JPS58207010A - マイクロカラ−フイルタ−着色樹脂膜の表面改質方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、カラー撮像装置用のマイクロカラーフィルタ
ー着色樹脂膜の表面改質方法に関するものである。さら
に詳しくは、本発明は、撮像管および固体撮像素子など
の撮像装置からなるカラー撮像装置の受光部に付設され
るマイクロカラ−２イルター着色樹脂膜の表面改質方法
に関するものである。

たとえば、ＶＴＲ用カメラなどにおいて、カラー画像に
対応するカラー信号を取り出すために、受光部にマイク
ロカラーフィルターを設けたカラー撮像管が従来より一
般的に用いられている。これらのカラー撮像管は、たと
えば、サチコン、ビジコンなどと呼ばれる種類の撮像管
により代表されるものである。　　　　　、・１ すなわち、カラー撮像管は、撮像管の受光部に赤、緑お
よび青、あるいはシアンおよびマゼンタイエローなどの
微小の色分解フィルター要素（着色樹脂膜）がモザイク
状あるいはストライプ状に組み合わされたマイクロカラ
ーフィルターが付設された構成からなるものである。

一方、最近では撮像管に代るデバイスとして、たとえば
、ＣＣＤ、ＢＢＤ、ＭＯＳなどの各種の固体撮像素子が
開発されたため、上記のＶＴＲ用カメラなどの小型化を
主な目的として、固体撮像素子とマイクロカラーフィル
ターとを組み合わせたカラー固体撮像素子の実用化の検
討が行なわれており、一部では既に実用化されている。

カラー固体撮像素子は、一般に画素と呼ばれる光電変換
素子と、走査回路を集積化した平板状の撮像集積回路（
ＩＣ）からなる受光部の表面に、それぞれの画素に対応
する赤、緑および青、あるいはシアンおよびマゼンタイ
エローなどの微小の色分解フィルター要素（着色樹脂膜
）かモザイク状あるいはストライプ状に組み合わされた
マイクロカラーフィルターが付設された構成からなるも
のである。

カラー固体撮像素子は、一般には、「貼り合せ法」ある
いは「オン・ウェハー法」と呼ばれる方法により製造さ
れる。

このうち貼り合せ法は、固体撮像素子の各画素に対応す
る色分解フィルター要素をガラスなどの透明支持体上に
形成してマイクロカラーフィルターを製造し、これを固
体撮像素子の表面に接着してカラー固体撮像素子とする
方法である。従って、この方法では、独立に製造したマ
イクロカラーフィルターを固体撮像素子表面に接着する
際に、固体撮像素子の各画素に対して色分解フィルター
要素の各々が正確に対応するように厳密に制御する操作
が必要となる。

一方、オン・ウェハー法は、固体撮像素子の上に直接マ
イクロカラーフィルターを形成する方法である。従って
、このオン・ウェハー法は、固体撮像素子の製造プロセ
スに組み込むことが可能となり、カラー固体撮像素子の
製造が容易となるとの利点がある。

なお、オン・ウェハー法には、固体撮像素子を多数個配
列したウェハー上にそれぞれの固体撮像素子の各画素に
対応した色分解フィルター要素を形成することにより多
数個のカラー固体撮像素子を同時に製造する方法と、固
体撮像素子を多数個配列したウェハーから単体の固体撮
像素子（チップ）を切り出し、この各チップの上に色分
解フィルター要素を形成することにより単一のカラー固
体撮像素子を製造する方法（オン・チップ′法）が知ら
れているが１本明細書においては、これらのいずれの方
法をもオン・ウェハー法に含めるものである。

カラー撮像装置を製造するプロセスは、一般に次のよう
な方法が考えられている。

撮像装置の受光部（たとえば、撮像管もしくは固体撮像
素子の受光部など）あるいは受光部に付設されるガラス
などの透明支持体上に、重クロム酸ゼラチンなどの光硬
化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂層を形成し、その
表面に露光用パターンを通過した光を照射して、樹脂層
にモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を生成さ
せる。

次いで、この樹脂層を適当な溶媒で洗浄することにより
、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状あるいはスト
ライプ状の硬化樹脂層を得て、次に、この硬化樹脂層を
赤、緑、青、シアン、マゼンタ、あるいはイエローなど
の内の一種の染料で染色して、色分解フィルター要素（
着色樹脂膜）■を形成する。

