JPH07109376B2 - 複合センサ出力信号処理方法 - Google Patents
複合センサ出力信号処理方法Info
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- JPH07109376B2 JPH07109376B2 JP2062619A JP6261990A JPH07109376B2 JP H07109376 B2 JPH07109376 B2 JP H07109376B2 JP 2062619 A JP2062619 A JP 2062619A JP 6261990 A JP6261990 A JP 6261990A JP H07109376 B2 JPH07109376 B2 JP H07109376B2
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- signal processing
- processing method
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、２種類の流量センサを使用して測定精度を向
上させる複合センサ出力信号処理方法に関するものであ
る。
上させる複合センサ出力信号処理方法に関するものであ
る。
フルイデイツク流量センサを気体流量計に使用すると、
低流量域で感度が急激に低下し、満足に測定できないと
いう欠点がある。そこで、低流量域まで測定可能な異な
つた方式によるセンサたとえば熱式の半導体流量センサ
と上記フルイデイツク流量センサとを組み合わせ、低流
量域から高流量域まで測定を可能にするような方法が提
案されている。フルイデイツク流量センサを気体流量計
に使用したときの特性を第４図（ａ）に、熱式半導体流
量センサを気体流量計に使用したときの特性を第４図
（ｂ）に示す。第４図において、横軸は流量、縦軸はセ
ンサ出力である。
低流量域で感度が急激に低下し、満足に測定できないと
いう欠点がある。そこで、低流量域まで測定可能な異な
つた方式によるセンサたとえば熱式の半導体流量センサ
と上記フルイデイツク流量センサとを組み合わせ、低流
量域から高流量域まで測定を可能にするような方法が提
案されている。フルイデイツク流量センサを気体流量計
に使用したときの特性を第４図（ａ）に、熱式半導体流
量センサを気体流量計に使用したときの特性を第４図
（ｂ）に示す。第４図において、横軸は流量、縦軸はセ
ンサ出力である。
フルイデイツク流量センサが気体の体積流量を測定する
のに対して、熱式半導体流量センサは気体の質量流量を
測定するため、気体の温度、密度、気体混合比が変化す
ると当然両者の測定値に差が生じる。これを第５図に示
す。第５図において、横軸は体積流量、縦軸はセンサ出
力であり、S1は温度変化等があるとのフルイデイツク流
量センサの出力、S2は温度変化等があるときの熱式半導
体流量センサの出力を示す。熱式半導体流量センサは第
５図に示すように温度変化等により異なる特性を示すの
で、温度によつては、熱式半導体流量センサからフルイ
デイツク流量センサへの切換え、あるいはフルイデイツ
ク流量センサから熱式半導体流量センサへの切換えにお
いて、流量測定値の飛びすなわち流量測定値の急激な変
化を生じる。
のに対して、熱式半導体流量センサは気体の質量流量を
測定するため、気体の温度、密度、気体混合比が変化す
ると当然両者の測定値に差が生じる。これを第５図に示
す。第５図において、横軸は体積流量、縦軸はセンサ出
力であり、S1は温度変化等があるとのフルイデイツク流
量センサの出力、S2は温度変化等があるときの熱式半導
体流量センサの出力を示す。熱式半導体流量センサは第
５図に示すように温度変化等により異なる特性を示すの
で、温度によつては、熱式半導体流量センサからフルイ
デイツク流量センサへの切換え、あるいはフルイデイツ
ク流量センサから熱式半導体流量センサへの切換えにお
いて、流量測定値の飛びすなわち流量測定値の急激な変
化を生じる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、２種類の流量センサを使用した
場合のセンサ切換えにおける流量測定値のずれをなく
し、かつ測定精度を向上させる信号処理方法を提供する
ことにある。
の目的とするところは、２種類の流量センサを使用した
場合のセンサ切換えにおける流量測定値のずれをなく
し、かつ測定精度を向上させる信号処理方法を提供する
ことにある。
このような目的を達成するために本発明は、第１の所定
流量以下においては流量値を第１の流量センサによつて
測定表示し、第２の所定流量以上においては流量値を第
２の流量センサによつて測定表示する複合センサ出力信
号処理方法において、測定対象流量が第１の所定流量と
第２の所定流量との間の値であるとき２つの流量センサ
のうち高い精度の流量センサにより低い精度の流量セン
