JPH0327513A - 半導体の理論チツプ数算出機 - Google Patents
半導体の理論チツプ数算出機Info
- Publication number
- JPH0327513A JPH0327513A JP16210989A JP16210989A JPH0327513A JP H0327513 A JPH0327513 A JP H0327513A JP 16210989 A JP16210989 A JP 16210989A JP 16210989 A JP16210989 A JP 16210989A JP H0327513 A JPH0327513 A JP H0327513A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chips
- theoretical
- section
- calculation
- logical
- Prior art date
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体の理論ビソブ数（ウエハ上の最大チ
ソプ数）を自動計算し、結果をＣＲＴ等の表示部に表示
する機器に関するものである。
ソプ数）を自動計算し、結果をＣＲＴ等の表示部に表示
する機器に関するものである。
従来、半導体のウエハにおいて、理論チップ数を算出す
るに当っては、人が電卓等を使い、最大チソプ数を得る
為のレイアウトを判断して、人手で計算を行なっていた
。次に理論チップ数算出パラメータについて第２図によ
り説明する。第２図は理論チノプ数の算出に必要なパラ
メータを説明する平面図である。図において（６）はウ
エハ、（７）はチンプ、（８）はテストパターン、（９
）はカソ１・部である。
るに当っては、人が電卓等を使い、最大チソプ数を得る
為のレイアウトを判断して、人手で計算を行なっていた
。次に理論チップ数算出パラメータについて第２図によ
り説明する。第２図は理論チノプ数の算出に必要なパラ
メータを説明する平面図である。図において（６）はウ
エハ、（７）はチンプ、（８）はテストパターン、（９
）はカソ１・部である。
ウエハ（６）における理論チンプ数は、下記のパラメー
タを基に、最大チップ数を得る為のチップ（７）の位置
（レイアウト）を人が経験的に判断して計算していた。
タを基に、最大チップ数を得る為のチップ（７）の位置
（レイアウト）を人が経験的に判断して計算していた。
■チップ（７）のサイズ（Ｘ軸方向の長さｘ，Ｙ軸方向
の長さｙ） ■テストパターン（８）のサイズ（Ｘ軸方向の長さｘｔ
，Ｙ軸方向の長さｙｔ）と個数 ■ウエハ《６）の直径ｄ ■カソト部（９）の長さ（オリエンテーションフラソト
ネス） ■写真製版装置で露光可能な範囲 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の半導体の理論ヂノプ数の算出は人の計算による為
、時間がかかり、又最大チソプ数を得るレイアウトを人
が判断ずる為、剖算結果が必ずしも最大チ・７プ数であ
る保証は無く、精度上問題を含んでいた。
の長さｙ） ■テストパターン（８）のサイズ（Ｘ軸方向の長さｘｔ
，Ｙ軸方向の長さｙｔ）と個数 ■ウエハ《６）の直径ｄ ■カソト部（９）の長さ（オリエンテーションフラソト
ネス） ■写真製版装置で露光可能な範囲 〔発明が解決しようとする課題〕 従来の半導体の理論ヂノプ数の算出は人の計算による為
、時間がかかり、又最大チソプ数を得るレイアウトを人
が判断ずる為、剖算結果が必ずしも最大チ・７プ数であ
る保証は無く、精度上問題を含んでいた。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、最少限のパラメータを入力するだけで、短時
間に理論チップ数を計算し、結果を表示部又はプリンタ
に表示する事を目的とするものである。
たもので、最少限のパラメータを入力するだけで、短時
間に理論チップ数を計算し、結果を表示部又はプリンタ
に表示する事を目的とするものである。
この発明による半導体の理論チンプ数算出機はあらかじ
めウエハ直径、カソト部の長さ、写真製版装置で露光可
能な範囲、算式モデルを記憶しておき、人がチンプサイ
ズ、テストパターンサイズと個数、ウエハサイズ、写真
製版装置の種類を入力するだけで、人間の判断なしに、
理論チップ数を計算し表示する。
めウエハ直径、カソト部の長さ、写真製版装置で露光可
能な範囲、算式モデルを記憶しておき、人がチンプサイ
ズ、テストパターンサイズと個数、ウエハサイズ、写真
製版装置の種類を入力するだけで、人間の判断なしに、
理論チップ数を計算し表示する。
この考案における半導体の理論チップ数算出機では、入
力されたパラメータに基づいて、人の判断なしで自動的
に算出モデルを選び理論チップ数の算出を行なう。
力されたパラメータに基づいて、人の判断なしで自動的
に算出モデルを選び理論チップ数の算出を行なう。
〔実施例〕
第１図はこの発明の一実施例による半導体の理論チップ
数算出機のブロンク図である。図において（３）はパラ
メータの人力部、（４）はパラメータ、算出モデルの記
憶部、（５）は入力部（３）より人力されたパラメータ
と記憶部（４）より読み込んだパラメータ、算出モデル
を基に理論チソプ数を計算する演算部、＋１１は計算し
た理論チップ数を表示する表示部、（２）は同じくプリ
ンタである。
数算出機のブロンク図である。図において（３）はパラ
メータの人力部、（４）はパラメータ、算出モデルの記
