JPH03269238A - 光回折、散乱式粒度分布測定装置用試料セル - Google Patents
光回折、散乱式粒度分布測定装置用試料セルInfo
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- JPH03269238A JPH03269238A JP2071674A JP7167490A JPH03269238A JP H03269238 A JPH03269238 A JP H03269238A JP 2071674 A JP2071674 A JP 2071674A JP 7167490 A JP7167490 A JP 7167490A JP H03269238 A JPH03269238 A JP H03269238A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
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- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
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- G01N2015/0053—Investigating dispersion of solids in liquids, e.g. trouble
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光回折、散乱式粒度分布測定装置において使
用される試料セルに関する。
用される試料セルに関する。
第４図は従来までの一般的な光回折、散乱式粒度分布測
定装置の要部を示し、同図において、１は図外のレーザ
装置から発せられるレーザ光、２”は図外の循環ポンプ
によって超音波分散バス（図外）からの試料液が連続的
に供給される断面形状が方形に形成された外形及び内部
空間２ａ”を有する角筒形の試料セル、３は試料セル２
°を透過した光及び試料セル内の試料液中の微粒子によ
り散乱（回折）した光を集光するレンズ、４は集光レン
ズ３からの光を検出する例えばシリコンフォトダイオー
ドからなる検出器である。
定装置の要部を示し、同図において、１は図外のレーザ
装置から発せられるレーザ光、２”は図外の循環ポンプ
によって超音波分散バス（図外）からの試料液が連続的
に供給される断面形状が方形に形成された外形及び内部
空間２ａ”を有する角筒形の試料セル、３は試料セル２
°を透過した光及び試料セル内の試料液中の微粒子によ
り散乱（回折）した光を集光するレンズ、４は集光レン
ズ３からの光を検出する例えばシリコンフォトダイオー
ドからなる検出器である。
而して、上記粒度分布測定装置においては、試料セル２
”の内部空間２ａ’に試料液を連続的に供給している状
態で、レーザ光１を試料セル２”に対して照射すると、
レーザ光１の一部が試料セル２°内の試料液中の微小粒
子を照射して散乱（回折）光５となり、集光レンズ３を
経て検出器４に至る。
”の内部空間２ａ’に試料液を連続的に供給している状
態で、レーザ光１を試料セル２”に対して照射すると、
レーザ光１の一部が試料セル２°内の試料液中の微小粒
子を照射して散乱（回折）光５となり、集光レンズ３を
経て検出器４に至る。
しかしながら、上記構成による粒度分布測定装置におい
ては、第５図（Ａ）、（Ｂ）に示すように、微小粒子６
によって散乱された散乱光５と試料セル外面２ｂ′との
なす角度φ１が大きい場合、即ち微小粒子６からの散乱
角θ１が小さい場合（例えば分散液が水の場合、θ１〈
約５０°）は、散乱光５は試料セル２”を透過し、検出
器４に至るが、散乱光５゛と試料セル外面２ｂ’ との
なす角度φ２が小さい場合、即ち微小粒子６からの散乱
角θ２が大きい場合（同様に分散液が水の場合、θ１≧
約５０°）は散乱光５”は試料セル外面２ｂ’で全反射
してしまい試料セル２′を透過しなくなる。
ては、第５図（Ａ）、（Ｂ）に示すように、微小粒子６
によって散乱された散乱光５と試料セル外面２ｂ′との
なす角度φ１が大きい場合、即ち微小粒子６からの散乱
角θ１が小さい場合（例えば分散液が水の場合、θ１〈
約５０°）は、散乱光５は試料セル２”を透過し、検出
器４に至るが、散乱光５゛と試料セル外面２ｂ’ との
なす角度φ２が小さい場合、即ち微小粒子６からの散乱
角θ２が大きい場合（同様に分散液が水の場合、θ１≧
約５０°）は散乱光５”は試料セル外面２ｂ’で全反射
してしまい試料セル２′を透過しなくなる。
般に、粒子径が小さくなる程散乱角θが大きくなるため
、従来の光回折、散乱式粒度分布測定装置では粒子径の
小さい粒子の粒度を測定することが困難であり、広範囲
にわたる粒度分布測定が不可能であった。
、従来の光回折、散乱式粒度分布測定装置では粒子径の
小さい粒子の粒度を測定することが困難であり、広範囲
にわたる粒度分布測定が不可能であった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、比較的簡単な改良によって粒子径
の小さい粒子の粒度も高精度に測定し、広範囲にわたる
粒度分布の測定を可能とする光回折、散乱式粒度分布測
定装置用試料セルを提供することにある。
目的とするところは、比較的簡単な改良によって粒子径
の小さい粒子の粒度も高精度に測定し、広範囲にわたる
粒度分布の測定を可能とする光回折、散乱式粒度分布測
定装置用試料セルを提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る光回折、散乱