サのデータ校正を自動的に行なうようにしたものであ
る。
流量以下においては流量値を第１の流量センサによつて
測定表示し、第２の所定流量以上においては流量値を第
２の流量センサによつて測定表示する複合センサ出力信
号処理方法において、測定対象流量が第１の所定流量と
第２の所定流量との間の値であるとき２つの流量センサ
のうち高い精度の流量センサにより低い精度の流量セン
サのデータ校正を自動的に行なうようにしたものであ
る。
本発明による複合センサ出力信号処理方法においては、
流量測定値は流量センサ切換えにおいて急激な変化がな
く、滑らかな値となる。
流量測定値は流量センサ切換えにおいて急激な変化がな
く、滑らかな値となる。
まず、本発明の概要について述べる。２個の流量センサ
の切換点付近に両センサが同時に動作する範囲を設け、
測定値がこの範囲に入つたときえられた２つのデータの
うち予め定められた高精度センサのデータで低精度セン
サのデータを校正する。この校正に使つた補正計数は次
に校正を行なうまで低精度センサのデータ補正に使用す
る。
の切換点付近に両センサが同時に動作する範囲を設け、
測定値がこの範囲に入つたときえられた２つのデータの
うち予め定められた高精度センサのデータで低精度セン
サのデータを校正する。この校正に使つた補正計数は次
に校正を行なうまで低精度センサのデータ補正に使用す
る。
第３図は第１の流量センサとしての熱式半導体流量セン
サ１と第２の流量センサとしてのフルイデイツク流量セ
ンサ２とを使用した気体流量計を示す系統図で、３およ
び４は流量値FAおよびFBを出力する信号処理回路、５は
流量値FA,FBを入力して処理を行なうマイクロコンピュ
ータ、Ｇは気体である。第１図においては、フルイデイ
ツク流量センサ２が高精度センサ、熱式半導体流量セン
サ１が低精度センサであり、フルイデイツク流量センサ
２の流量測定値のある範囲で熱式半導体流量センサ１の
データ校正を行なう。
サ１と第２の流量センサとしてのフルイデイツク流量セ
ンサ２とを使用した気体流量計を示す系統図で、３およ
び４は流量値FAおよびFBを出力する信号処理回路、５は
流量値FA,FBを入力して処理を行なうマイクロコンピュ
ータ、Ｇは気体である。第１図においては、フルイデイ
ツク流量センサ２が高精度センサ、熱式半導体流量セン
サ１が低精度センサであり、フルイデイツク流量センサ
２の流量測定値のある範囲で熱式半導体流量センサ１の
データ校正を行なう。
第１図は本発明による複合センサ出力信号処理方法の一
実施例を説明するためのフローチヤート、第２図は２種
類のセンサ（熱式半導体流量センサおよびフルイデイツ
ク流量センサ）の特性を示すグラフである。第２図にお
いて横軸は流量、縦軸はセンサ出力値で、ＳFAは熱式半
導体流量センサ１の特性を示す曲線、ＳFBはフルイデイ
ツク流量センサ２の特性を示す曲線である。またＳFAC
はデータ校正後の熱式半導体流量センサ１の出力測定値
である。
実施例を説明するためのフローチヤート、第２図は２種
類のセンサ（熱式半導体流量センサおよびフルイデイツ
ク流量センサ）の特性を示すグラフである。第２図にお
いて横軸は流量、縦軸はセンサ出力値で、ＳFAは熱式半
導体流量センサ１の特性を示す曲線、ＳFBはフルイデイ
ツク流量センサ２の特性を示す曲線である。またＳFAC
はデータ校正後の熱式半導体流量センサ１の出力測定値
である。
次に、データ校正の方法について第１図〜第３図を用い
て説明する。センサ1,2の測定出力値の誤差がセンサの
感度変化に起因するものと考え、実際の流量をＦ、セン
サ1,2の各々の所定の感度からの変化分をΔSA,ΔSBとす
れば、 FA＝Ｆ（１＋ΔSA）・・・・・（１） FB＝Ｆ（１＋ΔSB）・・・・・（２） となる。なお、センサの感度変化は周囲温度の変化や、
測定気体成分の違い、経時変化などによつて生じる。
て説明する。センサ1,2の測定出力値の誤差がセンサの
感度変化に起因するものと考え、実際の流量をＦ、セン
サ1,2の各々の所定の感度からの変化分をΔSA,ΔSBとす
れば、 FA＝Ｆ（１＋ΔSA）・・・・・（１） FB＝Ｆ（１＋ΔSB）・・・・・（２） となる。なお、センサの感度変化は周囲温度の変化や、
測定気体成分の違い、経時変化などによつて生じる。
センサの特性から｜ΔSA|≫｜ΔSB|と考え、フルイデイ
ツク流量センサ２による流量測定値FBが第１図のセンサ
出力値F1（第１の所定流量）とF2（第２の所定流量）と
の間に入つたとき（第１図のステツプ11〜13）、フルイ
デイツク流量センサ２の測定FBの値を使つて熱式半導体
流量センサ１の測定値FAの値を校正する。すなわち、次
式の補正計数ｋの値を決定する（第１図のステツプ1
5）。
ツク流量センサ２による流量測定値FBが第１図のセンサ
出力値F1（第１の所定流量）とF2（第２の所定流量）と
