JPH03280603A - 電子部品の自動トリミング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野］ この発明は、例えば誘電体共振器等の電子部品の伝送特性等を所望のものにトリミング（修正）するための自動トリミング装置に関する。 【従来の技術】

例えば、誘電体共振器は、例えば直方体形状の誘電体ブ
ロックの外側面に外導体を被着形成すると共に、誘電体
ブロックに設けられた貫通孔の内壁面に内導体が被着さ
れた構成を有する。特開昭Ｅｉ４−１３１０号公報には
、この種の誘電体共振器の一例が示されている。 すなわち、第２１図に示すように、この誘電体電子部品
の例としての誘電体共振器Ｗは、セラミック等からなる
直方体形状の誘電体ブロック１に、このブロック１の互
いに対向する面、図の例では上面１ａと底面１ｂとの間
を貫通する２個の貫通孔２が設けられている。この貫通
孔２の内壁面には、銀等の金属からなる内導体３がメツ
キや印刷により被着形成されている。また、誘電体ブロ
ック１の４側面及びこの例の場合にはさらに底面１ｂに
は、金属膜からなる外導体４が同様にして被着形成され
ている。この場合、内導体３は、底面１ｂにおいて外導
体４と接続されている。したがって、この例では誘電体
ブロック１の上面１ａが開放端面、底面１ｂが終端面と
なっている。 また、内導体３形成用の貫通孔２間には、電磁界結合用
貫通孔５が形成されている。この結合孔５によって２個
の共振器が結合されて一体化されたものとなる。 さらに、誘電体ブロック１の開放端面である上面１ａに
は、誘電体ブロックの互いに対向する側面の外導体から
電磁界結合孔５に近接する方向にそれぞれ導体膜６が露
出形成されている。この導体膜６は前記２個の共振器の
結合係数を調整するためのものである。すなわち、２個
の共振器間の結合係数は、第２２図に示すように、誘電
体ブロック１の幅寸法Ａと、結合孔の幅方向の寸法Ｂと
の関係により変わり、Ｂ／Ａが大きくなれば結合係数が
大きくなる関係にある。導体膜６が設けられると、結合
孔５付近における誘電体ブロックの幅寸法Ａが等価的に
小さくなり、Ｂ／Ａが増大する。よって、導体膜６の外
導体４からの延出量やその形状を調整することによって
結合係数を容易に調整でき、共振周波数を調整できるも
のである。 こうして、所望の結合係数を得て所望の周波数特性を有
する誘電体共振器が製造される。 ところが、前記導体膜６は印刷等により形成するが、そ
の印刷精度により第２３図の点線で示すように所望の印
刷位置よりずれてしまう場合があり、結合孔５と導体膜
６との間の距離ｄが所定のものとならないことがある。 また、導体膜６は、シルク印刷等により形成するため、
第２４図に示すように、導体膜６のパターンの端縁６ａ
の直線性が悪い欠点がある。このため、導体膜６によっ
ても所望の結合係数が得られず、また、周波数特性も所
望のものよりずれてしまう。すなわち、導体膜６の幅を
第２３図に示すようにｌとすると、導体膜６と結合孔５
間の容量Ｃは、ｉ’／ｄ２に比例する関係にある。した
がって、前記印刷ムラや導体膜パターンの直線性の悪さ
があると、前記容量が所期のものにならず、このため、
誘電体共振器Ｗの周波数特性が所望のものがらずれてし
まうのである。 そこで、一般に、製造した誘電体共振器が所望の周波数
特性となっているかどうかを測定し、所望の特性になっ
ていないときには、誘電体共振器の開放端面の貫通孔２
，２の端縁や、開放端面の端縁、印刷金属導体膜６の一
方の端縁を切削加工して所望の周波数特性を有するよう
にトリミング（修正）するようにしている。なお、誘電
体共振器の場合、切削加工を行なうと共振周波数は高い
方向にのみ変化する。 ところで、従来は、このトリミングを自動的に行なう装
置は無く、次のように測定及びトリミングを行なってい
る。すなわち、作業者は、先ず測定装置によって誘電体
共振器の共振周波数を測定し、共振周波数ｆｃが規格範
囲内になっているか、それより高いか、あるいはそれよ
り低いかをチエツクする。そして、共振周波数か高いと
きは、もはや調整が不可能であるので不良品として排除
される。共振周波数が低いときは、作業者は切削装置を
用いて所定量、電子部品の切削部分を切削加工する。次
に、切削加工後の誘電体共振器を再び測定し、未だ規格
範囲に入らなければ、切削加工を行なう。以上の作業を
繰り返し、共振周波数が規格範囲に入るように調整を行
なう。この際、切削作業は、共振周波数が規格値より高
い周波数にならないように注意を払って行われる。

【発明が解決しようとする課題】

以上のように、従来は作業者がマニュアル操作によって
測定及び切削作業を行なうために、トリミング工程の作
業能率が非常に悪い欠点があった。 また、共振周波数が規格値より高くなってしまうとトリ
ミング不可となって誘電体共振器は不良品となってしま
うため、切削加工の回数を少なくして短時間で特性の修
正を行なおうとすると、不良化率が高くなってしまう。 このため、切削加工の１回当たりの切削量を少なくし、
測定と切削加工を複数回繰り返すことにより規格範囲内
になるようにする必要があり、特性の修正に長時間が掛
かってしまう。 また、作業者が前述のように共振周波数が規格値より大
きくならないように注意しながら切削加工をしなければ
ならないので、作業に熟練を要する必要があった。 この発明は、以上の点にかんがみ、特性測定及び切削加
工からなるトリミング工程が自動的に行なえ、しかも、
特性の修正を正確かつ高速に行なうことができるように
した自動トリミング装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

この発明による自動トリミング装置は、電子部品を固定
するクランプ機構と、 前記電子部品の特性を測定する測定手段と、切削部材を
備えた切削具と、 この切削部材を前記電子部品の切削部分に当接するよう
に前記切削具又は前記電子部品を移動させる当接方向移
動機構と、 前記切削部材を、前記電子部品の切削部分に当接させた
状態で、前記電子部品の切削部分に対して相対的に切削
方向に移動させる切削方向移動機構と、 前記電子部品の切削量に対する特性変化に関する情報を
記憶する記憶手段と、 前記測定手段で得た測定結果を受け、この測定結果から
前記記憶手段に記憶された情報を参照して切削量を求め