式粒度分布測定装置用試料セルは、試料セルの光出射側
の外面の一部を面取りした点に特徴がある。
式粒度分布測定装置用試料セルは、試料セルの光出射側
の外面の一部を面取りした点に特徴がある。
（作用）
上記特徴構成によれば、試料セルの外面の一部を面取り
することにより、実質的に散乱光と試料セル外面とのな
す角度を大きくすることが可能となるので、散乱光と試
料セル外面とのなす角度が小さいため、今まで試料セル
を透過できなかった散乱光を測定することができ、粒子
径の小さい粒子から粒子径の大きな粒子の粒度分布を広
範囲にわたって測定することが可能になる。
することにより、実質的に散乱光と試料セル外面とのな
す角度を大きくすることが可能となるので、散乱光と試
料セル外面とのなす角度が小さいため、今まで試料セル
を透過できなかった散乱光を測定することができ、粒子
径の小さい粒子から粒子径の大きな粒子の粒度分布を広
範囲にわたって測定することが可能になる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図（Ａ）、 （Ｂ）及び第２図は本発明の一実施例
を示し、まず第１図（Ａ）において、７はレーザ光１を
発生するレーザ装置、８はレーザ光を適宜拡大するビー
ム拡大器、２は管路９を介して図外の超音波分散バスと
接続され、循環ポンプ（図外）によって試料液が連続的
に供給される試料セル、４．４”は試料セル２を透過し
た光を検出する例えばシリコンフォトダイオードからな
る検出器である。
を示し、まず第１図（Ａ）において、７はレーザ光１を
発生するレーザ装置、８はレーザ光を適宜拡大するビー
ム拡大器、２は管路９を介して図外の超音波分散バスと
接続され、循環ポンプ（図外）によって試料液が連続的
に供給される試料セル、４．４”は試料セル２を透過し
た光を検出する例えばシリコンフォトダイオードからな
る検出器である。
本発明に係る試料セル２が従来の試料セル２′と大きく
異なる点は、第１図（Ｂ）に示すように、試料セル２の
光出射側の外面２ｂに面取り部１ｏを形成した点である
。
異なる点は、第１図（Ｂ）に示すように、試料セル２の
光出射側の外面２ｂに面取り部１ｏを形成した点である
。
ここで、試料セル２の構造及びその作用を第２図をも参
照しながら説明すると、試料セル２は光透過性に優れた
ガラス等の材質（例えば石英、ＢＫ−７ガラス等）で形
成されており、光透過部分の外形及び内部空間２ａは、
断面形状が方形に形成されている。
照しながら説明すると、試料セル２は光透過性に優れた
ガラス等の材質（例えば石英、ＢＫ−７ガラス等）で形
成されており、光透過部分の外形及び内部空間２ａは、
断面形状が方形に形成されている。
而して、上述したように試料セル２の光出射側の外面２
ｂの一方の縁部に面取り部ＩＯを形成し、散乱光５°と
面取り部１０とのなす角度を実質的に拡大し、散乱光５
°を試料セル２外に取り出せるようにしてそれを検出器
４′で検出し、また面取りされていない試料セル外面２
ｈから透過してくる散乱角が小さい散乱光５は、別途検
出器４を設けて検出する。なおこの場合、試料セル２の
後方に集光レンズを設けることにより、散乱光５．５′
共に、一つの検出器４によって検出するようにしてもよ
い。
ｂの一方の縁部に面取り部ＩＯを形成し、散乱光５°と
面取り部１０とのなす角度を実質的に拡大し、散乱光５
°を試料セル２外に取り出せるようにしてそれを検出器
４′で検出し、また面取りされていない試料セル外面２
ｈから透過してくる散乱角が小さい散乱光５は、別途検
出器４を設けて検出する。なおこの場合、試料セル２の
後方に集光レンズを設けることにより、散乱光５．５′
共に、一つの検出器４によって検出するようにしてもよ
い。
第３図は本発明の別実雄側を示し、試料セル２の光出射
側の外面２ｂの上記実施例とは逆の縁部に面取り部１１
を形成し、その部分に検出器４゛を設けて散乱光５゛を
検出し、また、散乱角が小さい散乱光５は上記実施例と
同様に、検出器４を設けて検出する。
側の外面２ｂの上記実施例とは逆の縁部に面取り部１１
を形成し、その部分に検出器４゛を設けて散乱光５゛を
検出し、また、散乱角が小さい散乱光５は上記実施例と
同様に、検出器４を設けて検出する。
以上、本実施例で説明した面取り部１０．１１の角度設
定は、試料セルの材質、サイズあるいは分散液の屈折率
等により異なるため、適宜任意に選択すればよい。また
、面取り部は上記実施例のような平面に限らず曲面であ
ってもよい。
定は、試料セルの材質、サイズあるいは分散液の屈折率
等により異なるため、適宜任意に選択すればよい。また
、面取り部は上記実施例のような平面に限らず曲面であ
ってもよい。
以上説明したように、本発明によれば、試料セルの外面
の一部に面取り部を形成するといった簡単な工夫により
、粒子径の小さな粒子から粒子径の大きな粒子の粒度分
布を広範囲にわたって測定することが可能になったので
ある。
の一部に面取り部を形成するといった簡単な工夫により
、粒子径の小さな粒子から粒子径の大きな粒子の粒度分
布を広範囲にわたって測定することが可能になったので
ある。
第１図（Ａ）、（Ｂ）及び第２図は本発明の一実施例を
示し、第１図（Ａ）は光回折、散乱式粒度分布測定装置
の要部を示す構成図、第１図（Ｂ）は試料セルを示す全
体斜視図、第２図はその作用を説明するための図である
。 第３図は本発明の別実雄側を示し、試料セルの作用を示
すための図である。 第４図及び第５図はそれぞれ従来技術を説明するための
図である。 ２・・・試料セル、２ｂ・・・試料セル光出射側外面、
