JPS6254683A - 清浄作業台 - Google Patents
清浄作業台Info
- Publication number
- JPS6254683A JPS6254683A JP18966585A JP18966585A JPS6254683A JP S6254683 A JPS6254683 A JP S6254683A JP 18966585 A JP18966585 A JP 18966585A JP 18966585 A JP18966585 A JP 18966585A JP S6254683 A JPS6254683 A JP S6254683A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- workbench
- space
- frame
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は多人数による同時作業に適した清浄作業台に関
する。
する。
清浄作業台は、清浄な作業環境を必要とする半導体工業
、精密機械工業などの分野において、クリーンルーム内
の作業空間の清浄度を局所的に高める目的で使用される
が、従来の清浄作業台は正面のみに上下動可能な扉が設
けられてぃたため、１台の清浄作業台で１人の作業者し
か作業ができず、また作業台上に設置された半導体製造
装置等の機器の点検、補修も正面からしか行なえず、ク
リーンルーム内の省スペース化や機器のメンテナンスの
容易さについては配慮が欠けていた。
、精密機械工業などの分野において、クリーンルーム内
の作業空間の清浄度を局所的に高める目的で使用される
が、従来の清浄作業台は正面のみに上下動可能な扉が設
けられてぃたため、１台の清浄作業台で１人の作業者し
か作業ができず、また作業台上に設置された半導体製造
装置等の機器の点検、補修も正面からしか行なえず、ク
リーンルーム内の省スペース化や機器のメンテナンスの
容易さについては配慮が欠けていた。
本発明の目的は、１台でより多くの作業者が同時に作業
することができ、クリーンルームの省スペース化がはか
れるとともに、作業台上に設置された機器のメンテナン
スが容易にできる清浄作業台を提供することにある。
することができ、クリーンルームの省スペース化がはか
れるとともに、作業台上に設置された機器のメンテナン
スが容易にできる清浄作業台を提供することにある。
本発明は、作業台と、空気浄化要素を内蔵し下面に清浄
空気吹田口を持つ天井ケースと、作業台、天井ケース間
を連結する枠を有し、作業台の上に清浄空間を形成する
清浄作業台において、清浄空間の周囲四面にそれぞれ前
記枠によって支持され上下動可能な扉を設けたことを特
徴とするものである。
空気吹田口を持つ天井ケースと、作業台、天井ケース間
を連結する枠を有し、作業台の上に清浄空間を形成する
清浄作業台において、清浄空間の周囲四面にそれぞれ前
記枠によって支持され上下動可能な扉を設けたことを特
徴とするものである。
以下、本発明の一実施例を第１図〜第４図により説明す
る。
る。
第１図に示すように、天井ケース１と作業台７とは四隅
でのみ枠４を介して連結され、作業台７は脚８で支えら
れており、天井ケース１と作業台７との間に清浄空間１
５を形成する。第２図に示すように、天井ケース１は空
気浄化要素である前処理フィルタ２、高性能フィルタ１
１、ファン９、加圧チェンバ１０と、照明灯１２、散光
板１３を内蔵し、上面に外気取入口３、下面に清浄空気
吹田口６を有している。第１図およびそのＡ−Ａ断面図
である第３図に示すように、清浄空間１５の周囲四面に
はそれぞれ枠４に支持された上下動可能な扉５を設けて
あり、１４は扉５のガイドになる内枠である。
でのみ枠４を介して連結され、作業台７は脚８で支えら
れており、天井ケース１と作業台７との間に清浄空間１
５を形成する。第２図に示すように、天井ケース１は空
気浄化要素である前処理フィルタ２、高性能フィルタ１
１、ファン９、加圧チェンバ１０と、照明灯１２、散光
板１３を内蔵し、上面に外気取入口３、下面に清浄空気
吹田口６を有している。第１図およびそのＡ−Ａ断面図
である第３図に示すように、清浄空間１５の周囲四面に
はそれぞれ枠４に支持された上下動可能な扉５を設けて
あり、１４は扉５のガイドになる内枠である。
扉５は透明なガラス、アクリル樹脂板等で作られ清浄空
間１５内を透視できるようになっており、作業台７とｎ
５との間に適度のすき間を保って７アン９を運転すると
、外気取入口３から吸い込まれた外部の空気が前処理フ
ィルタ２と高性能フィルタ１１により清浄化されて清浄
空気吹田口６から吠き出し、清浄空間１５を通過して扉
５の開口部から外部に流出する。したがって、この開口
部から清浄空間１５内に手を差し込むことにより、作業
台７上を所定の清浄度に保ったまま四面から同時に作業
ができる。
間１５内を透視できるようになっており、作業台７とｎ
５との間に適度のすき間を保って７アン９を運転すると
、外気取入口３から吸い込まれた外部の空気が前処理フ
ィルタ２と高性能フィルタ１１により清浄化されて清浄
空気吹田口６から吠き出し、清浄空間１５を通過して扉
５の開口部から外部に流出する。したがって、この開口
部から清浄空間１５内に手を差し込むことにより、作業
台７上を所定の清浄度に保ったまま四面から同時に作業
ができる。
この清浄作業台は一つのクリーンルームに設置して使用
することもできるが、第４図に示すようにこの清浄作業
台を四つのクリーンルーム１９．２０．２１．２２の境
界に設置し、クリーンルームの壁１８と枠４とで清浄作
業台の四面の仕切って使用すれば、各クリーンルームか
らの同時作業ができ、しかも各クリーンルームの隅部の
スペースを利用できるため、クリーンルーム内の省スペ
ース化の効果が特に大きい。また、四つのクリーンルー
ム相互間で品物を移送するパスボックスとして利用する
こともできる。
することもできるが、第４図に示すようにこの清浄作業
台を四つのクリーンルーム１９．２０．２１．２２の境
界に設置し、クリーンルームの壁１８と枠４とで清浄作
業台の四面の仕切って使用すれば、各クリーンルームか
らの同時作業ができ、しかも各クリーンルームの隅部の
スペースを利用できるため、クリーンルーム内の省スペ