の間に入つたとき（第１図のステツプ11〜13）、フルイ
デイツク流量センサ２の測定FBの値を使つて熱式半導体
流量センサ１の測定値FAの値を校正する。すなわち、次
式の補正計数ｋの値を決定する（第１図のステツプ1
5）。
ｋ・Ｆ（１＋ΔSA）＝FB・・・・・（３） 以降、次に流量測定値FBが第１図のセンサ出力値F1とF2
との間に入るまで、センサ１の測定値FAにｋを掛けて表
示する。センサ１の測定値FAにｋを掛けたものをFACと
表わすと、 FAC＝ｋ・FA＝ｋ・Ｆ（１＋ΔSA）・・・・・（４） このようにすれば、熱式半導体流量センサ１の表示精度
が向上し、また、フルイデイツク流量センサ２の測定値
FBとの切換時のずれもなくすことができる。
との間に入るまで、センサ１の測定値FAにｋを掛けて表
示する。センサ１の測定値FAにｋを掛けたものをFACと
表わすと、 FAC＝ｋ・FA＝ｋ・Ｆ（１＋ΔSA）・・・・・（４） このようにすれば、熱式半導体流量センサ１の表示精度
が向上し、また、フルイデイツク流量センサ２の測定値
FBとの切換時のずれもなくすことができる。
フルイデイツク流量センサ２では瞬時に流量値が得られ
ず、精度よく測定するには或る程度以上の測定時間が必
要である。このため、校正を行なう際、一定時間流量を
測定し、その間の平均流量をもつて、測定値FBとする。
熱式半導体流量センサ１は連続測定可能であるが、校正
時にはフルイデイツク流量センサ２と同時間内に測定を
継続して行ない、その間の平均流量をもつて流量値FAと
する。この処理は第１図のステツプ14,15に示す処理で
あるが、この処理については後述する。このような処理
を行なうことにより、測定時間内に流量変動を生じても
その影響を受けず、また高精度の校正が可能となる。な
お、この同時測定中にはフルイデイツク流量センサ２の
出力値FBを積算する（第１図のステツプ13,14,20）。ま
た、同時測定中に流量が変化して第２図に示す出力値F1
〜F2の範囲を外れた場合には校正演算は中止、通常の測
定に戻る。なお、フルイデイツク流量センサ２の出力値
FBが出力値F1より小さい場合は熱式半導体流量センサ１
の出力値FAを補正して積算する（第１図のステツプ12,1
7〜19）。
ず、精度よく測定するには或る程度以上の測定時間が必
要である。このため、校正を行なう際、一定時間流量を
測定し、その間の平均流量をもつて、測定値FBとする。
熱式半導体流量センサ１は連続測定可能であるが、校正
時にはフルイデイツク流量センサ２と同時間内に測定を
継続して行ない、その間の平均流量をもつて流量値FAと
する。この処理は第１図のステツプ14,15に示す処理で
あるが、この処理については後述する。このような処理
を行なうことにより、測定時間内に流量変動を生じても
その影響を受けず、また高精度の校正が可能となる。な
お、この同時測定中にはフルイデイツク流量センサ２の
出力値FBを積算する（第１図のステツプ13,14,20）。ま
た、同時測定中に流量が変化して第２図に示す出力値F1
〜F2の範囲を外れた場合には校正演算は中止、通常の測
定に戻る。なお、フルイデイツク流量センサ２の出力値
FBが出力値F1より小さい場合は熱式半導体流量センサ１
の出力値FAを補正して積算する（第１図のステツプ12,1
7〜19）。
データ校正範囲を定めるセンサ出力値F1,F2の値の決定
は次のように行なう。フルイデイツク流量センサ２で満
足できる測定の行なえる下限値をF0とし、熱式半導体流
量センサ１で満足できる測定の行なえる上限値をF3とす
れば、 F0≦F1＜F2≦F3・・・・・（５） のように出力値F1,F2を選ぶ。
は次のように行なう。フルイデイツク流量センサ２で満
足できる測定の行なえる下限値をF0とし、熱式半導体流
量センサ１で満足できる測定の行なえる上限値をF3とす
れば、 F0≦F1＜F2≦F3・・・・・（５） のように出力値F1,F2を選ぶ。
熱式半導体流量センサ１は連続測定可能であるが、フル
イデイツク流量センサ２は間欠的にしか測定結果が得ら
れないため、気体Ｇの流量変化が急激に生じた場合、F1
〜F2の区間がせまいと、測定を行なわないうちにこの区
間を通過してしまい、先に述べた補正演算が行なわれな
い可能性がある。また、F1〜F2の区間が広いと、この区
間に測定値が入る確率は高くなるが、ここでは二重に測
定を行なうため消費電力が増大し、電池駆動の気体流量
計では好ましくない。このため、F1,F2は上に示した式
（５）の範囲で実際の使用条件を考慮しながら決定す
る。例えば、F0＝100l/h,F3＝300l/hの場合、F1＝150l/
h,F2＝180l/hのように選ぶ。
イデイツク流量センサ２は間欠的にしか測定結果が得ら
れないため、気体Ｇの流量変化が急激に生じた場合、F1
〜F2の区間がせまいと、測定を行なわないうちにこの区
間を通過してしまい、先に述べた補正演算が行なわれな
