JPS62132121A - ガス流量測定方法 - Google Patents
ガス流量測定方法Info
- Publication number
- JPS62132121A JPS62132121A JP27297985A JP27297985A JPS62132121A JP S62132121 A JPS62132121 A JP S62132121A JP 27297985 A JP27297985 A JP 27297985A JP 27297985 A JP27297985 A JP 27297985A JP S62132121 A JPS62132121 A JP S62132121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- gas
- flow amount
- pressure
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス流量を制御するマスフローコントローラの
流量を校正するガス流量の測定方法と装置に係る ガスの流量を一定に制御する装置としてマスフローコン
トローラが広く使用されており、このマスフローコント
ローラの校正には石鹸膜を用いた体積流量計が多く用い
られている。この方式の流量測定器は石鹸膜を用いるた
め、水溶性の気体。
流量を校正するガス流量の測定方法と装置に係る ガスの流量を一定に制御する装置としてマスフローコン
トローラが広く使用されており、このマスフローコント
ローラの校正には石鹸膜を用いた体積流量計が多く用い
られている。この方式の流量測定器は石鹸膜を用いるた
め、水溶性の気体。
例えば、アンモニアや塩化水素等は測定できないという
欠陥がある。
欠陥がある。
そこで３本発明者は容積一定のタンクにガスを導入して
圧力を測定し、その圧力の上昇から流量を算出しマスフ
ローコントローラを校正する方法を発明し出願した（特
願昭５６−１８７８５９号）。
圧力を測定し、その圧力の上昇から流量を算出しマスフ
ローコントローラを校正する方法を発明し出願した（特
願昭５６−１８７８５９号）。
前記発明（特願昭５６−１８７８５９号）ではタンクに
ガスを導入した時タンク内のガスの温度は一定であると
された。しかし、気体の流量が少ない時はタンクからの
放熱があるので温度上昇は微小だが流量が多くなるとタ
ンク内のガス密度が急激に上がり、圧縮熱が発生しタン
ク内のガスの温度が上昇する。例えば、容積２１のタン
クに毎分５００ｍ １た時の温度上昇は１．５°Ｃであ
った。図１にこの時の温度上昇の状態を示す。
ガスを導入した時タンク内のガスの温度は一定であると
された。しかし、気体の流量が少ない時はタンクからの
放熱があるので温度上昇は微小だが流量が多くなるとタ
ンク内のガス密度が急激に上がり、圧縮熱が発生しタン
ク内のガスの温度が上昇する。例えば、容積２１のタン
クに毎分５００ｍ １た時の温度上昇は１．５°Ｃであ
った。図１にこの時の温度上昇の状態を示す。
従って、前記発明（特願昭５６−１８７８５９号）の流
量測定装置では温度上昇がない程度の流量測定しかでき
ないという欠陥がある。
量測定装置では温度上昇がない程度の流量測定しかでき
ないという欠陥がある。
また、大流量の測定を行うと誤差を発生し測定精度が著
しく低下するという欠陥がある。
しく低下するという欠陥がある。
本発明は上記欠陥を除去した新規な発明であって、その
目的はガスの流量を広範囲にわたって精度よく測定する
方法を提供することであってタンクと圧力測定手段と温
度測定手段と計時手段と前記タンクの容積記憶手段と演
算制御手段とからなり前記タンクにガスを導入して２時
点の前記タンク内の圧力と温度を測定してガスの流量を
測定することによって達成される。
目的はガスの流量を広範囲にわたって精度よく測定する
方法を提供することであってタンクと圧力測定手段と温
度測定手段と計時手段と前記タンクの容積記憶手段と演
算制御手段とからなり前記タンクにガスを導入して２時
点の前記タンク内の圧力と温度を測定してガスの流量を
測定することによって達成される。
以下１本発明を図面により詳細に説明する。
第２図は本発明になるガス流量測定装置の構成図である
。
。
ガスはマスフローコントローラ１の入力口２から入力さ
れタンク３に流入する。測定開始前、パルプ４は開でガ
スは出力口１１から流出する。
れタンク３に流入する。測定開始前、パルプ４は開でガ
スは出力口１１から流出する。
測定が開始されると排気パルプ４は閉となりタンク３の
圧力は上昇する。
圧力は上昇する。
タンク３のガスの圧力と温度を圧力センサ５と例えば、
マイクロコンピュータで演算して流量を数字表示器８に
表示する。
マイクロコンピュータで演算して流量を数字表示器８に
表示する。
マスフローコントローラ１は流量設定器９で設定された
流量になるように常に制御されている。
流量になるように常に制御されている。
次にガスの流量計算方法について説明する。
基本式は気体の状態方程式
ＰＶ＝ｎＲＴ
である。
但し、Ｐ：圧力、 ■：容積、ｎ：モル数。
Ｒ：ガス定数、Ｔ：ガスの絶対温度。
