JPH0326802B2 - - Google Patents
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- JPH0326802B2 JPH0326802B2 JP57089876A JP8987682A JPH0326802B2 JP H0326802 B2 JPH0326802 B2 JP H0326802B2 JP 57089876 A JP57089876 A JP 57089876A JP 8987682 A JP8987682 A JP 8987682A JP H0326802 B2 JPH0326802 B2 JP H0326802B2
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- color
- aqueous solution
- resin film
- colored resin
- solid
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カラー撮像装置用のマイクロカラー
フイルター着色樹脂膜の表面改質方法に関するも
のである。さらに詳しくは、本発明は、撮像管お
よび固体撮像素子などの撮像装置からなるカラー
撮像装置の受光部に付設されるマイクロカラーフ
イルター着色樹脂膜の表面改質方法に関するもの
である。
フイルター着色樹脂膜の表面改質方法に関するも
のである。さらに詳しくは、本発明は、撮像管お
よび固体撮像素子などの撮像装置からなるカラー
撮像装置の受光部に付設されるマイクロカラーフ
イルター着色樹脂膜の表面改質方法に関するもの
である。
たとえば、VTR用カメラなどにおいて、カラ
ー画像に対するカラー信号を取り出すために、受
光部にマイクロカラーフイルターを設けたカラー
撮像管が従来より一般的に用いられている。これ
らのカラー撮像管は、たとえば、サチコン、ビジ
コンなどと呼ばれる種類の撮像管により代表され
るものである。
ー画像に対するカラー信号を取り出すために、受
光部にマイクロカラーフイルターを設けたカラー
撮像管が従来より一般的に用いられている。これ
らのカラー撮像管は、たとえば、サチコン、ビジ
コンなどと呼ばれる種類の撮像管により代表され
るものである。
すなわち、カラー撮像管は、撮像管の受光部に
赤、緑および青、あるいはシアン、マゼンタおよ
びイエローなどの微小の色分解フイルター要素
（着色樹脂膜）がモザイク状あるいはストライプ
状に組み合わされたマイクロカラーフイルターが
付設された構成からなるものである。
赤、緑および青、あるいはシアン、マゼンタおよ
びイエローなどの微小の色分解フイルター要素
（着色樹脂膜）がモザイク状あるいはストライプ
状に組み合わされたマイクロカラーフイルターが
付設された構成からなるものである。
一方、最近では撮像管に代るデバイスとして、
たとえば、CCD，BBD，MOSなどの各種の固体
撮像素子が開発されたため、上記のVTR用カメ
ラなどの小型化を主な目的として、固体撮像素子
とマイクロカラーフイルターとを組み合わせたカ
ラー固体撮像素子の実用化の検討が行なわれてお
り、一部では既に実用化されている。
たとえば、CCD，BBD，MOSなどの各種の固体
撮像素子が開発されたため、上記のVTR用カメ
ラなどの小型化を主な目的として、固体撮像素子
とマイクロカラーフイルターとを組み合わせたカ
ラー固体撮像素子の実用化の検討が行なわれてお
り、一部では既に実用化されている。
カラー固体撮像素子は、一般に画素と呼ばれる
光電変換素子と、走査回路を集積化した平板状の
撮像集積回路（IC）からなる受光部の表面に、
それぞれの画素に対応する赤、緑および青、ある
いはシアン、マゼンタおよびイエローなどの微小
の色分解フイルター要素（着色樹脂膜）がモザイ
ク状あるいはストライプ状に組み合わされたマイ
クロカラーフイルターが付設された構成からなる
ものである。
光電変換素子と、走査回路を集積化した平板状の
撮像集積回路（IC）からなる受光部の表面に、
それぞれの画素に対応する赤、緑および青、ある
いはシアン、マゼンタおよびイエローなどの微小
の色分解フイルター要素（着色樹脂膜）がモザイ
ク状あるいはストライプ状に組み合わされたマイ
クロカラーフイルターが付設された構成からなる
ものである。
カラー固体撮像素子は、一般には、「貼り合せ
法」あるいは「オン・ウエハー法」と呼ばれる方
法により製造される。
法」あるいは「オン・ウエハー法」と呼ばれる方
法により製造される。
このうち貼り合せ法は、固体撮像素子の各画素
に対応する色分解フイルター要素をガラスなどの
透明支持体上に形成してマイクロカラーフイルタ
ーを製造し、これを固体撮像素子の表面に接着し
てカラー固体撮像素子とする方法である。従つ
て、この方法では、独立に製造したマイクロカラ
ーフイルターを固体撮像素子表面に接着する際
に、固体撮像素子の各画素に対して色分解フイル
ター要素の各々が正確に対応するように厳密に制
御する操作が必要となる。
に対応する色分解フイルター要素をガラスなどの
透明支持体上に形成してマイクロカラーフイルタ
ーを製造し、これを固体撮像素子の表面に接着し
てカラー固体撮像素子とする方法である。従つ
て、この方法では、独立に製造したマイクロカラ
ーフイルターを固体撮像素子表面に接着する際
に、固体撮像素子の各画素に対して色分解フイル
ター要素の各々が正確に対応するように厳密に制
御する操作が必要となる。
一方、オン・ウエハー法は、固体撮像素子の上
