JPH0326324A - 複合多孔質膜 - Google Patents
複合多孔質膜Info
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- JPH0326324A JPH0326324A JP16187289A JP16187289A JPH0326324A JP H0326324 A JPH0326324 A JP H0326324A JP 16187289 A JP16187289 A JP 16187289A JP 16187289 A JP16187289 A JP 16187289A JP H0326324 A JPH0326324 A JP H0326324A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はフッ素樹脂のみがらなる複合多孔質膜の改良に
関するものである。
関するものである。
く従来の技術〉
多孔質膜は各種分野における浄化処理に使用されている
が、特にＩＣまたはＬＳＩ製造プロセスにおける微細加
工技術分野で必要とされる薬品の清浄化では、金属溶出
の少ない耐薬品ｌｌｉ−に優れた多孔質膜が必要であり
、ががる要件を満す多孔質展としてはフッ素樹脂が有望
である。
が、特にＩＣまたはＬＳＩ製造プロセスにおける微細加
工技術分野で必要とされる薬品の清浄化では、金属溶出
の少ない耐薬品ｌｌｉ−に優れた多孔質膜が必要であり
、ががる要件を満す多孔質展としてはフッ素樹脂が有望
である。
ところで、フッ素樹脂多孔質膜、特に四フッ化エチレン
樹脂製多孔質膜は機械的強度に劣るので単独使用は難し
く、支持体との複合形態で使用することが通常である。
樹脂製多孔質膜は機械的強度に劣るので単独使用は難し
く、支持体との複合形態で使用することが通常である。
而して、フッ素樹脂のみからなる複合多孔質膜として、
フッ素樹脂多孔質膜とフッ素樹脂繊維支持体との複合体
が公知であり、その複合化手段としては、０）フッ素樹
脂繊維支持体例えばフッ素樹脂繊維識布とフッ素樹厠多
孔質膜との全接触部分を熱融着するもの（実開昭５６−
１７１２４号公報）、■フッ素樹脂多孔質膜でフッ素樹
脂支持体をサンドイッチ状に挾み、端部のみを熱融着に
よりシールするもの等が知られている。
フッ素樹脂多孔質膜とフッ素樹脂繊維支持体との複合体
が公知であり、その複合化手段としては、０）フッ素樹
脂繊維支持体例えばフッ素樹脂繊維識布とフッ素樹厠多
孔質膜との全接触部分を熱融着するもの（実開昭５６−
１７１２４号公報）、■フッ素樹脂多孔質膜でフッ素樹
脂支持体をサンドイッチ状に挾み、端部のみを熱融着に
よりシールするもの等が知られている。
く解決しようとする課題〉
しかしながらフッ素樹脂の融着は困難であり、フッ素樹
脂繊維支持体とフッ素樹脂多孔質膜との全接触面を加圧
融着する０）の場合は、その接触面積が広く、かつ繊維
交点とその交点以外の部分とでは受圧条件が異なるため
に過酷な加圧・加熱を行なわなければならず、フッ素樹
脂多孔質膜の損傷が懸念される。■の場合、多孔質膜損
傷の懸念はないが、融着する端部において、フッ素樹脂
多孔質膜間にフッ素樹脂支持体が介在するがら、（１）
と同様過酷な加圧・加熱を行なわなければならず、膜の
みが熱収縮を起こし、端部シールの信頼性に欠け、しか
も（１）場合とは異なり作業の連続化が難かしく、作業
の複雑化も避けられない。
脂繊維支持体とフッ素樹脂多孔質膜との全接触面を加圧
融着する０）の場合は、その接触面積が広く、かつ繊維
交点とその交点以外の部分とでは受圧条件が異なるため
に過酷な加圧・加熱を行なわなければならず、フッ素樹
脂多孔質膜の損傷が懸念される。■の場合、多孔質膜損
