JPH03272539A - エッチング孔パターン版の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、カラーブラウン管用シャドウマスク等のエツ
チング製品の製造時に使用される表裏の孔パターンを一
対とするエツチング孔パター７版の製造方法に係り、特
に、表裏の孔パターンの位置合わせを高精度に行えるエ
ツチング孔パター７版の製造方法に関するものである。

［従来の技術］ シャドウマスク等のエツチング製品は、一般に、両面に
レジストを塗布した金属板に、絵柄の形成された表裏一
対のエツチング孔パター７版を密着して露光を行い、次
いで未露光部分のレジストを現像、剥離して製版された
レジストパターンを表裏からエツチングすることにより
製造されている。

従って、金属板に一対の表裏パターン版を密着させる際
に、表裏パターン版の有効部の絵柄、即ち、シャドウマ
スクの場合には電子ビームが透過する孔の絵柄、を精度
良く合致させることが非常に重要となる。

通常、金属板を挟んだ状態で表裏のパターン版の絵柄を
合致させるため、金属板に閉ざされない領域、即ちエツ
チング孔パター７版の金属板からはみ出している領域、
に表裏のエツチング孔パター７版の位置合わせマークを
それぞれ形成し、これらを合致させることによって、表
裏のパターン版の金属板に閉ざされた絵柄部分の位置合
わせを行っている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来においては、位置合わせマークの形
成は、表裏のパターン版についてそれぞれ独立して行わ
れていたために、表裏のパターン版の位置合わせマーク
を合致させても、有効部の絵柄が合致するとは限らず、
高精度な製版、及び高精度なエツチング製品を得ること
が困難であった。

本発明は、上記の課題を解決するものであって、表裏の
パターン版の有効部の位置合わせを高精度で行うことが
できるエツチング孔パター７版の製造方法を提供するこ
とを目的とするものである。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明のエツチング孔パ
ター７版の製造方法は、 ポジ型孔パターンおよび表裏位置合わせマークに対応し
た遮光部を有する第１のパターン版をガラス乾板に重ね
合わせて第一の露光を行うことによりネガ型孔パターン
の潜像を前記ガラス乾板に形成する第１の工程、 前記ガラス乾板に形成されたネガ型孔パターンの潜像の
一部を部分現像且つ半調現像する第２の工程、 前記ガラス乾板に形成された孔パターンと表裏対となる
ネガ型孔パターンおよび該ネガ型孔パターンの周辺領域
に第１および第２の表裏パターンの位置合わせマークを
有するネガ型マスターパターン版の前記有効部および前
記第１の位置合わせマークに対応する位置に遮光部を形
成して第２のパターン版を作成する第３の工程、 前記第３の工程で得た第２のパターン版を前記第２の工
程で得たガラス乾板上に表裏の孔パターンの一部が合致
するように重ね合わせて第二の露光を行い、前記ガラス
乾板上に第２の表裏パターン位置合わせマークの潜像を
形成する第４の工程、前記ガラス乾板に形成された第２
の表裏パターン位置合わせマークの潜像のみを部分現像
する第５の工程、 前記第１のパターン版の有効部に対応した遮光部および
前記第１、第２の表裏パターン位置合わせマークよりも
寸法の小さい第３、第４の表裏位置合わせマークを有す
る第３のパターン版を前記ガラス乾板に、前記第２の表
裏位置合わせマークと前記第４の表裏位置合わせマーク
とが合致するように重ね合わせて第三の露光を行い、前
記ガラス乾板上に前記第３の表裏位置合わせマークの潜
像を形成する第６の工程、 前記第６の工程で得たガラス乾板を現像し、ネガ型孔パ
ターンおよび表裏位置合わせマークを有するネガ型マス
ターパターン版を形成する第７の工程、 を具備することを特徴とする。

本発明のエツチング孔パター７版の製造方法は、表裏一
対となるエツチング孔パター７版のうち、特に、小孔が
パターン合成時される側のエツチング孔パター７版の製
造工程に用いて好適である。