る演算手段と、 この演算手段で求められた研削量に応じて前記切削方向
移動機構を駆動する駆動制御手段とを備えることを特徴
とする。 また、この発明は、前記電子部品の切削量に対する特性
変化に関する情報を求める手段を設け、複数の電子部品
についての前記切削量に対する特性変化を求めたとき、
そのうちから単位切削量に対する特性の変化が最も大き
い前記情報を前記記憶手段に記憶するようにしたことを
特徴とする。 さらに、この発明は、予め定められた所定量だけ前記電
子部品の前記切削部分の切削を行ない、特性修正のため
の切削は、前記所定量だけ切削を行なった位置を修正の
原点として行うようにしたことを特徴とする。

【作用】

以上のような構成の発明によれば、測定手段で電子部品
の特性が測定され、その測定結果が演算手段に送られる
。演算手段では、記憶手段に記憶されている電子部品の
切削量に対する特性の変化に関する情報を参照し、前記
測定結果と目的の特性値との差に基づいて切削量を求め
る。 この切削量の情報が制御手段に送られ、この制御手段に
より切削方向移動機構が制御されて、前記切削量に応じ
た距離だけ切削部材が相対的に移動し、誘電体電子部品
の切削加工が行われる。 記憶手段には、複数の電子部品についての前記切削量に
対する特性変化のうち、単位切削量に対する特性の変化
が最も大きいものが記憶される。 これにより、切削量に対する特性の変化にばらつきがあ
っても、この記憶手段の記憶内容を参照して測定結果か
ら求めた切削量で切削を行なったとき、特性が規格値を
越えてしまうのを防止することが可能になる。 また、修正のための切削を行なうに先立って、予め定め
られた所定量だけ電子部品の切削部分が切削される。そ
して、修正のための切削はその切削位置を原点として実
行される。このため、切削部分に位置的にばらつきがあ
っても、また、切削部材が磨耗により消耗し、原点位置
が変化してしまうような場合にも、常に一定の原点位置
から切削ができ、正確な切削ができる。

【実施例】

以下、この発明による電子部品の自動トリミング装置の
一実施例を、第２１図に示した誘電体共振器Ｗの共振周
波数をトリミングする場合を例にとって、図を参照しな
がら説明する。 第１図は、この例のトリミング装置の機械的構成部分の
全体の概要を示すものである。 この場合、この例の誘電体共振器Ｗの大きさは、誘電体
ブロック１の貫通孔２の方向の長さが７〜１２ｍｍ、開
放端面及び終端面は６鰭×８〜２０關の四角形、貫通孔
２の内径は２．２＋ｌ１ｍとされている。 そして、この誘電体共振器Ｗは、第１図に示すように、
金属導体からなる作業台２１０に設けられた同じく金属
からなる載置台２１１上に、その−側面が載置面との接
触面として載置され、貫通孔２が載置面に平行になるよ
うにされている。そして、誘電体共振器Ｗは貫通孔２の
開口が臨む端面が外部に露呈する状態でクランプ機構２
１２によって載置台２１１上に位置決めされて固定され
る。 第２図はこの例のクランプ機構２１２の平面図、第３図
はその側面図を示すものである。 図において、２２０及び２２２は回転軸で、これらはハ
ウジング部材２２１．２２３に回転可能に支持されてい
る。ハウジング部材２２１．２２３は、ベース２３２に
例えばねじ止めされている。 回転軸２２０．２２２は、ベース２３２面に平行に、つ
まり水平方向に延長され、かつ互いに平行に取り付けら
れている。 回転軸２２０，２２２には、それぞれ回転体、この例で
はピニオン２２４，２２６が圧入固定されて取り付けら
れいる。この場合、第３図に示すように、ピニオン２２
４，２２６は例えば１２０°角範囲部分の扇形部分が切
り欠かれたような切欠状部を有する形状とされている。 回転軸２２０，２２２の中心線を結ぶ位置よりもクラン
プすべき誘電体共振器Ｗの高さを考慮した分だけ低い高
さの載置台２１１がハウジング部材２２１゜２２３間に
おいて、ベース２３２に、例えばねじ止めされて取り付
けられている。そして、この載置台２１１の上に、上方
から誘電体共振器Ｗが搬入されて載置されるものである
。 この場合、回転軸２２０．２２２の中心線位置から、載
置台２１１に載置された誘電体共振器Ｗの側端部までの
距離は、ピニオン２２４．２２６の半径よりも短いもの
とされるが、ピニオン２２４．２２６の切欠状部をそれ
ぞれ誘電体共振器Ｗ側に向けることにより、誘電体共振
器Ｗの載置台２１１への上方からの搬入にピニオン２２
４．２２１３が邪魔にならないようにすることができる
。このため、ピニオン２２４及び２２Ｂの回転方向と交
差する切欠状部の端面、この例ではほぼ直交する２端面
２２５ａ、　２２５ｂ及び２端面２２７ａ。 ２２７ｂで挟まれる切欠状部の角度範囲は、誘電体共振
器Ｗの載置台２１１への上方からの搬入にピニオン２２
４．２２６が邪魔にならないような角度に選定されるも
ので、前記角範囲１２０°はその例である。 なお、誘電体共振器Ｗの大きさが高さ方向だけでなく長
さ方向にも変わることを考慮して、この例ではハウジン
グ部材２２１は、ベース２３２に対して取付位置変更用
ガイド２４２，２４４に沿って取付位置を変更可能にさ
れ、位置固定のハウジング部材２２３との間の間隔（回
転軸２２０．２２２間の間隔）を変えることができるよ
うにされている。 そして、ピニオン２２４，２２６に対して、ラック歯２
２９．２３１が噛合される。このラック歯２２９．２３
１は、ベース２３２面に垂直な方向を長手方向とするラ
ック板２２Ｌ２３（ｌに、その長手方向に沿って形成さ
れている。このラック板２２８，２３０は、エアーシリ
ンダ機構２３８　、２４０のピストンロッド２３４　、
２３６にねし止めされている。したがって、エアーシリ
ンダ機構２３８　、２４０によりラック板２２８．２３
０は矢印方向に上下動し、これに伴いラック歯２２９，
２３１が噛合しているピニオン２２４，２２６は矢印方
向に回転軸２２０，２２２を中心に回動させられる。な
お、ベス２３２には、透孔２３３が形成されており、こ
のベース２３２の下方からエアーシリンダ機構２３８，
２４０によってラック板２２８，２３０を上下動させる
ように構成されている。 次に、このクランプ装置の動作について説明する。 先ず、誘電体共振器Ｗが載置台２１１に搬入される前の
段階においては、エアーシリンダ機構２３８゜２４０が
調節されて、ピニオン２２４．２２８の回転角位置は、
切欠状部が誘電体共振器Ｗ側を向き、しがち誘電体共振
