JPH0327582A - 横流形ガスレーザ発振器 - Google Patents
横流形ガスレーザ発振器Info
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- JPH0327582A JPH0327582A JP16064389A JP16064389A JPH0327582A JP H0327582 A JPH0327582 A JP H0327582A JP 16064389 A JP16064389 A JP 16064389A JP 16064389 A JP16064389 A JP 16064389A JP H0327582 A JPH0327582 A JP H0327582A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blower
- heat exchanger
- laser
- gas
- mirror
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、横流形ガスレーザ発振器に関する。
（従来の技術）
従来の横流形ガスレーザ発振器の一例を示す第６図にお
いて、内部にレーザガスが封入された風胴工の内部には
、下側に紙面直交方向に長い貝流送風機２が収納され、
この貫流送風機２の上側には■、字形の仕切板９が下端
を近接させて設けられ、この仕切板９の上方には一対の
放電電極３Ａ，３Ｂが対向して配設され、仕切板９の右
端と風胴１の内面右下間には熱交換器４が取付られてい
る。
いて、内部にレーザガスが封入された風胴工の内部には
、下側に紙面直交方向に長い貝流送風機２が収納され、
この貫流送風機２の上側には■、字形の仕切板９が下端
を近接させて設けられ、この仕切板９の上方には一対の
放電電極３Ａ，３Ｂが対向して配設され、仕切板９の右
端と風胴１の内面右下間には熱交換器４が取付られてい
る。
このような構或のレーザ発振器において、放電電極３Ａ
， ３Ｂ間で加熱されたレーザガスは、矢印２ａのよう
に貫流送風機２で循環され，熱交換器４て所定の温度範
囲に冷却される。
， ３Ｂ間で加熱されたレーザガスは、矢印２ａのよう
に貫流送風機２で循環され，熱交換器４て所定の温度範
囲に冷却される。
第７図は、第６図の縦断面図である。
第７図において、仕切板９の上方には放電電極３Ａ，３
１１が相対向して平行に設けられ、この放電電極３Ａ，
３Ｂの左端に対向する風胴１には出力ミラ６が取付られ
、放電電極３Ａ，３Ｂの右端に対向する風胴１には反射
鏡５が取付られ、仕切板９の下側に収納された貫流送風
機２の左端の軸は軸受７Ａで、右端の軸は軸受７１１で
支えられ、右端は吏に風胴１から突き出ていて軸シール
８が取付られている。
１１が相対向して平行に設けられ、この放電電極３Ａ，
３Ｂの左端に対向する風胴１には出力ミラ６が取付られ
、放電電極３Ａ，３Ｂの右端に対向する風胴１には反射
鏡５が取付られ、仕切板９の下側に収納された貫流送風
機２の左端の軸は軸受７Ａで、右端の軸は軸受７１１で
支えられ、右端は吏に風胴１から突き出ていて軸シール
８が取付られている。
（発明が解決しようとする課題）
ところがこのような構或のレーザ発振器においては、貫
流送風機２の図示しない回転軸が長くなるので、剛性が
落ちて高速回転ができす、風量が増えないだけでなく、
長手方向の位置で風量がばらついて放電電極３Ａ， ３
Ｂ間の放電がばらつく。
流送風機２の図示しない回転軸が長くなるので、剛性が
落ちて高速回転ができす、風量が増えないだけでなく、
長手方向の位置で風量がばらついて放電電極３Ａ， ３
Ｂ間の放電がばらつく。
又、羽根は溶接構造のため、羽根の先端と仕９Ｊ板９と
の間隙Ｇが羽根の凹凸と長手力向でばらついてもともと
効率の低い貫流送風機の効率を更に落とす。
の間隙Ｇが羽根の凹凸と長手力向でばらついてもともと
効率の低い貫流送風機の効率を更に落とす。
更に、ガスレーザ発振器中に占める送風機の？ｌ’１費