なぜなら、第４の工程において、表裏のネガ型孔パター
ンの位置合わせを行う際、小孔側の孔ノくターンが半調
現像、即ちノ＼−フトーンに現像されていることにより
、大孔側の孔パターンが遮光されずに確認できるからで
ある。

また、第５の工程において、第３、第４の表裏位置合わ
せマーク（ａ、ｂ）の寸法を第１、第２の表裏位置合わ
せマーク（Ａ、Ｂ）より小さくするのは、径差を有する
位置合わせマークの組み合わせにより、それぞれの位置
合わせマークを重ね合わせた際に、表裏のエツチング孔
パター７版の位置関係を明確に認識することができ、以
て精度良い位置合わせを可能とするためである。なお、
第２の表裏位置合わせマークＢと第４の表裏位置位置合
わせマークｂはパターン合成時に使用されるものであり
、第１の表裏位置合わせマークＡと第３の表裏位置合わ
せマークａはエツチング製品の製造に際して、表裏のエ
ツチング孔パター７版のパターンの位置合わせのために
使用されるものである。

［作用および発明の効果コ 本発明の方法によって製造された表裏一対のエツチング
孔パター７版は、表／裏パターン版製造時に、表／裏の
パターン版の完成後のパターンを有するパターン版を用
いて、表裏の絵柄と良く対応した位置合わせマークを形
成している為、従来のように、別々に製造された表裏の
エツチング孔パター７版と比較して、エツチング製品製
造時において、金属板に閉ざされたパターン有効部の絵
柄の位置合わせ精度が著しく向上し、高品質のエツチン
グ製品を、高い歩留りで製造することが可能となる。特
に、近年求められている、より高密度、より微細なエツ
チングパターンに対しては、表裏のエツチング孔パター
７版を高精度に位置合わせすることが必要不可欠であり
、本発明の方法によって、その課題が解決されるもので
ある。

［実施例］ 以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。

第１図は本発明に係るエツチング孔パター７版の製造方
法の一実施例の構成を示す図である。

第１図において、まず、ポジ型孔パターン２０および後
述する表裏位置合わせマークの位置に対応した遮光部３
が描画装置により直接パターン合成時されたポジ型孔パ
ター７版２を未露光のガラス乾板１に重ねて露光を行う
。このとき、ガラス乾板１の遮光部３に対応した部分は
未露光状態に保たれる。

次に、図中４で示すように、ガラス乾板１に形成された
ネガ型孔パターンの一部、例えば図に示すように四隅の
ネガ型孔パターンのみを半調現像する。この半調現像さ
れた部分はハーフトーンとなる。

次に、ガラス乾板１と表裏一対となる、完成後のネガ型
孔パターン２１およびＡ、　　Ｈの第１、第２の表裏位
置合わせマーク８を有し、且つネガ型孔パターンを含む
有効部、および前記第１の位置合わせマークＡに対応す
る位置に、それぞれ遮光部６．７を形成して、ネガ型孔
パター７版５を作成する。

そして、次に、第２図に示すように表裏の孔パターンが
合致するように、ネガ型孔パター７版５をガラス乾板１
に重ねて露光を行う。なお、第２図において、１４はガ
ラス乾板１の半調現像されたハーフトーンのネガ型孔パ
ターンを示し、１５はネガ型孔パター７版５に形成され
ているネガ型孔パターンを示している。つまり、この例
ではガラス乾板１が小孔側、ネガ型孔パター７版５が大
孔側となされており、これにより、表裏の一対のエツチ
ング孔パター７版の位置関係を明確に認識することがで
きる。

このとき、ネガ型孔パター７版５の有効部と第１の表裏
位置合わせマークＡ上には遮光層６．７が形成されてい
るので、ガラス乾板１には第２の表裏位置合わせマーク
Ｂのみが転写される。

次いで、図中９で示すガラス乾板１に形成された第２の
表裏位置合わせマークＢを部分現像する。

次に、予め用意されている、パターンの有効部に対応し
た遮光部１２と、図中１１で示す、第１、第２の表裏位
置合わせマークＡ、　　Ｂより寸法の小さい第３、第４
の二種の表裏位置合わせマークａ。

