JPH03264287A - 吸引式ピックアップ装置 - Google Patents
吸引式ピックアップ装置Info
- Publication number
- JPH03264287A JPH03264287A JP6070990A JP6070990A JPH03264287A JP H03264287 A JPH03264287 A JP H03264287A JP 6070990 A JP6070990 A JP 6070990A JP 6070990 A JP6070990 A JP 6070990A JP H03264287 A JPH03264287 A JP H03264287A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous member
- suction
- suction hole
- lower bottom
- hole
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〉
本発明は、負圧を利用した吸引式ピックアップ装置に関
し、特に電子デバイスのチップの如き微小部品のピック
アップに用いられる吸引式ピックアップに関するもので
ある。
し、特に電子デバイスのチップの如き微小部品のピック
アップに用いられる吸引式ピックアップに関するもので
ある。
（従来の技術）
ダイボンディング装「等に於て、電子デバイスのチップ
をボンデｆング部へ搬送するピックアップ装置として、
負圧を利用して搬送部品であるチップを吸着保持する眼
中式ピックアップ装置が知られている。
をボンデｆング部へ搬送するピックアップ装置として、
負圧を利用して搬送部品であるチップを吸着保持する眼
中式ピックアップ装置が知られている。
従来一般に用いられている吸引式ピックアップ装置は、
部品吸着面に開口した吸引孔を有し、この吸引孔よりの
空気吸引によってチップの如き部品を前記部品吸着面に
吸着させてこれのピックアップを行うように構成されて
いる。
部品吸着面に開口した吸引孔を有し、この吸引孔よりの
空気吸引によってチップの如き部品を前記部品吸着面に
吸着させてこれのピックアップを行うように構成されて
いる。
（発明か解決しようとする課題〉
一般に、吸引式ピンクアップ装置の吸引孔は単−孔とし
て構成され、二の吸引孔は、吸着すべき部品が吸引孔内
に入り込まないよう、吸引すべき部品より小さい開門面
積をもって開口しており、このため部品が正しくピック
アップされるためには、部品と吸引孔との（立置が互い
にずれないように、ピックアップ位置に於ける部品の装
入位置とピックアップ装置の停止位置とを高精度に設定
する必要がある。特に、電子デバイスとしてのレーザチ
ップの如き微小部品に於ては、ピックアップ装置の吸引
孔は直径が０．１＋＋ｎ程度とＪ「常に小さく、このた
めこのような微小部品のピックアップに際しては、ピッ
クアップ時に於けるピックアップ部品の位置を画像処理
装置等を用いて認識し、これに基いてピックアップ位置
に於けるビックアツブ装置の停止位置を精密制御するこ
とが必要となっている。
て構成され、二の吸引孔は、吸着すべき部品が吸引孔内
に入り込まないよう、吸引すべき部品より小さい開門面
積をもって開口しており、このため部品が正しくピック
アップされるためには、部品と吸引孔との（立置が互い
にずれないように、ピックアップ位置に於ける部品の装
入位置とピックアップ装置の停止位置とを高精度に設定
する必要がある。特に、電子デバイスとしてのレーザチ
ップの如き微小部品に於ては、ピックアップ装置の吸引
孔は直径が０．１＋＋ｎ程度とＪ「常に小さく、このた
めこのような微小部品のピックアップに際しては、ピッ
クアップ時に於けるピックアップ部品の位置を画像処理
装置等を用いて認識し、これに基いてピックアップ位置
に於けるビックアツブ装置の停止位置を精密制御するこ
とが必要となっている。
本発明は、上述の如き問題点に鑑み、ピックアップする
部品が電子デバイスのチップの如き微小部品であっても
、それのピックアップにさほど高度な位置決め制御を必
要とせず、融通性に優れた吸引式ピックアップ装置を提
供することを目的としている。
部品が電子デバイスのチップの如き微小部品であっても
、それのピックアップにさほど高度な位置決め制御を必
要とせず、融通性に優れた吸引式ピックアップ装置を提
供することを目的としている。
（課題を解決するための手段）
上述の如き目的は、本発明によれば、吸着面部に負圧を
与えられる連続気泡外の多孔質部材が装着されているこ
とを特徴とする吸引式ピックアップ装置によって達成さ
れる。
与えられる連続気泡外の多孔質部材が装着されているこ
とを特徴とする吸引式ピックアップ装置によって達成さ
れる。
（作用）
上述の如き構成によれば、多孔質部材の６孔より空気吸
引が行われることによって有効な空気吸引面が拡大され
ることになり、部品の吸着位置が適正位置より多少変動
しても多孔質部材の範囲内にて部品の吸着保持が適切に
行われる。
引が行われることによって有効な空気吸引面が拡大され
ることになり、部品の吸着位置が適正位置より多少変動
しても多孔質部材の範囲内にて部品の吸着保持が適切に
行われる。
（実施例）
以下に添付の図を参照して本発明を実施例について詳細
に説明する。
に説明する。
第１図及び第２図は本発明による吸引式ピックアップ装
置の一つの実施例を示している。これらの図に於て、１
はハンドリングアームを示しており、ハンドリングアー
ム１に設けられた取付孔３にねじ５によってピックアッ
プ本体７が取付高さ調整可能に固定されている。
置の一つの実施例を示している。これらの図に於て、１
はハンドリングアームを示しており、ハンドリングアー
ム１に設けられた取付孔３にねじ５によってピックアッ
プ本体７が取付高さ調整可能に固定されている。
ピックアップ本体７にはこれを軸線方向に貫通する吸引
孔９が設けられており、吸引孔９はピックアップ本体７
の下底面１１に開口している。ピックアップ本体７の−
し端部にはニップル部材１３がねじ止めされており、ま
たニップル部材１３には図示されていない吸引ポンプよ
りの負圧ホース１５が接続されている。ニップル部材１
３は負圧ホース１５と吸引孔９とを互いに連通接続して
おり、これにより吸引孔９には図示されていない負圧ポ
ンプより負圧が与えられる。
孔９が設けられており、吸引孔９はピックアップ本体７
の下底面１１に開口している。ピックアップ本体７の−
し端部にはニップル部材１３がねじ止めされており、ま
たニップル部材１３には図示されていない吸引ポンプよ
りの負圧ホース１５が接続されている。ニップル部材１
３は負圧ホース１５と吸引孔９とを互いに連通接続して
おり、これにより吸引孔９には図示されていない負圧ポ
