JPH03289028A - 電子管 - Google Patents
電子管Info
- Publication number
- JPH03289028A JPH03289028A JP9030590A JP9030590A JPH03289028A JP H03289028 A JPH03289028 A JP H03289028A JP 9030590 A JP9030590 A JP 9030590A JP 9030590 A JP9030590 A JP 9030590A JP H03289028 A JPH03289028 A JP H03289028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grid electrode
- electron tube
- electrode
- surface layer
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は電子管に関し、構成材料としてＢａを含むカソ
ードやゲッター等のＢａ放出源となる部分と、グリッド
電極を有する電子管に関する。
ードやゲッター等のＢａ放出源となる部分と、グリッド
電極を有する電子管に関する。
従来の電子管として、グリッド電極表面にＺｒまたはＴ
ａの被覆膜を形成することによりグリッド電極へのＢａ
付着を抑制し、グリッド電極からの電子放出の発生の防
止を図ったものが、アプリケーションズ・オブ・サーフ
ェイス・サイエンス第４巻（１９８０年） １０４頁か
ら１２６頁（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ５ｕｒ
ｆａｃｅ ５ｃｉｅｎｃｅ ｖｏｌ、４ （１９８０）
ｐｐ１０４−１２６）に記載されている。 ［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術では、ＺｒまたはＴａの金属被覆膜をグリ
ッド電極表面に形成することにより、Ｂａの付着を抑制
している。しかし、これらの金属は真空中での加熱によ
り酸化または還元が生じ、その表面状態が不安定である
という問題があった。 また、これらの表面層を形成するためには蒸着等のプロ
セスを経なければならず、作成に時間がかかるという問
題もあった。
ａの被覆膜を形成することによりグリッド電極へのＢａ
付着を抑制し、グリッド電極からの電子放出の発生の防
止を図ったものが、アプリケーションズ・オブ・サーフ
ェイス・サイエンス第４巻（１９８０年） １０４頁か
ら１２６頁（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ５ｕｒ
ｆａｃｅ ５ｃｉｅｎｃｅ ｖｏｌ、４ （１９８０）
ｐｐ１０４−１２６）に記載されている。 ［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術では、ＺｒまたはＴａの金属被覆膜をグリ
ッド電極表面に形成することにより、Ｂａの付着を抑制
している。しかし、これらの金属は真空中での加熱によ
り酸化または還元が生じ、その表面状態が不安定である
という問題があった。 また、これらの表面層を形成するためには蒸着等のプロ
セスを経なければならず、作成に時間がかかるという問
題もあった。
グリッド電極からの電子放出の防止は、カソードやゲッ
ター等のＢａ放出源となる構成材と、これらＢａ放出源
から放出されたＢａまたはＢａ化合物が付着するおそれ
のあるグリッド電極を有する電子管において、該グリッ
ド電極の表面にＳまたはＣのうち少なくとも一方を含む
表面層を形成することにより達成される。 上記表面層は、厚く形成する必要はなく、電極表面が１
原子層以上の厚さで覆われれば良い。したがって、基板
電極材料を加熱することにより該電極表面に析出してく
る程度のＳまたはＣ量でもよい。また、基板電極表面形
状を損なわない程度ならば厚くても良く、スパッタ蒸着
等により基板電極表面にＳまたはＣの膜を形成しても良
い。
ター等のＢａ放出源となる構成材と、これらＢａ放出源
から放出されたＢａまたはＢａ化合物が付着するおそれ
のあるグリッド電極を有する電子管において、該グリッ
ド電極の表面にＳまたはＣのうち少なくとも一方を含む
表面層を形成することにより達成される。 上記表面層は、厚く形成する必要はなく、電極表面が１
原子層以上の厚さで覆われれば良い。したがって、基板
電極材料を加熱することにより該電極表面に析出してく