器Ｗの上面と対面するピニオン２２４゜２２６の端面２
２５ａ、　２２７ａが、誘電体共振器Ｗ（７）上面から
大きく離れる状態とされる。したがって、ピニオン２２
４，２２８の切欠状部により載置台２１１の上方の空間
がフリーとなり、誘電体共振器Ｗの上方からの搬入に対
して邪魔にならないようにされている。この位置は、ピ
ニオン２２４，２２６の切欠状部の端面２２５ａ、　２
２７ａが誘電体共振器Ｗの両端部に当接する回転角位置
よりも、例えば６０°手前の回転角位置とされる。 載置台２１１に、誘電体共振器Ｗが搬入されて載置され
ると、例えば、載置台２１１に設けられたセンサ（図示
せず）によりこれが検知され、その検知出力に応じてエ
アーシリンダ機構２３８，２４０か駆動され、ラック板
２２８，２３０が上方に押し上げられる。これにより、
ラック歯２２９と噛合するピニオン２２４は時計方向に
、ラック歯２３１と噛合するピニオン２２６は反時計方
向に回動し、これらピニオン２２４，２２６の切欠状部
の端面２２５ａ、　２２７ａが、誘電体共振器Ｗの上面
の両端部に当接する。エアーシリンダ機構２３８　、２
４０は、ピニオン２２４，２２６を、この回転角位置よ
りもさらに余分の回転角位置まで回動させるように働き
、この余分の回転角分の回転力により、誘電体共振器Ｗ
は載置台２１１に押し付けられるようにしてクランプさ
れる。 この場合、エアーシリンダ機構２３８．２４０により直
線運動するラック板２２８，２３０との噛合を通して、
ピニオン２２４，２２６は回転し、その回転力により誘
電体共振器Ｗはクランプされるので、誘電体共振器Ｗは
載置台２】１に対して確実に固定できる。しかも、エア
ーシリンダ機構２３８，２４０のエアー圧力の与え方を
制御してラック板２２８．２３０の運動速度を適当にす
ることにより、ピニオン２２４．２２６の切欠状部の端
面２２５ａ及び２２７ａを誘電体共振器Ｗの上面の端部
に衝撃なくソフトに当接させることができる。したがっ
て、誘電体共振器をクランプ時に破損してしまう心配は
ない。 次に、誘電体共振器Ｗを載置台２１１から搬出するとき
は、エアーシリンダ機構２３８，２４０によりラック板
２２１１１．２３０は下方に押し下げられ、これにより
ピニオン２２４，２２６は、前記と逆方向にそれぞれ回
動され、誘電体共振器Ｗの搬入時と同し位置まで戻され
る。その後、誘電体共振器Ｗの搬出及び次の誘電体共振
器Ｗの搬入がなされ、以下、これが繰り返される。 この場合、誘電体共振器Ｗの高さが変わったときは、ピ
ニオン２２４，２２８の回転角が変わる。すなわちエア
ーシリンダ機構２３８，２４０のエアー圧力を変えるだ
けて、容易に対処できる。 また、第１図に示すように、誘電体共振器Ｗの開放端面
１ａに対面する側には、切削装置１００が配置される。 この切削装置１００は、この例では後述するような切削
具移動機構により、切削具を誘電体共振器Ｗの開放端面
に当接させる方向及びその逆方向、すなわち矢印Ａ及び
Ｂ方向に移動可能とされており、その切削具先端には切
削部材として高速回転する切削砥石２２が取り付けられ
ている。そして、切削装置１００は、切削砥石２２を誘
電体共振器Ｗの例えば上側の導体膜６の端縁に当接させ
た状態で、作業台２１０を矢印Ｃ方向に移動させること
により、この導体膜６の端縁を切削するようにしている
。 この例の切削装置１００は、例えば第４図及び第５図に
示すように構成されている。すなわち、第４図はこの例
の切削装置の平面図、第５図はその側面図で、１０は基
台、２０は切削具、３０は粗調整送り機構としてのエア
ーシリンダ機構、４０は微調整送り機構の例としてのボ
ールスクリューである。 基台１０に固定した脚１１．１２には、固定板１３がね
し止め等により固定されて取り付けられる。この固定板
１３上には、切削具２０の直線移動方向（切削部材の前
進方向である矢印Ａ方向又はその逆の切削部材の後退方
向である矢印Ｂ方向）に延長される２対のレール１４及
び１４が形成されている。 このレール１４及び１４には、取付板５０がリニアガイ
ド５１を介して取り付けられており、この取付板５０が
レール１４及び１４に案内されて矢印Ａ方向又はＢ方向
に摺動可能とされている。 そして、固定板Ｉ８には切削具２０の直線移動方向に平
行な方向に長孔１５が穿かれている。また、固定板１３
の裏面側には、ピストンロッド３１が矢印Ａ及びＢ方向
に直線運動する状態でエアーシリンダ機構３０が取り付
けられている。このエアーシリンダ機構３０のピストン
ロッド３１の先端は、連結部材３２にねじ止め等されて
固定されている。この連結部材３２は、この例では板状
体で、ピストンロッド３１との接続部の他端側は、固定
板１３の長孔１５を通して、固定板１３の表面側の取付
板５０にねじ３３．３３によって連結固定されている。 したがって、エアーシリンダ機構３０を駆動し、ピスト
ンロッド３１を往復運動させると、その往復動に応じて
連結部材３２が長孔Ｉ５内をこれに沿って、矢印へ又は
Ｂ方向に移動する。そして、これに伴って連結部材３２
に固定された取付板５０は、レール１４．１４に案内さ
れながら、矢印Ａ又はＢ方向に摺動移動する。 また、取付板５０上には１対のレール５２．５２が設け
られている。そして、切削具２０が取り付けられている
微調摺動板２１が、リニアガイド（図示せず）を介して
、このレール５２．５２に対して矢印Ａ及びＢ方向に摺
動移動可能となる状態で取り付けられている。この微調
摺動板２１は、ボールスクリュー４０の下方にまで延長
されており、ボールスクリュー４０の中間に螺入されて
取り付けられている摺動部材４１が、この微調摺動板２
１にねし止め等により固定されている。ボールスクリュ
ー４０は、取付板５０に固定されたボールスクリュー駆
動機構４２により回転駆動される。そして、ボールスク
リュー４゜の他端部は軸受部材４３に回動自在に取り付
けられている。 したがって、駆動機構４２によりボールスクリュー４０
を回転させると、その回転量（回転角）に応じた距離だ
け、摺動部材４１か矢印Ａ又はＢ方向に摺動し、その結
果、摺動部材４１が固定されている微調摺動板２１が同
じ距離だけ矢印Ａ又はＢ方向に摺動移動し、切削具２０
は取付板５０に対し微細移動する。 また、この例では、取付板５０の裏面側の矢印Ｂ方向の
端部に、円盤状部材５４が、その中心線位置において例