傷の懸念はないが、融着する端部において、フッ素樹脂
多孔質膜間にフッ素樹脂支持体が介在するがら、（１）
と同様過酷な加圧・加熱を行なわなければならず、膜の
みが熱収縮を起こし、端部シールの信頼性に欠け、しか
も（１）場合とは異なり作業の連続化が難かしく、作業
の複雑化も避けられない。
また、（１）の場合は、フッ素樹脂支持体に融着される
フッ素樹脂多孔質膜の面積が大きく、この部分の膜面が
閉塞されてしまうので、それだけ有効膜面積が削減され
、透過性能の低下を避け得ない。
フッ素樹脂多孔質膜の面積が大きく、この部分の膜面が
閉塞されてしまうので、それだけ有効膜面積が削減され
、透過性能の低下を避け得ない。
■の場合、かかる不利は排除できるが、膜と支持体とが
一体化されていないので、フィルターの使用時に膜の微
小移動が発生し、給水のオン・オフ時には支持体により
膜が擦られて機械的ダメージを受け易く、特に、加工時
にしわが入った部分においては、この影響が大きく膜破
損の懸念がある。
一体化されていないので、フィルターの使用時に膜の微
小移動が発生し、給水のオン・オフ時には支持体により
膜が擦られて機械的ダメージを受け易く、特に、加工時
にしわが入った部分においては、この影響が大きく膜破
損の懸念がある。
更に、上記■の場合、支持体が膜面に一休化されていな
いため、支持体に繊維の編物ネットを使用する場合、繊
維が解け易いといった不合理もある。本発明の目的は（
１）の場合の不利益並びに■の場合の不利益を排除でき
るフッ素樹脂製の複合多孔質膜を提供することにある。
いため、支持体に繊維の編物ネットを使用する場合、繊
維が解け易いといった不合理もある。本発明の目的は（
１）の場合の不利益並びに■の場合の不利益を排除でき
るフッ素樹脂製の複合多孔質膜を提供することにある。
く課題を解決するための手段〉
本発明に係る複合多孔質膜は、フッ素樹脂製編物ネット
とフッ素樹脂製多孔質膜とを積層し上記ネットの交点を
上記多孔質膜に融着したことを特徴とする構戒である。
とフッ素樹脂製多孔質膜とを積層し上記ネットの交点を
上記多孔質膜に融着したことを特徴とする構戒である。
く実施例の説明〉
本発明において使用するフッ素樹脂製多孔質膜は特に四
フッ化エチレン樹脂製である。その膜厚、孔径は処理物
の種類、濾過目的に応じて選定するが通常、膜厚５〜２
０ｕｍ、孔径０．０１ 〜１０ｕｍである。
フッ化エチレン樹脂製である。その膜厚、孔径は処理物
の種類、濾過目的に応じて選定するが通常、膜厚５〜２
０ｕｍ、孔径０．０１ 〜１０ｕｍである。
本発明において、フッ素樹脂製編物ネットには、四フッ
化エチレンーパーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合樹脂（ＰＦＡ） 、四フッ化エチレン一六フッ化プロ
ピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、エチレン一四フッ化エチ
レン共重合樹脂（ＥＴＦＥ）、三フッ化塩化エチレン樹
脂（ＰＣＴＦＥ）、エチレンー三フッ化塩化エチレン共
重合樹脂（ＥＣＴＦＥ） 、フッ化ビニリデン樹脂（Ｐ
ＶｄＦ）、フッ化ビニル樹脂（ＰＶＦ）、四フッ化エチ
レン六フッ化プロピレン−バーフルオロアルキルビニル
エーテル共重合樹脂（ＥＰＥ）等の熱可塑性フッ素樹脂
、含フッ素共重合樹脂を使用できる。
化エチレンーパーフルオロアルキルビニルエーテル共重
合樹脂（ＰＦＡ） 、四フッ化エチレン一六フッ化プロ
ピレン共重合樹脂（ＦＥＰ）、エチレン一四フッ化エチ
レン共重合樹脂（ＥＴＦＥ）、三フッ化塩化エチレン樹
脂（ＰＣＴＦＥ）、エチレンー三フッ化塩化エチレン共