に直接マイクロカラーフイルターを形成する方法
である。従つて、このオン・ウエハー法は、固体
撮像素子の製造プロセスに組み込むことが可能と
なり、カラー固体撮像素子の製造が容易となると
の利点がある。
に直接マイクロカラーフイルターを形成する方法
である。従つて、このオン・ウエハー法は、固体
撮像素子の製造プロセスに組み込むことが可能と
なり、カラー固体撮像素子の製造が容易となると
の利点がある。
なお、オン・ウエハー法には、固体撮像素子を
多数個配列したウエハー上にそれぞれの固体撮像
素子の各画素に対応した色分解フイルター要素を
形成することにより多数個のカラー固体撮像素子
を同時に製造する方法と、固体撮像素子を多数個
配列したウエハーから単体の固体撮像素子（チツ
プ）を切り出し、この各チツプの上に色分解フイ
ルター要素を形成することにより単一のカラー固
体撮像素子を製造する方法（オン・チツプ法）が
知られているが、本明細書においては、これらの
いずれの方法をもオン・ウエハー法に含めるもの
である。
多数個配列したウエハー上にそれぞれの固体撮像
素子の各画素に対応した色分解フイルター要素を
形成することにより多数個のカラー固体撮像素子
を同時に製造する方法と、固体撮像素子を多数個
配列したウエハーから単体の固体撮像素子（チツ
プ）を切り出し、この各チツプの上に色分解フイ
ルター要素を形成することにより単一のカラー固
体撮像素子を製造する方法（オン・チツプ法）が
知られているが、本明細書においては、これらの
いずれの方法をもオン・ウエハー法に含めるもの
である。
カラー撮像装置を製造するプロセスは、一般に
次のような方法が考えられている。
次のような方法が考えられている。
撮像装置の受光部（たとえば、撮像管もしくは
固体撮像素子の受光部など）あるいは受光部に付
設されるガラスなどの透明支持体上に、重クロム
酸ゼラチンなどの光硬化性樹脂溶液を塗布して光
硬化性樹脂層を形成し、その表面に露光用パター
ンを通過した光を照射して、樹脂層にモザイク状
あるいはストライプ状の硬化部分を生成させる。
次いで、この樹脂層を適当な溶媒で洗浄すること
により、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状
あるいはストライプ状の硬化樹脂層を得て、次
に、この硬化樹脂層を赤、緑、青、シアン、マゼ
ンタ、あるいはイエローなどの内の一種の染料で
染色して、色分解フイルター要素（着色樹脂膜）
Ｉを形成する。
固体撮像素子の受光部など）あるいは受光部に付
設されるガラスなどの透明支持体上に、重クロム
酸ゼラチンなどの光硬化性樹脂溶液を塗布して光
硬化性樹脂層を形成し、その表面に露光用パター
ンを通過した光を照射して、樹脂層にモザイク状
あるいはストライプ状の硬化部分を生成させる。
次いで、この樹脂層を適当な溶媒で洗浄すること
により、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状
あるいはストライプ状の硬化樹脂層を得て、次
に、この硬化樹脂層を赤、緑、青、シアン、マゼ
ンタ、あるいはイエローなどの内の一種の染料で
染色して、色分解フイルター要素（着色樹脂膜）
Ｉを形成する。
次いで、このように形成した色分解フイルター
要素の上に色汚染防止層を形成し、更にその上に
同様にして光硬化性樹脂層を形成し、その表面に
別の露光用パターンを通過した光を照射して、樹
脂層に別のモザイク状あるいはストライプ状の硬
化部分を生成させる。そして、同様にして未硬化
樹脂部分を除去し、硬化樹脂層を別の染料で染色
して色分解フイルター要素を形成する。さら
に、必要によりこのような色分解フイルター要素
形成の操作を繰り返して所望の色分解フイルター
群を形成させたのち、最後に表面被覆層を形成す
ることによりマイクロカラーフイルター部の形成
を完了する。
要素の上に色汚染防止層を形成し、更にその上に
同様にして光硬化性樹脂層を形成し、その表面に
別の露光用パターンを通過した光を照射して、樹
脂層に別のモザイク状あるいはストライプ状の硬
化部分を生成させる。そして、同様にして未硬化
樹脂部分を除去し、硬化樹脂層を別の染料で染色
して色分解フイルター要素を形成する。さら
に、必要によりこのような色分解フイルター要素
形成の操作を繰り返して所望の色分解フイルター
群を形成させたのち、最後に表面被覆層を形成す
ることによりマイクロカラーフイルター部の形成
を完了する。
なお、上記の各々の操作の間あるいはその前後
には、回路形成のために必要なボンデイングパツ
ド部の露出化操作なども含まれることもあるが、
これらの操作は本発明とは直接関係がないため、
説明を省略する。
には、回路形成のために必要なボンデイングパツ
ド部の露出化操作なども含まれることもあるが、
これらの操作は本発明とは直接関係がないため、
説明を省略する。
上記のような従来より一般的に利用されている
マイクロカラーフイルター部の形成操作では、一
種の色分解フイルター要素の上に色汚染防止層を
形成した後に、別の色素系の色分解フイルター要
素を形成する方法が採用されている。これは、先
に形成された色分解フイルター要素が、次の色分
解フイルター要素の形成のための染色工程によつ
て、さらに染色を受けることに起因する色汚染、
および、先に形成された色分解フイルター要素の
色素が、次の色分解フイルター要素内ににじみ出
すことに起因する色汚染の双方（混色とも呼ばれ
る）を防止することも目的として形成される中間
層である。従つて、このような中間層の数は、一