ンプより負圧が与えられる。
ピックアップ本体７の下底面部である吸引面部には連続
気泡性の多孔質部材１７が吸引孔９の開目端を塞ぐよう
に取付けられている。多孔質部材１７は、例えばセラミ
ックスの焼結体等により構成されて吸引孔９の通路断面
積より充分に大きい面積を備えた平らな下底面１９を何
し、６孔にて吸引孔９と連通している。
気泡性の多孔質部材１７が吸引孔９の開目端を塞ぐよう
に取付けられている。多孔質部材１７は、例えばセラミ
ックスの焼結体等により構成されて吸引孔９の通路断面
積より充分に大きい面積を備えた平らな下底面１９を何
し、６孔にて吸引孔９と連通している。
上述の如き構成によれば、多孔質部材１７の６孔より空
気吸引が行われて多孔質部材１７の下底面１９の全面が
有効な吸着面になり、例えばピックアップすべき部品Ｐ
が、図示されている如く、吸引孔９に対して一方の側に
ずれていてもこれの吸着保持が行われるようになる。
気吸引が行われて多孔質部材１７の下底面１９の全面が
有効な吸着面になり、例えばピックアップすべき部品Ｐ
が、図示されている如く、吸引孔９に対して一方の側に
ずれていてもこれの吸着保持が行われるようになる。
（発明の効果）
以上の説明から理解される如く、本発明による吸引式ピ
ックアップ袋式に於ては、多孔質部材の全体が有効な部
品吸着面になり、これによりピックアップ位置に於ける
部品の装入位置とピップアップ装置の停止位置とがさほ
ど高精度に制御されなくても部品のピックアップが行わ
れるようになる。また吸引孔の大きさはピックアップす
べき部品の大きさに関係なく設定されてよくなり、これ
により微小部品のピックアップのためのものに於ても吸
引孔を大きくすることが可能になり、これによって吸引
孔の加工が容易になると共に、部品吸着面部に充分な負
圧を与えることが可能になる。
ックアップ袋式に於ては、多孔質部材の全体が有効な部
品吸着面になり、これによりピックアップ位置に於ける
部品の装入位置とピップアップ装置の停止位置とがさほ
ど高精度に制御されなくても部品のピックアップが行わ
れるようになる。また吸引孔の大きさはピックアップす
べき部品の大きさに関係なく設定されてよくなり、これ
により微小部品のピックアップのためのものに於ても吸
引孔を大きくすることが可能になり、これによって吸引
孔の加工が容易になると共に、部品吸着面部に充分な負
圧を与えることが可能になる。
また一つのピックアップ装置が吸着保持し得る部品の寸
法範囲が拡大され、汎用性に優れたものになり、また、
吸着保持する部品に開口部があってもその部品のピック
アップが行われ得るようになる。
法範囲が拡大され、汎用性に優れたものになり、また、
吸着保持する部品に開口部があってもその部品のピック
アップが行われ得るようになる。
第１図は本発明による吸引式ピックアップ装置の一つの
の実施例を一部断面にて示す正面図、第２図は第１図に
示された本発明による吸引式ピックアップ装置の底面図
である。 １・・・ハンドリングアーム ７・・・ピックアップ本体 ９・・・吸引孔 １７・・・多孔質部（イ
の実施例を一部断面にて示す正面図、第２図は第１図に
示された本発明による吸引式ピックアップ装置の底面図
である。 １・・・ハンドリングアーム ７・・・ピックアップ本体 ９・・・吸引孔 １７・・・多孔質部（イ
Claims (1)
- １、吸着面部に負圧を与えられる連続気泡性の多孔質部
材が装着されていることを特徴とする吸引式ピックアッ
プ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6070990A JPH03264287A (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 吸引式ピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6070990A JPH03264287A (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 吸引式ピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03264287A true JPH03264287A (ja) | 1991-11-25 |
Family
ID=13150088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6070990A Pending JPH03264287A (ja) | 1990-03-12 | 1990-03-12 | 吸引式ピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03264287A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6189943B1 (en) * | 1998-12-15 | 2001-02-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Robot hand |
| US6254155B1 (en) | 1999-01-11 | 2001-07-03 | Strasbaugh, Inc. | Apparatus and method for reliably releasing wet, thin wafers |
| JP2008251653A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Sharp Corp | 低負荷搬送装置 |
-
1990
- 1990-03-12 JP JP6070990A patent/JPH03264287A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6189943B1 (en) * | 1998-12-15 | 2001-02-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Robot hand |
| US6254155B1 (en) | 1999-01-11 | 2001-07-03 | Strasbaugh, Inc. | Apparatus and method for reliably releasing wet, thin wafers |
| JP2008251653A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Sharp Corp | 低負荷搬送装置 |
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