JPH0325845A - 荷電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置Info
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- JPH0325845A JPH0325845A JP1159090A JP15909089A JPH0325845A JP H0325845 A JPH0325845 A JP H0325845A JP 1159090 A JP1159090 A JP 1159090A JP 15909089 A JP15909089 A JP 15909089A JP H0325845 A JPH0325845 A JP H0325845A
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- Japan
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- conditioning
- electrodes
- electrode
- charged particle
- particle beam
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
-
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- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/3002—Details
- H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/02—Details
- H01J2237/0203—Protection arrangements
- H01J2237/0206—Extinguishing, preventing or controlling unwanted discharges
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/04—Means for controlling the discharge
- H01J2237/047—Changing particle velocity
- H01J2237/0473—Changing particle velocity accelerating
- H01J2237/04735—Changing particle velocity accelerating with electrostatic means
-
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/31749—Focused ion beam
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高加速電圧の電子ビーム装置やイオンビーム
装置に使用される加速管のコンディショニングを行う荷
電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置に関する
。
装置に使用される加速管のコンディショニングを行う荷
電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置に関する
。
（従来の技術）
第３図は、高加速電圧の集束イオンビーム装置に用いら
れる加速管を示している。加速管は、多数の加速電極１
ａ〜１ｆと、各電極の間に配置された絶縁碍子２ａ〜２
ｅより構成されている。各電極１８〜１ｆの間は、夫々
分割抵抗３ａ〜３ｅによって接続されており、最初の電
極１ａと最後の電１１ｆの間には、加速電源４から、高
電圧が印加される。各電極には、分割抵抗３８〜３ｅに
よって分割された電圧が印加され、加速管内に導入され
たイオンビーム！Ｂは、各電極によって加速される。
れる加速管を示している。加速管は、多数の加速電極１
ａ〜１ｆと、各電極の間に配置された絶縁碍子２ａ〜２
ｅより構成されている。各電極１８〜１ｆの間は、夫々
分割抵抗３ａ〜３ｅによって接続されており、最初の電
極１ａと最後の電１１ｆの間には、加速電源４から、高
電圧が印加される。各電極には、分割抵抗３８〜３ｅに
よって分割された電圧が印加され、加速管内に導入され
たイオンビーム！Ｂは、各電極によって加速される。
さて、このような加速管において、コンディショニング
を行う場合には、第４図に示すように、電極１８〜１ｆ
を１枚おきに接続し、交流電源５からの交流電圧を互い
に隣り合った電極間に印加する。
を行う場合には、第４図に示すように、電極１８〜１ｆ
を１枚おきに接続し、交流電源５からの交流電圧を互い
に隣り合った電極間に印加する。
（発明が解決しようとする課題）
上記したコンディショニング方式で、第５図に示すよう
に、使用状態と同じ向きの電界が隣り合った電極１ａと
１ｂとに印加される場合には、下方の電極表面の微小突
起Ｔの存在によって放電が起こり、これによって上方の
電極１ａの下面が荒れることになる。これに対し、第６
図に示すように、使用状態と逆の向きの電界がｌ’ｆｉ
Ｊ加されたときには、コンディショニングによって、上
方の電極表面の微小突起Ｔの存在により放電が起こり、
下方の電極１ｂの上面が荒れることになる。このコンデ
ィショニングによって下方の電極１ｂ，すなわち、通常
の使用状態における低電位側の電極表面が電子によって
荒らされてしまうと、これが原因で、正方向の静電位を
印加したときに絶縁破壊が生じる。
に、使用状態と同じ向きの電界が隣り合った電極１ａと
１ｂとに印加される場合には、下方の電極表面の微小突
起Ｔの存在によって放電が起こり、これによって上方の
電極１ａの下面が荒れることになる。これに対し、第６
図に示すように、使用状態と逆の向きの電界がｌ’ｆｉ
Ｊ加されたときには、コンディショニングによって、上
方の電極表面の微小突起Ｔの存在により放電が起こり、
下方の電極１ｂの上面が荒れることになる。このコンデ
ィショニングによって下方の電極１ｂ，すなわち、通常
の使用状態における低電位側の電極表面が電子によって
荒らされてしまうと、これが原因で、正方向の静電位を
印加したときに絶縁破壊が生じる。
通常の使用状態と同じ状態でコンディショニングを行う
ことも考えられるが、その場合は、第３図に示す構成で
、加速電源４からの電圧をコンディシジニングが行える
ように高めることが必要となる。しかしながら、この接
続で、ある電極間で放電が発生すると、その隣り合った
電極が形成するギャップに過大な電圧が印加され、絶縁
碍子の劣化などにつながってしまう。
ことも考えられるが、その場合は、第３図に示す構成で
、加速電源４からの電圧をコンディシジニングが行える
ように高めることが必要となる。しかしながら、この接
続で、ある電極間で放電が発生すると、その隣り合った
電極が形成するギャップに過大な電圧が印加され、絶縁
碍子の劣化などにつながってしまう。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、その目
的は、通常の使用状態における低電位側の電極表面を放
電によって荒らすことがなく、又、特定の電極間に過大
な電圧が印加されないように、コンディショニングを行
うことができる荷電粒子ビーム加速管のコンディショニ
ング装置を実現することにある。
的は、通常の使用状態における低電位側の電極表面を放
電によって荒らすことがなく、又、特定の電極間に過大
な電圧が印加されないように、コンディショニングを行
うことができる荷電粒子ビーム加速管のコンディショニ
ング装置を実現することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明に基づく荷電粒子ビーム加速管のコンディショニ
ング装置は、多数の加速電極からなる荷電粒子ビーム加
