JPH032645U - - Google Patents
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- JPH032645U JPH032645U JP6355189U JP6355189U JPH032645U JP H032645 U JPH032645 U JP H032645U JP 6355189 U JP6355189 U JP 6355189U JP 6355189 U JP6355189 U JP 6355189U JP H032645 U JPH032645 U JP H032645U
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- JP
- Japan
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- wafer
- ferromagnetic piece
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- wafers
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- Pending
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
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- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例となるウエーハ
立替機のピツチ変換機構の平面図示原理図、第２
図は、その正面図示原理図、第３図及び第４図は
、その強磁性体片（ブロツク）の励磁又は消磁状
態を説明するための原理図、第５図は従来のウエ
ーハ立替機を説明するための原理図、第６図は従
来のピツチ変換機構を説明するための原理図であ
る。 １……ウエーハ、２……キヤリア、３……ボー
ト、１０１，…１０ｎ……強磁性体片（ブロツク
）、１６ａ，１６ｂ……励磁電磁石部。
立替機のピツチ変換機構の平面図示原理図、第２
図は、その正面図示原理図、第３図及び第４図は
、その強磁性体片（ブロツク）の励磁又は消磁状
態を説明するための原理図、第５図は従来のウエ
ーハ立替機を説明するための原理図、第６図は従
来のピツチ変換機構を説明するための原理図であ
る。 １……ウエーハ、２……キヤリア、３……ボー
ト、１０１，…１０ｎ……強磁性体片（ブロツク
）、１６ａ，１６ｂ……励磁電磁石部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハを多数搭載するキヤリア、ボート間で
、ウエーハの搭載ピツチ間隔を変換させるウエー
ハ立替機において、 一定ピツチ間隔で並行配置され、かつ近接離反
できるように摺動する多数の強磁性体片と、 上記強磁性体片の両端近傍付近に対向配置させ
て、強磁性体片を帯磁させて、ピツチ間隔を設定
する励磁電磁石部とを設けたウエーハピツチ変換
機構を具備したことを特徴とするウエーハ立替機
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6355189U JPH032645U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6355189U JPH032645U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032645U true JPH032645U (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=31593704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6355189U Pending JPH032645U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH032645U (ja) |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6355189U patent/JPH032645U/ja active Pending
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