ース化の効果が特に大きい。また、四つのクリーンルー
ム相互間で品物を移送するパスボックスとして利用する
こともできる。
第１図〜第６図には第４図のような使い方をした場合、
高性能フィルタ１１の汚染度の監視セフアン９および照
明灯１２の電源の切り入れがどの面からもできるように
、差圧計１６とファン、照明用操作パネル１７を四面す
べてに取付けた例を示しているが、場合によってはこれ
らを一面にのみ取付けてもよい。
高性能フィルタ１１の汚染度の監視セフアン９および照
明灯１２の電源の切り入れがどの面からもできるように
、差圧計１６とファン、照明用操作パネル１７を四面す
べてに取付けた例を示しているが、場合によってはこれ
らを一面にのみ取付けてもよい。
本実施例において、四面の扉５を同時に全開した場合、
清浄空間１５を外気に対して陽圧に保てなくなり、清浄
度の低下が懸念されるが、清浄空気吹田口６の周辺部の
吹出し風速を他の部分の吹出し風速より高めて扉５の開
口部にエアーカーテンを形成し、あるいは扉５の開きを
制限するストッパを設け、作業が可能で、しかも所定の
清浄度を維持できる位置でｎ５を停止させる等の手段を
構じることにより、清浄度の確保が可能である。
清浄空間１５を外気に対して陽圧に保てなくなり、清浄
度の低下が懸念されるが、清浄空気吹田口６の周辺部の
吹出し風速を他の部分の吹出し風速より高めて扉５の開
口部にエアーカーテンを形成し、あるいは扉５の開きを
制限するストッパを設け、作業が可能で、しかも所定の
清浄度を維持できる位置でｎ５を停止させる等の手段を
構じることにより、清浄度の確保が可能である。
本発明によれば、１台の清浄作業台で四面から同時に作
業ができるため、多人数で一つの品物を組立てたり、個
別または順ぐりに同一作業を同時に行なう場合に好適で
、従来の個人別の清浄作業台に比ベクリーンルーム内の
スペースをより有効に利用できて省スペース化、コスト
低減を図ることができ、また作業台上に半導体製造装置
等の機器を設置した場合には機器の点検、補修等の作業
を四面から行なえるので、メンテナンスを容易にするこ
とができる。
業ができるため、多人数で一つの品物を組立てたり、個
別または順ぐりに同一作業を同時に行なう場合に好適で
、従来の個人別の清浄作業台に比ベクリーンルーム内の
スペースをより有効に利用できて省スペース化、コスト
低減を図ることができ、また作業台上に半導体製造装置
等の機器を設置した場合には機器の点検、補修等の作業
を四面から行なえるので、メンテナンスを容易にするこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図はその
天井ケースの側断面図、第３図は第１図のＡ−Ａ、１１
に沿りた切断平面図、第４図は使用状態の一例を示す同
上図面である。 １：天井ケース、２ 、９ 、１０ 、１１ ：空気浄
化要素、４：枠、５：扉、６：清浄空気吹出口、７：作
業台。 代理人弁理士 小 川 勝′、男 第１ 区 ？ 第２囚
天井ケースの側断面図、第３図は第１図のＡ−Ａ、１１
に沿りた切断平面図、第４図は使用状態の一例を示す同
上図面である。 １：天井ケース、２ 、９ 、１０ 、１１ ：空気浄
化要素、４：枠、５：扉、６：清浄空気吹出口、７：作
業台。 代理人弁理士 小 川 勝′、男 第１ 区 ？ 第２囚
Claims (1)
- 作業台と、空気浄化要素を内蔵し下面に清浄空気吹出口
を持つ天井ケースと、作業台、天井ケース間を連結する
枠を有し、作業台の上に清浄空間を形成する清浄作業台
において、清浄空間の周囲四面にそれぞれ前記枠によっ
て支持され上下動可能な扉を設けたことを特徴とする清
浄作業台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18966585A JPS6254683A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 清浄作業台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18966585A JPS6254683A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 清浄作業台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6254683A true JPS6254683A (ja) | 1987-03-10 |
Family
ID=16245124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18966585A Pending JPS6254683A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | 清浄作業台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6254683A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH027983U (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-18 | ||
| CN109203195A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-15 | 潘玉娇 | 一种陶瓷生产加工工艺 |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP18966585A patent/JPS6254683A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH027983U (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-18 | ||
| CN109203195A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-01-15 | 潘玉娇 | 一种陶瓷生产加工工艺 |
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