えばねじ止めされて取り付けられている。 また、固定板１３上には、エアーシリンダ機構６２が、
そのピストンロッド６３がこの固定板１３の面上に沿っ
た方向において、矢印Ａ及びＢ方向と直交する矢印Ｃ又
はＤ方向に直線往復運動する状態で取り付けられている
。そして、このエアーシリンダ機構６２のピストンロッ
ド６３の先端には、例えば方形の板状体からなる介挿部
材６１が取り付けられている。この介挿部材６１は、前
記円盤状部材５４と共に取付板５０の後退移動阻止手段
を構成する。図の例の場合、この介挿部材６１は基台１
０に固定された脚１１の矢印Ｃ，Ｄ方向の側壁に沿って
、この側壁に接触した状態で、エアーシリンダ機構６２
によって、矢印Ｃ及びＤ方向に摺動移動する。この場合
、介挿部材６１はエアーシリンダ機構６２により二点鎖
線６４で示す位置と、実線６５で示す位置とを取り得る
ようにされている。この介挿部材６Ｉの、二点鎖線６４
で示す位置では、取付板５０は介挿部材６１に邪魔され
ずに矢印Ａ又はＢ方向に摺動移動可能であり、一方、実
線６５で示す位置では、取付板５゜を矢印Ｂ方向に移動
させると、この介挿部材６１の側部に、円盤状部材５４
の側部が線接触の状態で当接する。 以上のように構成された切削装置１０［１は次のような
動作をする。 初期位置では、取付板５０は、その端部の円盤状部材５
４が脚１１近傍まで退いている。また、介挿部材６１は
、二点鎖線６４の位置にある。 先ず、エアーシリンダ機構３０によって、取付板５０が
初期位置から矢印Ａ方向に移動され、切削具２０が初期
位置から粗調整送りされる。初期位置から載置台に固定
された切削すべき電子部品までの距離は定まっているが
、この粗調整送りの距離は、初期位置から切削砥石２２
が電子部品に突き当たるまでの距離よりも短く、微調整
分を残した距離となっている。この場合、介挿部材６１
のＣ，Ｄ方向と直交する方向の幅は、この粗調整送り距
離よりも若干短いものとなっている。このため、介挿部
材６１は、取付板５０の円板状部材５４に衝突すること
なく矢印Ｃ方向に移動して、実線６５の位置を取り得る
状態となっている。 この粗調整送りの後には、エアーシリンダ機構６２によ
って介挿部材６１が矢印Ｃ方向に実線６５の位置まで前
進させられる。 次に、エアーシリンダ機構３０によって取付板５０が矢
印Ｂ方向に移動せられ、介挿部材６１と取付板５０に取
り付けられた円盤状部材５４とが線接触の状態で当接さ
れる状態とされる。このとき、介挿部材６１は、脚１１
の側壁と、円盤状部材５４との間に挟まれる状態となり
、脚１１が基台１０に固定されているため、介挿部材６
１は矢印Ｂ方向には全く移動せず、したがって、取付板
５０も矢印Ｂ方向には全く後退しない。 次に、この状態でボールスクリュー駆動機構４２が駆動
され、切削具２０の切削砥石２２の先端位置が切削すべ
き電子部品の端面を、正確な深さで切削する位置まで微
調整送りがなされる。 この微調整送り時、取付板５０は介挿部材６１によって
、矢印Ｂ方向に対する位置が物理的に固定された状態に
なる。したがって、微調整送りにより、切削砥石２２が
電子部品の切削すべき面に当接したとき、固定された電
子部品から反力を受けても、取付板５０はまったく後退
しない。このため、切削深さは微調整送り量に正確に対
応したものになる。 切削加工は、この切削深さを保ち、電子部品を矢印Ｃ又
はＤ方向に、後述のようにして電子部品の周波数特性等
を測定した結果により演算して求めた距離だけ移動させ
る二とによりなされる。 次に、切削加工が終了すると、ボールスクリュー駆動機
構４２が再び駆動され、切削具２０が初期位置まで矢印
Ｂ方向に後退する。 次に、エアーシリンダ機構３０により取付板５０が、若
干、矢印Ａ方向に移動されて、介挿部材６１と円盤状部
材５４との当接が解除される。 次に、エアーシリンダ機構６２が駆動されて、介挿部材
６１が矢印り方向に引かれて、介挿部材６１は、二点鎖
線６４の位置に戻される。 その後、エアーシリンダ機構３０が再び駆動されて、取
付板５０が矢印Ｂ方向に移動され、取付板５０及び切削
具２０は初期位置に戻る。 また、第１図には図示しなかったが、切削砥石２２を誘
電体共振器Ｗに押し当てたとき、誘電体共振器Ｗが矢印
Ａ方向に押されて移動しないようにするワークバックア
ップ機構が設けられている。 すなわち、第６図〜第８図はその一例を説明のための図
で、図において、５０１はバックアップ部材を示し、第
８図に示すように、これは誘電体共振器Ｗの終端面１ｂ
の幅方向の両端に当接する突起５０２，５０３を有する
。この場合、突起５０２，５０３間は空間とされ、この
空間から誘電体共振器Ｗの終端面］ｂの貫通孔２．２の
開口が臨めるようにされている。 バックアップ部材５０１は、載置台２＋１とくさび状部
材５０５との間に設けられる。そして、バックアップ部
材５０１と載置台２１１との間にはバネ５０４が設けら
れ、常時、バックアップ部材５０１か載置台２１１から
遠ざかるように偏倚させられており、バックアップ部材
５０１の載置台２１１との対向面とは反対側の側面はく
さび状部材５０５に当接する状態となっている。 このくさび状部材５０５の作業台２１０の移動方向であ
る矢印Ｃ及びＤ方向の両側は、規制部材５０６゜５０７
によって位置規制されている。そして、くさび状部材５
０５の斜辺部は、作業台２１０の移動方向に沿って設け
られた長孔５０８内をエアーシリンダ機構５０９よって
往復直線運動するローラ５１０と当接している。そして
、くさび状部材５０５は、バネ５１１及び５１２によっ
てローラ５１０と当接する方向に常時引っ張られている
。 したがって、エアーシリンダ機構５０９によりローラ５
１０を第６図の矢印Ｃ方向に引けば、くさび状部材５０
５は載置台２１１の方向に前進し、これに伴い、バック
アップ部材５０１も載置台２１１方向に前進する。そし
て、バックアップ部材５０１の突起５０２．５０３が誘
電体共振器Ｗの終端面１ｂの両端部に当接する。したが
って、誘電体共振器Ｗは、切削砥石２２により矢印Ａ方
向に押圧されても、バックアップ部材５０１によりバッ
クアップされているので、矢印入方向にはまったく移動
しない。よって、誘電体共振器Ｗの開放端面１ａでの切
削砥石２２による切削深さの精度は正確に保たれる。 次に、また、第１図に示すように、測定具３００が誘電
体共振器Ｗの終端面１ｂに対面する側に配置される。 測定具３００は、誘電体共振器Ｗの貫通孔２の内径より
