JPH03265204A

JPH03265204A - 圧電共振子部品の製造方法

Info

Publication number: JPH03265204A
Application number: JP6376190A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Tanaka; 田中　康廣
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1990-03-14
Filing date: 1990-03-14
Publication date: 1991-11-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は２枚の絶縁性保護基板の間に、圧電基板に電極
を形成してなる圧電共振子素子を接着剤を用いて接合さ
せた積層型の圧電共振子部品を製造する方法に関するも
のである。

（従来の技術）圧電共振子素子の両主表面に保護基板を接着して積層型
とした圧電共振子部品では、圧電共振子素子の振動部と
保護基板との間に振動空間を形成するために５保護基板
の振動部領域に凹みを設けたり５凹みをもたない保護基
板を用いる場合は接着剤の塗布厚みを調整して振動空間
を形成している。

保護基板に加工を施して凹みを形成すると、加工工程が
増えて製造コストが高くなる。

一般に、圧電共振子部品を製造するには、１部品ごとに
製造するのではなく、複数個の部品用め大判の圧電基板
であるマザー基板を用い、保護基板もそれに対応した大
判のものを用いて同時に複数個の部品を製造し、各部品
ごとに切断する方法が採られている。

接着剤の塗布厚みの調整により振動空間を形成する方法
では、マザー基板の表面側と裏面側にそれぞれに複数個
の圧電共振子素子用電極を形成する。接着剤によってマ
ザー基板の表面と裏面にそれぞれ保護基板を接着する。

その後、部品ごとに保護基板とマザー基板を切断する。

接着剤は圧電基板又は保護基板に塗布するが、例えば保
護基板に塗布するものとすれば、第５図に示されるよう
に、接着剤３８が振動部に振動空間を形成するように、
接着剤３８の厚みと形状が制御されて塗布される。３４
は保護基板である。

（発明が解決しようとする課題）圧電基板や保護基板に接着剤をその厚みを制御して塗布
する作業は容易ではなく、そのため振動空間の寸法にば
らつきが生じ、得られる圧電共振子部品の品位が不安定
になる。

本発明は接着剤の厚みにより振動空間を形成した圧電共
振子部品を、安定した品位で製造することのできる方法
を提供することを目的とするものである。

（課題を解決するための手段）本発明では、圧電基板の表側と裏側の主表面にそれぞれ
電極を形成した後１両主表面には少なくとも振動部領域
に開口をもつように形成された接着剤シートを介してそ
れぞれ絶縁性保護基板を重ね、上下の保護基板を前記圧
電基板に接着させて振動部に接着剤で囲まれ接着剤の厚
みによる密閉された振動空間を形成する。

接着剤シートはエポキシ系などの半固体状の樹脂シート
である。接着剤シートの厚さは１０〜１００μｍ程度の
ものが適当であり、より好ましくは１０〜２０μｍの厚
さのものを用いる。

（作用）接着剤シートは厚さが均一なものが得られ、圧電基板や
保護基板に接着剤を塗布してその厚さを均一にするのに
比べると、接着剤層の厚さが遥かに均一な圧電共振子部
品が得られる。

（実施例）第１図は一実施例を表わす。

２はセラミック圧電基板などにてなるマザー基板であり
、複数個の圧電共振子素子を形成する大きさをもってい
る。マザー基板２には表側と裏側の両主表面にそれぞれ
各圧電共振子素子用に電極４が形成されている。電極４
は各素子領域の中央部に配置された振動電極部４ａ、各
素子領域の一端部に配置された端子電極部４ｂ、及び振
動電極部４ａと端子電極部４ｂとを接続する引出し電極
部４ｃを備えている。表側と裏側の振動電極部４ａは圧
電基板２を挾んで対向し、端子電極部４ｂは互いに反対
方向の端部に配置されている。

