JPH03267763A - ボード・テスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はいわゆるボード・テスタ、特に、複数のコンデ
ンサを基板に内蔵させたコンデンサ内蔵基板用として好
適なる改良を施したボード・テスタに関する。

［従来の技術］ 従来からの通常の回路基板は、せいぜい表面にプリント
配線パタンを有する位で、その上に取付けられる抵抗や
コンデンサその他、種々の回路部品は、それぞれ個別部
品としてそれぞれのメーカないしはそれぞれの製造ブー
スから供給されてきた。

そのため、そうした抵抗やコンデンサ等に係る電気的諸
特性は基板に取付ける前からほとんど分かっているので
、回路基板上に取付けた後にそれら各回路部品の電気的
諸特性を計測するにしても、用いるボード・テスタとし
ては測定項目の少ないもの、すなわち容量値、抵抗値、
リアクタンス値程度を測定できればそれで良かった。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、本出願人にて最近、活発に開拓し始めたコンデ
ンサ内蔵基板、すなわち基板自体の持つ話電率を積極的
に利用しくそのために必要部分を特に高誘電率に作製す
ることもある）、当該基板の主面上（一般には表面と裏
面とに一つづつ）にコンデンサ端子電極パタン対を形成
することで、それら対をなす電極パタン間に実質的にコ
ンデンサを形成して成る回路基板では、そうしたコンデ
ンサの電気的特性は実際に基板を完成し終えた後でなけ
れば分からない。

そのため、このようなコンデンサ内蔵基板を市場に提供
する以上、その前に、これまではコンデンサ製造メーカ
ないしコンデンサ製造者が行なっていたような種々の電
気的特性を基板の製造側で全て測定せねばならない。

このような場合に要求される測定項目は数多いものとな
る。単に実効容量値のみならず、少なくともその外に誘
電正接、リアクタンス、絶縁抵抗、耐電圧も実測せねば
ならない。しかも、般に一枚の基板には複数個のコンデ
ンサが内蔵され、それぞれの設計容量値がそれぞれに異
なることが多いので、上記した全ての測定項目を全ての
コンデンサに関して満たさねばならない。

しかるに、これまでに提供されているようなボード・テ
スタでは、上記したようにそもそも要求される測定項目
が少なかったこともあって、比較的簡単な操作で測定で
きる項目は限られているため、コンデンサ内蔵基板の各
コンデンサの試験にはさらに別途な測定装置が必要とな
り、しかも、測定項目が変わるたびに異なる測定装置に
付は換えねばならなかった。

例えば認電正接値を測定するためには、既存のボード・
テスタとは別途に用意した誘電正接針の測定プローブを
測定対象とする電極パタンに接触させ、その測定が終わ
って次に絶縁抵抗を計るような場合には、−旦、誘電正
接針の測定プローブを外し、絶縁抵抗計専用の測定プロ
ーブを接触し直させてから測定するといった操作を各測
定項目ごとに繰返せねばならなかった。

特に絶縁抵抗等は一分間の高電圧印加が義務付けられて
いるため、それでなくとも時間が掛かるが、上記のよう
に測定プローブの付は換え作業、それも複数の内蔵コン
デンサの個々に対して順番に付は換えて行く作業は意外
に時間が掛かり、生産ライン上での処理能力としてはほ
とんど許容できない程度であった。

本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、上記
したコンデンサ内蔵基板に組込まれている各コンデンサ
に関する電気的諸特性の測定装置として、簡単な操作、
短い測定準備時間で各測定項目の測定が行なえるボード
・テスタを提供せんとするものである。

［課題を解決するための手段］ 上記問題点を解決するため、コンデンサ内蔵基板用のボ
ード・テスタとして、本発明ではまず、少なくとも容量
計、リアクタンス計、誘電正接針、耐電圧計、絶縁抵抗
計を用意する。ただし、個々の計器は完全に単独のもの
でなくとも良く、通常行なわれているように、少なくと
も一部の回路や操作ノブ類が共通になっていても良い。