般に少なくとも（色分解フイルター群の数−１）
の数だけ必要になる。
マイクロカラーフイルター部の形成操作では、一
種の色分解フイルター要素の上に色汚染防止層を
形成した後に、別の色素系の色分解フイルター要
素を形成する方法が採用されている。これは、先
に形成された色分解フイルター要素が、次の色分
解フイルター要素の形成のための染色工程によつ
て、さらに染色を受けることに起因する色汚染、
および、先に形成された色分解フイルター要素の
色素が、次の色分解フイルター要素内ににじみ出
すことに起因する色汚染の双方（混色とも呼ばれ
る）を防止することも目的として形成される中間
層である。従つて、このような中間層の数は、一
般に少なくとも（色分解フイルター群の数−１）
の数だけ必要になる。
前述の撮像装置のなかでも、特に固体撮像素子
は、前述のように光電変換素子と走査回路を集積
化したものであり、その集積度は、たとえば、縦
横約10mmの平面に数十万個あるいは百万個以上
の光電変換素子（画素）が含まれる程度に高いも
のである。従つて、このような超精密部品の加工
において、その加工工程を一つでも少なくするこ
とは非常に重要であり、加工工程の低減は最終製
品のカラー固体撮像素子の歩留りの向上に直接結
びつくため、上記の色汚染防止層のように、形成
されたマイクロカラーフイルター自体の性能には
関係のない層の形成工程は、可能であれば省略す
ることが望ましい。
は、前述のように光電変換素子と走査回路を集積
化したものであり、その集積度は、たとえば、縦
横約10mmの平面に数十万個あるいは百万個以上
の光電変換素子（画素）が含まれる程度に高いも
のである。従つて、このような超精密部品の加工
において、その加工工程を一つでも少なくするこ
とは非常に重要であり、加工工程の低減は最終製
品のカラー固体撮像素子の歩留りの向上に直接結
びつくため、上記の色汚染防止層のように、形成
されたマイクロカラーフイルター自体の性能には
関係のない層の形成工程は、可能であれば省略す
ることが望ましい。
以上述べたような背景のもとに、各々の色分解
フイルター要素の形成後に、その色分解フイルタ
ー要素の表面層を改質して、のちに別の染料溶液
と接触しても、その染料溶液が色分解フイルター
要素の内部に浸透せず、また先に形成した色分解
フイルター要素の染料が外部へにじみ出して、次
に形成される色分解フイルター要素の色を汚染し
ないようにすることにより、色汚染防止層の付設
を省略することも提案されている。
フイルター要素の形成後に、その色分解フイルタ
ー要素の表面層を改質して、のちに別の染料溶液
と接触しても、その染料溶液が色分解フイルター
要素の内部に浸透せず、また先に形成した色分解
フイルター要素の染料が外部へにじみ出して、次
に形成される色分解フイルター要素の色を汚染し
ないようにすることにより、色汚染防止層の付設
を省略することも提案されている。
たとえば、特開昭55−25067号公報は、透明な
ガラス基板など基板（支持体）に設けられた着色
樹脂膜をタンニン酸と酢酸の水溶液および酒石酸
アンチモニルカリウム水溶液で処理することによ
り着色樹脂膜の表面改質を図る方法を開示してい
る。この方法は、着色樹脂膜の色汚染を防止する
ための処理方法としては有効であるが、本発明者
の検討によれば、表面改質後の着色樹脂膜の表面
に、レチキユレーシヨンと呼ばれる細かいちりめ
ん状のしわが発生する傾向があり、このレチキユ
レーシヨンの発生は、特に光硬化性樹脂としてゼ
ラチン系光硬化性樹脂を用いた場合には顕著であ
ることをがわかつた。このようなレチキユレーシ
ヨンが発生した着色樹脂膜から構成されたマイク
ロカラーフイルターは、透過光量の減少、および
透過光量のバラツキなどの性能の低下をもたら
し、カラー撮像装置の品質を低下させるため好ま
しくない。
ガラス基板など基板（支持体）に設けられた着色
樹脂膜をタンニン酸と酢酸の水溶液および酒石酸
アンチモニルカリウム水溶液で処理することによ
り着色樹脂膜の表面改質を図る方法を開示してい
る。この方法は、着色樹脂膜の色汚染を防止する
ための処理方法としては有効であるが、本発明者
の検討によれば、表面改質後の着色樹脂膜の表面
に、レチキユレーシヨンと呼ばれる細かいちりめ
ん状のしわが発生する傾向があり、このレチキユ
レーシヨンの発生は、特に光硬化性樹脂としてゼ
ラチン系光硬化性樹脂を用いた場合には顕著であ
ることをがわかつた。このようなレチキユレーシ
ヨンが発生した着色樹脂膜から構成されたマイク
ロカラーフイルターは、透過光量の減少、および
透過光量のバラツキなどの性能の低下をもたら
し、カラー撮像装置の品質を低下させるため好ま
しくない。
従つて、本発明は、カラー撮像装置の受光部あ
るいはカラー撮像装置の受光部に付設される透明
支持体の上にマイクロカラーフイルターを形成す
る方法において、色汚染防止改質処理後の着色樹
脂膜（色分解フイルター要素）の表面に、レチキ
ユレーシヨンなどの好ましくない現象を発生する
ことのない色汚染防止改質処理を施すことによ
り、色分解フイルターを透過する光に何ら悪影響
を及ぼすことなく色汚染防止層の省略を可能にす
る技術を提供することをその目的とするものであ
る。
るいはカラー撮像装置の受光部に付設される透明
支持体の上にマイクロカラーフイルターを形成す
る方法において、色汚染防止改質処理後の着色樹
脂膜（色分解フイルター要素）の表面に、レチキ
ユレーシヨンなどの好ましくない現象を発生する
ことのない色汚染防止改質処理を施すことによ
り、色分解フイルターを透過する光に何ら悪影響