次いで、このように形成した色分解フィルター要素の上
に色汚染防止層を形成し、更にその上に同様にして光硬
化性樹脂層を形成し、その表面に別の露光用パターンを
通過した光を照射して、樹脂層に別のモザイク状あるい
はストライプ状の硬化部分を生成させる。そして、同様
にして未硬化樹脂部分を除去し、硬化樹脂層を別の染料
で染色して色分解フィルター要素■を形成する。さらに
、必要によりこのような色分解フィルター要素形成の操
作を繰り返して所望の色分解フィルタ一群を形成させた
のち、最後に表面被覆層を形成することによりマイクロ
カラーフィルタ一部の形成を完了する。

なお、上記の各々の操作の間あるいはその前後には、回
路形成のために必要なポンディングパッド部の露出化操
作なども含まれることもあるが、これらの操作は本発明
とは直接関係がないため、説明を省略する。

上記のような従来より一般的に利用されているマイクロ
カラーフィルタ一部の形成操作では、一種の色分解フィ
ルター要素の上に色汚染防止層を形成した後に、別の色
素系の色分解フィルター要素を形成する方法が採用され
ている。これは、先に形成詐れた色分解フィ、ルター要
素が、次の色分解フィルター要素の形成のための染色工
程によって、さらに染色を受けることに起因する色汚染
、および、先に形成された色分解フィルター要素の色素
が１次の色分解フィルター要素内ににじみ出すことに起
因する色汚染の双方（混色とも呼ばれる）を防止するこ
とを目的として形成される中間層である。従って、この
ような中間層の数は、−口１ 般に少なくとも（色分解フィルタ一群の数−１）の数だ
け必要になる。

前述の撮像装置のなかでも、特に固体撮像素子は、前述
のように光電変換素子と走査回路を集積化したものであ
り、その集積度は、たとえば、縦横的１０ｍｍの平面に
数十刃側あるいは百方側以上の光電変換素子（画素）が
含まれる程度に高いものである。従って、このような超
精密部品の加工において、その加工工程を一つでも少な
くすることは非常に重要であり、加工工程の低減は最終
製品のカラー固体撮像素子の歩留りの向上に直接結びつ
くため、上記の色汚染防止層のように、形成されたマイ
クロカラーフィルター自体の性能には関係のない層の形
成工程は、可能であれば省略することが望ましい。

以上述べたような背景のもとに、各々の色分解フィルタ
ー要素の形成後に、その色分解フィルター要素の表面層
を改質して、のちに別の染料溶液と接触しても、その染
料溶液が色分解フィルター要素の内部に浸透せず、また
先に形成した色分解フィルター要素の染料が外部へにじ
み出して、次に形成される色分解フィルター要素の色を
汚染しないようにすることにより、色汚染防止層の付設
を省略することも提案されている。

たとえば、特開昭５５−２５０６７号公報は、透明なガ
ラス基板など基板（支持体）に設けられた着色樹脂膜を
タンニン酸と酢酸の水溶液および酒石酸アンチモニルカ
リウム水溶液で処理することにより着色樹脂膜の表面改
質を図る方法を開示している。この方法は、着色樹脂膜
の色汚染を防１トするための処理方法としては有効であ
るが、本発明者の検討によれば、表面改質後の着色樹脂
膜の表面に、レチキュレーションと呼ばれる細かいちり
めん状のしわが発生する傾向があり、このレチキュレー
ションの発生は、特に光硬化性樹脂としてゼラチン系光
硬化性樹脂を用いた場合には顕著であることをかわかっ
た。このようなレチキュレーションが発生した着色樹脂
膜から構成されたマイクロカラーフィルターは、透過光
量の減少、および透過光量のバラツキなどの性能の低下
をもたらし、カラー撮像装置の品質を低下させるため好
ましくない。

従って、本発明は１カラー撮像装置の受光部あるいはカ
ラー・撮像装置の受光部に付設される透明支持体の上に
マイクロカラーフィルターを形成する方法において、色
汚染防止改質処理後の着色樹脂膜（色分解フィルター要
素）の表面に、レチ勢ニレージョンなどの好ましくない
現象を発生させることのない色汚染防止改質処理を施す
ことにより、色分解フィルターを透過する光に何ら悪影
響を及ぼすことなく色汚染防止層の省略を可能にする技
術を提供することをその目的とするものである。