い可能性がある。また、F1〜F2の区間が広いと、この区
間に測定値が入る確率は高くなるが、ここでは二重に測
定を行なうため消費電力が増大し、電池駆動の気体流量
計では好ましくない。このため、F1,F2は上に示した式
（５）の範囲で実際の使用条件を考慮しながら決定す
る。例えば、F0＝100l/h,F3＝300l/hの場合、F1＝150l/
h,F2＝180l/hのように選ぶ。
先に述べたデータ校正時の消費電力を防ぐには次のよう
な方法がある。演算装置内にタイマを設け、データ校正
を行なう毎にタイマをリセツトする（第１図のステツプ
16）。その後、測定値がF1〜F2の間に入つてもタイマに
あらかじめセツトした時間T1が経過するまではデータ校
正を行なわず（第１図のステツプ13,14,20）、時間T1を
過ぎてから初めてデータ校正を行なうようにする（第１
図のステツプ14,15）。時間T1は気体の温度変化の速度
や気体成分変化の速度に応じて決定する。すなわち変化
の速い測定条件では時間T1を短く、遅い条件では時間T1
は長く選ぶ。このようにすることにより、必要以上の頻
度でデータ校正しないようになり、無駄な電力の消費を
防ぐことができる。
な方法がある。演算装置内にタイマを設け、データ校正
を行なう毎にタイマをリセツトする（第１図のステツプ
16）。その後、測定値がF1〜F2の間に入つてもタイマに
あらかじめセツトした時間T1が経過するまではデータ校
正を行なわず（第１図のステツプ13,14,20）、時間T1を
過ぎてから初めてデータ校正を行なうようにする（第１
図のステツプ14,15）。時間T1は気体の温度変化の速度
や気体成分変化の速度に応じて決定する。すなわち変化
の速い測定条件では時間T1を短く、遅い条件では時間T1
は長く選ぶ。このようにすることにより、必要以上の頻
度でデータ校正しないようになり、無駄な電力の消費を
防ぐことができる。
以上説明したように本発明は、測定対象流量が第１の所
定流量を一定量越えた流量範囲にあるとき第１と第２の
２つの流量センサで同時に測定し、２つの流量センサの
うち安定性の高い流量センサにより経時的なドリフトが
発生しやすい流量センサのデータ校正を自動的に行なう
ことにより、経時的なドリフトを発生しやすい流量セン
サの安定性を高めることができるとともに、２種類の流
量センサを使用した場合のセンサ切換えにおける流量測
定値のずれをなくすことができる効果がある。
定流量を一定量越えた流量範囲にあるとき第１と第２の
２つの流量センサで同時に測定し、２つの流量センサの
うち安定性の高い流量センサにより経時的なドリフトが
発生しやすい流量センサのデータ校正を自動的に行なう
ことにより、経時的なドリフトを発生しやすい流量セン
サの安定性を高めることができるとともに、２種類の流
量センサを使用した場合のセンサ切換えにおける流量測
定値のずれをなくすことができる効果がある。
第１図は本発明による複合センサ出力信号処理方法の一
実施例を説明するためのフローチヤート、第２図は２種
類の流量センサの特性を示すグラフ、第３図は本発明に
よる複合センサ出力信号処理方法の一実施例が適用され
る気体流量計を示す系統図、第４図はフルイデイツク流
量センサと熱式半導体流量センサの特性を示すグラフ、
第５図はフルイデイツク流量センサと熱式半導体流量セ
ンサの温度変化等による出力値変化を示すグラフであ
る。 １……熱式半導体流量センサ、２……フルイデイツク流
量センサ、3,4……信号処理回路、５……マイクロコン
ピュータ、Ｇ……気体。
実施例を説明するためのフローチヤート、第２図は２種
類の流量センサの特性を示すグラフ、第３図は本発明に
よる複合センサ出力信号処理方法の一実施例が適用され
る気体流量計を示す系統図、第４図はフルイデイツク流
量センサと熱式半導体流量センサの特性を示すグラフ、
第５図はフルイデイツク流量センサと熱式半導体流量セ
ンサの温度変化等による出力値変化を示すグラフであ
る。 １……熱式半導体流量センサ、２……フルイデイツク流
量センサ、3,4……信号処理回路、５……マイクロコン
ピュータ、Ｇ……気体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−12316（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−308921（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−93716（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】第１の所定流量以下においては流量値を第
１の流量センサによつて測定表示し、第２の所定流量以
上においては流量値を第２の流量センサによつて測定表
示する複合センサ出力信号処理方法において、第１の流
量センサは第１の所定流量を一定量越えた流量範囲でも