電力は大出力の発振器になるほど増えるので、送風機の
効率低下は、即、ガスレーザ発振器の効率低下となる。
電力は大出力の発振器になるほど増えるので、送風機の
効率低下は、即、ガスレーザ発振器の効率低下となる。
そこで本発明の目的は、小形で高効率且つ大出力の横流
形ガスレーザ発振器を得ることである。
形ガスレーザ発振器を得ることである。
（課題を解決するための手段および作用）本発明は、光
軸に沿って風胴内に設けられた放電部と、この放電部に
レーザガスを環流させる送風機間のレーザガスの流路に
熱交換機が設けられた横流形ガスレーザ発器において、
光軸に沿って複数個の放電部を配列し、この各放電部間
に光軸に対してこの各放電部間を横に仕切る仕切板を設
け、この各仕切板と各放電部の両側に風胴の側壁間でレ
ーザガスの流路を形或する板状の熱交換器を設番づるこ
とで、長い放電部でも高効率の送風機でレーザガスを均
一に供給させて、小形で効率がよくレーザ出力を上げた
横流形ガスレーザ発振器である。
軸に沿って風胴内に設けられた放電部と、この放電部に
レーザガスを環流させる送風機間のレーザガスの流路に
熱交換機が設けられた横流形ガスレーザ発器において、
光軸に沿って複数個の放電部を配列し、この各放電部間
に光軸に対してこの各放電部間を横に仕切る仕切板を設
け、この各仕切板と各放電部の両側に風胴の側壁間でレ
ーザガスの流路を形或する板状の熱交換器を設番づるこ
とで、長い放電部でも高効率の送風機でレーザガスを均
一に供給させて、小形で効率がよくレーザ出力を上げた
横流形ガスレーザ発振器である。
（実施例）
以下、本発明の横流形ガスレーザ発振器の一実施例を図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
第１図は、本発明の横流形ガスレーザ発振器の横断面図
で、レーザガスの流路は酩回字状になっている。
で、レーザガスの流路は酩回字状になっている。
即ち、左側の風胴１０Ａと右側の風胴１０Ｂは対称形に
なっていて、その間は手前側の送風機１１と後方のダク
ト１２で接続され、風胴１０Ａと風胴１０Ｂの中央には
それぞれ左右に長い電極１３Ａと電極１３Ｂが設け３ −４ られ、電極１３Ａの左端に対向する風胴壁には全反射鏡
１６Ａが、電極１３八の右端に対向する風胴漿には半透
過鏡１６Ａが取付られ、電極１３ｌ３の左端に対向する
風胴壁には全透過鏡１８Ａが、電極１３Ｂの右端に対向
する風胴壁には出力鏡１８Ｂが取付られている。
なっていて、その間は手前側の送風機１１と後方のダク
ト１２で接続され、風胴１０Ａと風胴１０Ｂの中央には
それぞれ左右に長い電極１３Ａと電極１３Ｂが設け３ −４ られ、電極１３Ａの左端に対向する風胴壁には全反射鏡
１６Ａが、電極１３八の右端に対向する風胴漿には半透
過鏡１６Ａが取付られ、電極１３ｌ３の左端に対向する
風胴壁には全透過鏡１８Ａが、電極１３Ｂの右端に対向
する風胴壁には出力鏡１８Ｂが取付られている。
又、電極１３Ａの前後には熱交換器１４Ａ， １５Ａが
、同じく電極１３Ｂの前後には熱交換器１５Ｂ， １４
Ｂがそれぞれ取付られている。
、同じく電極１３Ｂの前後には熱交換器１５Ｂ， １４
Ｂがそれぞれ取付られている。
このような構成の横流形ガスレーザ発振器において、送
風機１１で熱交換器１４八に送られて電極１３と全反射
鏡１６Ａ、半透過鏡１６Ｂで構或された左側の共振器室
に流入したレーザガスは、熱交換器１５Ａで再び冷やさ
れてダク１〜１２を経て右側の風胴１０Ｂの後部に流入
し、熱交換器１４Ｉ３で冷却された後、全透過鏡１８Ａ
、出力鏡１８Ｂと電極１３Ｂでなる右側の増幅器室に流
入し、再び熱交換器１５Ｂで冷却された後送風＠１ｌに
環流して再び」二記サイクルを繰り返す。
風機１１で熱交換器１４八に送られて電極１３と全反射
鏡１６Ａ、半透過鏡１６Ｂで構或された左側の共振器室
に流入したレーザガスは、熱交換器１５Ａで再び冷やさ
れてダク１〜１２を経て右側の風胴１０Ｂの後部に流入
