンサの中心１ｊ他の軸線上に位置さ
せるとともに、上記中心電極側に位置する一方の放電１
！癒と該中心電極とを？！読し、上記各外部電極端子を
上記各放電１！極の側方を通る各別な電路を介して他方
の放電電極に接続するようにしている。 「作用」 本発明によれば、従来装置よりも主回路ループが多く形
成され、それらのループが並列接続される。＋：ｒＩ−
故、主回路ループのもつインダクタンスを全体的に低減
することができる。 「災施沙・ｊ」 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。 第１図しま本発明に保るガスレーザ用放電装置の一実施
例を示す。この実施例に係る放電装置は。 ２個の同軸形コンデンサ１０を同軸状に積み重ねてなる
コンデンサプロ、り１１を複数ブロック備え、これらの
コンデンサブロック１１を放を電極１２．１３の上方に
等間隔で配設しである。 上記各コンデンサブロック１１を構成する２個の同軸形
コンデンサ１０は、第２図に示す如く６各の中心馴１４
が相互に連結され、かつ下段のコンデンサ１０の中心電
極１４の下端部が上部放ＷＬ［極１２に螺着連結されて
いる。また、ブロック１１を構成する各コンデンサ］Ｏ
は、それらの両側方罠突設された外部電極端子１５０位
誼が第３図に示すように相互に９０°ずらされている。 そして個々の；ンｆンサ１０の外部電極端子１５は、中
央部に下部放！！電極１３を配置した導電性のグレート
１６の鉤端部にて路１７を介し℃接続されている。 上記コンデンサプロ、り１１は、上記する各コンデンサ
１０の接続態様から明らかなように、実質的に１個の同
軸形コンデンサとして機能する。 上記ｔＣ路１７は、導電性の口、ドがらなυ、第２因に
示すように１ｒＬ極１２．１３の放電空間１８の側方に
位置する部位に予備電離用のギャップ１９が形成されて
いる。なおこの電路１７を構成するロッドは、放電を流
の帰路となるのでリタ−ンロッドと呼ばれている。 この実施例において、上記同町形コンデンサ１０の中心
電極１４とプレート１６内に高電圧がＬｌｉ加されろと
、個々の同軸形コンデンサ１０が充′にを開始し、その
充鵞時に各を路】７のギャップ１９において予備電離と
よばれろ小さな放電が行なわれる。この放電はレーデ媒
質ガスを励起して紫外光を発生させ、この紫外光は主放
電領域（前記放電空間１８）において電子を発生させる
。 しかして上記コンデンサ１０の充電が一足以上進行して
放’ｌｌｉ電極１２．１３間の電圧が放！可能ｆｘ値ま
で上昇すると、該電極１２．１３間におい℃主放電が開
始され、これによって主放電領域洸存在するレーデ媒質
ガスが励起ちれてレーデ発振が生起されるつ この実施例では、電路１７の数が第７図に示した従来ｇ
ｂの１４路６の数の２倍となるので、主回路ルーズの数
も２倍となる。個々の主回路ループは電気的
【並列縁ａ
されておジ、したがってこの主回路ループの数が増加す
るということは、トータルした主回路ループのインダク
タンスが低減されることを意味する。したがって、この
実施例によれば従来装置よりも発振効率を高めることが
できる。 第４図は本発明の他の実施５１１を示している。この実
施５１］では、互いに９０°の間隔をおいて突出する４
個の外部電極端子１５０を備えた同軸形コンデンサ１０
０が電極１，２の長手方向く沿って複数個配設場れてい
る。 上記同軸形コンデンサ１００は、前記実施例と同様にそ
の中心電極１４０が電極１２に連結され、かつ各外部電
極端子１５０が前記リターンロッドからなる電路１７を
介して電極１３に接続され℃いる。 この実施例では、主回路ループの数が前記実施例のそれ
と同数形成される。したがって、やはシ前記従来装置に
比してトータルした主回路ループのインダクタンスが低
減されろ。 なお上記災Ｍ飼において、３個もしくは４ｇ以上の外部
電極端子１５０を備えた同軸形コンデンサを使用するこ
とも可能であシ、第５図は６個の外部電極端子】５０を
備えた同軸形コンデンサ１００′の適用態様を示してい
る。 また第１図に示した実施例において、２個以上の同軸形
コンデンサ１０を多段配置してコンデンサブロック１１
を構成することも可能であシ、その場合、多段配置され
る各コンデンサ１０の外部電極端子１５は当然異方向に
向けられる。 ところで、第１図および第２図に示した実施例では、電
路１７の途中にギャップ１９を形成して予（、ｉ！ ”
ｄＬ離を行っているが、第１図の実施例につぃ℃の例を
第６図に示−′ｒように、電路１７にギヤ。 プ形成しないで予＠電離専用の放′ＩＥ、電極２ｏを別
に設ける＝９にしてもよい。 なお、本発明に係る放電装置は、電路１７の数が従来装
置よりも多いので、実施列に示したように上記１−路１
７にギャッ７’１９を形成した場合、従来装置に比して
このギャップ１９の奴も多くなる。したがって、予備電
離がより均一に行なわれるという効果が得られる。 「発明の効果」 本発明によれば、主回路ルーズが従来装置よシも多数形
成されるので、トータルした主回路ループのインダクタ
ンスを低減して、レーザ発振の効率を向上することがで
きる。
されておジ、したがってこの主回路ループの数が増加す
るということは、トータルした主回路ループのインダク
タンスが低減されることを意味する。したがって、この
実施例によれば従来装置よりも発振効率を高めることが
できる。 第４図は本発明の他の実施５１１を示している。この実
施５１］では、互いに９０°の間隔をおいて突出する４
個の外部電極端子１５０を備えた同軸形コンデンサ１０
０が電極１，２の長手方向く沿って複数個配設場れてい
る。 上記同軸形コンデンサ１００は、前記実施例と同様にそ
の中心電極１４０が電極１２に連結され、かつ各外部電
極端子１５０が前記リターンロッドからなる電路１７を
介して電極１３に接続され℃いる。 この実施例では、主回路ループの数が前記実施例のそれ
