JPH0328482A - クリーンルーム用扉 - Google Patents
クリーンルーム用扉Info
- Publication number
- JPH0328482A JPH0328482A JP1162065A JP16206589A JPH0328482A JP H0328482 A JPH0328482 A JP H0328482A JP 1162065 A JP1162065 A JP 1162065A JP 16206589 A JP16206589 A JP 16206589A JP H0328482 A JPH0328482 A JP H0328482A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- space
- clean room
- door body
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
- Special Wing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要］
クリーンルームを仕切る壁の開口部を開閉する扉、特に
横引き戸に関し、 扉開閉により発生する塵埃がクリーンルーム内に侵入す
ることのないクリーンルーム用扉を提供することを目的
とし、 扉本体１１の表面を覆うカバー１２を該扉本体１ｌの左
右周縁部に固着し、該扉本体ｌ１と該カバーｌ２との間
には該扉本体１１の下周縁部でクリーンルームに開き且
つ上周縁部で天井レール部２内の空間２Ａに開く空間１
４を設け、該空・間１Ａは該空間２Ａを介して吸引手段
２３に連通し、該吸引手段２３がクリーンルームの空気
を該空間ｌ＾及び該空間２Ａを介してに吸引するように
構戒する。
横引き戸に関し、 扉開閉により発生する塵埃がクリーンルーム内に侵入す
ることのないクリーンルーム用扉を提供することを目的
とし、 扉本体１１の表面を覆うカバー１２を該扉本体１ｌの左
右周縁部に固着し、該扉本体ｌ１と該カバーｌ２との間
には該扉本体１１の下周縁部でクリーンルームに開き且
つ上周縁部で天井レール部２内の空間２Ａに開く空間１
４を設け、該空・間１Ａは該空間２Ａを介して吸引手段
２３に連通し、該吸引手段２３がクリーンルームの空気
を該空間ｌ＾及び該空間２Ａを介してに吸引するように
構戒する。
（産業上の利用分野）
本発明は、クリーンルームを仕切る壁の開口部を開閉す
る扉、特に横引き戸に関する。
る扉、特に横引き戸に関する。
近時、電子或いは精密機械工業等では部品、デバイス等
の微細化、高精密化に伴い、それらの製造のための作業
空間の清浄化が強く求められている。特に半導体デバイ
スにおいてはパターンの微細化が急速に進み、製造工程
での塵埃の存在が製品の歩留りに与える影響がますます
大きくなって来た。そのため作業空間は高度に清浄化し
た空気を供給するクリーンルームとするが、更に塵埃の
クリーンルーム内での発生や堆積及びクリーンルームへ
の侵入を極力抑制することが望まれている。
の微細化、高精密化に伴い、それらの製造のための作業
空間の清浄化が強く求められている。特に半導体デバイ
スにおいてはパターンの微細化が急速に進み、製造工程
での塵埃の存在が製品の歩留りに与える影響がますます
大きくなって来た。そのため作業空間は高度に清浄化し
た空気を供給するクリーンルームとするが、更に塵埃の
クリーンルーム内での発生や堆積及びクリーンルームへ
の侵入を極力抑制することが望まれている。
［従来の技術〕
従来のクリーンルーム用横引き戸の一例を第２図及び第
３図により説明する。第２図は横引き戸の基本構威を示
す正面図、第３図は従来の横引き戸の一例を示す模式断
面図である。
３図により説明する。第２図は横引き戸の基本構威を示
す正面図、第３図は従来の横引き戸の一例を示す模式断
面図である。
先ず第２図により横引き戸の基本構或を説明する。扉ｌ
はクリーンルームを仕切る壁６に設けられた開口部を開
閉するためのものであり、開閉に際しては扉ｌの上部に
取り付けられた滑車１５が天井レール２ｌ上を走行する
。天井レール２１を含む天井レール部２は天井４に固着
されていると同時に２木のポスト５により床３から支持