る程度のＳまたはＣ量でもよい。また、基板電極表面形
状を損なわない程度ならば厚くても良く、スパッタ蒸着
等により基板電極表面にＳまたはＣの膜を形成しても良
い。
上記表面層では、グリッド本体金属表面に比べてＢａま
たはＢａ化合物が付着しにくり、付着した場合において
も除去しやすい。したがって、カソードの活性化やゲッ
ター剤の蒸発過程の後においても、ＢａまたはＢａ化合
物の付着によるグリッド電極表面からの電子放出を抑制
することができる。また、ＢａまたはＢａ化合物の付着
によりグリッド電極表面からの電子放出が生じた場合に
おいても、比較的低温および短時間のグリッド電極加熱
により付着Ｂ、ａを除去して電子放出を低減することが
できる。
たはＢａ化合物が付着しにくり、付着した場合において
も除去しやすい。したがって、カソードの活性化やゲッ
ター剤の蒸発過程の後においても、ＢａまたはＢａ化合
物の付着によるグリッド電極表面からの電子放出を抑制
することができる。また、ＢａまたはＢａ化合物の付着
によりグリッド電極表面からの電子放出が生じた場合に
おいても、比較的低温および短時間のグリッド電極加熱
により付着Ｂ、ａを除去して電子放出を低減することが
できる。
【実施例１
以下に１本発明をブラウン管に適用した実施例について
、第１図、第２図および第３図を用いて説明する。 ［実施例１コ 第２図は組み上げた電子銃を用いたブラウン管の概略図
である。ここでカソードとしては酸化物カソード３を用
いた。この酸化物カソードは電子放出材料としてＢａ化
合物を含み、カソードを加熱することによりこれが分解
してＢａが蒸発する。 グリッド電極はカソードに近い方から、第１グリッド電
極４．第２グリツド電極５、第３グリッド電極６．第４
グリツド電極７、第５グリツド電極８、第６グリツド電
極９の順であり、これらで構成される電子銃から離れて
シャドーマスク１０および螢光面１１がある。ゲッター
１４はゲッター剤として金属Ｂａを用いており、管内を
排気した後にこれを加熱してＢａを蒸発させる。蒸発し
たＢａは内壁等に付着して管内の残留ガスを吸収して管
内真空度を向上させる。 カソード３を加熱することにより、熱電子として放出さ
れた通常の電子線１２は第２グリツド電極５との間の電
場により引出され、螢光面１１上に収束される。もし、
カソードやゲッターから蒸発したＢａが付着して第２グ
リッド電極５表面で電界放射による電子放出が生じた場
合、放出された電子線１３は輝度信号であるカソード電
位に関係なく螢光面１１に達して無用の輝点を発生させ
る。 第１図は本発明の実施例の一つであるＣ被覆グリッド電
極の孔の近傍の断面図である。この電極は第２図に示し
たブラウン管に用いる電子銃の第２グリツド電極５であ
り、Ｎ ｉ 、 Ｃｒを含むステンレス鋼でできている
グリッド電極本体１の表面にＣ膜２を形成したものであ
る。このＣ膜２はプレス成形のすんだ電極表面に、ＲＦ
スパッタ法により蒸着して形成したものである。形成さ
れたＣ膜をイオンマイクロアナライザ（ＨＭＡ）により
深さ方向に組成分析したところ、この膜の厚さは約２０
０ｎｍであった。第１図に示した第２グリッド電極５同
様に、第１グリツド電極にも酸化層を形成した電極を用
いて電子銃として組み上げた。 この電子銃を用いて第２図に示したブラウン管を作製し
、螢光面電位を３０ｋＶ、第１グリツド電極４を接地電
位、第２グリツド電極電位を１ｋＶに設定して試験を行
った。その結果、カソードの活性化が終了時点で第２グ
リツド電極５からの電子放出が生じて無用の輝点が生じ
ていたが、第２電極５を高周波誘導により７００℃以上
で数秒の加熱を行うことにより、グリッド電極からの電
子放出は見られなくなった。 ［実施例２］ 第３図は本発明の実施例２のＳ被覆Ｆｅ−Ｎｉグリッド
電極の断面図である。このグリッド電極は、内部にＳを
含むＦｅおよびＮｉでできているグリッド電極本体１５
の表面に数ｎｍの８層１６を形成したものである。５層
の形成は、プレス成型した後のグリッド電極本体１５を
１００５Ｐａ程度の真空中で６００℃で１０分間加熱す
ることにより、添加されているＳを電極表面に析出させ
て形成している。このグリッド電極を実施例１と同様に
、第２図に示したブラウン管の第１グリツド電極および
第２グリツド電極に用いて電子銃を構成したところ、実
施例１と同様の効果が得られた。 但し、５層を維持するためにブラウン管作製時の電極温
度が大気中では４００℃以上にならないようにしている
。 【発明の効果】 本発明を用いることにより、グリッド電極表面はＢａま