その一方で、本発明では、基板に形成ないし内蔵されて
いる複数個のコンデンサに対応して複数個ある端子電極
パタンの数、配置に応じ、それらの全てに同時に電気的
に接触し得る数、配置の複数個の測定プローブを設ける
。

さらにその上で、そうした複数の測定プローブの中、そ
のときどきで選択されたコンデンサの端子電極パタン対
に接触している測定プローブ対をのみ、上記した容量計
、リアクタンス計、誘電正接針、耐電圧計、絶縁抵抗計
中、そのときどきで選択した計器の測定入力に電気的に
接続し得る接点手段群を設ける。

［作　　用］ 本発明によると、基板内蔵の複数個のコンデンサに対応
して複数個ある端子電極パタンの各々に対し、対応する
一つづつが同時に電気的に接触できる複数個の測定プロ
ーブがあり、また、各計器の中、そのときどきで選択し
た計器にのみ、そのときどきで選択した測定プローブ対
を電気的に接続する接点手段群も有しているので、各種
の測定項目を各コンデンサごとに連続的に測定して行く
場合にも、従来のように測定項目を変えるたびにそれぞ
れの計器に専用のプローブを付は換えねばならない作業
は不要となり、最初の一回の操作で全ての測定プローブ
を対応する端子電極パタンに電気的に接触させれば、後
はその状態を保ったまま、接点手段群の切換え操作のみ
により、そのたびごとに測定すべきコンデンサの端子電
極対に接触している測定プローブ対をそのときの測定項
目に応じて適当なる計器に接続して行くことができる。

これは具体的な例を挙げると理解し易い。

例えば−枚の基板に内蔵コンデンサが四つあり、かつ各
コンデンサの一対の端子電極パタンが完全にそれぞれ独
立しているとすると、それら端子電極パタンは全部で八
つある。

これに対し、本発明に従う場合、測定プローブも全部で
八つ要るが、これら八つの測定プローブを始めにそれぞ
れ対応する端子電極パタンに対して共に電気的に接触さ
せさえすれば、後は全てのコンデンサに対し全ての測定
項目の測定が終了するまで、測定プローブは最早、脱着
操作の必要がなく、それぞれ対応する端子電極パタンに
接触させたままに保持し得る。

例えば、この状態下で最初に一つ目のコンデンサに関し
、その容量値、リアクタンス値、誘電正接値、耐電圧値
、絶縁抵抗値の順に測定して行くとするならば、まず、
接点手段群中の適当なる接点により、当該−つ目のコン
デンサの一対の端子電極パタンにそれぞれ接触している
一対の測定プローブを選択すると共に、上記した容量計
、耐電圧計、リアクタンス計、絶縁抵抗計、読電正接計
の中、始めに容量計を選択し、上記で選択した測定プロ
ーブ対をこの容量計の測定人力に接続する。

これにより容量測定の準備が終わるので、当該−つ目の
コンデンサの容量値を測定することができる。

このようにして、一つ目のコンデンサに関する容量値の
測定を終えたなら、再度、接点手段群中の接点の切換え
により、容量計の選択状態からりアクタンス計の選択状
態に切換え、このりアクタンス計の測定入力を当該選択
されている測定プローブ対に接続する。

このようにしてリアクタンス値の測定も終えたなら、全
く同様に接点手段群の接点切換えにより誘電正接針の選
択状態とし、これにより誘電正接値の測定を終えた所で
耐電圧計に、そして耐電圧測定後には絶縁抵抗計の選択
状態に、という順で、当該最初に選択した一つ目のコン
デンサに関し、全ての測定項目に従う測定を完了するこ
とができる。

そこで次に、再度、接点手段群中の適当なる接点の切換
えにより、最初の容量計の選択状態に戻すと同時に、今
度は二つ目のコンデンサの端子電極対に接触している測
定プローブ対を選択すればこの二つ目のコンデンサに関
する容量値を測定することができ、当該容量値を測定し
たならば、先と全く同様の手順により、この二つ目のコ
ンデンサに関する全ての測定項目の測定を順に連続して
行うことができる。