圧電基板２の表面側には接着剤シー）−１０を介して上
側の絶縁性保護基板６が重ねられる。接着剤シート１０
と保護基板６も圧電基板２の大きさに合わせて複数部品
用の大きさのものが使用される。接着剤シート１０には
各素子領域の中央部に振動電極部４ａよりやや大きめの
開口１４が形成されている。圧電基板２の裏面側にも接
着剤シート１２を介して下側の絶縁性保護基板８が重ね
られる。接着剤シート１２と保護基板８も圧電基板２の
大きさに合わせて複数部品用の大きさのものが使用され
る。接着剤シート１２にも各素子領域の中央部に振動電
極部４ａよりやや大きめの開口１４が形成されている。

接着剤シート１０．１２としては１例えばエポキシ系熱
硬化型接着剤シートで、１５０〜１８０℃で熱硬化する
タイプのものを使用する。接着剤シート１０．１２の開
ロエ４はプレスやカッターなどを用い、圧電基板２の振
動部形成領域に合わせて開ける。接着剤シート１０．１
２の厚さは必要とする振動空間が得られるような適当な
厚さを選択するが、例えば１０〜２０μｍのものを使用
する。接着剤シート１０．１２はその強度を上げるため
に５例えばフィラーや構造材の入ったものとしてもよい
。

保護基板６，８の間に接着剤シート１０．１２を介して
圧電基板２を挾んだ状態で、加圧し、加熱して硬化させ
る。接着剤シー）−１０，１２を熱硬化させた後、保護
基板６，８及び圧電基板２を部品単位に切断する。第２
図はこのように切断された１個の部品を表わしている。

その後、第３図に示されるように、この部品の端面で素
子の電極４と接続される外部電極２２゜２４をスパッタ
リング法などにより形成する。

第４図は第３図のＡ−Ａ１１位置での断面図を表わして
いる。

圧電基板２の表側と裏側の両方の振動電極部４ａ、４ａ
が対向している部分が振動部となり、接着剤シートによ
る接着剤層１０．１２の厚さにより振動部には圧電基板
２の振動電極部４ａと上側保護基板６及び下側保護基板
８との間にそれぞれ振動空間２６．２８が形威されてい
る。これらの振動空間は接着剤層１０．１２によって側
方が取り囲まれた密閉空間となっている。

圧電共振子部品を部品単位で製造することももちろん可
能ではあるが、実施例で示したようにマザー基板を用い
て複数個の部品を同時に形威し、個々の部品に切断する
のが最も能率的な方法である。また、複数個の部品を同
時に形成するようにすれば、接着剤シートも例えばロー
ル状のものを使用することができ、生産がより合理的に
なる。

（発明の効果）本発明では圧電基板と保護基板を接着するのに振動部領
域に開口をもつように成形された接着剤シートを用いた
ので、従来のように接着剤を塗布したり印刷したりする
方法に比べて工程が簡略化されるため、生産性が向上し
、コストが低下する。

接着剤シートによる接着剤層は、塗布方法や印刷方法で
形成した接着剤層に比べるとその厚さの精度が高く、ま
た気泡や異物を巻き込むことも少ないので、得られる圧
電共振子部品の品位が向上し、信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は一実施例の製造工程を示す分解斜視図。第２図は切り出した１個の圧電共振子部品を示す斜視図
、第３図は得られる圧電共振子部品を示す斜視図、第４
図は第３図のＡ−Ａ線位置での断面図、第５図は従来の
製造方法における保護基板と接着剤層を示す端面図であ
る。２・・・・・・マザー基板、４・・・・・・電極。４ａ
・・・・・・振動電極部、６，８・・・・・・保護基板
、１０，１２・・・・・・接着剤シート、２６．２８・
・・・・・振動空間。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）圧電基板の表側と裏側の主表面にそれぞれ電極を
形成し、両主表面には少なくとも振動部領域に開口をも
つように形成された接着剤シートを介してそれぞれ絶縁
性保護基板を重ね、上下の保護基板を前記圧電基板に接
着させて振動部に接着剤で囲まれ接着剤の厚みによる密
閉された振動空間を形成する工程を含む圧電共振子部品
の製造方法。