されている。
はクリーンルームを仕切る壁６に設けられた開口部を開
閉するためのものであり、開閉に際しては扉ｌの上部に
取り付けられた滑車１５が天井レール２ｌ上を走行する
。天井レール２１を含む天井レール部２は天井４に固着
されていると同時に２木のポスト５により床３から支持
されている。
床レール３２は扉ｌの直動をガイドする。
次に第３図により従来の横引き戸の構造を説明する。扉
１は扉本体（ドアパネル）１１ ｍ本体１１の上部に取
り付けられた２個の軸受１３、これらに支持されて回転
する２木の軸１４、２本の軸ｌ４それぞれの両端に取り
付けられた滑車ｌ５等から成る。
１は扉本体（ドアパネル）１１ ｍ本体１１の上部に取
り付けられた２個の軸受１３、これらに支持されて回転
する２木の軸１４、２本の軸ｌ４それぞれの両端に取り
付けられた滑車ｌ５等から成る。
天井レール部２は内部に２列の天井レール２ｌを持つ。
床３上には沓摺り３１が、沓摺り３１の上には床レール
３２が配設されている。尚、図のＡ室とＢ室はいずれも
クリーンルームであるが、通常、それらの室圧を変えて
あり、仮にＡ室の室圧がＢ室のそれより高く設定されて
いる場合（Ｂ室の塵埃がＡ室に侵入することを防ぐため
）、この室圧差を維持するためにＡ室側には扉本体１１
と沓摺り３１及び天井レール部２との間の空隙ＩＢ及び
空隙ＩＣの部分に図示はないが、シール部材が配設され
ている場合が多い． 〔発明が解決しようとする課題〕 このような従来の横引き戸では、扉の開閉により天井レ
ールと滑車、軸と軸受、床レールと扉本体、シール部材
等が磨耗して発生する塵埃がクリーンルーム内に侵入す
ると言う問題があった。
３２が配設されている。尚、図のＡ室とＢ室はいずれも
クリーンルームであるが、通常、それらの室圧を変えて
あり、仮にＡ室の室圧がＢ室のそれより高く設定されて
いる場合（Ｂ室の塵埃がＡ室に侵入することを防ぐため
）、この室圧差を維持するためにＡ室側には扉本体１１
と沓摺り３１及び天井レール部２との間の空隙ＩＢ及び
空隙ＩＣの部分に図示はないが、シール部材が配設され
ている場合が多い． 〔発明が解決しようとする課題〕 このような従来の横引き戸では、扉の開閉により天井レ
ールと滑車、軸と軸受、床レールと扉本体、シール部材
等が磨耗して発生する塵埃がクリーンルーム内に侵入す
ると言う問題があった。
本発明は、このような問題を解決して、扉開閉により発
生する塵埃がクリーンルーム内に侵入することのないク
リーンルーム用扉を提供することを目的とする。
生する塵埃がクリーンルーム内に侵入することのないク
リーンルーム用扉を提供することを目的とする。
この目的は、本発明によれば、扉本体１１の表面を覆う
カバー１２を該扉本体１１の左右周縁部に固着し、該扉
零体１１と該カバーｌ２との間には該扉本体１１の下周
縁部でクリーンルームに開き且つ上周縁部で天井レール
部２内の空間２Ａに開く空間１Ａを設け、該空間１Ｍは
該空間２Ａを介して吸引千段２３に連通し、該吸引手段
２３がクリーンルームの空気を該空間ｌ＾及び該空間２
Ａを介してに吸引するクリーンルーム用扉とすることに
より、達成される。
カバー１２を該扉本体１１の左右周縁部に固着し、該扉
零体１１と該カバーｌ２との間には該扉本体１１の下周
縁部でクリーンルームに開き且つ上周縁部で天井レール
部２内の空間２Ａに開く空間１Ａを設け、該空間１Ｍは
該空間２Ａを介して吸引千段２３に連通し、該吸引手段
２３がクリーンルームの空気を該空間ｌ＾及び該空間２
Ａを介してに吸引するクリーンルーム用扉とすることに
より、達成される。
クリーンルームの空気が常時床レール近傍から扉の空間
１Ａに流入し、更に天井レール部の空間２八を経由して
外部に排出されるため、床レール付近及び天井レール部
の中で発生した塵埃は、クリーンルームには侵入しない
。又そのためにＡ室とＢ室に室圧差を設ける必要はなく
なり、従って発塵源の一つである空隙１Ｂ及びＩＣ部分
のシール部材は不必要となる。
１Ａに流入し、更に天井レール部の空間２八を経由して
外部に排出されるため、床レール付近及び天井レール部
の中で発生した塵埃は、クリーンルームには侵入しない
。又そのためにＡ室とＢ室に室圧差を設ける必要はなく