し、熱交換器１４Ｉ３で冷却された後、全透過鏡１８Ａ
、出力鏡１８Ｂと電極１３Ｂでなる右側の増幅器室に流
入し、再び熱交換器１５Ｂで冷却された後送風＠１ｌに
環流して再び」二記サイクルを繰り返す。
又、電極１３Ａの放電で励起され放出されたレーザ光は
、半透過鏡１６Ｂと全透鏡１８Ａを経て右側の放電部に
入射し、電極１３Ｂで励起されたレーザガスで増幅され
て全透過鏡１８１３から図示しないレーザ伝送路に出射
される。
、半透過鏡１６Ｂと全透鏡１８Ａを経て右側の放電部に
入射し、電極１３Ｂで励起されたレーザガスで増幅され
て全透過鏡１８１３から図示しないレーザ伝送路に出射
される。
そして、このように構成されたレーザ発振器では送風機
１１に軸流送風機や遠心送風機を使うことができるので
、電極１３Ａ， １８Ｂの光軸方向の位置によるガス流
速の差がなくなり、電極１３Ａ， １８Ｂの全域に亘っ
て放電効率をあげることができ発振器から出射されるレ
ーザ光の出力をあげることができる。又、軸流送風機や
遠心送風機は効率が高いので、発振器全体の効率を上げ
ることができる。
１１に軸流送風機や遠心送風機を使うことができるので
、電極１３Ａ， １８Ｂの光軸方向の位置によるガス流
速の差がなくなり、電極１３Ａ， １８Ｂの全域に亘っ
て放電効率をあげることができ発振器から出射されるレ
ーザ光の出力をあげることができる。又、軸流送風機や
遠心送風機は効率が高いので、発振器全体の効率を上げ
ることができる。
なお、更に風力が必要なときには、送風機１１を直列に
接続してもよく、又、ダクト１２を外して送風機を追加
すれば、外形を増やすことなく例えば出力増加に伴う風
量の増加に対応することもできる。
接続してもよく、又、ダクト１２を外して送風機を追加
すれば、外形を増やすことなく例えば出力増加に伴う風
量の増加に対応することもできる。
更に、定格のシリーズ化を図るときには、風胴１０Ａ，
ＪＯＢの外壁の前後に穴をあけたものを順に直列に接
続してもよい。
ＪＯＢの外壁の前後に穴をあけたものを順に直列に接
続してもよい。
次に、第２図、第３図と第４図は本発明の横流形ガスレ
ーザ発振器の他の実施例を示し、第２図は風１１１ｉｉ
１９の」二部の横断面図、第３図は第２図のＡ一Ａ断面
図、第４図は第２図のＢ−Ｂ断面図である。
ーザ発振器の他の実施例を示し、第２図は風１１１ｉｉ
１９の」二部の横断面図、第３図は第２図のＡ一Ａ断面
図、第４図は第２図のＢ−Ｂ断面図である。
第２〜４図において、風胴１９の上４ｉ３３の中央部に
は、左側に上下に対向した棒状の電極２０Ａが、中央に
同じく電極２０Ｂが、右側には同しく電極２０Ｃが図示
しない光軸を挟んで取付られ、電極２０Ａと２０Ｂ間に
は仕切板２２Ａが、電極２０Ｂと２０Ｃ間には仕切板２
２Ｂがそれぞれ縦に設けられている。又、電極２０Ａ，
２０８．２０Ｃと風胴ｌ９の前後壁間には、左右端が
１９の右壁に接し内面で仕切板２６Ａ， ２６Ｂを挟ん
だ板状の熱交換器２１Ａ， ２１Ｂが縦に設けている。
は、左側に上下に対向した棒状の電極２０Ａが、中央に
同じく電極２０Ｂが、右側には同しく電極２０Ｃが図示
しない光軸を挟んで取付られ、電極２０Ａと２０Ｂ間に
は仕切板２２Ａが、電極２０Ｂと２０Ｃ間には仕切板２
２Ｂがそれぞれ縦に設けられている。又、電極２０Ａ，
２０８．２０Ｃと風胴ｌ９の前後壁間には、左右端が
１９の右壁に接し内面で仕切板２６Ａ， ２６Ｂを挟ん
だ板状の熱交換器２１Ａ， ２１Ｂが縦に設けている。
更に、この熱交換器２］．Ａと風胴１９の後壁間には仕
切２２Ｂの後方に仕切板２３Ａが、熱交換器２１Ｂと風
）桐１９の前壁間には仕切板２２Ａの前方に仕切板２３
Ｂがそれぞれ縦に設けられて，仕切板２３Ａの左にガス
流路３５を仕切板２３Ｂの右にガス流路３４を形成し、
仕切板２３Ａの右側は縦流路２５Ａとなり、仕切板２３
Ｂの左側は縦流路２５１３となっている。
切２２Ｂの後方に仕切板２３Ａが、熱交換器２１Ｂと風
）桐１９の前壁間には仕切板２２Ａの前方に仕切板２３