重合樹脂（ＥＣＴＦＥ） 、フッ化ビニリデン樹脂（Ｐ
ＶｄＦ）、フッ化ビニル樹脂（ＰＶＦ）、四フッ化エチ
レン六フッ化プロピレン−バーフルオロアルキルビニル
エーテル共重合樹脂（ＥＰＥ）等の熱可塑性フッ素樹脂
、含フッ素共重合樹脂を使用できる。
特に好ましくは、耐薬品製、耐熱性の点でＰＦＡ、ＦＥ
Ｐ，ＥＰＥ，ＥＴＦＥ，ＰＣＴＦＥ，ＥＣＴＦＥ、特に
ＰＦＡ，ＦＥＰ，ＥＰＥである。
Ｐ，ＥＰＥ，ＥＴＦＥ，ＰＣＴＦＥ，ＥＣＴＦＥ、特に
ＰＦＡ，ＦＥＰ，ＥＰＥである。
この絹物ネットの強度としては、濾４゛圧によって容易
に形崩れしない程度の剛性を付与すればよく、通常厚さ
は０．１〜ｌ．Ｏｍｍ、網目の寸法は０．１〜５−Ｏｍ
ｍ”程度である。この寸法は、後述するように融着時の
糸の切断防止、繊維間の融着防止にも適合する寸法であ
る。編物ネットのヨコ糸またはタテ糸には、単繊維、よ
り線あるいはこれらの混或を使用できる。
に形崩れしない程度の剛性を付与すればよく、通常厚さ
は０．１〜ｌ．Ｏｍｍ、網目の寸法は０．１〜５−Ｏｍ
ｍ”程度である。この寸法は、後述するように融着時の
糸の切断防止、繊維間の融着防止にも適合する寸法であ
る。編物ネットのヨコ糸またはタテ糸には、単繊維、よ
り線あるいはこれらの混或を使用できる。
本発明に係る複合多孔質膜においては、編物ネットの交
点のみが多孔質膜に融着されているがら、前記（１）の
場合に較べ、ネットによる膜面の閉塞面積が小さく、膜
面有効面積を大きくとり得、秀れた透過性能を呈する。
点のみが多孔質膜に融着されているがら、前記（１）の
場合に較べ、ネットによる膜面の閉塞面積が小さく、膜
面有効面積を大きくとり得、秀れた透過性能を呈する。
編物ネットは多孔質膜を機械的に補強し、多孔膜の取扱
い性、つまり、フィルター化の作業性を向上させる他、
濾過時のスベーサ（透過液通路を確保〉としても機能す
る。而るに、このスペーサ上に濾過膜としての多孔質体
が部分的融着によりたるみなく張設されており、膜はそ
の表面がほぼ平坦であり、かつ濾過圧に対する抵抗力も
あるから、前記０）の場合（ネットの全面に膜を融着す
るために、膜表面にネットの凹凸が現れる〉または前記
■の場合（ネットと膜とが一体化されていないので、濾
過圧に対する抵抗力が小）とは異なりスケール等の付着
なく、長期にわたって安定な透過性が期待できる。
い性、つまり、フィルター化の作業性を向上させる他、
濾過時のスベーサ（透過液通路を確保〉としても機能す
る。而るに、このスペーサ上に濾過膜としての多孔質体
が部分的融着によりたるみなく張設されており、膜はそ
の表面がほぼ平坦であり、かつ濾過圧に対する抵抗力も
あるから、前記０）の場合（ネットの全面に膜を融着す
るために、膜表面にネットの凹凸が現れる〉または前記
■の場合（ネットと膜とが一体化されていないので、濾
過圧に対する抵抗力が小）とは異なりスケール等の付着
なく、長期にわたって安定な透過性が期待できる。
本発明に係る複合多孔質膜においては、編物ネットの交
点は多孔質膜に融着されているが、ネットのタテ糸とヨ
コ糸とは実質的に結着されておらず、しかも交点部分の
嵩高さのためにスペーサ効果もよく確保できるので、前
記（１）の場合に較べ、通液性に優れ集液に゛方向性も
ない。また、多孔質膜の厚さに較べて編物ネットの厚さ
が著しく大であるので、複合多孔質膜全体の撓み性は編
物ネットの曲げ剛性によって実質的に定まってしまうが
、タテ糸とヨコ系とを結着せずに相互に摺動可能として
編物ネットの曲げ剛性を小としてあるので、複合多孔質
膜全体の可撓性をよく保証でき、かかる点からも取扱い
が容易である。更に、ネットが多孔質膜に融着されてい