時間ｔ１の時のタンクの圧力をＰＩ、温度をＴＩ、モル
数をｎＬ 時間ｔ２の時のタンクの圧力をＰ２＋ ６度をＴ２．モ
ル数をｎ２゜ タンクの容積をＶとすると ＰＩＶ ＝ｎｌＲＴＩ Ｐ２Ｖ ＝ ｎ２ＲＴ２ 時間（ｔ２− ｔｌ）にタンクへ流入したモル数（ｎ２
−ｎｌ）の標準状態（圧力Ｐｓ、温度Ｔｓ）における気
体の容積Ｖｓは Ｉ’ｓ Ｔ２ ＴＩ Ｐｓ従って、標準状
態に換算した流量ＱＳは次式で算出される。
数をｎＬ 時間ｔ２の時のタンクの圧力をＰ２＋ ６度をＴ２．モ
ル数をｎ２゜ タンクの容積をＶとすると ＰＩＶ ＝ｎｌＲＴＩ Ｐ２Ｖ ＝ ｎ２ＲＴ２ 時間（ｔ２− ｔｌ）にタンクへ流入したモル数（ｎ２
−ｎｌ）の標準状態（圧力Ｐｓ、温度Ｔｓ）における気
体の容積Ｖｓは Ｉ’ｓ Ｔ２ ＴＩ Ｐｓ従って、標準状
態に換算した流量ＱＳは次式で算出される。
ｔ２−ｔｌ Ｔ２ ＴＩ Ｐｓ上記重量Ｑｓ
の計算式からも明らかなように気体の温度の測定は流量
の精度に直接影響する。また。
の計算式からも明らかなように気体の温度の測定は流量
の精度に直接影響する。また。
気体の温度は図１に示すように１０〜２０秒の時定数で
上昇するので温度センサ６の時点数は少な（とも１〜３
秒が必要である。温度を測定する素子には白金測温体、
熱電対等多数あるが９本発明の装置には時定数が小さい
サーミスタが最も通している。
上昇するので温度センサ６の時点数は少な（とも１〜３
秒が必要である。温度を測定する素子には白金測温体、
熱電対等多数あるが９本発明の装置には時定数が小さい
サーミスタが最も通している。
上記説明では時間ｔ１とｔ２の２時点の圧力と温度を測
定して流量を算出した場合について述べだが。
定して流量を算出した場合について述べだが。
本発明はこれに限定されるものではなく２つの時点にお
ける圧力と温度を多数測定して平均流量を算出しても本
発明を実現できることは明らかである。
ける圧力と温度を多数測定して平均流量を算出しても本
発明を実現できることは明らかである。
以上説明したように本発明によればタンクと圧力測定手
段と温度測定手段と計時手段と前記タンクの容積記憶手
段と演算制御手段とからなり前記タンクにガスを導入し
て２時点の前記タンク内の圧力と温度を測定することに
よって小流量から大流量までの広範囲にわたって精度の
高い流量測定が可能となる。
段と温度測定手段と計時手段と前記タンクの容積記憶手
段と演算制御手段とからなり前記タンクにガスを導入し
て２時点の前記タンク内の圧力と温度を測定することに
よって小流量から大流量までの広範囲にわたって精度の
高い流量測定が可能となる。
第１図は温度上昇の状態を示す、第２図は本発明になる
流量測定装置の構成図でる。 １はマスフローコントローラ、２は入力０．３はタンク
、４はバールブ、５は圧力センサ、６は温度センサ、７
は演算制御回路、８は数字表示器。 ９は流量設定器、１１は出力口、１３は計時回路、１４
はタンク容積記憶回路である。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者 神
１） 薫 茅２図
流量測定装置の構成図でる。 １はマスフローコントローラ、２は入力０．３はタンク
、４はバールブ、５は圧力センサ、６は温度センサ、７
は演算制御回路、８は数字表示器。 ９は流量設定器、１１は出力口、１３は計時回路、１４
はタンク容積記憶回路である。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者 神
１） 薫 茅２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、タンクと圧力測定手段と温度測定手段と計時手段と
前記タンクの容積記憶手段と演算制御手段とからなり前
記タンクにガスを導入して２時点の前記タンク内の圧力
と温度を測定してガスの流量を測定する方法。 ２、タンクと圧力測定手段と温度測定手段と計時手段と
前記タンクの容積を記憶する手段と演算制御手段とから
なることを特徴としたガス流量測定装置。 ３、温度測定手段がサーミスタである前記特許請求の範
囲第２項記載のガス流量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27297985A JPS62132121A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ガス流量測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27297985A JPS62132121A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ガス流量測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62132121A true JPS62132121A (ja) | 1987-06-15 |
Family
