JPS6041005A - カラ−・フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−・フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS6041005A JPS6041005A JP59142239A JP14223984A JPS6041005A JP S6041005 A JPS6041005 A JP S6041005A JP 59142239 A JP59142239 A JP 59142239A JP 14223984 A JP14223984 A JP 14223984A JP S6041005 A JPS6041005 A JP S6041005A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- photodetection
- red
- photodetection area
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/30—Coatings
- H10F77/306—Coatings for devices having potential barriers
- H10F77/331—Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はカラー固体撮像素子のカラー・フィルタに関す
るものである。
るものである。
最近、工業用あるいは家庭用のＶＴＲの普及に伴って、
小型、軽量で使い易いテレビカメラの需要が高まってい
る。そこで、半導体集積回路（一般にＩＣまたはり、Ｓ
Ｉ ）を使用した固体テレビカメラは、従来の撮像管の
面板および電子ビーム発生部分がＩＣ基板に置き換って
、独立した固体撮像素子になっている。これは電子ビー
ムを使用しないため、安定性が良（、消費電力が少なく
、取扱いが簡便であるなどの点で撮像管より優れており
、次代のテレビカメラとして期待されている。
小型、軽量で使い易いテレビカメラの需要が高まってい
る。そこで、半導体集積回路（一般にＩＣまたはり、Ｓ
Ｉ ）を使用した固体テレビカメラは、従来の撮像管の
面板および電子ビーム発生部分がＩＣ基板に置き換って
、独立した固体撮像素子になっている。これは電子ビー
ムを使用しないため、安定性が良（、消費電力が少なく
、取扱いが簡便であるなどの点で撮像管より優れており
、次代のテレビカメラとして期待されている。
この固体撮像素子は層状に形成され、半導体基板部分と
カラー・フィルタ部分とから成っている（ 特開昭５３
−４７２２４ ）。上記カラー・フィルタは。
カラー・フィルタ部分とから成っている（ 特開昭５３
−４７２２４ ）。上記カラー・フィルタは。
一般に、増感剤を加えたゼラチン膜のような染色媒体を
所定の回路を備えた半導体基板上に塗布し、これをマス
クを使用して露光、現像を行なった後、染色して所定の
カラー・フィルタ・パターンを形成する。他のカラー・
フィルタを形成する場合には、さらに、染色されない高
分子樹脂からなる混色防止保護膜をコーティングしてか
ら、第２色１」用のゼラチン膜を塗布して、以下、上記
の工程を繰り返すことによってフィルタ・パターンを形
成する。従来、このようにして形成されたフィルタ・パ
ターンははがれ易いという欠点があった。
所定の回路を備えた半導体基板上に塗布し、これをマス
クを使用して露光、現像を行なった後、染色して所定の
カラー・フィルタ・パターンを形成する。他のカラー・
フィルタを形成する場合には、さらに、染色されない高
分子樹脂からなる混色防止保護膜をコーティングしてか
ら、第２色１」用のゼラチン膜を塗布して、以下、上記
の工程を繰り返すことによってフィルタ・パターンを形
成する。従来、このようにして形成されたフィルタ・パ
ターンははがれ易いという欠点があった。
本発明の目的は、はがれにくい固体撮像素子用カラー・
フィルタの製造方法を得ることである。
フィルタの製造方法を得ることである。
本発明者等の実験によれば、染色媒体を熱処理後染色す
ることによって、染色能は若干低下するけれども、実用
上問題がなく、熱処理によって染色媒体パターンと基板
との接着性が増大し、パターンがはがれることはなくな
り、また熱処理によって膨潤状態にある染色媒体パター
ンが収縮し、良好な形状が形成されることがわかった。
ることによって、染色能は若干低下するけれども、実用
上問題がなく、熱処理によって染色媒体パターンと基板
との接着性が増大し、パターンがはがれることはなくな
り、また熱処理によって膨潤状態にある染色媒体パター
ンが収縮し、良好な形状が形成されることがわかった。
染色媒体として使用されるゼラチンは約２２０℃以上で
分解し、約２００’Ｃを越えると多少変質するから、上
記熱処理の温度範囲の上限は特に厳格に守られなければ
ならない。
分解し、約２００’Ｃを越えると多少変質するから、上
記熱処理の温度範囲の上限は特に厳格に守られなければ
ならない。
本発明によるカラー・フィルタの製造方法は、上記目的
を達成するために、固体撮像素子の受光部を有する半導
体基板上にゼラチン層を塗布し、マスク・パターンを介
して露光し、現像した後、１５０から２００°Ｃまでの
間の温度、より好ましくは１８０から２００℃までの間
の温度で熱処理し、その後に染色してカラー・フィルタ
を得たものである〔発明の実施例〕 実施例の１ 第１図は本発明による固体撮像素子の要部の断面図であ
る。半導体基板には赤色のための受光領域２、緑色のた
めの受光領域３、および青色のための受光領域４が形成
されている。上記受光領域２．３．４およびＳ］基板１
は保護膜７によって覆われている。
を達成するために、固体撮像素子の受光部を有する半導
体基板上にゼラチン層を塗布し、マスク・パターンを介
して露光し、現像した後、１５０から２００°Ｃまでの
間の温度、より好ましくは１８０から２００℃までの間
の温度で熱処理し、その後に染色してカラー・フィルタ
を得たものである〔発明の実施例〕 実施例の１ 第１図は本発明による固体撮像素子の要部の断面図であ
る。半導体基板には赤色のための受光領域２、緑色のた
めの受光領域３、および青色のための受光領域４が形成
されている。上記受光領域２．３．４およびＳ］基板１
は保護膜７によって覆われている。
上記保護膜７上にゼラチンを重りｚ＋ム酸アンモンで増
感した感光性樹脂を１７μｍ厚で塗布し、クロム・マス
ク・パターンを介して露光し、ｌＩＯ’Ｃの温水現像に
より赤色のための受光領域２にス］応するパターンを形
成し、その後１８０℃で３０分間熱処理後赤色染料で染