と同数形成される。したがって、やはシ前記従来装置に
比してトータルした主回路ループのインダクタンスが低
減されろ。 なお上記災Ｍ飼において、３個もしくは４ｇ以上の外部
電極端子１５０を備えた同軸形コンデンサを使用するこ
とも可能であシ、第５図は６個の外部電極端子】５０を
備えた同軸形コンデンサ１００′の適用態様を示してい
る。 また第１図に示した実施例において、２個以上の同軸形
コンデンサ１０を多段配置してコンデンサブロック１１
を構成することも可能であシ、その場合、多段配置され
る各コンデンサ１０の外部電極端子１５は当然異方向に
向けられる。 ところで、第１図および第２図に示した実施例では、電
路１７の途中にギャップ１９を形成して予（、ｉ！ ”
ｄＬ離を行っているが、第１図の実施例につぃ℃の例を
第６図に示−′ｒように、電路１７にギヤ。 プ形成しないで予＠電離専用の放′ＩＥ、電極２ｏを別
に設ける＝９にしてもよい。 なお、本発明に係る放電装置は、電路１７の数が従来装
置よりも多いので、実施列に示したように上記１−路１
７にギャッ７’１９を形成した場合、従来装置に比して
このギャップ１９の奴も多くなる。したがって、予備電
離がより均一に行なわれるという効果が得られる。 「発明の効果」 本発明によれば、主回路ルーズが従来装置よシも多数形
成されるので、トータルした主回路ループのインダクタ
ンスを低減して、レーザ発振の効率を向上することがで
きる。
第１図は本発明に係るガスレーザ用放電装置の一実施例
を概念的に示した斜視図、第２図は第１図の実施例にお
ける同軸形コンデンサの多段配置の態様を示した概念図
、第３図は第１図の実施列における外部電極端子の突出
位置を示した平面図、第４図は本発明の他の実施ガを概
念的に示した斜視図、第５図は第４図の実施例において
外部電極端子を工“シ役した状態を示す平面図、１０．
１００．１００’・・・同軸形コンデンサ、１１・・・
コンデンサブロック、１２．１３・・・放電電極、１４
゜１４０・・・中心電極、１５．１５０・・・外部ｔＬ
極端子、１７・・・電路、１９・・・ギャップ、２０・
・・予備電離用放電電極。 第１図 第２図 第３図 １６ １゜ 第５図 Ｊ２ 第６図 埠
を概念的に示した斜視図、第２図は第１図の実施例にお
ける同軸形コンデンサの多段配置の態様を示した概念図
、第３図は第１図の実施列における外部電極端子の突出
位置を示した平面図、第４図は本発明の他の実施ガを概
念的に示した斜視図、第５図は第４図の実施例において
外部電極端子を工“シ役した状態を示す平面図、１０．
１００．１００’・・・同軸形コンデンサ、１１・・・
コンデンサブロック、１２．１３・・・放電電極、１４
゜１４０・・・中心電極、１５．１５０・・・外部ｔＬ
極端子、１７・・・電路、１９・・・ギャップ、２０・
・・予備電離用放電電極。 第１図 第２図 第３図 １６ １゜ 第５図 Ｊ２ 第６図 埠
Claims (3)
- （１）コンデンサの放電エネルギーを一対の放電電極に
与えて放電を行なうガスレーザの放電装置において、上
記コンデンサとして異方向に突出する３個以上の外部電
極端子を備えた同軸形コンデンサを使用し、上記各放電
電極を該同軸形コンデンサの中心電極の軸線上に位置さ
せるとともに、上記中心電極側に位置する一方の放電電
極と該中心電極とを接続し、上記各外部電極端子を上記
各放電電極の側方を通る各別な電路を介して他方の放電
電極に接続してなるガスレーザの放電装置。 - （２）上記同軸形コンデンサは、異方向に突出する２個
以上の外部電極端を備えた２個以上の同軸形コンデンサ
を組み合わせてなり、それらのコンデンサを各々の中心
電極が共通接続される態様で、かつ各々の外部電極端子
の位置が相違する態様で多段状に積み重ねて配置したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のガスレ
ーザの放電装置。 - （３）上記各電路は、予備電離用のギャップを途中に備
えることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項または
第（２）項記載のガスレーザの放電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20577884A JPS6184079A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | ガスレ−ザの放電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20577884A JPS6184079A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | ガスレ−ザの放電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184079A true JPS6184079A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16512511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20577884A Pending JPS6184079A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | ガスレ−ザの放電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184079A (ja) |
-
1984
- 1984-10-01 JP JP20577884A patent/JPS6184079A/ja active Pending
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