Ｂがそれぞれ縦に設けられて，仕切板２３Ａの左にガス
流路３５を仕切板２３Ｂの右にガス流路３４を形成し、
仕切板２３Ａの右側は縦流路２５Ａとなり、仕切板２３
Ｂの左側は縦流路２５１３となっている。
又、仕切板２２Ａ， ２２Ｂと熱交換器２１Ａ， ２１
Ｂの下端面には、縦流路２５Ａ， ２５Ｂを除いて風胴
１９を上下に仕切る略Ｚ形の横仕切板２４が設けられ、
この結果、風胴１９の」二部は左から放電部２０ａ，２
０ｂ， ２０ｃが構威され、この横仕切板２４と風胴１
９の底部間には、ほぼ仕切板２２８． ２３Ａの下方に
底仕切板３１が設けられてその右側はガス吐出室３２と
なっている。
Ｂの下端面には、縦流路２５Ａ， ２５Ｂを除いて風胴
１９を上下に仕切る略Ｚ形の横仕切板２４が設けられ、
この結果、風胴１９の」二部は左から放電部２０ａ，２
０ｂ， ２０ｃが構威され、この横仕切板２４と風胴１
９の底部間には、ほぼ仕切板２２８． ２３Ａの下方に
底仕切板３１が設けられてその右側はガス吐出室３２と
なっている。
そして、底仕切板３１の左面前寄りには送風機２９が吐
出側を右にし−て取付られ、こ送風機２９はその左側に
取付られた電動機の出力軸にカップリングで連結されて
いる。
出側を右にし−て取付られ、こ送風機２９はその左側に
取付られた電動機の出力軸にカップリングで連結されて
いる。
このように構成された発振器では、送風機２９からガス
吐出堅３２に送られたレーザガスは、縦流路２５Ａから
熱交換器２１Ａの右端で冷やされて放電部２０Ｃに入り
、ここで暖められたレーザガスは熱交換器２１８の右端
で冷やされてガス流路３４に入り、再で熱交換器２１Ｂ
の中端で冷やされて放電部２０ｂに入り、再び熱交換器
２１Ａの中央部で伶やされてガス流路３５を経て熱交換
器２１Ａの左端で再び冷されて放電部２０ａと熱交換器
２１Ｂの左端と縦流路２５を経て７ ８ 送風機室３６に環流される。
吐出堅３２に送られたレーザガスは、縦流路２５Ａから
熱交換器２１Ａの右端で冷やされて放電部２０Ｃに入り
、ここで暖められたレーザガスは熱交換器２１８の右端
で冷やされてガス流路３４に入り、再で熱交換器２１Ｂ
の中端で冷やされて放電部２０ｂに入り、再び熱交換器
２１Ａの中央部で伶やされてガス流路３５を経て熱交換
器２１Ａの左端で再び冷されて放電部２０ａと熱交換器
２１Ｂの左端と縦流路２５を経て７ ８ 送風機室３６に環流される。
この場合には仕切板２２Ａ， ２２Ｂ間にも放電部を設
け、前後部のガス流路にも仕切板を設けたので、増えた
放電部にも熱交換器を介してレーザガスを直列に流すこ
とができるので、設置面積を増やすことなくレーザ光の
出力を増やすことができる利点がある。
け、前後部のガス流路にも仕切板を設けたので、増えた
放電部にも熱交換器を介してレーザガスを直列に流すこ
とができるので、設置面積を増やすことなくレーザ光の
出力を増やすことができる利点がある。
第５図は本発明の横流形ガスレーザ発振器の異なる他の
実施例を示し、第２図の仕切板２２Ａ， ２２Ｂの代り
に、二枚の板でなる仕切板３７Ａ， ３７Ｂを相互間に
間隙３８Ａ， ３８Ｂを設けて仕切ったものである。
実施例を示し、第２図の仕切板２２Ａ， ２２Ｂの代り
に、二枚の板でなる仕切板３７Ａ， ３７Ｂを相互間に
間隙３８Ａ， ３８Ｂを設けて仕切ったものである。
そして、この間隙３８Ａ， ３８Ｂではレーザガスの上
流側の仕切板端が下流側の仕切板端を覆うよに設けるこ
とで、隣接した放電部へのレーザガスの流入量を減らし
ている。
流側の仕切板端が下流側の仕切板端を覆うよに設けるこ
とで、隣接した放電部へのレーザガスの流入量を減らし
ている。
この場合には、仕切板３７Ａ， ３７Ｂに透通鏡がない
ので、損失が減る利点がある。
ので、損失が減る利点がある。
光軸に沿って縦に配設された放電部に送風機でレーザガ
スを環流させ、このレーザガスを熱交換器で玲却する検
流形ガスレーザ発振器において、複数の放電部を光軸に
沿って設け、各放電部間を光軸に対して横に仕切る仕切
板を設け、放電部と仕切板の両側に板状の熱交換器を設