本発明は、撮像装置の受光部もしくは受光部に付設され
る透明支持体上に形成された着色樹脂膜の表面を硬膜化
処理し、次いで、タンニン酸含崩酸性水溶液、および酒
石酸アンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いて表
面改質を行なうことを特徴とするカラー撮像装置用のマ
イクロカラーフィルター着色樹脂膜の表面改質方法から
なるものである。

次に本発明の詳細な説明する。

本発明において用いる撮像装置には、たとえば撮像管お
よび固体撮像素子などが含まれる。

撮像管は、その種類、構造などについて特に制限を受け
るものではなく、たとえば、公知のビジコン、サチコン
、プランビコン、カルニコンなどの各種の撮像管を使用
することができる。

固体撮像素子も、その種類、構造などについて特に制限
を受けるものではなく、たとえば、公知のＣＣＤ、ＢＢ
Ｄ、ＭＯＳなどの各種の固体撮像素子を使用することが
できる。

ただし、本発明を、マイクロカラーフィルターの付設工
程が固体撮像素子の受光部にオン・ウェハー法により行
なう方法において利用する場合には、その工程において
固体撮像素子が不純物、たとえば、ごみ、ちり、異種イ
オン、特にアルカリ金属イオンなどにより汚染されるこ
とを防止するために透明な保護層が設けられた固体撮像
素子を用いる必要がある。この保護層は透明な有機質材
料もしくは無機質材料から形成されるものであり、たと
えば、リンケイ酸ガラスなどの材料が用いられる。ただ
し、上記の保護層の設置目的が達成される限り、特にそ
の材料、厚み、設置方法に限定はない。また、保護層の
表面が充分に平滑でない場合、あるいはその他の理由に
より、保護層の上に透明な樹脂などの材料からなる平滑
層などの別の層を更に設ける場合もある。このような場
合には、着色樹脂膜の形成は、その平滑層の上に行なわ
れる。

本発明を実施するに際しては、着色樹脂膜は、たとえば
、次のような方法により形成される。

まず、撮像管の受光部上、固体撮像素子の受光部の保護
層上（保護層上に平滑層などの他の層が存在している場
合には、その最上部の層の上）、または撮像管もしくは
固体撮像素子の受光部に付設する透明支持体（ガラスな
ど）に、光硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂層を
形成する。光硬化性樹脂としては、一般には、重クロム
酸ゼラチン、クロム酸ゼラチン、重クロム酸カゼイン、
重クロム酸グルーなどのように重クロム酸もしくはクロ
ム酸を含む蛋白質性材料などが用いられるが、他の種類
の光硬化性の合成物質、たとえば。

光硬化性が付与されたポリビニルアルコールなどを用い
ることもできる。ただし、本発明の表面改質方法は光硬
化性樹脂がゼラチン系光硬化性樹脂である場合に特に有
用である。

次に光硬化性樹脂層の表面に、モザイク状あるいはスト
ライプ状の露光用パターンを介して光を照射して、樹脂
層にその露光用パターンに対応するモザイク状あるいは
ストライプ状の硬化部分を生成させる。そして、この樹
脂層を適当な溶媒、たとえば光硬化樹脂として重クロム
酸ゼラチンを用いた場合には温湯なと、で洗浄すること
により・、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状ある
いはストライプ状の硬化樹脂層を得る。

上記のようにして形成された硬化樹脂層を次に、赤、緑
、青、シアン、マゼンタ、あるいはイエローなどの内の
一種の染料で染色して、色分解フィルター要素として機
能する着色樹脂膜を得る。

この染色に用いられる染料としては、既に各種の酸性染
料、直接染料、および反応性染料などが知られており、
本発明においてもそれらの公知のもの、あるいはそれと
同等の性質を有する染料から任意に選んだ染料を用いる
ことができる。