４゜４゛・・・検出器、５，５°・・・散乱光、６・・
・微小粒子、１０、１１・・・面取り部。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 （）１ ■ ζＮ
示し、第１図（Ａ）は光回折、散乱式粒度分布測定装置
の要部を示す構成図、第１図（Ｂ）は試料セルを示す全
体斜視図、第２図はその作用を説明するための図である
。 第３図は本発明の別実雄側を示し、試料セルの作用を示
すための図である。 第４図及び第５図はそれぞれ従来技術を説明するための
図である。 ２・・・試料セル、２ｂ・・・試料セル光出射側外面、
４゜４゛・・・検出器、５，５°・・・散乱光、６・・
・微小粒子、１０、１１・・・面取り部。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 （）１ ■ ζＮ
Claims (1)
- 断面形状が方形に形成された外形を有する試料セル内部
を流れる微小粒子を含んだ液体に対してコヒーレント光
を照射し、この微小粒子によって回折、散乱された回折
、散乱光強度パターンを光検出器でモニターすることに
よって粒度分布を測定する光回折、散乱式粒度分布測定
装置において、前記試料セルの光出射側の外面の一部を
面取りしたことを特徴とする光回折、散乱式粒度分布測
定装置用試料セル。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2071674A JP2694304B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 光回折、散乱式粒度分布測定装置 |
| AU72614/91A AU636457B2 (en) | 1990-03-19 | 1991-03-05 | A sample cell for use in apparatus for measuring distribution of particle size of particles which diffract or scatter light |
| DE1991623990 DE69123990T2 (de) | 1990-03-19 | 1991-03-15 | Gerät zur Messung der Grössenverteilung von beugenden/streuenden Teilchen |
| EP19910104060 EP0447991B1 (en) | 1990-03-19 | 1991-03-15 | Apparatus for measuring the distribution of the size of diffraction-scattering type particles |
| US07/926,556 US5212393A (en) | 1990-03-19 | 1992-08-06 | Sample cell for diffraction-scattering measurement of particle size distributions |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2071674A JP2694304B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 光回折、散乱式粒度分布測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03269238A true JPH03269238A (ja) | 1991-11-29 |
| JP2694304B2 JP2694304B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=13467370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2071674A Expired - Lifetime JP2694304B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | 光回折、散乱式粒度分布測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0447991B1 (ja) |
| JP (1) | JP2694304B2 (ja) |
| AU (1) | AU636457B2 (ja) |
| DE (1) | DE69123990T2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69129260T2 (de) * | 1990-11-03 | 1998-11-19 | Horiba Ltd | Gerät zur Messung der Teilchengrössenverteilung |
| DE4215908A1 (de) * | 1992-05-14 | 1993-11-18 | Ubbo Prof Dr Ricklefs | Optische Einrichtung zur Bestimmung der Größe von Partikeln |
| FR2713773B1 (fr) * | 1993-12-09 | 1996-03-01 | Sematech Sarl | Granulomètre laser à effet de prisme. |
