JPH03276521A - 超伝導テープの製造方法 - Google Patents
超伝導テープの製造方法Info
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- JPH03276521A JPH03276521A JP2078413A JP7841390A JPH03276521A JP H03276521 A JPH03276521 A JP H03276521A JP 2078413 A JP2078413 A JP 2078413A JP 7841390 A JP7841390 A JP 7841390A JP H03276521 A JPH03276521 A JP H03276521A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は超伝導テープの製造方法に関し、特に超伝導
マグネットや超伝導ケーブルへの応用が期待できる長尺
超伝導テープの製造方法に関する。
マグネットや超伝導ケーブルへの応用が期待できる長尺
超伝導テープの製造方法に関する。
（従来の技術）
超伝導体は超伝導マグネット、超伝導体として各種分野
での利用が期待されているが、これを実用化させるため
に、超伝導体を取扱い易いテープ状にする技術の確立が
急務である。
での利用が期待されているが、これを実用化させるため
に、超伝導体を取扱い易いテープ状にする技術の確立が
急務である。
超伝導テープ製造法としては、従来平面状のターゲット
に平行して一条のテープ基板をゆっくり移動させ、その
間に基板表面に超伝導体粉末をスパッター付着させる方
法で超伝導テープが作成された。
に平行して一条のテープ基板をゆっくり移動させ、その
間に基板表面に超伝導体粉末をスパッター付着させる方
法で超伝導テープが作成された。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、以上の方法ではターゲットに沿ってテー
プ基板をゆっくりと移動させて超伝導テープを製造する
ため、長尺なテープを作成するために膨大な時間を必要
とする重大な欠陥がある。
プ基板をゆっくりと移動させて超伝導テープを製造する
ため、長尺なテープを作成するために膨大な時間を必要
とする重大な欠陥がある。
また、テープ作成のために可成りのスペースを必要とす
るなどの問題もある。
るなどの問題もある。
（問題点を解決するための手段）
以上の問題点を解決するため、この発明では中空の超伝
導体ターゲット内にテープ基板をスパイラル状に巻き付
けた回転ドラムを配置し、この回転ドラムを回転させな
がら上記テープ基板を上記ターゲットの入口から出口方
向に移動させ、その間にターゲット内で超伝導体粉末を
テープ基板の表面にスパッター付着させるようにした超
伝導テープ製造方法を提案するものである。
導体ターゲット内にテープ基板をスパイラル状に巻き付
けた回転ドラムを配置し、この回転ドラムを回転させな
がら上記テープ基板を上記ターゲットの入口から出口方
向に移動させ、その間にターゲット内で超伝導体粉末を
テープ基板の表面にスパッター付着させるようにした超
伝導テープ製造方法を提案するものである。
ここで、テープ基板の表面に付着させる超伝導体材料と
しては酸化物超伝導体をはじめとしてスパッター可能な
全ての材料を使用することができる。
しては酸化物超伝導体をはじめとしてスパッター可能な
全ての材料を使用することができる。
（作用）
以上のように、この発明によれば、テープ基板を回転ド
ラムに隙間な（スパイラル状に巻き付け、これを中空の
超伝導体ターゲット内で回転させながらテープ基板を中
空ターゲットの入口から出口方向に移動させるため、中
空ターゲット内に存在する全ての長尺なテープ基板の表
面に超伝導体粉末が同時にスパッター蒸着され、したが
って短時間に長尺な超伝導テープを作製することができ
る。
ラムに隙間な（スパイラル状に巻き付け、これを中空の
超伝導体ターゲット内で回転させながらテープ基板を中
空ターゲットの入口から出口方向に移動させるため、中
空ターゲット内に存在する全ての長尺なテープ基板の表
面に超伝導体粉末が同時にスパッター蒸着され、したが
って短時間に長尺な超伝導テープを作製することができ
る。
また、この発明では広いスペースを必要とせずに超伝導
テープの作成ができる。
テープの作成ができる。
（実施例）
以下、この発明を図示の実施例に基いて説明する。
■は、内径３０ｃｍ、長さ３０ｃｍの中空円筒形のイツ
トリウム系酸化物超伝導体の焼結ターゲット、２は外径
２０ｃｍの回転ドラムである。回転ドラム２には例えば
ハステロイの表面に酸化マグネシウムをバッファー層と
してスパッターしたテープ基板３をスパイラル状に巻装
する６例えばテープ基板３はテープ幅を５ａ＋ｍとした
場合、回転ドラム２には重ならずに約０．４５６度の角
度で密に巻くと５３．６ターン、約３７．５１＋巻くこ
とができる。
トリウム系酸化物超伝導体の焼結ターゲット、２は外径
２０ｃｍの回転ドラムである。回転ドラム２には例えば
ハステロイの表面に酸化マグネシウムをバッファー層と
してスパッターしたテープ基板３をスパイラル状に巻装
する６例えばテープ基板３はテープ幅を５ａ＋ｍとした
場合、回転ドラム２には重ならずに約０．４５６度の角
度で密に巻くと５３．６ターン、約３７．５１＋巻くこ
とができる。
なお、回転ドラム２に巻き付けられるテープ基板３の長
さはターゲットＩと回転ドラム２の直径と長さ、巻く角
度を変えることにより調節可能であり、もっと長（する
ことも可能である。
さはターゲットＩと回転ドラム２の直径と長さ、巻く角
度を変えることにより調節可能であり、もっと長（する
ことも可能である。
以上のように、テープ基板３を巻き付けた回転ドラム２
をターゲットｌ内に配置し、テープ基板３の基端はター
ゲット１の入口側よりテープの送り用リール４に巻き取
らせ、テープ基板３の先端はターゲット１の出口側より
テープ巻取り用リール５に取り付ける。
をターゲットｌ内に配置し、テープ基板３の基端はター
ゲット１の入口側よりテープの送り用リール４に巻き取
らせ、テープ基板３の先端はターゲット１の出口側より
テープ巻取り用リール５に取り付ける。
次に、テープ基板３が１時間に３７．５＋＋＋移動する
ように回転ドラム２、巻取りリール５を回転させてテー