上記のようにして形成した着色樹脂層に対して、本発明
においては、まず、その表面に硬膜化処理を施す、この
硬膜化処理は、たとえば、着色樹脂層の加熱処理、硬膜
剤水溶液による処理、あるいは硬膜剤水溶液処理と加熱
処理の組合わせからなる方法などの処理方法を利用して
行なうことができる。′ 硬膜化処理として加熱による処理を選ぶ場合には、着色
樹脂層を１３０〜２００℃の温度にて２０分から１時間
程度加熱する方法を利用することが好ましい。

また、硬膜化処理として硬膜剤水溶液による処理を選ぶ
場合には、写真材料の製造法において知られている各種
の硬膜剤の水溶液を使用することができる。

本発明において用いることｄできる硬膜剤の例としては
、クロム塩（クロムミョウバン、酢酸クロムなど）、ア
ルデヒド類（ホルムアルデヒド、グリオキサール、ゲル
タールアルデヒドなど）、Ｎ−メチロール化合物（ジメ
チロール尿素、メチロールジメチルヒダントインなど）
、ジオキサン誘導体（２，３−ジヒドロキシジオキサン
など）、活性ビニル化合物（１，３，５−１リアクリロ
イルへキサヒドロ−ｓ−トリアジン、１．３−ビニルス
ルホニル−２−プロパツールなど）、活性ハロゲン化合
物（２，４−ジクロル−６−ヒドロキシ−ｓ−トリアジ
ンなど）、ムコクロル酸類（ムコクロル酸、ムコフェノ
キシクロル酸ｆｔ　ト）などのような各種の無機化合物
および有機化合物を挙げることができる。これらの硬膜
剤は、単独あるいは組合わせて用いることができる。本
発明に用いるために特に好ましい硬膜剤水溶液としては
、クロムミョウバン水溶液を挙げることができる。

なお、に記の各種の硬膜剤および、本発明において用い
ることのでき不信の硬膜剤については、米国特許第１，
８７０，３５４号、同第２，０８０．０１９号、同第２
，７２６，１６２号、同第２．８７０，０１３号、同第
２，９８３，６１１号、同第２，９９２，１０９号、同
第３　、０４７．３９４号、同第３，０５７，７２３号
、同第３．１０３，４３７号、同第３．３２１，３１３
号、同第３．３２５．２８７号、同第３　、３６２　。

８２７号、同第３，５４３，２９２号の各明細書、芙国
特許第６７６．６２８号、同第８２５，５４４号、同第
１．２７０．５７８号の各明細書、ドイツ連邦共和国特
許第８７２．１８３号、同第１．０９０．４２７号の各
明細書、特公昭３４−７１３３号、同第４６−１８７２
号の各公報、およびＲｅ５ｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓ
ｕｒｅ　　、　１７６巻、２６頁（１９７８年１２月）
などに記載があり、これらの記載も本明細書の一部を構
成するものである。

本発明において利用する硬膜化処理方法として特に好ま
しい方法は、硬膜剤水溶液処理を行なった後に加熱処理
を行なうことからなる組合わせ方法が最も好ましい。こ
こで、硬膜剤水溶液処理と加熱処理と各々の工程の実施
操作は、各工程についての上記の記述に従うことが好ま
しい。

硬膜化処理を施した着色樹脂膜については、次に、タン
ニン酸含有酸性水溶液、および酒石酸アンチモニルアル
カリ金属塩水溶液を順次用いる表面改負を行なう。

タンニン酸含有酸性水溶液としては、一般には、酢酸に
より酸性にしたタンニン酸含有酸性水溶液を利用するこ
とが好ましい。また、水溶液中のタンニン酸の濃度は０
５０５〜１．０重量％の範囲、そして酢酸などの酸の濃
度は０．Ｏ１〜２゜０重に％の範囲から選ぶことが好ま
しい、硬膜化処理した着色樹脂膜をタンニン酸含有酸性
水溶液で処理する場合には、一般には、水溶液−を１０
〜８０°Ｃ１好ましくは室温から６０°Ｃの範囲の温度
に維持しながら実施する。

酒石酸アンチモニルアルカリ金属塩水溶液としては、一
般に吐酒石と呼ばれる酒石酸アンチモニルカリウムの水
溶液を用いることが好ましい。また、水溶液中の酒石酸
アンチモニルアルカリ金属１１の濃度は０．０２〜５．
０重量％の範囲から選ぶことが好ましい。この処理温度
は、１０〜８０℃、好ましくは室温から６０℃の範囲の
温度から選ばれる。