たはＢａ化合物が脱離しやすい状態になる。その結果、
ＢａまたはＢａ化合物が付着することによりグリッド電
極から電子放出が生じた場合においても、比較的短時間
かつ低温の加熱によりそれらを除去することができる。 したがって、グリッド電極表面は仕事関数が高い状態と
なり、グリッド電極からの電子放出が発生することを防
ぐことができる。 グリッド電極からの電子放出が生じにくくなることによ
り、陽極電圧を高くしたり、電極間隔を狭くすることが
できる。これにより、ブラウン管の高輝度化・高精細化
や、送信管の高出力化を、現在よりもさらに進めること
ができる。
、第１図、第２図および第３図を用いて説明する。 ［実施例１コ 第２図は組み上げた電子銃を用いたブラウン管の概略図
である。ここでカソードとしては酸化物カソード３を用
いた。この酸化物カソードは電子放出材料としてＢａ化
合物を含み、カソードを加熱することによりこれが分解
してＢａが蒸発する。 グリッド電極はカソードに近い方から、第１グリッド電
極４．第２グリツド電極５、第３グリッド電極６．第４
グリツド電極７、第５グリツド電極８、第６グリツド電
極９の順であり、これらで構成される電子銃から離れて
シャドーマスク１０および螢光面１１がある。ゲッター
１４はゲッター剤として金属Ｂａを用いており、管内を
排気した後にこれを加熱してＢａを蒸発させる。蒸発し
たＢａは内壁等に付着して管内の残留ガスを吸収して管
内真空度を向上させる。 カソード３を加熱することにより、熱電子として放出さ
れた通常の電子線１２は第２グリツド電極５との間の電
場により引出され、螢光面１１上に収束される。もし、
カソードやゲッターから蒸発したＢａが付着して第２グ
リッド電極５表面で電界放射による電子放出が生じた場
合、放出された電子線１３は輝度信号であるカソード電
位に関係なく螢光面１１に達して無用の輝点を発生させ
る。 第１図は本発明の実施例の一つであるＣ被覆グリッド電
極の孔の近傍の断面図である。この電極は第２図に示し
たブラウン管に用いる電子銃の第２グリツド電極５であ
り、Ｎ ｉ 、 Ｃｒを含むステンレス鋼でできている
グリッド電極本体１の表面にＣ膜２を形成したものであ
る。このＣ膜２はプレス成形のすんだ電極表面に、ＲＦ
スパッタ法により蒸着して形成したものである。形成さ
れたＣ膜をイオンマイクロアナライザ（ＨＭＡ）により
深さ方向に組成分析したところ、この膜の厚さは約２０
０ｎｍであった。第１図に示した第２グリッド電極５同
様に、第１グリツド電極にも酸化層を形成した電極を用
いて電子銃として組み上げた。 この電子銃を用いて第２図に示したブラウン管を作製し
、螢光面電位を３０ｋＶ、第１グリツド電極４を接地電
位、第２グリツド電極電位を１ｋＶに設定して試験を行
った。その結果、カソードの活性化が終了時点で第２グ
リツド電極５からの電子放出が生じて無用の輝点が生じ
ていたが、第２電極５を高周波誘導により７００℃以上
で数秒の加熱を行うことにより、グリッド電極からの電
子放出は見られなくなった。 ［実施例２］ 第３図は本発明の実施例２のＳ被覆Ｆｅ−Ｎｉグリッド
電極の断面図である。このグリッド電極は、内部にＳを
含むＦｅおよびＮｉでできているグリッド電極本体１５
の表面に数ｎｍの８層１６を形成したものである。５層
の形成は、プレス成型した後のグリッド電極本体１５を
１００５Ｐａ程度の真空中で６００℃で１０分間加熱す
ることにより、添加されているＳを電極表面に析出させ
て形成している。このグリッド電極を実施例１と同様に
、第２図に示したブラウン管の第１グリツド電極および
第２グリツド電極に用いて電子銃を構成したところ、実
施例１と同様の効果が得られた。 但し、５層を維持するためにブラウン管作製時の電極温
度が大気中では４００℃以上にならないようにしている
。 【発明の効果】 本発明を用いることにより、グリッド電極表面はＢａま
たはＢａ化合物が脱離しやすい状態になる。その結果、
ＢａまたはＢａ化合物が付着することによりグリッド電
極から電子放出が生じた場合においても、比較的短時間
かつ低温の加熱によりそれらを除去することができる。 したがって、グリッド電極表面は仕事関数が高い状態と
なり、グリッド電極からの電子放出が発生することを防
ぐことができる。 グリッド電極からの電子放出が生じにくくなることによ
り、陽極電圧を高くしたり、電極間隔を狭くすることが
できる。これにより、ブラウン管の高輝度化・高精細化
や、送信管の高出力化を、現在よりもさらに進めること
ができる。
