JPH03273134A - 走査型電子顕微鏡付き材料試験機 - Google Patents
走査型電子顕微鏡付き材料試験機Info
- Publication number
- JPH03273134A JPH03273134A JP2073628A JP7362890A JPH03273134A JP H03273134 A JPH03273134 A JP H03273134A JP 2073628 A JP2073628 A JP 2073628A JP 7362890 A JP7362890 A JP 7362890A JP H03273134 A JPH03273134 A JP H03273134A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning electron
- test piece
- testing machine
- sample chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は走査型電子顕微鏡を備えた材料試験機に関する
。
。
Ｂ、従来の技術
走査型電子顕微鏡は、試料の観察面に電子（−次電子）
を入射し、この−次電子によって試料から励起される二
次電子により試料表面の凹凸状態を画像として表現する
ものである。このような走査型電子顕微鏡を備えた材料
試験機では、試験片を電子顕微鏡の試料室に挿入し、負
荷アクチュエータにより試験片に負荷を与えつつ試験片
の表面を走査型電子顕微鏡で観察する。
を入射し、この−次電子によって試料から励起される二
次電子により試料表面の凹凸状態を画像として表現する
ものである。このような走査型電子顕微鏡を備えた材料
試験機では、試験片を電子顕微鏡の試料室に挿入し、負
荷アクチュエータにより試験片に負荷を与えつつ試験片
の表面を走査型電子顕微鏡で観察する。
Ｃ９発明が解決しようとする課題
このような試験機においては、試験片を加熱しながら負
荷する高温試験の場合に次のような問題がある。すなわ
ち、試料室内にヒータコイルをむきだしのまま収容する
と、試料室内が高真空状態のためヒータ材から蒸発した
材料が試験片に被着し、加熱時間が長くなるとヒータ材
により試験片の表面が被われてしまい試験片の良好な観
察が難しくなる。
荷する高温試験の場合に次のような問題がある。すなわ
ち、試料室内にヒータコイルをむきだしのまま収容する
と、試料室内が高真空状態のためヒータ材から蒸発した
材料が試験片に被着し、加熱時間が長くなるとヒータ材
により試験片の表面が被われてしまい試験片の良好な観
察が難しくなる。
本発明の目的は、加熱時に試験片表面へのヒータ材の被
着を防止して長時間の高温試験を可能にした走査型電子
類＊＊付き材料試験機を提供することにある。
着を防止して長時間の高温試験を可能にした走査型電子
類＊＊付き材料試験機を提供することにある。
０９課題を解決するための手段
本発明に係る走査型電子顕微鏡付き材料試験機は、走査
型電子顕微鏡と、この走査型電子顕微鏡の試料室内に挿
入される試験片に負荷を与える負荷機構と、試料室内に
配設され試験片を加熱する加熱装置と、この加熱装置と
試験片との間を遮蔽する遮蔽手段とを備え、これにより
上記目的を達成する。
型電子顕微鏡と、この走査型電子顕微鏡の試料室内に挿
入される試験片に負荷を与える負荷機構と、試料室内に
配設され試験片を加熱する加熱装置と、この加熱装置と
試験片との間を遮蔽する遮蔽手段とを備え、これにより
上記目的を達成する。
２０作用
真空試料室内で加熱装置を作動させると、ヒータコイル
などの材料が蒸発するが、試験片との間の遮蔽手段によ
って蒸発材料の試験片への被着が防止され、長時間加熱
しても試験片の表面を良好に観察できる。
などの材料が蒸発するが、試験片との間の遮蔽手段によ
って蒸発材料の試験片への被着が防止され、長時間加熱
しても試験片の表面を良好に観察できる。
Ｆ、実施例
第１図および第２図により本発明の一実施例を説明する
。
。
第１図（ａ）は本発明に係る材料試験機の負荷機構１０
の先端の一部を示す平面図、（ｂ）はそのｂ−ｂ線矢視
図であり、負荷機構１０は、第２図に示すように走査型
電子顕微鏡２０の試料室２１内に挿入される。負荷機構
１０の円筒状の固定枠１１の一端には固定側つかみ具１
２が固着されている。また固定枠１１の他端側からは、
不図示の負荷アクチュエータに接続された負荷側つかみ
具１３が固定側つかみ具１２と対向して挿入され、これ
らのつかみ具１２．↓３に試験片ＴＰの両端が把持され
る。ここで、固定枠１１．つかみ具１２．１３および不
図示の負荷アクチュエータが負荷機構を構成する。
の先端の一部を示す平面図、（ｂ）はそのｂ−ｂ線矢視
図であり、負荷機構１０は、第２図に示すように走査型
電子顕微鏡２０の試料室２１内に挿入される。負荷機構
１０の円筒状の固定枠１１の一端には固定側つかみ具１
２が固着されている。また固定枠１１の他端側からは、
不図示の負荷アクチュエータに接続された負荷側つかみ
具１３が固定側つかみ具１２と対向して挿入され、これ
らのつかみ具１２．↓３に試験片ＴＰの両端が把持され
る。ここで、固定枠１１．つかみ具１２．１３および不
図示の負荷アクチュエータが負荷機構を構成する。
固定枠１１の先端部は半円筒に形成され、そこに加熱装
置１４が取付けられる。この加熱装置１４は、内部に真
空室を形成する筺体１４１と、真空室内に配置されたヒ
ータコイル１４２ａ、１４２ｂとから成り、筺体１４１
から側方に延設される腕１４１ａを介して固定枠１１に
螺着される。
置１４が取付けられる。この加熱装置１４は、内部に真
空室を形成する筺体１４１と、真空室内に配置されたヒ