なお、これまでに述べた各工程の間には、必要に応じて
、水洗工程、乾燥工程、あるいは水洗・乾燥工程を含め
ることもできる。

以上に述べたような処理工程を経て表面改質された着色
樹脂膜には、必要に応じて、さらに、光硬化性樹脂溶液
を塗布して光硬化性樹脂層を形成する工程から始まる同
様な着色樹脂膜形成および表面改質処理を、繰り返し実
施することができ、次いで、表面保護層が設けられてカ
ラーフィルタ一層の付設が完了する。

本発明の表面改質方法により処理された着色樹脂膜（色
分解フィルター要素）は、処理後の表面に、レチキュレ
ーションなどの好ましくない現象を発生することなく、
実用的に充分な色汚染防止機能を示す。従って、色分解
フィルター要素を透過する光に何ら悪影響を及ぼすこと
なく、マイクロカラーフィルターの色汚染防止用中間層
の省略が可能となる利点があり、カラー撮像装置を製造
する方法において有利に利用することができ、なかでも
、特にオン・ウェハー法によるカラー固体撮像素子の製
造方法に有利に利用することができる。

次に本発明の実施例および比較例を示す。

［実施例１］ ＣＣＤタイプの固体撮像素子（表面にリンケイ酸ガラス
からなる保護層および透明有機高分子化合物からなる平
滑化層が設けられているもの）の平滑化層の上に厚８０
．７ミクロンの重クロム酸ゼラチン光硬化性樹脂層を設
け、この」二にモザイク模様からなるマスク（露光パタ
ーン）を置いて電着露光を行なった。次いで、露光した
樹脂層を温湯で洗浄して、樹脂の未硬化部分を溶出除去
して、モザイク状の凸部からなる硬化樹脂層を残した。

この硬化樹脂層を黄色染料（スミノール・ミーリング畠
イエローＭ　Ｒ，：住方化学工業■製）で染色して着色
樹脂膜を調製した。

この着色樹脂膜を、まず、４０　’ｃのクロムミョウバ
ン＆ｊ！膜液（クロムミョウバン２重蓋％および無水亜
硫酸ナトリウム１重量％を含有する水溶液で、酢酸でｐ
Ｈ４に調整したもの）に３分間処理し、次いで水洗した
のち、１７０℃にて３０分間加熱して硬膜化処理を行な
った。

硬膜化処理した着色樹脂膜を、４０℃の酢酸酸性タンニ
ン酸水溶液（タンニンｍ０．２重量％と酢酸１重量％を
含有する水溶液）で１分間処理し、次いで水洗乾燥後、
４０℃の酒石酸アンチモニルカリウム水溶液（酒石酸ア
ンチモニルカリウム０．５重量％と酢酸０　、２５．重
量％を含有する水溶液）で同じく１分間処理して着色樹
脂膜に色汚染防止改質処理を施した。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を顕
微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発生
は全くないことが確認された。

［実施例２］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、実施例１に記載した方法により硬膜化処理を行な
い、次いで酢酸酸性タンニン酸水溶液の温度を２０℃に
変え、また酒石酸アンチモニルカリウム水溶液の温度を
同じく２０′Ｃに変えた以外は、実施例１と同様な色汚
染防止改質処理を行なった。

以」二の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を
顕微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発
生は全くないことが確認された。

［実施例３］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、加熱温度を１５０°Ｃに変えた以外は実施例１と
同様な硬膜化処理を行ない、次いで、実施例２に記載し
た方法により色汚染防止改質処理を行なった。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を顕
微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発生
は全くないことが確認された。

［実施例４］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、実施例１に記載した方法により硬膜化処理を行な
い、次いで、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液の酒石
酸アンチモニルカリウム含有量を０．２５重量％に変え
た以外は、実施例１と同様な色汚染防止改質処理を行な
った。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を顕
微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発生
は全くないことが確認された。

［実施例５］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、クロムミョウバン硬膜液による処理を省略した以
外は実施例１と同様な硬膜化処理を行ない、次いで、実
施例１に記載した方法により色汚染防止改質処理を行な
った。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状ＩＥを
顕微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発
生は僅かに見られたが、実用上問題とならない程度であ
った。