なり、従って発塵源の一つである空隙１Ｂ及びＩＣ部分
のシール部材は不必要となる。
本発明に基づくクリーンルーム用横引き戸の実施例を第
１図及び第２図により説明する。第１図は本発明の実施
例の横引き戸を示す模式断面図であり、第２図は横引き
戸の基本構成を示す正面図である。
１図及び第２図により説明する。第１図は本発明の実施
例の横引き戸を示す模式断面図であり、第２図は横引き
戸の基本構成を示す正面図である。
先ず第２図により横引き戸の基本構戒を説明する。扉ｌ
はクリーンルームを仕切る壁６に設けられた開口部を開
閉するためのものであり、開閉に際しては扉ｌの上部に
取り付けられた滑車ｌ５が天井レール２ｌ上を走行する
。天井レール２１を含む天井レール部２は天井４に固着
されていると同時に２本のポスト５により床３から支持
されている。
はクリーンルームを仕切る壁６に設けられた開口部を開
閉するためのものであり、開閉に際しては扉ｌの上部に
取り付けられた滑車ｌ５が天井レール２ｌ上を走行する
。天井レール２１を含む天井レール部２は天井４に固着
されていると同時に２本のポスト５により床３から支持
されている。
床レール３２は扉１の直動をガイドする。
次に第１図により本発明に基づく横引き戸の一実施例を
説明する。ｉｔは扉本体（ドアパネル）１１，扉本体１
ｌの上部に取り付けられた２個の軸受ｌ３、これらに支
持されて回転する２本の軸１４、２本の軸１４それぞれ
の両端に取り付けられた滑車ｌ５、扉本体１ｌの両面に
取り付けられたカバー■２等から戒る。カバー１２は扉
木体１１にはその左右の縁部で固着され、その両縁部以
外は扉本体ｌｌに直接接触しておらず、従って左右が閉
じて上下が開口した空間１Ａを形威している。カハーｌ
２と扉木体１１の間には若干の補強部材（図示はない）
が主として上下方向に配設されている。天井レール部２
は内部に２列の天井レール２１を持つ。天井レール部２
は上部に開口部を持ち、この開口部にダクト２２が接続
され、ダクト２２は天井４に設置された吸引手段２３（
ファン等）に接続されている。床３上には沓摺り３１が
、又その沓摺り３１上には床レール３２が配設されてい
る。クリーンルームＡ室とＢ室の室圧は同しでよい。
説明する。ｉｔは扉本体（ドアパネル）１１，扉本体１
ｌの上部に取り付けられた２個の軸受ｌ３、これらに支
持されて回転する２本の軸１４、２本の軸１４それぞれ
の両端に取り付けられた滑車ｌ５、扉本体１ｌの両面に
取り付けられたカバー■２等から戒る。カバー１２は扉
木体１１にはその左右の縁部で固着され、その両縁部以
外は扉本体ｌｌに直接接触しておらず、従って左右が閉
じて上下が開口した空間１Ａを形威している。カハーｌ
２と扉木体１１の間には若干の補強部材（図示はない）
が主として上下方向に配設されている。天井レール部２
は内部に２列の天井レール２１を持つ。天井レール部２
は上部に開口部を持ち、この開口部にダクト２２が接続
され、ダクト２２は天井４に設置された吸引手段２３（
ファン等）に接続されている。床３上には沓摺り３１が
、又その沓摺り３１上には床レール３２が配設されてい
る。クリーンルームＡ室とＢ室の室圧は同しでよい。
吸引手段２３が作動すると、クリーンルームＡ室、Ｂ室
の空気が扉本体１１及びカバーｌ２と沓摺り３１との間
の空隙ＩＢから空間１Ａ，空間２Ａ，ダクト２２を経由
して、又カバーｌ２と天井レール部２との間の空隙ＩＣ
からは空間２Ａ、ダクト２２を経由して、それぞれ吸引
される。その排気は天井４に設けた高性能ノエアフィル
タ４ｌを通してクリーンルーム（Ａ室、Ｂ室、又はＡ，
Ｂ両室）に戻される。扉１開閉により床レール３２近傍
や天井レール部２内部で発生した塵埃は空気と共に吸引
されて吸引手段２３に達し、エアフィルタ４ｌに捕捉さ
れるか、或いはたとえ吸引されなくても空隙ＩＢ又は空
隙１ｃからクリーンルームＡ室、Ｂ室に侵入することは
ない。
の空気が扉本体１１及びカバーｌ２と沓摺り３１との間
の空隙ＩＢから空間１Ａ，空間２Ａ，ダクト２２を経由
して、又カバーｌ２と天井レール部２との間の空隙ＩＣ
からは空間２Ａ、ダクト２２を経由して、それぞれ吸引
される。その排気は天井４に設けた高性能ノエアフィル