るから、ネットの解けも回避でき、前記■の場合に較べ
、取扱いが容易である。もっとも、前記■の場合、ネッ
トの解けを排除するために、カレンダーリングによりネ
ットの交点を圧着することも考えられるが、ネット表面
が平滑化されて、ネットと膜との接触が面接触となり、
その接触面積の増大によって膜の有効面積が減削される
、集液に方向性が出てくる等の不合理が生じる。而るに
、本発明ではカレンダーリングを必要としないので、が
がる不合理が全く生じない。
点は多孔質膜に融着されているが、ネットのタテ糸とヨ
コ糸とは実質的に結着されておらず、しかも交点部分の
嵩高さのためにスペーサ効果もよく確保できるので、前
記（１）の場合に較べ、通液性に優れ集液に゛方向性も
ない。また、多孔質膜の厚さに較べて編物ネットの厚さ
が著しく大であるので、複合多孔質膜全体の撓み性は編
物ネットの曲げ剛性によって実質的に定まってしまうが
、タテ糸とヨコ系とを結着せずに相互に摺動可能として
編物ネットの曲げ剛性を小としてあるので、複合多孔質
膜全体の可撓性をよく保証でき、かかる点からも取扱い
が容易である。更に、ネットが多孔質膜に融着されてい
るから、ネットの解けも回避でき、前記■の場合に較べ
、取扱いが容易である。もっとも、前記■の場合、ネッ
トの解けを排除するために、カレンダーリングによりネ
ットの交点を圧着することも考えられるが、ネット表面
が平滑化されて、ネットと膜との接触が面接触となり、
その接触面積の増大によって膜の有効面積が減削される
、集液に方向性が出てくる等の不合理が生じる。而るに
、本発明ではカレンダーリングを必要としないので、が
がる不合理が全く生じない。
本発明に係る複合多孔質膜はゴムロールと、表面の面精
度が高い鏡面仕上げのメタルロールを用い、フッ素樹脂
製多孔質膜をメタルロールに接触させるように複合材料
を３００’Ｃ以上の高温下にて高速でロール加圧する方
法により製造できる。この方法によれば、ネットの交点
が嵩高であるために、この交点がロールを通過する際、
その交点箇所の圧力が局部的に高くなり、当該箇所のフ
ッ素樹脂多孔質膜が緻密化して加熱メタルロールからの
熱がその交点によく伝達され、交点箇所と多孔質膜との
接触部位が融着されるのである。この場合、ネットの糸
が細過ぎたり、ネットの目が小さ過ぎると糸の切断、あ
るいは交点でのヨコ糸・タテ糸間の融着が生じるので、
ネッとには厚さ（１１〜１．０ｍｍ、目の孔面積０．
１〜５．０ｍｎｎ２程度のものを使用している。
度が高い鏡面仕上げのメタルロールを用い、フッ素樹脂
製多孔質膜をメタルロールに接触させるように複合材料
を３００’Ｃ以上の高温下にて高速でロール加圧する方
法により製造できる。この方法によれば、ネットの交点
が嵩高であるために、この交点がロールを通過する際、
その交点箇所の圧力が局部的に高くなり、当該箇所のフ
ッ素樹脂多孔質膜が緻密化して加熱メタルロールからの
熱がその交点によく伝達され、交点箇所と多孔質膜との
接触部位が融着されるのである。この場合、ネットの糸
が細過ぎたり、ネットの目が小さ過ぎると糸の切断、あ
るいは交点でのヨコ糸・タテ糸間の融着が生じるので、
ネッとには厚さ（１１〜１．０ｍｍ、目の孔面積０．
１〜５．０ｍｎｎ２程度のものを使用している。
〈発明の効果〉
本発明に係る複合多孔質膜は、全体がフッ素樹脂製であ
り、耐薬品性、耐熱性に優れ、金属溶出等の問題がな＜
、０．０１ＪＩ〜ｌｈといった非常に小さな粒子を含
む液の濾過処理が可能であり、しかも、上記したように
、膜面の有効面積を大きくとれる、長期にわたって安定
な透過性を保持できる、通液性に優れ集液に方向性がな
い、取扱いが容易である等の利点がある。従って、本発