憶部、（５）は入力部（３）より人力されたパラメータ
と記憶部（４）より読み込んだパラメータ、算出モデル
を基に理論チソプ数を計算する演算部、＋１１は計算し
た理論チップ数を表示する表示部、（２）は同じくプリ
ンタである。
次に動作について説明する。半導体の理論チップ数算出
機を起動すると算出機はまず下記のパラメータを人が入
力する様ＣＲＴに表示ずる。
機を起動すると算出機はまず下記のパラメータを人が入
力する様ＣＲＴに表示ずる。
■ウエハ径ｄ，（例、４インチ、５インチ、６インチ）
■写真製版装置の種類
■ヂソブサイズ（Ｘ軸方向長Ｘ％Ｙ軸方向長ｙ）■テス
トパターンサイズ（Ｘ軸方向長ｘｔ，Ｙ軸方向長ｙｔ） ■テストパターンの数 人は、表示部ｔｉ》に表示された案内に従ってパラメー
タを入力あるいは選択をする。
トパターンサイズ（Ｘ軸方向長ｘｔ，Ｙ軸方向長ｙｔ） ■テストパターンの数 人は、表示部ｔｉ》に表示された案内に従ってパラメー
タを入力あるいは選択をする。
次に演算部（５）が人力されパラメータを基に記憶部（
４）より必要なその他のパラメータ及び算出モデルを選
択して読み込み、算出モデルに従って理論チップ数の計
算を極めて短時間で行なう。この時、従来人が判断して
いた最大チンプ数を得るチンプ位Ｗ（レイアウト）を自
動的に決定し、理論チップ数を算出する。
４）より必要なその他のパラメータ及び算出モデルを選
択して読み込み、算出モデルに従って理論チップ数の計
算を極めて短時間で行なう。この時、従来人が判断して
いた最大チンプ数を得るチンプ位Ｗ（レイアウト）を自
動的に決定し、理論チップ数を算出する。
算出した理論チップ数を表示部（１１、プリンタ（２）
に表示する。表示部（１１に表示するかプリンタ（２）
に表示するか又は表示部（１）、プリンタ（２）両方に
表示するかのいずれかを選択できる。
に表示する。表示部（１１に表示するかプリンタ（２）
に表示するか又は表示部（１）、プリンタ（２）両方に
表示するかのいずれかを選択できる。
以上のように、この発明によれば、算出モデル最大チソ
プ数を得るチップ位置（レイ了ウト）の決定方法、ウエ
ハ径・写真製版装置の種類に対応したパラメータの選択
方法を半導体の理論チップ数算出機が記憶している為、
理論チソプ数の算出口ジソクを知らない人でも本機の指
示に従ってパラメータを入力するだけで短時間に正確な
理論チップ数が得られる効果がある。
プ数を得るチップ位置（レイ了ウト）の決定方法、ウエ
ハ径・写真製版装置の種類に対応したパラメータの選択
方法を半導体の理論チップ数算出機が記憶している為、
理論チソプ数の算出口ジソクを知らない人でも本機の指
示に従ってパラメータを入力するだけで短時間に正確な
理論チップ数が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による半導体の理論チンプ
数算出機のブロソク図、第２図は従来の理論チソプ数の
算出に必要なパラメータを説明する平面図である。 図において、＋１１は表示部、（２）はプリンタ、（３
）は入力部、（４）は記憶部、（５）は演算部である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
数算出機のブロソク図、第２図は従来の理論チソプ数の
算出に必要なパラメータを説明する平面図である。 図において、＋１１は表示部、（２）はプリンタ、（３
）は入力部、（４）は記憶部、（５）は演算部である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- チップサイズ、テストパターンサイズ、テストパターン
の個数だけの入力で理論チップ数を自動算出する事を特
徴とする半導体の理論チップ数算出機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16210989A JPH0327513A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 半導体の理論チツプ数算出機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16210989A JPH0327513A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 半導体の理論チツプ数算出機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0327513A true JPH0327513A (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=15748214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16210989A Pending JPH0327513A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | 半導体の理論チツプ数算出機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0327513A (ja) |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP16210989A patent/JPH0327513A/ja active Pending
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