タ４ｌを通してクリーンルーム（Ａ室、Ｂ室、又はＡ，
Ｂ両室）に戻される。扉１開閉により床レール３２近傍
や天井レール部２内部で発生した塵埃は空気と共に吸引
されて吸引手段２３に達し、エアフィルタ４ｌに捕捉さ
れるか、或いはたとえ吸引されなくても空隙ＩＢ又は空
隙１ｃからクリーンルームＡ室、Ｂ室に侵入することは
ない。
以上の実施例では吸引した空気はエアフィルタ４ｌを通
してクリーンルームに戻しているが、クリーンルームに
戻さずに屋外に排出してもよく、又は専用の吸引千段２
３を設けずにダクト２２を空調のリターンダクトや他の
目的で設置した排気ダクト等に接続してもよい。
してクリーンルームに戻しているが、クリーンルームに
戻さずに屋外に排出してもよく、又は専用の吸引千段２
３を設けずにダクト２２を空調のリターンダクトや他の
目的で設置した排気ダクト等に接続してもよい。
本発明は二つのクリーンルームを仕切る壁を人間が通過
するための扉だけでなく、小形の物品を通過させるため
のバスボソクスの扉にも適用出来る。
するための扉だけでなく、小形の物品を通過させるため
のバスボソクスの扉にも適用出来る。
又、本発明は手動扉、自動扉のいずれに対しても有効で
ある。
ある。
〔発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、扉本体１１の表
面を覆うカバー１２を該扉本体１ｌの左右周縁部に固着
し、該扉本体１ｌと該カバー１２との間には該扉本体１
１の下周縁部でクリーンルームに開き且つ上周縁部で天
井レール部２内の空間２Ａに開く空間１＾を設け、該空
間１Ａは該空間２Ａを介して吸引手段２３に連通し、該
吸引千段２３がクリーンルームの空気を該空間ｌＡ及び
該空間加を介しでに吸引するクリーンルーム用扉とする
ことにより、扉から発生した塵埃がクリーンルーム内に
侵入することが防止出来、半導体装置等の製造工程にお
ける歩留り向上に寄与するところが大きい。
面を覆うカバー１２を該扉本体１ｌの左右周縁部に固着
し、該扉本体１ｌと該カバー１２との間には該扉本体１
１の下周縁部でクリーンルームに開き且つ上周縁部で天
井レール部２内の空間２Ａに開く空間１＾を設け、該空
間１Ａは該空間２Ａを介して吸引手段２３に連通し、該
吸引千段２３がクリーンルームの空気を該空間ｌＡ及び
該空間加を介しでに吸引するクリーンルーム用扉とする
ことにより、扉から発生した塵埃がクリーンルーム内に
侵入することが防止出来、半導体装置等の製造工程にお
ける歩留り向上に寄与するところが大きい。
第１図は本発明の実施例の横引き戸を示す模式断面図、
第２図は横引き戸の基本構戊を示す正面図、第３図は従
来の横引き戸を示す模式断面図である。 図中、ｌは １Ａ， １Ｂ， ２は ３は ４は ｌｌは ｌ２は １３は ｌ４は １５は 扉、 ２Ａは空間、 ｉｃは空隙、 天井レール部、 床、 天井、 扉本体、 カバー 軸受、 軸、 滑車、 ２ｌ は 天井レール、 ２２ は ダク ト、 ２３ は 吸引手段である。 ３１ は 沓摺り、 ３２ は 床レール、 傾ギ將戸の基本横八を示す正面積 署 ２ 図 １５６とβ月／ｌ実つき今１１のオ藉引亡戸乞示イ榎武
ｌｆｒｔ酌１０Ｉ ｆ 図 咲乎の横４１さＰ′乞＃、ず榎式断酌口冨 ３ 図
来の横引き戸を示す模式断面図である。 図中、ｌは １Ａ， １Ｂ， ２は ３は ４は ｌｌは ｌ２は １３は ｌ４は １５は 扉、 ２Ａは空間、 ｉｃは空隙、 天井レール部、 床、 天井、 扉本体、 カバー 軸受、 軸、 滑車、 ２ｌ は 天井レール、 ２２ は ダク ト、 ２３ は 吸引手段である。 ３１ は 沓摺り、 ３２ は 床レール、 傾ギ將戸の基本横八を示す正面積 署 ２ 図 １５６とβ月／ｌ実つき今１１のオ藉引亡戸乞示イ榎武
ｌｆｒｔ酌１０Ｉ ｆ 図 咲乎の横４１さＰ′乞＃、ず榎式断酌口冨 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 扉本体（１１）の表面を覆うカバー（１２）を該扉本体
（１１）の左右周縁部に固着し、該扉本体（１１）と該
カバー（１２）との間には該扉本体（１１）の下周縁部
でクリーンルームに開き且つ上周縁部で天井レール部（