明はＬＳＩ製造プロセス等で使用する薬剤等の精製に特
に有効である。
り、耐薬品性、耐熱性に優れ、金属溶出等の問題がな＜
、０．０１ＪＩ〜ｌｈといった非常に小さな粒子を含
む液の濾過処理が可能であり、しかも、上記したように
、膜面の有効面積を大きくとれる、長期にわたって安定
な透過性を保持できる、通液性に優れ集液に方向性がな
い、取扱いが容易である等の利点がある。従って、本発
明はＬＳＩ製造プロセス等で使用する薬剤等の精製に特
に有効である。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例１
平均孔径０．２Ｊ１ｍ、厚さ５０Ｊｉｍのポリテトラフ
ルオロエチレン多孔質膜と線径３００Ｂｍ、目の大きさ
４ｍｍ２四フッ化エチレンーパーフルオロアルキルビニ
ル工一テル共重合体樹脂編物ネットを重ね、表面温度３
７０℃のメタルロールとゴムロールとの間に通した。
ルオロエチレン多孔質膜と線径３００Ｂｍ、目の大きさ
４ｍｍ２四フッ化エチレンーパーフルオロアルキルビニ
ル工一テル共重合体樹脂編物ネットを重ね、表面温度３
７０℃のメタルロールとゴムロールとの間に通した。
得られた複合多孔質膜の特性は、エタノール透過流束：
２５℃において６．５ｍＱ／ｃｍ２／ｍｉｎ （測定圧
カ： ０．３２ｋｇ／ｃｍ２、Ａ Ｓ ＴＭ Ｆ ３１
７−７２に準ずる）、エタノールバルブポイント： １
．２０ｋｇ／ｃｍ２（ Ａ Ｓ ＴＭＦ３１６−７０に
準ずる）であった。
２５℃において６．５ｍＱ／ｃｍ２／ｍｉｎ （測定圧
カ： ０．３２ｋｇ／ｃｍ２、Ａ Ｓ ＴＭ Ｆ ３１
７−７２に準ずる）、エタノールバルブポイント： １
．２０ｋｇ／ｃｍ２（ Ａ Ｓ ＴＭＦ３１６−７０に
準ずる）であった。
実施例２
フッ素樹脂製多孔質膜として平均孔径０，５μｍ、厚さ
４０Ｅｍのポリテトラフルオ口エチレン多孔質膜を使用
し、ネットには線径２００μｍ、目の大きさ、２．５ｍ
ｍ２のエチレン一四フフ化エチレン共重合樹脂編物ネッ
トを使用し、ロール温度を３２０゜とした。
４０Ｅｍのポリテトラフルオ口エチレン多孔質膜を使用
し、ネットには線径２００μｍ、目の大きさ、２．５ｍ
ｍ２のエチレン一四フフ化エチレン共重合樹脂編物ネッ
トを使用し、ロール温度を３２０゜とした。
得られた複合多孔質膜の特性は、エタノール透過流束：
２５℃において１３．８ｍＱ／ａｍ２／ｍｉｎ （測定
圧力： ０．３２ｋｇ／ｃｍ２） 、エタノールバブル
ポイント二〇．８７ｋｇ／ｃｍ２であった。
２５℃において１３．８ｍＱ／ａｍ２／ｍｉｎ （測定
圧力： ０．３２ｋｇ／ｃｍ２） 、エタノールバブル
ポイント二〇．８７ｋｇ／ｃｍ２であった。
実施例３
フッ素樹脂製多孔質膜として平均孔径３．０７１ｍ、厚
さ１５Ｊ１ｍのポリテトラフルオ口エチレン多孔質膜を
使用し、ネットには線径３００Ｉ１ｍ、目の大きさ、５
ｍｍ２の四フッ化エチレンーパーフルオロアルキルビニ
ルエーテル共重合体樹脂編物ネットを使用し、ロール温
度は３７０℃とした。
さ１５Ｊ１ｍのポリテトラフルオ口エチレン多孔質膜を
使用し、ネットには線径３００Ｉ１ｍ、目の大きさ、５
ｍｍ２の四フッ化エチレンーパーフルオロアルキルビニ
ルエーテル共重合体樹脂編物ネットを使用し、ロール温
度は３７０℃とした。
得られた複合多孔質膜の通気度は８． ３ｃｃ／ｃｍ２
７ｓｅｃ（ｍ定圧カ： １２．７ｍｍＨ ２０ ． Ｊ
Ｉ Ｓ Ｌ １０９６−１９７９に準ずる）。
７ｓｅｃ（ｍ定圧カ： １２．７ｍｍＨ ２０ ． Ｊ
Ｉ Ｓ Ｌ １０９６−１９７９に準ずる）。
以上、何れの実施例品の特性とも、各実施例におけるポ
リテトラフルオ口エチレン多孔質膜単独の特性と比較し