第２の流量センサと同時に測定できるようにしておき、
その第１の流量センサと第２の流量センサが同時に測定
する流量範囲に測定対象流量があるとき前記２つの流量
センサのうち安定性の高い流量センサにより経時的なド
リフトが発生しやすい流量センサのデータ校正を自動的
に行なう複合センサ出力信号処理方法。 - 【請求項２】２つの流量センサとしてフルイデイツクセ
ンサと熱式半導体センサとを用い、演算装置によりデー
タ校正を行なう請求項１記載の複合センサ出力信号処理
方法。 - 【請求項３】演算装置にタイマを付加し、タイマセツト
時間を経過するまでは校正を行なわないようにする請求
項２記載の複合センサ出力信号処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062619A JPH07109376B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 複合センサ出力信号処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2062619A JPH07109376B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 複合センサ出力信号処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03264821A JPH03264821A (ja) | 1991-11-26 |
| JPH07109376B2 true JPH07109376B2 (ja) | 1995-11-22 |
Family
ID=13205516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2062619A Expired - Lifetime JPH07109376B2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 複合センサ出力信号処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07109376B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6611141B1 (en) * | 1998-12-23 | 2003-08-26 | Howmedica Leibinger Inc | Hybrid 3-D probe tracked by multiple sensors |
| GB2375401A (en) * | 2001-05-03 | 2002-11-13 | Endress & Hauser Ltd | A flow meter incorporating thermal loss sensors and an installation adapter to provide known flow conditions upstream of the flow meter |
| JP4944622B2 (ja) * | 2007-01-17 | 2012-06-06 | 古河電気工業株式会社 | 流速測定システム |
| JP5402095B2 (ja) | 2009-03-06 | 2014-01-29 | 株式会社リコー | インクジェット記録用インク、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、インク記録物 |
| NL2006895C2 (nl) * | 2011-06-03 | 2012-12-04 | Berkin Bv | Stromingsmeetapparaat en gebruik daarvan voor het bepalen van een stroming van een medium, alsmede werkwijze daarvoor. |
| WO2014065116A1 (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-01 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 質量流量計 |
-
1990
- 1990-03-15 JP JP2062619A patent/JPH07109376B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03264821A (ja) | 1991-11-26 |
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Legal Events
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