プ基板３がターゲットｌ内を通過するようにする。これ
により、入口からターゲット１内に入ったテープ基板３
は、１時間後にターゲット１内でその表面に１ミクロン
の厚みで酸化物超伝導体粉末がスパッターされて、ター
ゲット１の出口より出て（る。
ように回転ドラム２、巻取りリール５を回転させてテー
プ基板３がターゲットｌ内を通過するようにする。これ
により、入口からターゲット１内に入ったテープ基板３
は、１時間後にターゲット１内でその表面に１ミクロン
の厚みで酸化物超伝導体粉末がスパッターされて、ター
ゲット１の出口より出て（る。
このスパッターされたテープは、そのまま巻取りドラム
で巻き取ってもよいし、引き続き炉へ導入して熱処理を
行なってもよい。
で巻き取ってもよいし、引き続き炉へ導入して熱処理を
行なってもよい。
（発明の効果）
以上要するに、この発明によれば従来不可能であった長
尺の酸化物超伝導テープの作製を短時間で実現できる。
尺の酸化物超伝導テープの作製を短時間で実現できる。
また、この発明によれば広いスペースを必要とせずに長
尺な超伝導テープの作製が可能となる。
尺な超伝導テープの作製が可能となる。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略図である。
図中、１は中空円筒状の酸化物超伝導体の焼結ターゲッ
ト、２は回転ドラム、３はテープ基板。 ４はテープの送り用リール、５はテープ巻き取り用リー
ル。
ト、２は回転ドラム、３はテープ基板。 ４はテープの送り用リール、５はテープ巻き取り用リー
ル。
Claims (1)
- 中空の超伝導体ターゲット内にテープ基板をスパイル状
に巻き付けた回転ドラムを配置し、該回転ドラムを回転
させながら上記テープ基板を上記ターゲットの入口から
出口方向に移動させ、その間にターゲット内で超伝導体
粉末をテープ基板の表面にスパッター付着させるように
したことを特徴とする超伝導テープの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2078413A JPH0758602B2 (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | 超伝導テープの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2078413A JPH0758602B2 (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | 超伝導テープの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03276521A true JPH03276521A (ja) | 1991-12-06 |
| JPH0758602B2 JPH0758602B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=13661351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2078413A Expired - Lifetime JPH0758602B2 (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | 超伝導テープの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758602B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0588461A1 (en) * | 1992-09-14 | 1994-03-23 | Hitachi Cable, Ltd. | Superconductive current lead |
| US5372089A (en) * | 1992-07-30 | 1994-12-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming single-crystalline thin film |
| JP2010520599A (ja) * | 2007-03-08 | 2010-06-10 | コリア アドバンスト インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジ− | 超電導テープ線材の連続製造装置 |
-
1990
- 1990-03-27 JP JP2078413A patent/JPH0758602B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5372089A (en) * | 1992-07-30 | 1994-12-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming single-crystalline thin film |
| EP0588461A1 (en) * | 1992-09-14 | 1994-03-23 | Hitachi Cable, Ltd. | Superconductive current lead |
| JP2010520599A (ja) * | 2007-03-08 | 2010-06-10 | コリア アドバンスト インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジ− | 超電導テープ線材の連続製造装置 |
| US8685166B2 (en) | 2007-03-08 | 2014-04-01 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Apparatus for continuous fabricating superconducting tapes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0758602B2 (ja) | 1995-06-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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