［実施例６］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、加熱処理を省略し、クロムミョウバン硬膜液によ
る処理時間を５分間に変えた以外は実施例１と同様な硬
膜化処理を行ない、次いで実施例１に記載した方法によ
り色汚染防止改質処理を行なった。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を顕
微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発生
は僅かに見られたが、実用上問題とならない程度であっ
た。

［比較例１］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、硬膜化処理を行なうことなく直接に、実施例１に
記載した方法により色汚染防止改質処理を行なった。

以りの表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態をＷ
４微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発
生が顕著に見られた。

［比較例２コ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、硬膜化処理を行なうことなく直接に色汚染防止改
質処理を行なった。この表面改質処理は、酢酸酸性タン
ニン酸水溶液による処理時間および酒石酸アンチモニル
カリウム水溶液による処理時間を共にを３０秒間に変え
た以外は実施例１記載の方法に従った。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を顕
微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発生
が顕著に見られた。

［比較例３］ 実施例１に記載した方法により調製した着色樹脂膜につ
いて、硬膜化処理を行なうことなく直接に色汚染防止改
質処理を行なった。この表面改質処理は、酢酸酸性タン
ニン酸水溶液による処理時間および酒石酸アンチモニル
カリウム水溶液による処理温度を共にを３０℃に変えた
以外は実施例１記載の方法に従った。

以上の表面改質処理を施した着色樹脂膜の表面状態を顕
微鏡により観察したところ、レチキュレーションの発生
が顕著に見られた。

特許出願人　富士写真フィルム株式会社代理人　　　弁
理士　　　柳川泰男 手続補正書 昭和９年＋ｏ月７日 特許庁、８　　　若杉和夫　　　　殿 １　事件の表示 昭和５７ｆ１−　特許　願第８９８７６号３　補正をす
る者 ４咋１との関係　　　特許出願人 住　　”’　　　　　　　（５２０）ｇ士写真フィルム
株式会社氏名（名作）イ七表者　　大　西　　實４、代
理人 住　所　　東京都新宿区四谷ｊ−／Ｉ／、ミツヤ四谷ビ
ルｇ階６　補正ｌＡり増加する発明の数　　なしＢ　　
ＮＪ止の円？ｆ　　　　　　別紙のＪ出り　　　′５、
１　／明細書の「発明の詳細な説明」の欄を下記の如く
補正致します。

記 補正前　　　　　　　　補正後

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、撮像装置の受光部もしくは受光部に付設される透明
   支持体上に形成された着色樹脂膜の表面を硬膜化処理し
   、次いで、タンニン酸、含有酸性水溶液、および酒石酸
   アンチモニルアルカリ金属塩水溶液を順次用いて表面改
   質を行なうことを特徴とするカラー撮像装置用のマイク
   ロカラーフィルター着色樹脂膜の表面改質方法。 ２゜着色樹脂膜表面の硬膜化処理を、着色樹脂膜表面を
   硬膜剤水溶液で処理することにより行なうことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の着色樹脂膜の表面改質
   方法。 ３゜着色樹脂膜表面の硬膜化処理を、着色樹脂膜表面を
   加熱処理することにより行なうことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の着色樹脂膜の表面改質方法。 ４、着色樹脂膜表面の硬膜化処理を、着色樹脂膜表面を
   硬膜剤水溶液で処理し、次いで加熱処理することにより
   行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の着
   色樹脂膜の表面改質方法。 ５゜硬膜剤水溶液がクロムミーａつへン水溶液であるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第２項もしくは第４項記
   載の着色樹脂膜の表面改質方法。 ６゜タンニン酸含有酸性水溶液がタンニン酸含有酢酸水
   溶液で、かつ霞石酸アンチモニルアルカリ金属塩水溶液
   が酒石酸アンチモニルカリウム水溶液であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１乃至５項のいずれかの項記載
   の着色樹脂膜の表面改質方法。 ７゜着色樹脂膜が、ゼラチン系光硬化性樹脂硬化膜を染
   色したものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項乃至第ｄ項のいずれかの項記載の着色樹脂膜の表面改
   質方法。 ８゜着色樹脂膜が固体撮像素子の受光部に形成されたも
   のであることを特徴とする特許請求の範囲第１項項乃至
   第７項のいずれかの項記載の着色樹脂膜の表面改質方法
   。