第１図は本発明の一実施例になるＣ被覆ステンレス鋼グ
リッド電極の断面図、第２図はブラウン管の電極構成を
示す縦断面図、第３図は本発明の他の実施例になるＳ被
覆Ｆｅ−Ｎｉグリッド電極の断面図である。 符号の説明 １・・ステンレス鋼グリッド電極本体、２・・・Ｃ蒸着
層、３・・酸化物カソード、４・・・第１グリツド電極
、５・・・第２グリッド電極、６・・第３グリツド電極
、７・・・第４グリツド電極、８・・・第５グリツド電
極、９・・・第６グリツド電極、１０・・・シャドーマ
スク、１１・・・螢光面、１２・・・通常の電子線、１
３・・・第２グリツド電極より放出された電子線、１４
・・・ゲッター、１５・・・Ｆｅ−Ｎｉグリッド電極本
体、１６・・・Ｓ析出層 第１図 第２図 丘糧人 血御十 爪１目 ｇ＊ｉｉそ
リッド電極の断面図、第２図はブラウン管の電極構成を
示す縦断面図、第３図は本発明の他の実施例になるＳ被
覆Ｆｅ−Ｎｉグリッド電極の断面図である。 符号の説明 １・・ステンレス鋼グリッド電極本体、２・・・Ｃ蒸着
層、３・・酸化物カソード、４・・・第１グリツド電極
、５・・・第２グリッド電極、６・・第３グリツド電極
、７・・・第４グリツド電極、８・・・第５グリツド電
極、９・・・第６グリツド電極、１０・・・シャドーマ
スク、１１・・・螢光面、１２・・・通常の電子線、１
３・・・第２グリツド電極より放出された電子線、１４
・・・ゲッター、１５・・・Ｆｅ−Ｎｉグリッド電極本
体、１６・・・Ｓ析出層 第１図 第２図 丘糧人 血御十 爪１目 ｇ＊ｉｉそ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、カソードおよびグリッド電極を有する電子管におい
て、上記電子管がＢａを含む構成材を含み、上記グリッ
ド電極の少なくとも１つは上記カソードから放出される
電子線が通過する部分の近傍部がＳ、Ｃ、硫化物または
炭化物のうち少なくとも一つを含む表面層により被覆さ
れていることを特徴とする電子管。 ２、上記表面層の被覆は上記グリッド電極全体になされ
ている特許請求の範囲第１項記載の電子管。 ３、上記Ｂａを含む構成材が上記カソードである特許請
求の範囲第１項または第２項記載の電子管。 ４、上記Ｂａを含む構成材が上記電子管内に封入される
ゲッターである特許請求の範囲第１項または第２項記載
の電子管。 ５、上記グリッド電極の基板電極がＦｅおよびＮｉを含
む金属でできている特許請求の範囲第１項、第２項、第
３項又は第４項記載の電子管 ６、上記表面層が蒸着により形成されたものである特許
請求の範囲第１項、第２項、第３項、第４項または第５
項記載の電子管。 ７、上記表面層が電極材料内部からの表面析出により形
成されたものである特許請求の範囲第１項、第２項、第
３項、第４項または第５項記載の電子管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9030590A JPH03289028A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | 電子管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9030590A JPH03289028A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | 電子管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03289028A true JPH03289028A (ja) | 1991-12-19 |
Family
ID=13994829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9030590A Pending JPH03289028A (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | 電子管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03289028A (ja) |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP9030590A patent/JPH03289028A/ja active Pending
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