も小径の、例えば径が０．８ｍｌの細長い導体棒、例え
ばタングステンの丸棒からなる測定子３０１と、この測
定子３０１と信号発生器４０１及び受信装置４０２との
間で、一種のコンデンサの働きをする容量結合を主体と
した電磁界結合によって信号の授受を行なう電磁界結合
部３０２とて構成されている。 すなわち、第９図はこの測定具３００を説明するための
図である。同図Ａは特に電磁界結合部３０２のプリント
基板３１０の部分を示し、測定子３０１はプリント基板
３１０の表面の導体３１３に接続された状態でプリント
基板３１０に被着固定されている。 そして、入力端子３１１と接続されている導体３１４が
、この導体３１３の近傍にまでＬ字形に延長され、その
先端において導体３１３とは微小間隔を開けた状態で電
磁界結合の状態とされる。また、同様にして出力端子３
１２と接続されている導体３１５が、この導体３１３の
近傍にまでＬ字形に延長されて、導体３１３とは微小間
隔をもって電磁界結合の状態とされている。そして、導
体３１４と３１５との間には、これら導体を高周波的に
分離するためにアース導体３１Ｂが形成されている。 また、第９図Ｂにも示すように、アース導体板３１７．
３１８が測定子３０１の延長方向に、下方に折り曲げら
れた状態で取り付けられている。このアース導体板３１
７，３１８は、後述するように、作業台２１０上の載置
台２１１に載置された誘電体共振器Ｗの測定の際に、作
業台２１０に接触して、測定系のアースをとるためのも
のである。アース導体３１６及びアース導体板３１７，
３１８が接続される導体からはアース端子３１９　、３
１９　、８１９　、３１９が植立され、これらアース端
子８１９が接地されるように構成されている。 また、電磁界結合部３０２は、第１図に示すように、エ
アーシリンダ機構３０３に取り付けられて、測定具８０
０が誘電体共振器Ｗの端面１ｂに垂直な方向（矢印Ａ及
びＢ方向）に直線移動可能とされている。 そして、この例の場合、作業台２１０は、例えばボール
ねじ２１３が駆動モータ２１４により駆動されることに
より、測定具３００の移動方向に垂直な方向（矢印Ｂ方
向）に、レール２１５．２１５に案内されて移動可能と
され、切削方向移動機構が構成されている。すなわち、
切削砥石２２が誘電体共振器Ｗの開放端面１ａの導体膜
６に当接している状態で、作業台２１０を切削方向に移
動することにより、トリミングが行われることになる。 そして、初期位置が調整されて、測定具３００を矢印Ａ
方向に移動させたとき、測定子３０１が誘電体共振器Ｗ
のいずれか一方の貫通孔２のほぼ中心位置に挿入される
ようにされている。 そして、電磁界結合部３０２の入力端子３１１は、高周
波掃引信号発生器４０１に接続され、出力端子３１２は
受信装置４０２例えばスペクトラムアナライザに接続さ
れる。 そして、以下に説明するように、誘電体共振器Ｗの共振
周波数の測定を行う。 すなわち、エアーシリンダ機構３０３により測定具３０
０を矢印Ａ方向に且つ誘電体共振器Ｗ方向に移動させ、
測定子３０１を、誘電体共振器Ｗの一方の貫通孔２に終
端面１ｂ側から挿入する。このとき、測定子３０１は、
第１０図に示すように、誘電体共振器Ｗの開放端面１ａ
から所定長さｋだけ突き出した状態にする。この突き出
し長さｋは、測定しようとする周波数、この例の場合に
は誘電体共振器Ｗの共振周波数ｆｃに応じたものとされ
る。 この突き出し長さｋは、例えば共振周波数が７００　Ｍ
Ｈｚのときには４０關、９００　ＭＨｚのときには３５
龍、１４００　ＭＨｚでは１５ｍ＋＊に選定すると良い
。そして、この状態では第１０図にも示すように、アー
ス板３１．７　、３１．８が作業台２１０に接触する。 作業台２１０及び載置台２１１は導体で構成されている
から、これにより測定系のアースがとられることになる
。 この状態で、信号発生器４０１から前記共振周波数ｆ。 をほぼその中心とする周波数幅で掃引された周波数信号
を測定具３００の電磁界結合部３０２の入力端子３１１
に供給する。入力された信号は測定子３０１を通じて誘
電体共振器Ｗに印加される。 すると、測定子３０１の開放端面１ａから突出した長さ
に部分に誘電体共振器Ｗの出力信号が誘起され、この出
力信号が受信装置４０２のスペクトラムアナライザで受
信される。 このときの測定系の等価回路は第１１図に示すようにな
り、受信装置４０２には、掃引信号発生器４０１からの
掃引された周波数信号が誘電体共振器Ｗの周波数特性に
応した作用を受けた信号が供給されることになる。すな
わち、第１２図に示すように、その共振周波数ｆ。てピ
ークレベルを示す信号が出力信号として得られる。した
がって、受信装置４０２で、このピークレベルを示す信
号を検出することにより誘電体共振器Ｗの、そのときの
共振周波数を知ることができ、それか所望の値になって
いるか否か確認することができる。ピークレベルの周波
数を検出する方法は、周知のように周波数勾配が零とな
る周波数位置を検出することにより行う。この検出は、
コンピュータを使用してソフトウェアで行うことができ
る。 そして、この測定した共振周波数と目的の周波数との差
が所定以内となっていない場合には、その周波数差に基
づいて、切削する量を求め、切削加工して修正する。切
削量は、後述するように、例えば予め導体膜６の端縁を
切削したときの切削量−周波数変化の関係を求めて記憶
手段に記憶しておき、その記憶内容を参照することによ
り、決定することができる。 切削加工に当たっては、まず、エアーシリンダ機構３０
３により測定具３００を後退させ、その後、切削装置１
００の切削砥石２２を誘電体共振器Ｗの端面１ａの導体
膜６の端縁に所定の切削深さを持って当接させる。そし
て、前記求めた切削量だけ作業台２１０を矢印Ｂ方向に
移動させて、導体膜６の端縁を第１３図で斜線を付して
示すように削り取る。 第１４図は、この発明によるトリミング装置のシステム
全体の一例を示すもので、４００は、第１図のトリミン
グ装置の機械的構成部（以下トリミングマシンと呼ぶ）
である。このトリミングマシン４００の測定具３００の
入力端子３１１は、前述もしたように、高周波掃引信号
発生器４０１に接続され、出力端子３１２はスペクトラ
ムアナライザ４０２に接続されている。 この例で用いるスペクトラムアナライザ４０２は、パー
ソナルコンピュータと同等の機能を有しており、トリミ
