JPH0326973A - 集積回路検査装置の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は集積回路検査装置の検査方法に関するものであ
る。

（従来の技術） 集積回路の電気試験には一般的に自動検査器が用いられ
、第２図はその概略図である．同図において集積回路１
１のリード端子１２〜２５は各リード端子ごとに接続ケ
ーブル２６で自動検査器２７に接続されている。この接
続ケーブルのりート端子一本でも断線や短絡があると、
正確な集積回路の電気試験が行えない． 接続ケーブルの断線や短絡のチェックには一般的なマル
チテスタ（以下テスタと略す）でｌリードずつ導通試験
を手作業で行っていた。

（発明が解決しようとする課Ｍ） 集積回路も高集積化が進むと、この集積回路のリード端
子も数多くなる．したがって自動検査器との接続ケーブ
ルの数も非常に多くなり，この接続ケーブルの断線や短
絡のチェックもテスタを使った手作業では長い時間を費
やすこととなり、容易に実施できない欠点があった。

本発明の目的は、従来の欠点を解消し、非常に数の多い
集積回路のリード端子と自動検査器間の接続ケーブルの
チェックを短時間に行える集積回路検査装置の検査方法
を提供することである．（課題を解決するための手段） 本発明の集積回路検査装置の検査方法は、集積回路の電
気試験を行う自動検杏器と被試験集積回路との間を結ぶ
接続ケーブルの断線や短絡による不良チェックをする場
合において，被試験集積回路の代わりに抵抗器を接続し
、その抵抗値を測定することにより接続ケーブルの良否
を判断するものである。

（作　用） 上記構或により、自動検査器が高速に抵抗値の測定を行
うだけで接続ケーブルのチェックを短時間で実施するこ
とができる。

（実施例） 本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する．第ｌ図
は本発明の集積回路検査装置の検査方法を示す構或図で
ある．同図において、接続ケーブル１の良否判定試験を
行うため集積回路の代わりに抵抗器ユニット２を接続し
、自動検査器３において抵抗値の測定を行い，得られた
測定値から接続ケーブルの良否を判定する． たとえば．あるリード端子の接続ケーブルが断線してい
た場合、そのリード端子の抵抗値は無限大になり，それ
により接続ケーブルの断線が判断でき杭 抵抗器ユニットは、ＧＮＤ端子を除く全リード端子分の
抵抗器を備えており，ハンドラやプローバに直接装着で
きるようにソケットやブローブカード上に抵抗器を取り
付けたものにするとよい。

さらに、自動検査器で抵抗器ユニットの抵抗値を試験し
，測定値が異常な場合．そのリード端子を示すようなプ
ログラムを組んで運用する。

（発明の効果） 本発明によれば、簡単な抵抗試験で数多い接続ケーブル
の断線や短絡のチェックを短時間に行うことができ、電
気試験作業の能率化ができ，さらに、多リード端子化さ
れた集積回路の電気試験に対応した自動検査器に用いる
ほどその効果を発揮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施に使用する集積回路検査装れの構
成図、第２図は従来の検査方法を説明するための集積回
路の電気試験の回路接続図である３１，・・・接続ケー
ブル、　２　・・・抵抗器ユニッＩ一、 ３ 自動検査器． 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 集積回路の電気試験を行う自動検査器と被試験集積回路
   との間を結ぶ接続ケーブルの断線や短絡による不良チェ
   ックをする場合において、前記被試験集積回路の代わり
   に抵抗器を接続し、その抵抗値を測定することにより、
   接続ケーブルの良否を判断することを特徴とする集積回
   路検査装置の検査方法。