を及ぼすことなく色汚染防止層の省略を可能にす
る技術を提供することをその目的とするものであ
る。
本発明は、撮像装置の受光部もしくは受光部に
付設される透明支持体上に重クロム酸もしくはク
ロム酸を含む蛋白質性材料からなる光硬化性樹脂
を用いて形成された着色樹脂膜の表面をクロム塩
系硬膜剤水溶液で処理し、次いで130〜200℃の温
度にて加熱処理することにより硬膜化処理し、次
いで、タンニン酸含有酸性水溶液、および酒石酸
アンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いて
表面改質を行なうことを特徴とするカラー撮像装
置用のマイクロカラーフイルター着色樹脂膜の表
面改質方法からなるものである。
付設される透明支持体上に重クロム酸もしくはク
ロム酸を含む蛋白質性材料からなる光硬化性樹脂
を用いて形成された着色樹脂膜の表面をクロム塩
系硬膜剤水溶液で処理し、次いで130〜200℃の温
度にて加熱処理することにより硬膜化処理し、次
いで、タンニン酸含有酸性水溶液、および酒石酸
アンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いて
表面改質を行なうことを特徴とするカラー撮像装
置用のマイクロカラーフイルター着色樹脂膜の表
面改質方法からなるものである。
次に本発明を詳しく説明する。
本発明において用いる撮像装置には、たとえば
撮像管および固体撮像素子などが含まれる。
撮像管および固体撮像素子などが含まれる。
撮像管は、その種類、構造などについて特に制
限を受けるものではなく、たとえば、公知のビジ
コン、サチコン、プランビコン、カルニコンなど
の各種の撮像管を使用することができる。
限を受けるものではなく、たとえば、公知のビジ
コン、サチコン、プランビコン、カルニコンなど
の各種の撮像管を使用することができる。
固体撮像素子も、その種類、構造などについて
特に制限を受けるものではなく、たとえば、公知
のCCD，BBD，MOSなどの各種の固体撮像素子
を使用することができる。
特に制限を受けるものではなく、たとえば、公知
のCCD，BBD，MOSなどの各種の固体撮像素子
を使用することができる。
ただし、本発明を、マイクロカラーフイルター
の付設工程が固体撮像素子の受光部にオン・ウエ
ハー法により行なう方法において利用する場合に
は、その工程において固体撮像素子が不純物、た
てえば、ごみ、ちり、異種イオン、特にアルカリ
金属イオンなどにより汚染されることを防止する
ために透明な保護層が設けられた固体撮像素子を
用いる必要がある。この保護層は透明な有機質材
料もしくは無機質材料から形成されるものであ
り、たとえば、リンケイ酸ガラスなどの材料が用
いられる。ただし、上記の保護層の設置目的が達
成される限り、特にその材料、厚み、設置方法に
限定はない。また、保護層の表面が充分に平滑で
ない場合、あるいはその他の理由により、保護層
の上に透明な樹脂などの材料からなる平滑層など
の別の層を更に設ける場合もある。このような場
合には、着色樹脂膜の形成は、その平滑層の上に
行なわれる。
の付設工程が固体撮像素子の受光部にオン・ウエ
ハー法により行なう方法において利用する場合に
は、その工程において固体撮像素子が不純物、た
てえば、ごみ、ちり、異種イオン、特にアルカリ
金属イオンなどにより汚染されることを防止する
ために透明な保護層が設けられた固体撮像素子を
用いる必要がある。この保護層は透明な有機質材
料もしくは無機質材料から形成されるものであ
り、たとえば、リンケイ酸ガラスなどの材料が用
いられる。ただし、上記の保護層の設置目的が達
成される限り、特にその材料、厚み、設置方法に
限定はない。また、保護層の表面が充分に平滑で
ない場合、あるいはその他の理由により、保護層
の上に透明な樹脂などの材料からなる平滑層など
の別の層を更に設ける場合もある。このような場
合には、着色樹脂膜の形成は、その平滑層の上に
行なわれる。
本発明を実施するに際しては、着色樹脂膜は、
たとえば、次のような方法により形成される。
たとえば、次のような方法により形成される。
まず、撮像管の受光部上、固体撮像素子の受光
部の保護層上（保護層上に平滑層などの他の層が
存在している場合には、その最上部の層の上）、
または撮像管もしくは固体撮像素子の受光部に付
設する透明支持体（ガラスなど）に、光硬化性樹
脂溶液を塗布して光硬化性樹脂を形成する。光硬
化性樹脂としては、重クロム酸ゼラチン、クロム
酸ゼラチン、重クロム酸カゼイン、重クロム酸グ
ルーなどのように重クロム酸もしくはクロム酸を
含む蛋白質性材料などが用いられる。ただし、本
発明の表面改質方法は光硬化性樹脂がゼラチン系
光硬化性樹脂である場合に特に有用である。
部の保護層上（保護層上に平滑層などの他の層が
存在している場合には、その最上部の層の上）、
または撮像管もしくは固体撮像素子の受光部に付
設する透明支持体（ガラスなど）に、光硬化性樹
脂溶液を塗布して光硬化性樹脂を形成する。光硬
化性樹脂としては、重クロム酸ゼラチン、クロム
酸ゼラチン、重クロム酸カゼイン、重クロム酸グ
ルーなどのように重クロム酸もしくはクロム酸を
含む蛋白質性材料などが用いられる。ただし、本
発明の表面改質方法は光硬化性樹脂がゼラチン系
光硬化性樹脂である場合に特に有用である。
次に光硬化性樹脂層の表面に、モザイク状ある
いはストライプ状の露光用パターンを介して光を
照射して、樹脂層にその露光用パターンに対応す
るモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を