ータコイル１４２ａ、１４２ｂとから成り、筺体１４１
から側方に延設される腕１４１ａを介して固定枠１１に
螺着される。
筐体１４１の形状は、加熱装置１４を固定枠ＩＩに装着
したときに一対のコイル１４２ａ、１４２ｂの間に試験
片ＴＰが配置され、かつ走査型電子顕微１ｍ１２０によ
る観察を妨げないように決定する。
したときに一対のコイル１４２ａ、１４２ｂの間に試験
片ＴＰが配置され、かつ走査型電子顕微１ｍ１２０によ
る観察を妨げないように決定する。
また、筺体１４１内の真空室は第２図に示すように開閉
弁２２を介して真空ポンプ２３と接続され。
弁２２を介して真空ポンプ２３と接続され。
試料室２１は開閉弁２４を介して真空ポンプ２５と接続
されている。
されている。
次に、実施例の動作を説明する。
試験に先立って一対のっがみ具１２，１３に試験片ＴＰ
を把持するとともに加熱装置１４が装着された固定枠１
１を試料室２１内に挿入し、真空ポンプ２５により試料
室２１内を、真空ポンプ２３により加熱装置１４内をそ
れぞれ真空引きする。
を把持するとともに加熱装置１４が装着された固定枠１
１を試料室２１内に挿入し、真空ポンプ２５により試料
室２１内を、真空ポンプ２３により加熱装置１４内をそ
れぞれ真空引きする。
ヒータコイル１４２ａ、１４２ｂに通電して試験片ＴＰ
を加熱し、この状態で負荷機構１０により試験片ＴＰを
負荷しつつ走査型電子顕微鏡２ｏから試験片ＴＰに一次
電子を矢印３１のように入射すると、試験片表面から励
起された２次電子が放出され、不図示の２次電子検出器
で検出される。
を加熱し、この状態で負荷機構１０により試験片ＴＰを
負荷しつつ走査型電子顕微鏡２ｏから試験片ＴＰに一次
電子を矢印３１のように入射すると、試験片表面から励
起された２次電子が放出され、不図示の２次電子検出器
で検出される。
そして、この検出された２次電子に基づいて不図示のＣ
ＲＴモニタ上に負荷中の試験片ＴＰの表面画像をリアル
タイムで可視化する。
ＲＴモニタ上に負荷中の試験片ＴＰの表面画像をリアル
タイムで可視化する。
このようにコイル１４２ａ、１４２ｂを筺体１４１内に
収容すると、コイルエ４２ａ、１４２ｂと試験片ＴＰと
の間に筺体１４１の側壁が遮蔽部材として介在されるこ
とになる。そのため、コイルから蒸発する材料が試験片
ＴＰの表面に被着せず、加熱時間が長くなっても走査型
電子顕微鏡による観察になんら影響がない。また、筺体
１４１内と試料室２１とを別室にしたので、試料室２１
内にはヒータコイル１４２ａ、１４２ｂから蒸発する材
料が入り込まず真空度をより高く維持できる。
収容すると、コイルエ４２ａ、１４２ｂと試験片ＴＰと
の間に筺体１４１の側壁が遮蔽部材として介在されるこ
とになる。そのため、コイルから蒸発する材料が試験片
ＴＰの表面に被着せず、加熱時間が長くなっても走査型
電子顕微鏡による観察になんら影響がない。また、筺体
１４１内と試料室２１とを別室にしたので、試料室２１
内にはヒータコイル１４２ａ、１４２ｂから蒸発する材
料が入り込まず真空度をより高く維持できる。
なお以上では、ヒータコイル１４２ａ、１４２ｂを筺体
１４１内に設置するようにしたが、コイル１４１ａ、１
４２ｂと試験片ＴＰとの間に遮蔽板を設置するだけでも
よい。この場合、真空ポンプは共通とし、試料室２１内
の真空度は１Ｘ１０〜’ ｔｏｒｒ程度よりも高真空が
望ましい。
１４１内に設置するようにしたが、コイル１４１ａ、１
４２ｂと試験片ＴＰとの間に遮蔽板を設置するだけでも
よい。この場合、真空ポンプは共通とし、試料室２１内
の真空度は１Ｘ１０〜’ ｔｏｒｒ程度よりも高真空が
望ましい。
Ｇ６発明の効果
本発明によれば、加熱装置から蒸発する材料は遮蔽手段
で遮蔽されるので試験片に被着せず、長時間加熱される
試験片を走査型電子顕微鏡により良好に観察できる。
で遮蔽されるので試験片に被着せず、長時間加熱される
試験片を走査型電子顕微鏡により良好に観察できる。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
（ａ）が本発明に係る走査型電子顕微鏡付き材料試験機
の一部を示す平面図、第１図（ｈ）がそのｂ−ｂ線矢視
図、第２図が全体構成を示す図である。 １０：負荷機構 １１：固定枠１２：固定側つ
かみ具 １３：負荷側つかみ具１４：加熱装！
２０：走査型電子顕ａｍ２工：試料室 ２３
，２５：真空ポンプ１４１：筺体 ＴＰ：
試験片１４２ａ、１４２ｂ ：ヒータコイル
（ａ）が本発明に係る走査型電子顕微鏡付き材料試験機
の一部を示す平面図、第１図（ｈ）がそのｂ−ｂ線矢視
図、第２図が全体構成を示す図である。 １０：負荷機構 １１：固定枠１２：固定側つ
かみ具 １３：負荷側つかみ具１４：加熱装！
２０：走査型電子顕ａｍ２工：試料室 ２３
，２５：真空ポンプ１４１：筺体 ＴＰ：
試験片１４２ａ、１４２ｂ ：ヒータコイル
Claims (1)
- 走査型電子顕微鏡と、この走査型電子顕微鏡の試料室内
に挿入される試験片に負荷を与える負荷機構と、前記試
料室内に配設され前記試験片を加熱する加熱装置と、こ
の加熱装置と前記試験片との間を遮蔽する遮蔽手段とを
具備することを特徴とする走査型電子顕微鏡付き材料試
験機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2073628A JPH03273134A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | 走査型電子顕微鏡付き材料試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2073628A JPH03273134A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | 走査型電子顕微鏡付き材料試験機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03273134A true JPH03273134A (ja) | 1991-12-04 |
