JPH03280486A - 混成集積回路素子 - Google Patents

混成集積回路素子

Info

Publication number
JPH03280486A
JPH03280486A JP2080292A JP8029290A JPH03280486A JP H03280486 A JPH03280486 A JP H03280486A JP 2080292 A JP2080292 A JP 2080292A JP 8029290 A JP8029290 A JP 8029290A JP H03280486 A JPH03280486 A JP H03280486A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thick film
integrated circuit
metal plate
board
hybrid integrated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2080292A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2744108B2 (ja
Inventor
Yasuo Taguchi
田口 康夫
Kazuyoshi Takeda
武田 和良
Hisashi Mochida
久 持田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2080292A priority Critical patent/JP2744108B2/ja
Publication of JPH03280486A publication Critical patent/JPH03280486A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2744108B2 publication Critical patent/JP2744108B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0306Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/05Insulated conductive substrates, e.g. insulated metal substrate

Landscapes

  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的コ (産業上の利用分野) 本発明は、混成集積回路素子に係わり特に、高出力に伴
って必要とされる放熱構造に好適する。
(従来の技術) 受動素子、能動素子または回路用部品の中から選定した
一種もしくは複数種を半導体基板にモノリシック(Mo
nolythic)に造込む集積回路素子は、最近のD
−RAMに対表されるように集積度が益々増大する傾向
にある。これに対いして、半導体基板にモノリシックに
形成できないし成分などをハイブリッド(Hybrid
)方式により形成する混成集積回路素子でもバッキング
デンシティ (Packing  Dens i ty
)を改良した製品が開発されその用途の増大は著しいも
のがある。
このように集積度の増大の伴う混成集積回路素子の課題
に熱放散対策があり、その解決策の一つとしてヒートシ
ンク(Heat  5ink)が利用されている。その
要部を示す第1図の断面図により説明すると、例えばア
ルミナセラミックス(Alumina  Cerami
cs)基板1の片面に電子回路に必要な部品2・・・を
実装しており、平坦な他面にヒートシンク即ち放熱用金
属板3を接着剤層4を介して一体としている。
ところで、アルミナセラミックス基板1などにハイブリ
ッド方式で形成する部品2・・・には、集積回路素子、
個別半導体素子、ときにはL成分などの他にいわゆるト
リミング(Trimming)法により所定値に調整す
る抵抗も含まれており、このような各種部品を実装した
基板を本発明では厚膜基板とする。一方、混成集積回路
素子の集積度を向上するために厚膜基板の両面に各種部
品を実装する方式(第2図参照)も多用されている。
この場合は、アルミナセラミックス基板1の露出面即ち
放熱用金属板5を設置しない表面に半導体素子などを配
置し、他面には、トリミングする抵抗及び配線層を設置
し、両面の各部品の電気的接続には、アルミナセラミッ
クス基板1の厚さ方向を貫通して形成するスルーホール
(Through  Ho1e)6を利用する。
ところで、アルミナセラミックス基板1の両面にいわゆ
るスクリーン(Screen)印刷法により形成する配
線層は、薄いガラス(Glass)層を被覆して保護し
ておりまた、他面に取付ける抵抗にも薄いガラス層によ
り保護している。スルーホール6壁面を構成するアルミ
ナセラミックス基板1には、例えばメツキ法により配線
層を形成して、両面に設置する配線層と電気的に接続し
て所定の電子回路の形成に備えている。このスルーホー
ル6に被着する配線層にも保護ガラス層を被覆して絶縁
性を確保しているし、放熱用金属板5は接着剤層4によ
りアルミナセラミックス基板1と一体にするが、両者の
固定を確実にするために圧着工程を最後に行うのが一般
的である。
(発明が解決しようとする課題) 厚膜基板の両面を利用する型の混成集積回路素子では、
放熱用金属板5の平坦な全面を放熱に利用することがで
きない。と言うのは、スルーホール6の角部が厚膜基板
1表面及び他面との交わる付近に形成した配線層を覆う
ガラス層が圧着工程により剥離したり、薄くなって絶縁
性が損なわれる恐れを解消するのに、この付近に対応す
る放熱用金属板5に凹部7を設置する(第3図参照)。
このために厚膜基板1の両面を利用する型では、放熱効
率が悪いと共に製造単価が増大する難点の外に、製造工
程時に両者の位置合せが必要となり、工数が増題する欠
点が生ずる。しかも、厚膜基板1の他面に設置した抵抗
体に大電流を流して発熱が起こった場合には、放熱性が
損なわれる難点がある。
本発明は、このような事情により成されたもので特に、
厚膜基板の両面に電子回路用部品を取付ける混成集積回
路素子の放熱効率を改善することを目的とするものであ
る。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 放熱用金属板と、放熱用金属板に対向して配置する厚膜