生成させる。そして、この樹脂層を適当な溶媒、
たとえば光硬化樹脂として重クロム酸ゼラチンを
用いた場合には温湯など、で洗浄することによ
り、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状ある
いはストライプ状の硬化樹脂層を得る。
いはストライプ状の露光用パターンを介して光を
照射して、樹脂層にその露光用パターンに対応す
るモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を
生成させる。そして、この樹脂層を適当な溶媒、
たとえば光硬化樹脂として重クロム酸ゼラチンを
用いた場合には温湯など、で洗浄することによ
り、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状ある
いはストライプ状の硬化樹脂層を得る。
上記のようにして形成された硬化樹脂層を次
に、赤、緑、青、シアン、マゼンタ、あるいはイ
エローなどの内の一種の染料で染色して、色分解
フイルター要素として機能する着色樹脂膜を得
る。この染色に用いられる染料としては、既に各
種の酸性染料、直接染料、および反応性染料など
が知られており、本発明においてもそれらの公知
のもの、あるいはそれと同等の性質を有する染料
から任意に選んだ染料を用いることができる。
に、赤、緑、青、シアン、マゼンタ、あるいはイ
エローなどの内の一種の染料で染色して、色分解
フイルター要素として機能する着色樹脂膜を得
る。この染色に用いられる染料としては、既に各
種の酸性染料、直接染料、および反応性染料など
が知られており、本発明においてもそれらの公知
のもの、あるいはそれと同等の性質を有する染料
から任意に選んだ染料を用いることができる。
上記のようにして形成した着色樹脂膜に対し
て、本発明においては、まず、その表面に硬膜化
処理を施す。この硬膜化処理は、形成された着色
樹脂膜の表面を、クロムミヨウバン、酢酸クロム
などのクロム塩系硬膜剤の水溶液で処理し、次い
で130〜200℃の温度にて、通常は20分から１時間
程度、加熱する処理方法を利用して行なうことが
できる。
て、本発明においては、まず、その表面に硬膜化
処理を施す。この硬膜化処理は、形成された着色
樹脂膜の表面を、クロムミヨウバン、酢酸クロム
などのクロム塩系硬膜剤の水溶液で処理し、次い
で130〜200℃の温度にて、通常は20分から１時間
程度、加熱する処理方法を利用して行なうことが
できる。
硬膜化処理を施した着色樹脂膜については、次
に、タンニン酸含有酸性水溶液、および酒石酸ア
ンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いる表
面改質を行なう。
に、タンニン酸含有酸性水溶液、および酒石酸ア
ンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いる表
面改質を行なう。
タンニン酸含有酸性水溶液としては、一般に
は、酢酸により酸性にしたタンニン酸含有酸性水
溶液を利用することが好ましい。また、水溶液中
のタンニン酸の濃度は0.05〜1.0重量％の範囲、
そして酢酸などの酸の濃度は0.01〜2.0重量％の
範囲から選ぶことが好ましい。硬膜化処理した着
色樹脂膜をタンニン酸含有酸性水溶液で処理する
場合には、一般には、水溶液を10〜80℃、好まし
くは室温から60℃の範囲の温度に維持しながら実
施する。
は、酢酸により酸性にしたタンニン酸含有酸性水
溶液を利用することが好ましい。また、水溶液中
のタンニン酸の濃度は0.05〜1.0重量％の範囲、
そして酢酸などの酸の濃度は0.01〜2.0重量％の
範囲から選ぶことが好ましい。硬膜化処理した着
色樹脂膜をタンニン酸含有酸性水溶液で処理する
場合には、一般には、水溶液を10〜80℃、好まし
くは室温から60℃の範囲の温度に維持しながら実
施する。
酒石酸アンチモルアルカリ金属水溶液として
は、一般に吐酒石と呼ばれる酒石酸アンチモニル
カリウムの水溶液を用いることが好ましい。ま
た、水溶液中の酒石酸アンチモニルアルカリ金属
塩の濃度は0.02〜5.0重量％の範囲から選ぶこと
が好ましい。この処理温度は、10〜80℃、好まし
くは室温から60℃の範囲の温度から選ばれる。
は、一般に吐酒石と呼ばれる酒石酸アンチモニル
カリウムの水溶液を用いることが好ましい。ま
た、水溶液中の酒石酸アンチモニルアルカリ金属
塩の濃度は0.02〜5.0重量％の範囲から選ぶこと
が好ましい。この処理温度は、10〜80℃、好まし
くは室温から60℃の範囲の温度から選ばれる。
なお、これまでに述べた各工程の間には、必要
に応じて、水洗工程、乾燥工程、あるいは水洗・
乾燥工程を含めることもできる。
に応じて、水洗工程、乾燥工程、あるいは水洗・
乾燥工程を含めることもできる。
以上に述べたような処理工程を経て表面改質さ
れた着色樹脂膜には、必要に応じて、さらに、光
硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂層を形成
する工程から始まる同様な着色樹脂膜形成および
表面改質処理を、繰り返し実施することができ、
次いで、表面保護層が設けられてカラーフイルタ
ー層の付設が完了する。
れた着色樹脂膜には、必要に応じて、さらに、光
硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂層を形成
する工程から始まる同様な着色樹脂膜形成および