ングマシン４００とＩ１０ポートを介して接続され、ト
リミングマシン４００の測定具３００の測定子３０１か
らの信号やセンサ等（図示せず）からの情報を得ると共
に、信号発生器４０１に制御信号を供給する構成となっ
ている。そして、このスペクトラムアナライザ４０２に
は、前述した予め求められた切削量−周波数変化の関係
が記憶手段に記憶されている。 また、スペクトラムアナライザ４０２は、ＧＰＩＢイン
ターフェースを介して、制御装置（コンピュータを有す
る）４０３と接続される。この制御装置４０３は、スペ
クトラムアナライザ４０２のＩ１０ポートだけではトリ
ミングマシン４００の各部のモータ、エアーシリンダ等
をすべて制御することはできないので、Ｉ１０ポートを
拡張する機構を持たせるためのものである。また、制御
装置４０３にキー操作部を設けることにより、トリミン
グマシン４００をマニュアルで操作できるようにするこ
とができる。 制御装置４０３とトリミングマシン４００のモータ２１
４．４２、エアーシリンダ機構３０．６２，３０３．２
３６等とはＩ１０ポートを通じて接続され、これらが制
御されるようにされている。 以下に、この自動トリミング装置の動作を第１８図のフ
ローチャートを参照しながら説明する。 まず、測定系及びトリミングマシン４００が初期設定さ
れる（ステップ６０１）。次に被作業物である誘電体共
振器（以下ワークと称する）Ｗが作業台２１０の載置台
２１１に上方から搬入される（ステップ６０２）。この
搬入が検出されると、クランプ機構２１２のエアーシリ
ンダ機構２３４及び２３６が駆動されて、ピニオン２２
４及び２２ＢによってワークＷが載置台２１１に固定さ
れる（ステップ６０３）。 次に、エアーシリンダ機構５０９が制御されて、バック
アップ部材５０１がワークＷの終端面１ｂに当接されて
、ワークＷがバックアップされる（ステップ６０４）。 次に、切削装置１００の粗調整送りがなされる。 すなわち、エアーシリンダ機構３０及び６２か制御され
、取付板５０に対し介挿部材６５が挿入された状態とな
る（ステップ６０５）。その後、ボールスクリュー駆動
機構４２の例えばパルスモータが駆動されて、切削具２
０の切削砥石２２がワークＷの開放端面１ａに所定の切
削深さで当接する状態まで微調整送りがなされる（ステ
ップ６０６）。 そして、モータ２１４が駆動されることにより、作業台
２１０が矢印Ｃ方向に、予め定められた距離Ｘｏ例えば
０．４ｍｍだけ移動され、ワークＷの導体膜６の端縁の
切削が行われ、原点出しトリミングが行われる（ステッ
プ６０７）。この原点出しトリミングは、次のような理
由から行われる。 すなわち、切削装置１００が送られて切削砥石２２が、
ワークＷに対して所定の切削深さで当接したとき、その
当接位置を修正の切削原点として切削を実行する場合に
は、切削砥石２２がワークＷに当接したとき、第１５図
Ａに示すように必ず導体膜６に接触するように位置決め
する必要がある。しかしながら、導体膜６の印刷精度が
悪い場合には、第１５図Ｂに示すように、切削砥石２２
が導体膜６に少ししか接触しない状態、あるいはまった
く接触しない状態となることがあり、接触してもその接
触量が一定に定まらない状態となる。また、切削砥石２
２が磨耗すると、当初よりもワークＷとの接触面積が小
さくなり、当接位置での接触面積が変化してしまう。 このようになると、測定値から求めたトリミング量だけ
、開放端面１ａに対して相対的に切削方向に切削砥石２
２を移動させて切削した場合に、本来ならば、第１７図
Ａで実線ａに示すように、当接位置から周波数変化すべ
きところ、同図Ａで実線すに示すように所定切削量ａま
では周波数変化せず、あるいは同図Ａで実線Ｃに示すよ
うにほとんど変化せず、切削量に対する所期の周波数変
化量を得ることができない欠点がある。そこで、この例
では、導体膜６の印刷誤差や切削砥石の磨耗を見込んで
、予め所定距離Ｘ。だけ切削を行って、その切削後の位
置をトリミングの原点とすることにより、以上のような
欠点を回避するものである。 すなわち、ばらつきを見込んで前記αより大きい距離Ｘ
。゛を予め切削すると、第１７図Ａに示す位置Ｏが原点
位置になる。この原点位置は、必ず導体膜６に接触した
位置であって、かつ単位切削量に対してその誘電体共振
器が持つ共振周波数変化の傾きとなっている位置となっ
ている。したがって、同図から明らかなように、必ず切
削量に応じた所期の周波数変化が得られる。 この原点出しのトリミングが終了したら、微調整送り機
構を働かせて、切削具２０を微調整送りの初期位置まで
戻しくステップ８０Ｂ　）　、作業台２１０も所期位置
まで戻す（ステップ６０９）。さらに、粗調整送り機構
を前記と逆に働かせて、初期位置まで戻す（ステップ６
１０）。 次に、エアーシリンダ機構３０３を駆動して、測定具８
００を矢印Ｂ方向に移動させ、ワークＷの貫通孔２に測
定子３０１を挿入し、前述のように開放端面１ａより長
さｋだけ突出する状態とする（ステップ６１１　）。 そして、次のステップ６１２でワークＷの共振周波数の
測定を行う。この測定のフローチャートを第１９図に示
す。 すなわち、まず、スペクトラムアナライザ４０２の中心
周波数を設定すると共に、帯域幅を２０ＭＨ２にする（
ステップ７０１）。掃引の中心周波数は、最初は目標周
波数に測定者がキー人力する。例えば９００　Ｍｔ（ｚ
に選定する。 次に、信号発生器４０１からこの周波数幅で例えば１回
だけ掃引された高周波信号を測定具３０１に供給する（
ステップ７０２）。 スペクトラムアナライザ４０２で共振周波数Ｆ１を測定
する（ステップ７０３）。次に、スペクトラムアナライ
ザ４０２の中心周波数を、この周波数Ｆ１にすると共に
、掃引の帯域幅は５　ＭＨｚとしくステップ７０４　）
　、１回だけ掃引された信号を測定具３０１に供給する
（ステップ７０５）。 そして、スペクトラムアナライザ４０２で共振周波数を
測定する。求めた周波数をＦ２とする（ステップ７０６
）。このように、掃引の周波数幅を２段階に変えること
により、共振周波数（Ｆ２）をより精度良く測定するこ
とかできる。すなわち、スペクトラムアナライザ４０２
では、測定具３０１からの出力信号を周波数方向にサン
プリングして、各周波数点でのレベルをデジタルデータ
としてストアする。そして、各周波数点でこれに隣接す
る２以上のサンプルデータを用いて、その周波数点での