て遜色がなく、フッ素樹脂製多孔質膜をその透過性能を
保持したままでフッ素樹脂製編物ネットで補強し得た。
リテトラフルオ口エチレン多孔質膜単独の特性と比較し
て遜色がなく、フッ素樹脂製多孔質膜をその透過性能を
保持したままでフッ素樹脂製編物ネットで補強し得た。
Claims (1)
- フッ素樹脂製編物ネットとフッ素樹脂製多孔質膜とを積
層し、上記ネットの交点を上記多孔質膜に融着したこと
を特徴とする複合多孔質膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1161872A JPH0822372B2 (ja) | 1989-06-24 | 1989-06-24 | 複合多孔質膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1161872A JPH0822372B2 (ja) | 1989-06-24 | 1989-06-24 | 複合多孔質膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0326324A true JPH0326324A (ja) | 1991-02-04 |
| JPH0822372B2 JPH0822372B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=15743578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1161872A Expired - Lifetime JPH0822372B2 (ja) | 1989-06-24 | 1989-06-24 | 複合多孔質膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0822372B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004501756A (ja) * | 2000-06-29 | 2004-01-22 | ホライズン・テクノロジー・インク | 溶媒からの水分離 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148326U (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-03 | 日東電工株式会社 | 補強された多孔質膜 |
-
1989
- 1989-06-24 JP JP1161872A patent/JPH0822372B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148326U (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-03 | 日東電工株式会社 | 補強された多孔質膜 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004501756A (ja) * | 2000-06-29 | 2004-01-22 | ホライズン・テクノロジー・インク | 溶媒からの水分離 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0822372B2 (ja) | 1996-03-06 |
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Legal Events
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