速管において、コンディショニング用の電圧を、多数の
加速電極の内の隣り合った２枚の電極間に選択的に印加
し得るように構戊したことを特徴としている。
ング装置は、多数の加速電極からなる荷電粒子ビーム加
速管において、コンディショニング用の電圧を、多数の
加速電極の内の隣り合った２枚の電極間に選択的に印加
し得るように構戊したことを特徴としている。
（作用）
加速管のコンディショニングを行う際には、多数の加速
電極の一部を共通接続し、特定の２枚の電極間にのみ通
常の使用状態と同じ向きの電界を印加し、更に、電界が
印加される電極の組合わせを切換え、各電極間でのコン
ディショニングを行う。
電極の一部を共通接続し、特定の２枚の電極間にのみ通
常の使用状態と同じ向きの電界を印加し、更に、電界が
印加される電極の組合わせを切換え、各電極間でのコン
ディショニングを行う。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。第１図は本発明に基づくコンディショニング装置を示
しており、第３図と同一部分は同一番号を付してある。
。第１図は本発明に基づくコンディショニング装置を示
しており、第３図と同一部分は同一番号を付してある。
この実施例において、コンディショニングの際には、各
電極１ａ〜１ｆは、接続切換回路６を介して、コンディ
ショニング用電［７に接続されている。第１図の状態は
、電極１ａと１ｂとの間のコンディショニングを行う場
合を示しており、この場合、電極１ｂ〜１ｆは、接続切
換回路６によって共通接続されている。従って、電極１
ａとｌｂとの間に、使用状態と同じ向きの電界が印加さ
れ、コンディショニングが行われる。
電極１ａ〜１ｆは、接続切換回路６を介して、コンディ
ショニング用電［７に接続されている。第１図の状態は
、電極１ａと１ｂとの間のコンディショニングを行う場
合を示しており、この場合、電極１ｂ〜１ｆは、接続切
換回路６によって共通接続されている。従って、電極１
ａとｌｂとの間に、使用状態と同じ向きの電界が印加さ
れ、コンディショニングが行われる。
次に、電極１ｂと１ｃとの間のコンディショニングを行
う場合には、接続切換回路６によって、第２図に示すよ
うに、電極１ａと１ｂが共通接続され、電極１ｃ〜１ｆ
が共通接続される。その結果、電極１ｂと１ｃとの間に
使用状態と同じ向きの電界が印加される。その後、同様
に、接続切換回路６によって各電極間が選択的にコンデ
ィショニングされるように電極間の接続状態が切換えら
れる。
う場合には、接続切換回路６によって、第２図に示すよ
うに、電極１ａと１ｂが共通接続され、電極１ｃ〜１ｆ
が共通接続される。その結果、電極１ｂと１ｃとの間に
使用状態と同じ向きの電界が印加される。その後、同様
に、接続切換回路６によって各電極間が選択的にコンデ
ィショニングされるように電極間の接続状態が切換えら
れる。
このように、特定の電極間のみに通常の使用状態と同じ
向きの電圧を印加するようにしたので、コンディショニ
ングの際の放電により、低電位側の電極表面が荒れるこ
とは防止される。
向きの電圧を印加するようにしたので、コンディショニ
ングの際の放電により、低電位側の電極表面が荒れるこ
とは防止される。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明では、特定の電極間のみに
選択的にコンディショニング用の電圧を、使用状態と同
じ向きに印加するように構成したので、通常の使用状態
における低電位側の電極表面が放電によって荒れること
はなくなり、正方向の静電位を印加しても、絶縁破壊を
起こすことは防止される。又、個々の電極間のコンディ
ショニングを順に行うようにしたので、どの電極間に放
電が起こりやすいかを正確に把握することができる。
選択的にコンディショニング用の電圧を、使用状態と同
じ向きに印加するように構成したので、通常の使用状態
における低電位側の電極表面が放電によって荒れること
はなくなり、正方向の静電位を印加しても、絶縁破壊を
起こすことは防止される。又、個々の電極間のコンディ
ショニングを順に行うようにしたので、どの電極間に放
電が起こりやすいかを正確に把握することができる。
更に、全部の加速電極のコンディショニングを同時に行
うことはしていないので、放電によって特定の電極間に
過大な電圧が印加されることは防止される。
うことはしていないので、放電によって特定の電極間に
過大な電圧が印加されることは防止される。
第１図および第２図は、本発明の一実施例である加速管
のコンディショニング装置を示す図、第３図は、加速管
を示す図、第４図は従来の加速管のコンディショニング
装置を示す図、第５図および第６図は、コンディショニ
ングによる放電の状態を示す図である。 １ａ〜１ｆ・・・加速電極 ２ａ〜２ｅ・・・絶縁碍子 ３ａ〜３ｅ・・・分割抵抗
のコンディショニング装置を示す図、第３図は、加速管
を示す図、第４図は従来の加速管のコンディショニング
装置を示す図、第５図および第６図は、コンディショニ
ングによる放電の状態を示す図である。 １ａ〜１ｆ・・・加速電極 ２ａ〜２ｅ・・・絶縁碍子 ３ａ〜３ｅ・・・分割抵抗
Claims (1)
- 多数の加速電極からなる荷電粒子ビーム加速管におい
て、コンディショニング用の電圧を、多数の加速電極の
内の隣り合った２枚の電極間に選択的に印加し得るよう
に構成したことを特徴とする荷電粒子ビーム加速管のコ
ンディショニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159090A JPH0325845A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 荷電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1159090A JPH0325845A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 荷電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0325845A true JPH0325845A (ja) | 1991-02-04 |
Family
ID=15686020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1159090A Pending JPH0325845A (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 | 荷電粒子ビーム加速管のコンディショニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0325845A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013505545A (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-14 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 分散イオン源加速カラム |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP1159090A patent/JPH0325845A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013505545A (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-14 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 分散イオン源加速カラム |
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