レベルの傾きを調べてゆき、その傾きが零となる所をピ
ークレベルの周波数として検出する。 この場合、周波数方向のサンプリング数はメモリの容量
から定まっている。したがって、データサンプルの周波
数ピッチは、掃引の帯域幅に応じたものとなり、帯域幅
が狭ければそれだけ小さい周波数ピッチとなり、精度の
良い測定ができる。しかし、最初は誘電体共振器の共振
周波数は分からないから、比較的広い帯域幅で掃引した
ほうが良い。そこで、この例では、初めは掃引の帯域幅
を大きくして共振周波数の大まかな値を検出した後に、
掃引の帯域幅を狭くしてより細い精度で共振周波数を測
定するようにしているのである。 次に、測定した周波数Ｆ２が規格内、すなわち目標周波
数ＦＯとの差か所定以内、例えば５００ｋＨｚ以内か否
か判別する（ステップ７０７）。判別の結果、規格内で
あれば、メインのフローチャートに戻る。 一方、判別の結果、規格外であれば、目標周波数ＦＯと
の差ΔＦから切削量（トリミング量）Ｘを求める（ステ
ップ７０８）。その後、メインのフローチャートに進む
。 この場合、切削量は、前述したように、所定のワークＷ
について、導体膜６を徐々に切削し、そのときの切削量
−周波数変化の関係、例えば単位切削量当たりの周波数
変化の傾きを求めて、この傾きをスペクトラムアナライ
ザ４０２に設けられるメモリに記憶しておき、測定具３
００で測定した測定結果から、このメモリに記憶した傾
きを参照して求める。この場合に、誘電体共振器は削り
すぎて共振周波数ｆｃが規格値よりも高くなったときに
は、前述したようにもはや修正できず不良品になってし
まうので、以下のことを考慮して、この発明では、前記
メモリに記憶する傾きの情報は、複数の誘電体共振器に
ついての前記傾きの内の最も大きいものとしている。 すなわち、前述もしたように、導体膜６の印刷精度が悪
いときには、結合孔５と導体膜６との間の距離ｄが一定
でない。そして、第１６図Ａに示すように、距離ｄが短
い場合には、切削砥石２２が導体膜６にこの距離方向に
多く接触するから、単位切削量当たりの切削面積は大き
くなり、切削量Ｘ−周波数変化Δｆの関係の傾きは、第
１７図ＢでＫ（大）に示すように大きくなる。一方、第
１６図Ｂに示すように、距離ｄが大きいと、切削砥石２
２が導体膜６に少ししか接触しなくなるので、単位切削
量当たりの切削面積は少なくなり、前記傾きは第１７図
ＢでＫ（小）に示すように小さくなる。 このように前記傾きは誘電体共振器によってばらつきが
ある。このため、切削面積が少ないワークＷについて求
めた傾きから演算により求めたトリミング量で、切削面
積が多いワークＷを切削トリミングすると削り過ぎとな
り、不良品が多く出てしまう。そこで、この発明では、
傾きとして、複数の誘電体共振器のうちの最も大きいも
のを選定して、これをメモリに記憶するようにするもの
である。 すなわち、第２０図はこの傾きを求めるためのフローチ
ャートで、先ず前述と同様にして、原点出しの切削を行
う（ステップ８０１）。この傾きを求めるときにも、前
述と同様に原点位置を正しくしないと、求めた傾きに誤
差が生じるためである。 次に、前述の測定のフローチャートと同様にしてトリミ
ング原点での共振周波数ｆ。の測定を行う（ステップ８
０２）。次に、一定の微小距離りだけ切削する（ステッ
プ８０Ｂ）。原点からその切削量だけ離れた位置をｘ、
（ｎ−１，２，・・・Ｎ）とする。そして、その切削量
の位置ｘｆｉでの共振周波数ｆ１を測定する（ステップ
８０４）。そして、ステップ８０８とステップ８０４と
をＮ回、例えば１２回繰り返し、１２回繰り返したこと
を判別したら（ステップ８０５）、ステップ８０６に進
む。 ステップ８０６では、ｘｅ及びｆ、から最小２乗法によ
って、傾きＫｍ　（ｍｍ　ｌ　、　　２．・・・Ｍ）を
求め、これを記憶しておく。 以上のステップ８０１〜８０６をＭ個、例えば１０個の
ワークＷについて行い、１０個のワークについて終了し
たと判別したら（ステ・ツブ８０７　）　、ステップ８
０８に進み、１０個のワークＷについての傾きＫｍの内
の最大の傾きを求め、これを後口・ソトの傾きＫとする
。そして、この最大の傾きＫをスペクトラムアナライザ
４０２のメモリに記憶し、この記憶した傾きＫを基にし
て、切削量Ｘの演算を行なうものである。 以上のようにして、測定のフローチャートにより共振周
波数及び切削量Ｘが求められる。 この測定のステップ６１２のステップ７０７てワークＷ
の共振周波数が規格内であると判別されたときは、ステ
ップ１３１３に進み、エアーシリンダ機構３０３を駆動
させて、測定具３００を矢印Ａ方向に後退させる。そし
て、クランプ機構２１２を駆動して、ワークのクランプ
を解除しくステ・ツブ６１４　）　、ワークＷを搬出す
る（ステップ６１５）。 一方、測定のステップ６１２で共振周波数が規格外で、
規格値より低いと判別されたときは、前記ステップ７０
８を経由してステップ［ｉｌＢに進む。なお、共振周波
数が規格値より高いときは、図示しなかったが、不良品
としてワークＷはトリミングを行なわずに搬出する。そ
の際、例えば不良品としてマークをインク等で付加する
ことができる。 ステップ６１６では、測定具３００を後退させた後、エ
アーシリンダ機構５０９が制御されて、バ１．クアップ
部材５０１がワークＷの終端面１ｂに当接し、ワークＷ
がバックアップされる（ステップ６１７）。 次に、切削装置１００の粗調整送り、すなわち、エアー
シリンダ機構８０及び６２が制御され、取付板５０に対
し介挿部材６５が挿入された状態となる（ステップ６１
８）。その後、作業台２１０が矢印Ｃ方向にＸ。だけ移
動されて原点位置まで送られる（ステップ６１９）。次
に、切削具２０の切削砥石２２がワークＷの開放端面１
ａに所定の切削深さて当接状態まで微調整送りがなされ
る（ステップ６２０）。 次に、作業台２１０を測定のステップ６１２で求めた切
削量Ｘだけ移動させ、トリミングを行う（ステップ６２
１）。 トリミングが終了したら、微調整送り機構を働かせて、
切削具２０を微調整送りの初期位置まで戻しくステップ
！２　）　、作業台２１０も初期位置まで戻す（ステッ
プ６２３）。さらに、粗調整送り機構も初期位置まで戻
す（ステップ６２４）。 次に、エアーシリンダ機構３０３により、測定具３００
を矢印Ｂ方向に移動させ、ワークＷの貫通孔２に測定子
３０１を挿入し、開放端面１ａより長さｋだけ突出する