Family
ID=13523772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2073628A Pending JPH03273134A (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | 走査型電子顕微鏡付き材料試験機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03273134A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2704649A1 (fr) * | 1993-04-30 | 1994-11-04 | Centre Nat Rech Scient | Machine de traction in situ et éprouvette pour microscope électronique à balayage. |
| JP2010518583A (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-27 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 高圧荷電粒子ビーム・システム |
| CN105865935A (zh) * | 2016-05-27 | 2016-08-17 | 江苏鑫丰塑业有限公司 | 一种塑料热延伸测试装置 |
| US9679741B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-06-13 | Fei Company | Environmental cell for charged particle beam system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155456A (en) * | 1979-05-18 | 1980-12-03 | Insutoron Japan Co Ltd | Heater for scan electron microscope |
-
1990
- 1990-03-23 JP JP2073628A patent/JPH03273134A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155456A (en) * | 1979-05-18 | 1980-12-03 | Insutoron Japan Co Ltd | Heater for scan electron microscope |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2704649A1 (fr) * | 1993-04-30 | 1994-11-04 | Centre Nat Rech Scient | Machine de traction in situ et éprouvette pour microscope électronique à balayage. |
| WO1994025846A3 (fr) * | 1993-04-30 | 1995-01-12 | Centre Nat Rech Scient | Machine de traction in situ et eprouvette pour microscope electronique a balayage |
| US5606168A (en) * | 1993-04-30 | 1997-02-25 | Centre National De La Recherche Scientifique | In situ tensile testing machine and sample for a scanning electron microscope |
| JP2010518583A (ja) * | 2007-02-06 | 2010-05-27 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 高圧荷電粒子ビーム・システム |
| US20110031394A1 (en) * | 2007-02-06 | 2011-02-10 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
| US8921811B2 (en) | 2007-02-06 | 2014-12-30 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
| US9679741B2 (en) | 2010-11-09 | 2017-06-13 | Fei Company | Environmental cell for charged particle beam system |
| CN105865935A (zh) * | 2016-05-27 | 2016-08-17 | 江苏鑫丰塑业有限公司 | 一种塑料热延伸测试装置 |
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