ｂとを有するガラスパターン版１０を、第３図に示すよ
うに、第２の表裏位置合わせマークＢと第４の表裏位置
合わせマークｂとが合致するように、ガラス乾板１に重
ねて露光を行い、ガラス乾板１に第３の表裏位置合わせ
マークａを転写する。

次に、ガラス乾板１を全面現像し、ネガ型マスターパタ
ーン版１３が完成する。

工、チング製品、例えばシャドウマスクの製造時、レジ
ストの塗布された金属板を製版する際には、上記のよう
にして作成した表裏のネガ型マスターパターン版を反転
したポジ型パター７版を使用する。この際、表裏のエツ
チング孔パター７版のパターンの位置合わせは、第４図
に示すように、図中１７で示す第１の表裏位置合わせマ
ークＡと、図中１８で示す第３の表裏位置合わせマーク
ａを合致させて行う。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るエツチング孔パター７版の製造方
法の一実施例を示す図、第２図はネガ型孔パター７版５
とガラス乾板１の重ね合わせを説明するための図、第３
図は第２の表裏位置合わせマークＢと第４の表裏位置合
わせマークｂとの重ね合わせを説明するための図、第４
図は第１、第２の表裏位置合わせマークＡと第３の表裏
位置合わせマークａとの重ね合わせを説明するための図
である。 １・・・ガラス乾板、２・・・ポジ型孔パター７版、３
゜６．７．１２、・・・遮光部、４・・・半調現像され
たネガ型孔パターン、５・・・完成後の孔パターンを有
するネガ型孔パター７版、８・・・第１、第２の表裏位
置合わせマーク、１１・・・第３、第４の表裏位置合わ
せマーク、９・・・部分現像された位置合わせマークＢ
１１０・・・第３、第４の表裏位置合わせマークを有す
るガラスパターン版、１３・・・ネガ型マスク−パター
ン版、Ａ・・・第１の表裏位置合わせマーク、Ｂ・・・
第２の表裏位置合わせマーク、ａ・・・第３の表裏位置
合わせマーク、ｂ−・・第４の表裏位置合わせマーク。 莞２図 出　　願　　人　大日本印刷株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ポジ型孔パターンおよび表裏位置合わせマークに
   対応した遮光部を有する第１のパターン版をガラス乾板
   に重ね合わせて第一の露光を行うことによりネガ型孔パ
   ターンの潜像を前記ガラス乾板に形成する第１の工程、 前記ガラス乾板に形成されたネガ型孔パターンの潜像の
   一部を部分現像且つ半調現像する第２の工程、 前記ガラス乾板に形成された孔パターンと表裏対となる
   ネガ型孔パターンおよび該ネガ型孔パターンの周辺領域
   に第１および第２の表裏パターンの位置合わせマークを
   有するネガ型マスターパターン版の前記有効部および前
   記第１の位置合わせマークに対応する位置に遮光部を形
   成して第２のパターン版を作成する第３の工程、 前記第３の工程で得た第２のパターン版を前記第２の工
   程で得たガラス乾板上に表裏の孔パターンの一部が合致
   するように重ね合わせて第二の露光を行い、前記ガラス
   乾板上に第２の表裏パターン位置合わせマークの潜像を
   形成する第４の工程、前記ガラス乾板に形成された第２
   の表裏パターン位置合わせマークの潜像のみを部分現像
   する第５の工程、 前記第１のパターン版の有効部に対応した遮光部および
   前記第１、第２の表裏パターン位置合わせマークよりも
   寸法の小さい第３、第４の表裏位置合わせマークを有す
   る第３のパターン版を前記ガラス乾板に、前記第２の表
   裏位置合わせマークと前記第４の表裏位置合わせマーク
   とが合致するように重ね合わせて第三の露光を行い、前
   記ガラス乾板上に前記第３の表裏位置合わせマークの潜
   像を形成する第６の工程、 前記第６の工程で得たガラス乾板を現像し、ネガ型孔パ
   ターンおよび表裏位置合わせマークを有するネガ型マス
   ターパターン版を形成する第７の工程、 を具備することを特徴とするエッチング孔パターン版の
   製造方法。