ID=17521456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27297985A Pending JPS62132121A (ja) | 1985-12-04 | 1985-12-04 | ガス流量測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62132121A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015141058A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 独立行政法人石油天然ガス・金属鉱物資源機構 | 流量測定装置、流量測定方法及びガス分析システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815781A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気調和機の運転制御装置 |
-
1985
- 1985-12-04 JP JP27297985A patent/JPS62132121A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5815781A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気調和機の運転制御装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015141058A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 独立行政法人石油天然ガス・金属鉱物資源機構 | 流量測定装置、流量測定方法及びガス分析システム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107407590B (zh) | 具有用于流体成分补偿的mems热式流量传感器 | |
| JPH03115840A (ja) | 試料と流体媒質の特定成分との相互作用の速度を測定する方法及び装置 | |
| JPH02221817A (ja) | 流量計における流体組成補正方法 | |
| US5303167A (en) | Absolute pressure sensor and method | |
| US4934178A (en) | Method and apparatus for determining the density of a gas | |
| WO2004011886A3 (en) | A method and apparatus for determining flow rate of a fluid | |
| CN101561406B (zh) | 测量水分活度的量热方法及仪器 | |
| Charnley et al. | The direct measurement of the isothermal Joule-Thomson coefficient for gases | |
| JP2500788B2 (ja) | マスフロ―コントロ―ラ装置及びその校正方法 | |
| CN101087997A (zh) | 采用化学计量学对流体流动检测进行自动导热性补偿 | |
| US3400585A (en) | Method of measuring the output of a source of a certain gas | |
| Carter et al. | Calibration and sample-measurement techniques for flow heat-capacity calorimeters | |
| JPH03264821A (ja) | 複合センサ出力信号処理方法 | |
| JPS5895230A (ja) | 電子式温度測定方法及び装置 | |
| JP2964186B2 (ja) | 熱式流量計 | |
| JPH0523369B2 (ja) | ||
| JPS5890124A (ja) | 気体流量測定方法 | |
| JPS62132123A (ja) | ガス流量測定装置 | |
| RU8802U1 (ru) | Камера стабилизационная | |
| JPS62132122A (ja) | ガス流量測定方法 | |
| SU813223A1 (ru) | Способ определени объемной тепло-ЕМКОСТи жидКиХ ВЕщЕСТВ | |
| RU2039939C1 (ru) | Устройство для измерения малого массового расхода газа | |
| CN105548244B (zh) | 获得液体热膨胀系数的方法和系统 | |
| RU27339U1 (ru) | Устройство для теплового измерения расхода | |
| SU1608540A1 (ru) | Способ измерени теплоемкости жидкости |