状態とする（ステップ６２５）。 そして、次のステップ６２６でステップ１ｉ１２と同様
にしてワークＷの共振周波数の測定及び切削量Ｘの演算
を行う。 この測定のステップ６２６でワークＷの共振周波数が規
格内であると判別されたときは、ステップ６１３に戻り
、測定具３００を後退させ、ワークのクランプを解除し
くステップ６１４　）　、ワークＷを搬出する（ステッ
プ６１５）。 一方、測定のステップ６２６で共振周波数か規格外であ
ると判別されたときは、ステップ６２７に進み、測定具
３００を後退させた後、ステップ６１７に戻り、このス
テップ６１７以降のステップを繰り返す。以上の手順に
より、ワークすなわち誘電体共振器Ｗの共振周波数を規
格内に追い込むことが自動的にてきる。 以上の例においては、ワークとしての誘電体共振器の内
導体形成用の貫通孔の径より小さい径の導体棒で構成し
た測定子を用い、この測定子を前記貫通孔に挿入して測
定を行うようにしたので、ワークに対して非接触の状態
でこのワークの共振周波数の測定を行うことができる。 したがって、測定子をワークに接触させて測定を行う従
来例のように、ワークを傷付けてしまうことはなく、周
波数特性を正確に測定することができる。 また、上述の例によれば、測定具を誘電体電子部品の終
端面側に配置し、切削具を誘電体電子部品の開放端面側
に配置することができる。したがって、測定具と切削具
とは、配置スペースが重なることはなく、したがって、
その移動機構としては直線運動機構を用いることができ
、自動トリミング装置としての構成が簡単になる。 なお、以上の例ではスペクトラムアナライザとしてコン
ピュータ機能を有するものを用いたが、制御用の別のコ
ンピュータを設け、この別のコンピュータでスペクトラ
ムアナライザからのデータを受け、測定及び切削量の演
算を行うと共に、システム全体を制御するようにしても
勿論よい。 また、切削方向移動機構は、作業台２１０を移動させる
のではなく、切削具２０を切削方向に移動させるように
しても良い。また、切削具２０及び測定具３００を固定
し、作業台２１０をＡ及びＢ１さらにＣ及びＤ方向に移
動させるようにしても良い。 また、トリミングの対象となる電子部品は、以上の例の
ような誘電体共振器のような誘電体電子に限られるもの
ではなく、この発明は種々の電子部品のトリミングに適
用できることは言うまでもない。

【発明の効果】

以上説明したように、この発明によれば、測定からトリ
ミングまでを全自動で行なうことかでき、トリミングの
作業効率を大幅に高めることができる。 また、この発明においては、本番のトリミングに先立ち
、一定量だけ切削しておき、その位置を原点位置として
本番のトリミングを行なうようにするので、電子部品の
切削部分に位置的なばらつきがあったり、切削具の切削
砥石が磨耗したときにも、その影響がなく正確なトリミ
ングができる。 さらに、測定値から切削量を求めるために、複数の電子
部品について予め切削量と特性変化の関係にづいて求め
ておき、その内の、変化の最大のものを記憶手段に記憶
して、その記憶手段の記憶内容を参照するようにしたの
で、削り過ぎを防ぐことができる。したがって、不良化
率を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるトリミング装置の機構的構成の
一実施例を示す図、第２図及び第３図はクランプ機構の
一実施例を示す図、第４図及び第５図は切削装置の一実
施例を示す図、第６図〜第８図はワークのバックアップ
機構の一実施例を示す図、第９図は測定具の一例を説明
するための図、第１０図は測定状態を説明するための図
、第１１図は測定時の等価回路図、第１２図は誘電体電
子部品の周波数特性の一例を示す図、第１３図は切削状
態を説明するための図、第１４図はこの発明のトリミン
グ装置のシステム全体の一例の構成を示す図、第１５図
及び第１６図は導体膜と切削具との位置関係を説明する
ための図、第１７図は切削量を求めるための切削量−周
波数変化の関係を示す特性図、第１８図はトリミングの
フローチャト、第１９図は測定のフローチャート、第２
０図は切削量を求めるための切削量−周波数変化の傾き
を求めるためのフローチャート、第２１図は誘電体電子
部品の一例を示す図、第２２図〜第２４図はその説明の
ための図である。 Ｗ；ワーク ２０；切削具 ２２；切削砥石 ３０；粗調整送り用エアーシリンダ機構４２；微調整送
り用ボールスクリュー駆動機構１００；切削装置 ２１０；作業台 ２１１　　、載置台 ２１２；クランプ機構 ２１３；ボールスクリュー ２１４；モータ ３００；測定具 ３０１；測定子 ３０３；エアーシリンダ機構 ４０１；信号発生器 ４０２；受信装置（スペクトラムアナライザ）５０１；
ワークバックアップ部材

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子部品を固定するクランプ機構と、前記電子部
   品の特性を測定する測定手段と、切削部材を備えた切削
   具と、 この切削部材を前記電子部品の切削部分に当接するよう
   に前記切削具又は前記電子部品を移動させる当接方向移
   動機構と、 前記切削部材を、前記電子部品の切削部分に対して相対
   的に切削方向に移動させる切削方向移動機構と、 前記電子部品の切削量に対する特性変化に関する情報を
   記憶する記憶手段と、 前記測定手段で得た測定結果を受け、この測定結果から
   前記記憶手段に記憶された情報を参照して切削量を求め
   る演算手段と、 この演算手段で求めた研削量に応じて前記切削方向移動
   機構を駆動する駆動制御手段とを備えてなる電子部品の
   自動トリミング装置。
2. （２）前記電子部品の切削量に対する特性変化に関する
   情報を求める手段を設け、複数の電子部品についての前
   記切削量に対する特性変化を求め、そのうちから単位切
   削量に対する特性の変化が最も大きい前記情報を前記記
   憶手段に記憶するようにしたことを特徴とする請求項（
   １）記載の電子部品の自動トリミング装置。
3. （３）予め定められた所定量だけ前記電子部品の前記切
   削部分の切削を行ない、特性調整のための切削は、前記
   所定量だけ切削を行なった位置を調整の原点として行う
   ようにしたことを特徴とする請求項（１）又は（２）記
   載の電子部品の自動トリミング装置。