表面改質処理を、繰り返し実施することができ、
次いで、表面保護層が設けられてカラーフイルタ
ー層の付設が完了する。
本発明の表面改質方法により処理された着色樹
脂膜（色分解フイルター要素）は、処理後の表面
に、レチキユレーシヨンなどの好ましくない現象
を発生することなく、実用的に充分な色汚染防止
機能を示す。従つて、色分解フイルター要素を透
過する光に何ら悪影響を及ぼすことなく、マイク
ロカラーフイルターの色汚染防止用中間層の省略
が可能となる利点があり、カラー撮像装置を製造
する方法において利用することができ、なかで
も、特にオン・ウエハー法によるカラー固体撮造
素子の製造方法に有利に利用することができる。
脂膜（色分解フイルター要素）は、処理後の表面
に、レチキユレーシヨンなどの好ましくない現象
を発生することなく、実用的に充分な色汚染防止
機能を示す。従つて、色分解フイルター要素を透
過する光に何ら悪影響を及ぼすことなく、マイク
ロカラーフイルターの色汚染防止用中間層の省略
が可能となる利点があり、カラー撮像装置を製造
する方法において利用することができ、なかで
も、特にオン・ウエハー法によるカラー固体撮造
素子の製造方法に有利に利用することができる。
次に本発明の実施例および比較例を示す。
［実施例１］
CCDタイプの固体撮像素子（表面にリンケイ
酸ガラスからなる保護層および透明有機高分子化
合物からなる平滑化層が設けられているもの）の
平滑化層の上に厚さ0.7ミクロンの重クロム酸ゼ
ラチン光硬化性樹脂層を設け、この上にモザイク
模様からなるマスク（露光パターン）を置いて密
着露光を行なつた。次いで、露光した樹脂層を温
湯で洗浄して、樹脂の未硬化部分を溶出除去し
て、モザイク状の凸部からなる硬化樹脂層を残し
た。
酸ガラスからなる保護層および透明有機高分子化
合物からなる平滑化層が設けられているもの）の
平滑化層の上に厚さ0.7ミクロンの重クロム酸ゼ
ラチン光硬化性樹脂層を設け、この上にモザイク
模様からなるマスク（露光パターン）を置いて密
着露光を行なつた。次いで、露光した樹脂層を温
湯で洗浄して、樹脂の未硬化部分を溶出除去し
て、モザイク状の凸部からなる硬化樹脂層を残し
た。
この硬化樹脂層を黄色染料（スミノール・ミー
リング・イエローMR：住友化学工業(株)製）で染
色して着色樹脂膜を調製した。
リング・イエローMR：住友化学工業(株)製）で染
色して着色樹脂膜を調製した。
この着色樹脂膜を、まず、40℃のクロムミヨウ
バン硬膜液（クロムミヨウバン２重量％および無
水亜硫酸ナトリウム１重量％を含有する水溶液
で、酢酸でPH４に調整したもの）に３分間処理
し、次いで水洗したのち、170℃にて30分間加熱
して硬膜化処理を行なつた。
バン硬膜液（クロムミヨウバン２重量％および無
水亜硫酸ナトリウム１重量％を含有する水溶液
で、酢酸でPH４に調整したもの）に３分間処理
し、次いで水洗したのち、170℃にて30分間加熱
して硬膜化処理を行なつた。
硬膜化処理した着色樹脂膜を、40℃の酢酸酸性
タンニン酸水溶液（タンニン酸0.2重量％と酢酸
１重量％を含有する水溶液）で１分間処理し、次
いで水洗乾燥後、40℃の酒石酸アンチモニルカリ
ウム水溶液（酒石酸アンチモニルカリウム0.5重
量％と酢酸0.25重量％を含有する水溶液）で同じ
く１分間処理して着色樹脂膜に色汚染防止改質処
理を施した。
タンニン酸水溶液（タンニン酸0.2重量％と酢酸
１重量％を含有する水溶液）で１分間処理し、次
いで水洗乾燥後、40℃の酒石酸アンチモニルカリ
ウム水溶液（酒石酸アンチモニルカリウム0.5重
量％と酢酸0.25重量％を含有する水溶液）で同じ
く１分間処理して着色樹脂膜に色汚染防止改質処
理を施した。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
［実施例２］
実施例１に記載した方法により調整した着色樹
脂膜について、実施例１に記載した方法により硬
膜化処理を行ない、次いで酢酸酸性タンニン酸水
溶液の温度を20℃に変え、また酒石酸アンチモニ
ルカリウム水溶液の温度を同じく20℃に変えた以
外は、実施例１と同様な色汚染防止改質処理を行
なつた。
脂膜について、実施例１に記載した方法により硬
膜化処理を行ない、次いで酢酸酸性タンニン酸水
溶液の温度を20℃に変え、また酒石酸アンチモニ
ルカリウム水溶液の温度を同じく20℃に変えた以
外は、実施例１と同様な色汚染防止改質処理を行
なつた。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
［実施例３］
実施例１に記載した方法により調整した着色樹
脂膜について、加熱温度を150℃に変えた以外は
実施例１と同様な硬膜化処理を行ない、次いで、
実施例２に記載した方法により色汚染防止改質処
理を行なつた。
脂膜について、加熱温度を150℃に変えた以外は
実施例１と同様な硬膜化処理を行ない、次いで、
実施例２に記載した方法により色汚染防止改質処
理を行なつた。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
［実施例４］
実施例１に記載した方法により調製した着色樹
脂膜について、実施例１に記載した方法により硬
膜化処理を行ない、次いで、酒石酸アンチモニル
カリウム水溶液の酒石酸アンチモニルカリウム含
有量を0.25重量％に変えた以外は、実施例１と同
様な色汚染防止改質処理を行なつた。
脂膜について、実施例１に記載した方法により硬
膜化処理を行ない、次いで、酒石酸アンチモニル