こうした操作を以降、三つ目、四つ目のコンデンサに関
しても繰返せば、結局、測定プローブ群は継ぎっ放しの
まま、−枚の基板に形成、内蔵されている全てのコンデ
ンサの全ての電気的諸特性を連続的に計測することがで
きる。

［実　施　例コ 以下、本発明のコンデンサ内蔵基板用ボート・テスタの
一実施例につき説明するが、第１図には、当該基板１０
の搬送パレット２０の供給、移送、回収機構等をも含む
自動化装置として構成された場合の要部が示されている
。

コンデンサ内蔵基板１０はその一例が第２図に良く示さ
れているが、基板材質は一般にセラミックであることが
多いので、ここでもセラミック基板が想定されている。

当該セラミック基板ｌＯには、第２図（Ａ）　　に示さ
れているように、この場合、その表面と裏面とにそれぞ
れ基板厚味方向に対向する一対の端子電極パタン１１　
、１１が複数対、並設されており、これらそれぞれの端
子電極パタン対１１　、１１に挟まれる基板肉厚部分が
端子間誘電層とし人機能することにより、それぞれの端
子電極パタン対１１　、１１間に容量が発生し、第２図
（Ａ）にあっては一つの端子電極パタン対１１　、１１
に関してのみ、仮想線で模式的に示すように、当該端子
電極パタン対１１．１１間にコンデンサＣが形成される
。

ただし、図示はしていないが、これら各端子電極パタン
対１１　、１１間の基板部分が他の領域に比して意図的
に高話電率に形成されることもある。また、各容量値は
、基板厚一定の下、端子間誘電層部分の誘電率が均一に
設定されているならば、当然、端子電極パタン対１１　
、１１の対向面積により決まるが、当該各端子電極パタ
ン１１．・・・・・の二次元パタン形状は、第２図（Ｂ
）　に示されているように、かなり任意に設計すること
ができる。このコンデンサ内蔵基板１０には、もちろん
、コンデンサのみならず、基板主面上に直接に、または
さらにガラス絶縁層等を被覆的に形成した後、能動、受
動の各種電子素子（ＩＣチップ等も含む）が取付けられ
、一般に混成集積回路を構築するので、各部品の取付け
や配線パタン（図示せず）の邪魔にならないように、各
端子電極パタン１１．・・・・・も’ｔ＋　２　図（Ｂ
）に例示されているように、非定型のかなり任意な形状
に設定されることも多い。

本発明のボード・テスタは、少なくとも、このようなコ
ンデンサ内蔵基板１０に組込まれている各コンデンサＣ
の容量値、耐電圧値、リアクタンス値、絶縁抵抗値、誘
電正接値を測定するものであるが、さらにこの実施例で
は、このようなコンデンサ内蔵基板１０を複数枚、−遍
に測定ステージに送って処理できる装置としても構成さ
れている。

そのために、この装置は、−度に複数枚、例えば四枚の
コンデンサ内蔵基板１０．・・・・・を支持し、移送す
るための搬送パレット２０を有している。

搬送パレット２０は、第３図に示されているように、適
当なる材質で全体的には板状をなしているが、当該板の
厚味方向に抜ける透孔がこの場合、四つあり、ここが基
板搭載部２１となっている。

すなわち、当該透孔は第２図示のセラミック基板１０を
丁度納める形状、面積を有し、かつ、その内周縁部の高
さ方向途中には第１図の方に良く示されている段部２２
があって、この段部で基板１０の周縁部を下から支える
ことにより、当該各基板搭載部２１中に各基板１０を脱
着可能に保持できるようになっている。

第４図にはセラミック基板１０ないしその搬送パレット
２０の供給、移送、回収をも含めて自動化された本ボー
ド・テスタ３０の概略構成が示されている。

図中、左手には未測定基板１０の群を搭載した搬送パレ
ット２０が供給ラック３１内に縦詰み状態で保管されて
おり、下から順に一枚づつ取出されて本ボード・テスタ
３０の測定ステージ３２に送られる。