基板と、厚膜基板の両面に設置する回路パターンと、前
記厚膜基板の厚さ方向を貫通して設置するスルーホール
と、前記回路パターンを接続し、前記スノーホールを介
して形成する配線層、前記スノーホールに形成する配線
層を保護する絶縁層と、前記放熱用金属板及び厚膜基板
間に一体には位置する熱伝導・絶縁性基板と、これらを
覆って前記放熱用金属板に固着する金属容器に本発明に
係わる混成集積回路素子の特徴がある。
(作用) 本発明に係わる混成集積回路素子は、例えば車輌用とし
て利用する場合もあり、当然コンバク) (Compa
ct)なものが要求されしかも、所定の電子回路には動
作時に発熱量が大きく、大電流を附勢する抵抗や例えば
ジャイアントトランジスタ(GiantTransis
ter以後G−Trと記載する)を設置しなければなら
ない時もある。従来技術でのG−Trなどの設置方法は
、厚膜基板と別の基板を利用するのが一般的であり、必
要な面積が増え車輌用などのように決められた容積また
は面積内に設置するのに不都合となる。
更に、本発明に係わる混成集積回路素子では動作特発熱
する抵抗が必要であり、厚膜基板の裏面即ち必要な回路
部品をマウント(Mount)する表面の反対側に設置
する。このように限られた容積または面積内に取付ける
必要がある混成集積回路素子では、集積度向上の観点か
ら厚膜基板に必要な回路部品を設置させざるを得ないの
で、特別な放熱及び絶縁対策として厚膜基板と放熱用金
属板間に熱伝導・絶縁性基板を配置する手法を採用して
いる。更に、車輌用などのような混成集積回路素子は、
金属容器により保護して厳しい環境例えば−40℃〜1
50°Cに使用に耐えるようにされている。
(実施例) 本発明に係わる実施例を第4図乃至第5図を参照して説
明する。即ち、厚さ0.8mm程度のセラミックからな
る厚膜基板10の両面には、スクリーン印刷法により導
電性金属からなる配線層(図示せず)を設け、その−面
に電子回路に必要な部品を取付ける。更に厚膜基板10
の厚さ方向を貫通するスルーホール11・・・を設置す
ると共に、配線層を例えばメツキ法により被覆して両表
面に形成した配線層の導通を図る。このような処理を終
えた厚膜基板10の裏面即ち後述の半導体素子などを設
置しない面には、動作時に発熱を生じる抵抗12を配線
層に接続して形成する。従来技術にあっては、ガラス層
などの絶縁物層で抵抗12を被覆保護しているが、本発
明では、この抵抗層12には塗布していない。更に1.
電子回路用部品として樹脂封止型集積回路素子、G−T
rなどの外にL成分や場合によってはコイル(Coil
)をいわゆる表面実装方式により抵抗12を設置しない
地表面に設置する。G−Trの設置に当たっては、セラ
ミックス製厚膜基板10に代えて、窒化アルミニュウム
製基板に亜酸化銅などを介する方法や、アルミナセラミ
ックス基板10にモリブデン(Molybdenum)
製板体(図示せず)を介して設置する方法が採られてい
る。窒化アルミニュウム製基板を厚膜基板10に接着剤
層を利用して固着する。このように回路部品を取付けた
厚膜基板10には、熱伝導・絶縁性基板例えばセラミッ
クス基板13及び例えば銅または調合金製の放熱用金属
板14を導電性接着剤層155.15により一体に固着
して混成集積回路素子の大部分を形成する。第4図に示
したように3層からなる積層体の表面部分を構成する厚
膜基板1oの端部には、金属容器16をハーメチックシ
ール(Harmetic  5eal)により気密に固
着して車輌用混成集積回路素子を完成する。
第3図では、金属容器16取付前の状態を示した斜視図
である。
厚膜基板10と放熱用金属板14は、いずれも厚さが上
記のように0.8mmから0.635mm程度であり、
長さは3〜5mmとし、金属容器16は、はぼ40Φ位
の大きさが普通である。
[発明の効果コ 本発明では、両面印刷された厚膜基板からの放熱が、片
面印刷された基板と同様な効率で行なえる。また、基板
とヒートシンク用金属基板間に挿入される熱伝導・絶縁
性基板は、絶縁性及び放熱性に優れているので、金属基
板側の厚膜基板は、保護材料で覆う必要がなくなるので
、製造単価が安くなる利点があるばかりではなく更に、
この厚膜基板側に設置する抵抗については、その放熱が
確保できる。更にまた、混成集積回路素子の製造につい
ても厚膜基板、熱伝導・絶縁性基板更に金属基板を接着
剤により一体とするので、特別な位置合せが要らない利
点もあり、製造工数削減ひいては製造単価の低減をもた
らすものである。
【図面の簡単な説明】
第1図汝至第3図は、従来の混成集積回路素子の断面図
、第4図は、本発明に係わる混成集積回路素子の概略を
示す斜視図、第5図は、本発明に係わる混成集積回路素
子の断面図である。 1.10:セラミック基板、厚膜基板、2:部品、 3
.14:放熱用金属板、4.15:接着剤、 6.11
ニスルーホール、7:凹部分、 5.12:抵抗、 13:熱伝導・絶縁性基板、 16:金属容器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 放熱用金属板と、放熱用金属板に対向して配置する厚膜
    基板と、前記厚膜基板の両面に設置する回路パターンと
    、前記厚膜基板の厚さ方向を貫通して設置するスルーホ
    ールと、前記回路パターンを接続し前記スルーホールを
    介して形成する配線層と、前記放熱用金属板及び厚膜基
    板間に一体配置する熱伝導・絶縁性基板と、これらを覆
    って前記放熱用金属板に固着する金属容器を具備するこ
    とを特徴とする混成集積回路素子。
JP2080292A 1990-03-28 1990-03-28 混成集積回路素子 Expired - Fee Related JP2744108B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2080292A JP2744108B2 (ja) 1990-03-28 1990-03-28 混成集積回路素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2080292A JP2744108B2 (ja) 1990-03-28 1990-03-28 混成集積回路素子