色し、赤色のカラー・フィルタ８を形成した。混色防止
保設層５をその上に形成した後、以上と全く同様の操作
を繰り返して、緑色のための受光領域３に対応して緑色
のカラー・フィルタ９を、青色のための受光領域４に対
、応して青色のカラー・フィルタ１０を形成し、３色構
成積層原色フィルタを形成した。その結果、パターンは
がれがなく、良好なカラー・フィルタとして満足できる
ものが得られた。
感した感光性樹脂を１７μｍ厚で塗布し、クロム・マス
ク・パターンを介して露光し、ｌＩＯ’Ｃの温水現像に
より赤色のための受光領域２にス］応するパターンを形
成し、その後１８０℃で３０分間熱処理後赤色染料で染
色し、赤色のカラー・フィルタ８を形成した。混色防止
保設層５をその上に形成した後、以上と全く同様の操作
を繰り返して、緑色のための受光領域３に対応して緑色
のカラー・フィルタ９を、青色のための受光領域４に対
、応して青色のカラー・フィルタ１０を形成し、３色構
成積層原色フィルタを形成した。その結果、パターンは
がれがなく、良好なカラー・フィルタとして満足できる
ものが得られた。
実施例の２
固体撮像素子基板上に、実施例１と同様にして有機物に
よって保護膜を形成し、そ−の上に０７μｍの厚みのゼ
ラチン・パターンを形成した。その後、２００’Ｃで３
０分間熱処理後、シアン酸性染料によってゼラチンを染
色した。その結果、固体撮像素７用カラー・フィルタと
して良好な分光特性を有ししかもはがれのない膜が得ら
れた。
よって保護膜を形成し、そ−の上に０７μｍの厚みのゼ
ラチン・パターンを形成した。その後、２００’Ｃで３
０分間熱処理後、シアン酸性染料によってゼラチンを染
色した。その結果、固体撮像素７用カラー・フィルタと
して良好な分光特性を有ししかもはがれのない膜が得ら
れた。
〔発明の効果〕 、
上記のように本発明によるカラー・フィルタの製造方法
は、固体撮像素子の受光部を有する半導体基板上にゼラ
チン層を塗布し、マスク・ノくターンを介して露光し、
現像した後、１５０から２００℃までの間の温度、より
好ましくは１８０から２００℃までの間の温度で熱処理
し、その後染色して力？−・フィルタとしたことにより
、はがれにくい固体撮像素子用のカラー・フィルタを得
ることができる。
は、固体撮像素子の受光部を有する半導体基板上にゼラ
チン層を塗布し、マスク・ノくターンを介して露光し、
現像した後、１５０から２００℃までの間の温度、より
好ましくは１８０から２００℃までの間の温度で熱処理
し、その後染色して力？−・フィルタとしたことにより
、はがれにくい固体撮像素子用のカラー・フィルタを得
ることができる。
第１図は本発明による固体撮像素子の要部の断面図であ
る。 ■・・８１基板 ２・・・赤色のための受光領域 ３・・・緑色のための受光領域 ４・・−青色のための受光領域 ７・・・保護膜 ８・・赤色のカラー・フィルタ ９・・・緑色のカラー−フィルタ １０・・青色のカラー・フィルタ 代理人弁理士 中 利 純之助 第１頁の続き ０発 明 者 筒 井 謙 ｌ ピ ＠発明者橋本 通晰１ ピ ０発 明 者 笹 野 晃 ［ ビ ０発 明 者 泉 章 也 ｉ Ｉ分寺市東恋ケ窪１丁目２８幡地 株式会社日立製作所
中央研究所内 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８＠地 株式会社日立製作所
中央研究所内 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８＠地 株式会社日立製作所
中友研究所内
る。 ■・・８１基板 ２・・・赤色のための受光領域 ３・・・緑色のための受光領域 ４・・−青色のための受光領域 ７・・・保護膜 ８・・赤色のカラー・フィルタ ９・・・緑色のカラー−フィルタ １０・・青色のカラー・フィルタ 代理人弁理士 中 利 純之助 第１頁の続き ０発 明 者 筒 井 謙 ｌ ピ ＠発明者橋本 通晰１ ピ ０発 明 者 笹 野 晃 ［ ビ ０発 明 者 泉 章 也 ｉ Ｉ分寺市東恋ケ窪１丁目２８幡地 株式会社日立製作所
中央研究所内 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８＠地 株式会社日立製作所
中央研究所内 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８＠地 株式会社日立製作所
中友研究所内
Claims (1)
- 固体撮像素子の受光部を有する半導体基板上にゼラチン
層を塗布し、マスク・パターンを介して露光し、現像し
た後、１５０から２００℃までの間の温度、より好まし
くは１８０か６２００℃までの間の温度で熱処理し、そ
の後に＝染色してなるカラー・フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59142239A JPS6034086B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | カラ−・フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59142239A JPS6034086B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | カラ−・フイルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6041005A true JPS6041005A (ja) | 1985-03-04 |
| JPS6034086B2 JPS6034086B2 (ja) | 1985-08-07 |
Family
ID=15310666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59142239A Expired JPS6034086B2 (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | カラ−・フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6034086B2 (ja) |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP59142239A patent/JPS6034086B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6034086B2 (ja) | 1985-08-07 |
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