なお、こうした搬送パレット２０の取出し機構や測定ス
テージ３２への移送機構、さらには後述の回収ラック３
３への移送、積み上げ機構や不良品排出機構３４には、
半導体ウェハ系の各種処理システムにおいて用いられて
いるウェハ・ハンドラと同様のものを流用することがで
きる。

第１図は測定ステージ３２の部分を取出して示したもの
であるが、以下、本ボード・テスタ３０に組込まれてい
る測定回路系５０の一例を示す第５図をも参照しながら
説明すると、まず、測定の手順を指令するため、マイク
ロ・コンピュータ等を内蔵して良いシーケンス制御装置
５１があり、当該測定手順は、使用者により図示しない
適当なインタフェイスを介し、あるいは一義的なシーケ
ンスを定めた命令格納ＲＯＭ等により、当該シーケンス
制御装置５１に与えられる。これは図中、測定シーケン
ス命令５２として模式的に示されている。

また、上述した搬送パレットの取出し、移送、回収、排
出等の各機構や、後述するプレス・ユニット３５中の機
構等は、第５図中では一括して機械機構系５３として示
されているが、それぞれシーケンス制御装置５１からの
指令データに基づいた動作をなし、またシーケンス制御
装置に動作データを送出する。

シーケンス制御装置５１が機械機構系５３中の搬送パレ
ット供給ラック３１に関する機構部分への指令を行なう
と、搬送パレット供給ラック３１から図示しない駆動機
構を介し、第１図示のパレット・レイル３６上を搬送パ
レット２０が案内されながら測定ステージ３２に送られ
てくる。

搬送パレット２０はここで停止し、搭載している各基板
１０．・・・・・の測定を待つ状態となるが、搬送パレ
ット２０の所定位置での停止を機械機構系５３からのフ
ィードバック・データで知ったシーケンス制御装置５３
は、次いで測定ステージ３２中のプレス・ユニット３５
に稼動命令を与え、これに応じて第１図に示されている
ように、搬送パレット２ｏを挟んで上下に一つづつある
エア・シリンダ３７　、３７がそのピストン部分を延ば
し始める。

このピストンには、それぞれ導電接触ビンとして構成さ
れた複数の測定プローブ３８．・・・・・を支持するビ
ン・ボード３９が取付けられ、当該ビン・ボード３９は
また、その四隅でガイド・ボスト４゜（第１図中で二本
のみ図示；第４図では省略）により、がた付きなく上下
動できるように案内されている。

各ビン・ボード３９　、３９には、停止している搬送パ
レット２０に搭載されている各基板１０．・・・・・の
有する端子電極パタン１１．・・・・・の数と配置に応
じ、その全てにそれぞれ接触する数と配置の測定プロー
ブないし導電接触ビン３８．・・・・・が備えられ、エ
ア・シリンダ３７　、３７がそのピストン部分を延ばし
切ってビン・ボード３９　、３９が最も基板に近付いた
とき、全ての導電接触ビン３８．・・・・・の頭部が各
対応する端子電極パタン１１．・・・・・に物理的に当
接し、これにより電気的接触が取られるようになってい
る。

もちろん、この接触時に衝撃を干渉し、かつ電気的接触
をより確実にするため、各導電接触ビン３９にはコイル
・スプリング等のバネ手段が備えられ、ある程度以上の
力が頭部に軸方向に与えられると頭を引っ込めることが
できるように作られている。

このようにして−枚の搬送パレット２０＆：ｉ載されて
いる複数枚の基板１０．・・・・・の全ての端子電極パ
タン１１．・・・・・に関し、全ての測定プローブ３８
、・・・・・が接触した状態を確保すると、ここからそ
れぞれ一対の端子電極パタン１１．１１により規定され
る個々のコンデンサの各電気的特性の測定が開始する。

第５図中では図示及び説明を簡単化するため、搬送パレ
ット２０は省略され、かつ、−枚のコンデンサ内蔵基板
１０シか示されておらず、また、このコンデンサ内蔵基
板には三つの端子電極パタン対１１、Ｉｌシか示されて
いないが、本実施例装置による各コンデンサＣの測定手
順は例えば次のようになる。

シーケンス制御装置５１は、定められた命令手順に従い
、複数（この場合三つ）のコンデンサＣの中から現に測
定に供しようとするコンデンサＣを選択するための第一
組の接点群６１　、６２　、６３と、測定項目に応じて
測定計器を切換える第二組の接点群６４　、８５　、６
６　、６７　、８８　、６９の各接点の開閉を制御する
。

シーケンス制御装置５１が第一組の接点群６１゜６２　
、６３中、接点６１をのみ閉じると、コンデンサ内蔵基
板１０に内蔵されている図示された三つのコンデンサの
中、ｖＪ５図中で最も左手に示されているコンデンサＣ
の選択状態となる。

ここでさらに、シーケンス制御装置５１が第二組の接点
群６４　、６５　、６６　、６７　、６８　、６９中、
接点６４のみを閉じる制御をなすと、上記で選択された
コンデンサの一対の端子電極パタン１１．１１に接触し
ている一対の測定プローブないし導電接触ビン３８　、
３８のみが容量計７１の測定人力に接続され、これによ
り、当該容量計では選択されたコンデンサの容量値を計
測する。

容量の測定が終わると、測定結果が図示しない記録管理
装置（シーケンス制御装置５１に用いられていると同じ
マイクロ・コンピュータにより制御されて良い）に送ら
れ、当該選択されたコンデンサの持つ実測容量値が記録
される一方で、当該容量値測定終了がシーケンス制御装
置５１に知らされる。

すると、シーケンス制御装置５１は、第一組の接点群６
１　、６２　、６３に対しては接点切換えの指令を出さ
ず、依然として接点６１のみを閉じた状態を維持させる
が、第二組の接点群６４　、６５　、６６　、６７　、
８８　。

６９に対しては接点切換え指令を発し、接点６４を開い
て接点６６を閉じさせる。

したがって、当該選択されているコンデンサＣに関し、
今度はりアクタンス計７３によるりアクタンス値の測定
が可能となる、もちろん、リアクタンス計は周波数発振
源等を有するが、これは図示していない。

リアクタンス値測定が終わると、その測定結果が図示し
ない記録管理装置に送られ、かつ、シーケンス制御装置
５１にリアクタンス測定終了を表すデータが送られる。

これに基づき、シーケンス制御装置５１は、第二組の接
点群に関してのみ、再度、切換え指令を発し、接点６６
を開いて接点６８を閉じさせる。

これにより、選択されたコンデンサＣの誘電正接が誘電
正接計７５により実測され、図示しない記録管理装置に
取込まれる一方で、シーケンス制御装置に誘電正接測定
終了が報知される。

これにより、シーケンス制御装置５１はさらに第二組の
接点群にのみ、切換え指令を発し、接点６８を開いて接
点６５を閉じさせる。

全く同様に、このようになれば、選択されているコンデ
ンサＣの耐電圧が耐電圧計７２により計測でき、したが
ってその測定終了後には実測値の保管と共にシーケンス
制御装置５１に測定終了データカ送うれ、これに基づい
てシーケンス制御装置は接点６５を開き、接点６７を閉
じさせて、絶縁抵抗計７４による絶縁抵抗の計測が可能
な状態を作る。

絶縁抵抗を公知の手法により計測し終わると、選択して
いたコンデンサＣに関する必要な電気的諸特性の測定が
終わワたことになるが、シーケンス制御装置５１では、
当該絶縁抵抗計７４からの測定終了データに基づき、今
度は第一組の接点群に対しても切換え指令を発し、それ
まで閉じていた接点６１を開き、次に例えば接点６２を
閉じさせる。