け、この熱交換器の外形と風胴側壁間にガス流路を設け
ることで、■効率の送風機で長い放電部に均一な流逮の
レーザガスを環流させたので、小形で効率がよくレーザ
出力を増やすことのできる横流形ガスレザ発振器を得る
ことができる。
スを環流させ、このレーザガスを熱交換器で玲却する検
流形ガスレーザ発振器において、複数の放電部を光軸に
沿って設け、各放電部間を光軸に対して横に仕切る仕切
板を設け、放電部と仕切板の両側に板状の熱交換器を設
け、この熱交換器の外形と風胴側壁間にガス流路を設け
ることで、■効率の送風機で長い放電部に均一な流逮の
レーザガスを環流させたので、小形で効率がよくレーザ
出力を増やすことのできる横流形ガスレザ発振器を得る
ことができる。
第１図は本発明の横流形ガスレーザ発振器の一実施例を
示す部分破砕平面図、第２図は本発明の横流形ガスレー
ザ発振器の他の実施例を示す横断面図、第３図は第２図
のＡ−Ａ断面図、第４図は第２図のｒｓ−ｎ断面図、第
５図は本発明の横流形ガスレーザ発振器の異なる他の実
施例を示す横断面図、第６図は従来の横流形ガスレーザ
発振器の一例を示す縦断面図、第７図は第６図の右側面
図である。 １０Ａ，１０１’ｌ・・・風胴 １１・・・送
風機１３Ａ，１３Ｂ・・電極 １４Ａ， ］．４Ｂ， １５Ａ， １５Ｂ・・・熱交換
器（８７３３）
示す部分破砕平面図、第２図は本発明の横流形ガスレー
ザ発振器の他の実施例を示す横断面図、第３図は第２図
のＡ−Ａ断面図、第４図は第２図のｒｓ−ｎ断面図、第
５図は本発明の横流形ガスレーザ発振器の異なる他の実
施例を示す横断面図、第６図は従来の横流形ガスレーザ
発振器の一例を示す縦断面図、第７図は第６図の右側面
図である。 １０Ａ，１０１’ｌ・・・風胴 １１・・・送
風機１３Ａ，１３Ｂ・・電極 １４Ａ， ］．４Ｂ， １５Ａ， １５Ｂ・・・熱交換
器（８７３３）
Claims (1)
- 光軸に沿って風胴内に設けられた放電部と、この放電部
にレーザガスを環流させる送風機間の前記レーザガスの
流路に熱交換器が設けられた横流形ガスレーザ発振器に
おいて、前記放電部を前記光軸に沿って複数個配列し、
この各放電部間にこの各放電部間を前記光軸に対して横
に仕切る仕切板を設け、この各仕切板と前記各放電部の
両側に前記風胴の側壁間で前記レーザガスの流路を形成
する板状の熱交換機を設けたことを特徴とする横流形ガ
スレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16064389A JPH0327582A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 横流形ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16064389A JPH0327582A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 横流形ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0327582A true JPH0327582A (ja) | 1991-02-05 |
Family
ID=15719371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16064389A Pending JPH0327582A (ja) | 1989-06-26 | 1989-06-26 | 横流形ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0327582A (ja) |
-
1989
- 1989-06-26 JP JP16064389A patent/JPH0327582A/ja active Pending
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