カリウム水溶液の酒石酸アンチモニルカリウム含
有量を0.25重量％に変えた以外は、実施例１と同
様な色汚染防止改質処理を行なつた。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生は全くないことが確認された。
［比較例１］
実施例１に記載した方法により調整した着色樹
脂膜について、硬膜化処理を行なうことなく直接
に、実施例１に記載した方法により色汚染防止改
質処理を行なつた。
脂膜について、硬膜化処理を行なうことなく直接
に、実施例１に記載した方法により色汚染防止改
質処理を行なつた。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生が顕著に見られた。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生が顕著に見られた。
［比較例２］
実施例１に記載した方法により調製した着色樹
脂膜について、硬膜化処理を行なうことなく直接
に色汚染防止改質処理を行なつた。この表面改質
処理は、酢酸酸性タンニン酸水溶液による処理時
間および酒石酸アンチモニルカリウム水溶液によ
る処理時間を共にを30秒間に変えた以外は実施例
１記載の方法に従つた。
脂膜について、硬膜化処理を行なうことなく直接
に色汚染防止改質処理を行なつた。この表面改質
処理は、酢酸酸性タンニン酸水溶液による処理時
間および酒石酸アンチモニルカリウム水溶液によ
る処理時間を共にを30秒間に変えた以外は実施例
１記載の方法に従つた。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生が顕著に見られた。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生が顕著に見られた。
［比較例３］
実施例１に記載した方法により調製した着色樹
脂膜について、硬膜化処理を行なうことなく直接
に色汚染防止改質処理を行なつた。この表面改質
処理は、酢酸酸性タンニン酸水溶液による処理時
間および酒石酸アンチモニルカリウム水溶液によ
る処理温度を共にを30℃に変えた以外は実施例１
記載の方法に従つた。
脂膜について、硬膜化処理を行なうことなく直接
に色汚染防止改質処理を行なつた。この表面改質
処理は、酢酸酸性タンニン酸水溶液による処理時
間および酒石酸アンチモニルカリウム水溶液によ
る処理温度を共にを30℃に変えた以外は実施例１
記載の方法に従つた。
以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生が顕著に見られた。
状態を顕微鏡により観察したところ、レチキユレ
ーシヨンの発生が顕著に見られた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 撮像装置の受光部もしくは受光部に付設され
る透明支持体上に重クロム酸もしくはクロム酸を
含む蛋白質性材料からなる光硬化性樹脂を用いて
形成された着色樹脂膜の表面をクロム塩系硬膜剤
水溶液で処理し、次いで130〜200℃の温度にて加
熱処理することにより硬膜化処理し、次いで、タ
ンニン酸含有酸性水溶液、および酒石酸アンチモ
ニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いて表面改質
を行なうことを特徴とするカラー撮像装置用のマ
イクロカラーフイルター着色樹脂膜の表面改質方
法。 ２ 硬膜剤水溶液がクロムミヨウバン水溶液であ
る特許請求の範囲第１項記載の着色樹脂膜の表面
改質方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57089876A JPS58207010A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | マイクロカラ−フイルタ−着色樹脂膜の表面改質方法 |
| US06/498,103 US4503134A (en) | 1982-05-28 | 1983-05-25 | Method of modifying surface of colored micro-filter element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57089876A JPS58207010A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | マイクロカラ−フイルタ−着色樹脂膜の表面改質方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58207010A JPS58207010A (ja) | 1983-12-02 |
| JPH0326802B2 true JPH0326802B2 (ja) | 1991-04-12 |
Family
ID=13982963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57089876A Granted JPS58207010A (ja) | 1982-05-28 | 1982-05-28 | マイクロカラ−フイルタ−着色樹脂膜の表面改質方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4503134A (ja) |