これは結局、第５図中、基板１０に内蔵された三つのコ
ンデンサＣ１・・・・・の中の真ん中に示されているコ
ンデンサＣの選択状態となる。

そこでシーケンス制御装置５１は、当該接点６２の閉成
に基づき、上記したと全く同様の手順で第二組の接点群
６４〜６８の順次切換え操作を行ない、方、設けられて
いる各種測定計器７１〜７５では、自身の選択に伴って
各対象となる次元の測定値を求め、各測定値を記録管理
装置に格納する。

そして、この真ん中のコンデンサＣに関しても全ての測
定項目に従う測定を完了したならば、シーケンス制御装
置５１は残っているコンデンサＣの測定のため、第一組
の接点群６１　、６２　、６３に対して接点切替え指令
を発し、上記で閉じていた接点６２を開いて接点６３の
みを閉じさせる。

これにより、以降、上記と全く同様の手順により、第二
組の接点群６４〜６８の順次切換え操作と、設けられて
いる各種測定計器７１〜７５での各測定値の求僅により
、この最後のコンデンサＣに関しても必要な測定データ
を全て得ることができる。

このような動作は、第３図に示されているように、−枚
の基板搬送パレット２０中に複数枚の基板１０、・・・
・・が支持されている場合、各基板１０に関して全く同
様に通用される。

すなわち、二枚目、三枚目以降の各基板１０に関しても
、上記した一枚目の基板の各コンデンサＣ９・・・・・
の各端子電極パタン１１．・・・・・に関してと同様の
端子電極パタン１１．・・・・・があり、かつまたそれ
らの数、配置に応じた数、配置の複数の測定プローブ３
８．・・・・・もあって、それぞれに上記したと同様、
各測定プローブ対を選択するための第一組と同様の接点
群が設けられている。

ただし、上記の説明では簡単のため、そのときどきで選
択したどれかの基板１０中のどれかのコンデンサＣに関
してのみ、全ての測定項目を順に消化して行く場合を例
記し、換言すればその間、他のコンデンサは全て、自分
の番が回ってくるのを待っている状態とされていたが、
接点手段群の回路構成の変更とシーケンス制御装置５１
に与えるシーケンス命令内容、そしてこれに基づくシー
ケンス制御装置の適当なる接点切替え操作によれば、例
えば一つのコンデンサの容量値を測定しているときに同
時に他の一つのコンデンサではりアクタンス値を、また
さらに他の一つのコンデンサでは８電正接値を、そして
別な二つのコンデンサではその一つが耐電圧を、他の一
つが絶縁抵抗を測定されていても良い、特に絶縁抵抗の
測定では、前述のように一分間に亙る高電圧の印加が必
要であるが、本発明によると測定プローブが既に接触し
ており、かつ接触したままの状態での測定が可能なので
、このような操作も簡単に、かつ継ぎ換えの手間がない
分、迅速に行なえる。

このようにして、測定ステージ３２にて停止していた搬
送パレット２０は、それが保持している全ての基板の全
ての内蔵コンデンサに関し、上述した手順での各測定項
目の全ての測定が完了すると、シーケンス制御装置５１
が機械機構系５３中、図示しない移送機構に送る移送命
令により、当該移送機構によって測定ステージ３２から
離れ、搬送パレット２０の回収ラック３３に向かって送
られる。

このとき同時に、搬送パレット供給ラック３１にもシー
ケンス制御装置５１は命令を下し、次の一枚の搬送パレ
ット２０の取出しを指令し、測定ステージ３２に向けて
の移送を開始させる。

以下、このようにして、供給ラック３１中に格納されて
いる搬送パレット２０中の各基板１０は順次測定に供さ
れて行くが、漸次測定を終え、回収ラック３３に向かっ
て移送される搬送パレット２０は、途中、不良品排出部
３４の下を通過する。このとき、当該搬送パレット２０
に支持されている全ての基板１０、・・・・・の全での
内蔵コンデンサＣ９・・・・・に関する測定データは、
先に述べたように図示しない記録保管装置に既に予め保
管されており、したがって公差を外れたコンデンサがあ
る場合、当該コンデンサないし当該コンデンサを含む基
板１ｏを特定することができるので、不良品排出部３４
では、真空チャック機構等、公知の機構に従い、不良コ
ンデンサを含む基板１０を掴み出し、廃棄する。