| FR2841983B1 (fr) | 2002-07-02 | 2004-10-08 | Formulaction | Procede et dispositif permettant de mesurer un flux lumineux retrodiffuse par un milieu disperse, non perturbe par les reflexions aux interfaces |
| GB2411002B (en) * | 2004-02-11 | 2006-12-20 | Facility Monitoring Systems Lt | Particle counter for liquids |
| US8879797B2 (en) * | 2012-05-25 | 2014-11-04 | Fluid Imaging Technologies, Inc. | System and method for total internal reflection enhanced imaging flow cytometry |
| US9983115B2 (en) | 2015-09-21 | 2018-05-29 | Fluid Imaging Technologies, Inc. | System and method for monitoring particles in a fluid using ratiometric cytometry |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5536352U (ja) * | 1978-09-01 | 1980-03-08 | ||
| JPH01263534A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Hitachi Ltd | 微粒子計数装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4284355A (en) * | 1979-10-29 | 1981-08-18 | Ortho Diagnostics, Inc. | Automated method for cell volume determination |
| GB2095827B (en) * | 1981-03-31 | 1985-07-03 | Wool Dev Int | Measurement of diameters of small objects |
| US4792233A (en) * | 1985-09-09 | 1988-12-20 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Flow cell for particle scanner |
| US4906094A (en) * | 1987-04-23 | 1990-03-06 | Sumitomo Chemical Co. Ltd. | Fine particle measuring method and system and a flow cell for use in the system |
| JPH06268033A (ja) * | 1993-03-15 | 1994-09-22 | Matsushita Electron Corp | ワイヤボンディング装置 |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP2071674A patent/JP2694304B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-03-05 AU AU72614/91A patent/AU636457B2/en not_active Ceased
- 1991-03-15 EP EP19910104060 patent/EP0447991B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-03-15 DE DE1991623990 patent/DE69123990T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5536352U (ja) * | 1978-09-01 | 1980-03-08 | ||
| JPH01263534A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Hitachi Ltd | 微粒子計数装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69123990T2 (de) | 1997-07-17 |
| DE69123990D1 (de) | 1997-02-20 |
| AU636457B2 (en) | 1993-04-29 |
| EP0447991B1 (en) | 1997-01-08 |
| AU7261491A (en) | 1991-09-19 |
| EP0447991A1 (en) | 1991-09-25 |
| JP2694304B2 (ja) | 1997-12-24 |
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| JPH0223824B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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