２）内の空間（２Ａ）に開く空間（１Ａ）を設け、 該空間（１Ａ）は該空間（２Ａ）を介して吸引手段（２
３）に連通し、 該吸引手段（２３）がクリーンルームの空気を該空間（
１Ａ）及び該空間（２Ａ）を介してに吸引することを特
徴とするクリーンルーム用扉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162065A JPH0328482A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | クリーンルーム用扉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1162065A JPH0328482A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | クリーンルーム用扉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328482A true JPH0328482A (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=15747425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1162065A Pending JPH0328482A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | クリーンルーム用扉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0328482A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014169815A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
| JP2017089213A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 鹿島建設株式会社 | 間仕切りパネル取着構造 |
| US20180161831A1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-06-14 | Mirle Automation Corporation | Automatic door and dust removal device thereof |
-
1989
- 1989-06-23 JP JP1162065A patent/JPH0328482A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014169815A (ja) * | 2013-03-04 | 2014-09-18 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | ドライブース |
| JP2017089213A (ja) * | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 鹿島建設株式会社 | 間仕切りパネル取着構造 |
| US20180161831A1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-06-14 | Mirle Automation Corporation | Automatic door and dust removal device thereof |
| JP2018096672A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 盟立自動化股▲フン▼有限公司 | 自動扉除塵装置及び自動扉 |
| CN108222736A (zh) * | 2016-12-14 | 2018-06-29 | 盟立自动化股份有限公司 | 自动门机除尘装置及使用该装置的自动门机 |
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