そのため、搬送パレット２０の回収ラック３３中に積層
されている搬送パレット２０には良品の基板１０しか含
まれない。

以上、本発明の望ましい一実施例につき、その一つの動
作側共々詳記したが、他の改変例も幾つも考えられる。

例えば、第５図中には仮想線で抵抗計７６も示され、第
二組の接点群６４〜６８に属するさらに追加の接点とし
て、この抵抗計７６の測定入力を選択的に測定プローブ
に継ぐことのできる接点６９も示されている。これは例
えば、この種のコンデンサ内蔵基板は、コンデンサを内
蔵した上でさらにその上にガラス絶縁膜等が施され、こ
れに抵抗等も印刷形成されている場合があるからで、そ
の場合に当該抵抗値をも測定可能なようにするためであ
る。

また、本発明では、内蔵コンデンサに関する電気的諸特
性の中、上記した容量、リアクタンス、誘電正接、耐電
圧、絶縁抵抗は測定すべき必須の項目として備えている
が、それはまた、少なくともサンプルに関して全て測定
可能となっているべきという意味であって、既述した自
動化装置として本発明ボード・テスタを組み上げた場合
にも、測定ステージ３２中を通過するコンデンサ内蔵基
板の全てに対し、上記した測定計器群の全てをいつも必
ず使わねばならないということではなく、例えば同一ロ
ット中の幾つかのサンプルに関してのみ、上記測定を全
て行なうことにより、大体、傾向を掴むことができた場
合には、他の多くの基板に関してはいくつかの測定項目
につき、測定を省略するような場合もあって良い。

また第一、本発明を自動化された装置として具現する必
要もなく、測定ステージ３２への被測定基板ないし被測
定パレットの供給や測定後の取出しは人の手によってな
されても良いし、測定開始の前に全ての測定プローブな
いし導電接触ビンを一括的に各対応するコンデンサ端子
電極パタンに接触させたり、測定完了後に全て一括的に
取外す作業も作業者がなして良い。

なお、上記してきた実施例では、各内蔵コンデンサＣ１
・・・・・はそれぞれ専用の端子電極パタン対１１　、
１１を有するように示されているが、場合により、いく
つかのコンデンサ相互の一方の端子電極パタン、さらに
は全ての内蔵コンデンサの一方の端子電極パタンは共通
電極となっていることもある０例えば基板裏面の大域的
領域に共通端子電極パタンか一連に付され、基板表面側
の個別の端子電極パタンと当該共通端子電極パタンとか
対になることにより、個々の内蔵コンデンサが形成され
ているような場合にも、例えば第５図示のような接点手
段群の配線回路系はほぼそのまま使うことができる。実
際上、この３４５図示の状態では、基板裏面に示されて
いる三つの端子電極パタンがあらかじめ共通配線されて
いるので、これら三つの電極を大きな一つの端子電極パ
タンに置き換えても、上述した説明はほぼそのまま適用
することができる。

さらに、コンデンサ内蔵基板としても、基板の厚味方向
を端子間誘電層として利用するのではなく、基板の一生
面上に平行に一対の端子電極パタンが隣接して形成され
、それら端子電極パタンの下の部分相互を横方向に結ぶ
基板部分を横方向誘電層として利用するタイプのものも
あるが、そのようなコンデンサ内蔵基板に対しても、本
発明は各端子電極パタンの数、配置に応じた数、配置の
測定プローブ群を用意することで、これにそのまま通用
することかできる。

なお、第５図中、測定プローブ対を選択したり測定計器
類を選択するために設けられている各接点手段は、図面
中では機械接点的に示されており、事実、それらが手動
スイッチ接点であったりリレー接点であるような場合も
含むが、そうではなく、電子的な接点手段、つまり半導
体アナログ、スイッチないしはマルチ・プレクサで構成
されていたりしても良い。

もちろん、コンデンサ内蔵基板に形成されているコンデ
ンサ端子電極パタンの数や配置が変われば、上記実施例
中の装置構成を採用する場合にも、これに応じて測定プ
ローブないし導電接触ピン３８．・・・・・の数や配置
の異なるビン・ボード３９を用いるようにすれば良い。

そして、−旦付は換えたピン・ボード３９は、少なくと
もその仕様の基板群を通じ、使い続けることができる。

［効　　果］ 本発明によると、複数の測定プローブをそれぞれ対応す
る複数の基板内蔵コンデンサの各端子電極パタンに一過
に接触させた状態のまま、個々のコンデンサに関し個々
の測定項目に従っての測定を連続的に行なって行くこと
ができる。

したがって、測定項目が変わるたびに各専用の測定器に
付属の測定プローブを継ぎ換える必要がなくなり、測定
処理時間は総体的に大幅に短縮される。事実、一つの基
板に多数の内蔵コンデンサを含む場合が多く、かつまた
将来的にも多量のコンデンサ内蔵基板の需要が見込まれ
ることを考えると、本発明によって短縮される時間は相
当なものとなる。

また、−実施例中にも示されている通り、本発明によれ
ば、ボード・テスタをその基板供給、測定、回収や不良
品排出をも含み、一連の自動化装置として組むことも簡
単になる。複数の測定プローブを一過に動かして基板の
各端子電極に接触させたり解離させたりすれば良いから
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って構成された一実施例のボード・
テスタにおける測定ステージないしプレス・ユニット部
分の概略構成図。 第２図はコンデンサ内蔵基板の説明図。 第３図はコンデンサ内蔵基板を複数個、−遍に搬送処理
するための搬送パレットの概略構成図。 第４図は本発明一実施例のボード・テスタを全体的に見
た概略構成図。 第５図は第１．４図示の本発明実施例におけるボード・
テスタに含まれる回路系、特に接点手段群に関する部分
の一回路例を示す回路図。 である。 図中、１０はコンデンサ内蔵基板、１１は各コンデンサ
の端子電極パタン、２ｏは基板搬送パレット、２１は基
板搭載部（透孔部）、２２は基板支持段部、３０は全体
としての本発明一実施例のボード・テスタ、３１は搬送
パレット供給ラック、３２は測定ステージ、３３は搬送
パレット回収ラック、３４は不良品排出部、３５はプレ
ス・ユニット、３６ハハレット・ガイド、３７はエア・
シリンダ、３８は測定プローブないし導電接触ビン、３
９はピン・ボード、５０は測定回路系、５１はシーケン
ス制御装置、５２は測定シーケンス命令入力部、５３は
機械機構系、６１　、６２　、６３は測定プローブ対を
選択するための第一組の接点手段群、６４　、６５　、
６ｆｉ　、　６７　、６８　、６９は測定計器類を選択
するための第二組の接点手段群、７１は容量計、７２は
耐電圧計、７３はリアクタンス計、７４は絶縁抵抗計、
７５は誕電正接計、７６は抵抗計、である。 出 願 人 日本油脂株式会社 第２図（Ａ） 第２図（Ｂ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 一対の端子電極パタン間の基板部分を端子間誘電層とす
   るコンデンサを複数個内蔵したコンデンサ内蔵基板用の
   ボード・テスタであって； 上記複数個のコンデンサに対応して複数個ある上記端子
   電極パタンの数、配置に応じ、それらの全てに同時に電
   気的に接触し得る数、配置の複数個の測定プローブと； 該複数個の測定プローブが全て、それぞれ対応する上記
   端子電極パタンに上記電気的に接触した状態のまま、そ
   のときどきで選択された上記コンデンサの上記端子電極
   パタン対に接触している測定プローブ対をのみ、少なく
   とも容量計、リアクタンス計、誘電正接計、耐電圧計、
   絶縁抵抗計を含む計器群中、そのときどきで選択した計
   器の測定入力に電気的に接続する接点手段群と； を有して成るボード・テスタ。