| JP (1) | JPS58207010A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0782124B2 (ja) * | 1985-02-05 | 1995-09-06 | 共同印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH0786563B2 (ja) * | 1985-12-21 | 1995-09-20 | 共同印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| JPS6340101A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-20 | Kyodo Printing Co Ltd | 液晶カラ−表示装置用フイルタ |
| JP2584511B2 (ja) * | 1989-04-27 | 1997-02-26 | 三菱製紙株式会社 | ハロゲン化銀写真感光材料の製造方法 |
| US5147743A (en) * | 1990-06-28 | 1992-09-15 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Process for the preparation of optical color filters |
| DE69130701T2 (de) * | 1990-10-29 | 1999-08-26 | Toyo Gosei Kogyo Co. Ltd. | Lichtempfindliches gefärbtes Harz, farbiges Bild, Verfahren zur Herstellung von Farbfiltern und Verfahren zur Herstellung einer Schwarzmatrix |
| NL9100095A (nl) * | 1991-01-21 | 1992-08-17 | Koninkl Philips Electronics Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een kleurenfilter. |
| US5667920A (en) * | 1996-03-11 | 1997-09-16 | Polaroid Corporation | Process for preparing a color filter |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217375A (en) * | 1975-07-21 | 1977-02-09 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | Membrane separating apparatus |
| JPS5525067A (en) * | 1978-08-12 | 1980-02-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Production of color stripe filter |
| JPS55125685A (en) * | 1979-03-22 | 1980-09-27 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacture of color solid image taking element board |
| JPS55165084A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-23 | Dainippon Printing Co Ltd | Color separation filter for solid-state pickup color camera |
| US4239842A (en) * | 1979-09-13 | 1980-12-16 | Eastman Kodak Company | Color filter arrays, color imaging devices and methods of making same |
| JPS5813089A (ja) * | 1981-07-16 | 1983-01-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラ−固体撮像素子基板の製造方法 |
| US4355087A (en) * | 1981-09-04 | 1982-10-19 | Eastman Kodak Company | Color imaging device having a color filter array using a metal salt of a long-chain fatty acid as a barrier |
-
1982
- 1982-05-28 JP JP57089876A patent/JPS58207010A/ja active Granted
-
1983
- 1983-05-25 US US06/498,103 patent/US4503134A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58207010A (ja) | 1983-12-02 |
| US4503134A (en) | 1985-03-05 |
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