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03280486A true JPH03280486A (ja) 1991-12-11
JP2744108B2 JP2744108B2 (ja) 1998-04-28

Family

ID=13714197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2080292A Expired - Fee Related JP2744108B2 (ja) 1990-03-28 1990-03-28 混成集積回路素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2744108B2 (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4726877U (ja) * 1971-04-16 1972-11-27
JPS5827225U (ja) * 1981-08-12 1983-02-22 大盛工業株式会社 粉粒体定量送給装置
JPS60106736A (ja) * 1983-08-12 1985-06-12 ヴオルフガングクラムブロツク ばら荷を調量するための装置
JPS6256528U (ja) * 1985-09-27 1987-04-08

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4726877U (ja) * 1971-04-16 1972-11-27
JPS5827225U (ja) * 1981-08-12 1983-02-22 大盛工業株式会社 粉粒体定量送給装置
JPS60106736A (ja) * 1983-08-12 1985-06-12 ヴオルフガングクラムブロツク ばら荷を調量するための装置
JPS6256528U (ja) * 1985-09-27 1987-04-08

Also Published As

Publication number Publication date
JP2744108B2 (ja) 1998-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5856913A (en) Multilayer semiconductor device having high packing density
US5576934A (en) Mounting unit for a multilayer hybrid circuit having power components including a copper coated ceramic center board
US5473511A (en) Printed circuit board with high heat dissipation
WO2004021435A1 (ja) モジュール部品
JP2988243B2 (ja) パワー混成集積回路装置
JPH11233904A (ja) 放熱構造プリント基板
JP4415503B2 (ja) 半導体装置
JPH10149901A (ja) 電気抵抗器および電気抵抗器の製造方法
JPH0420279B2 (ja)
JP2744108B2 (ja) 混成集積回路素子
JPH07321423A (ja) 回路基板
JP2532400Y2 (ja) ハイブリットic
JP3535317B2 (ja) 半導体装置
JP2771575B2 (ja) 混成集積回路
JP2583507B2 (ja) 半導体実装回路装置
JPH03179796A (ja) ハイブリッド集積回路
JPS61147554A (ja) ハイブリツドicモジユ−ル
JPS62252954A (ja) 半導体装置
JP2680619B2 (ja) 混成集積回路
JPH0636592Y2 (ja) 混成集積回路装置
JP3177934B2 (ja) マルチチップ半導体装置
JPS62189798A (ja) ハイブリツドicの構成方法
JPH039341Y2 (ja)
JPH0794670A (ja) 混成集積回路装置
JPH05226518A (ja) 混成集積回路装置

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080206

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090206

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees